JPS6025193B2 - 膜切れ検知装置付カ−テンフロ−コ−タ - Google Patents
膜切れ検知装置付カ−テンフロ−コ−タInfo
- Publication number
- JPS6025193B2 JPS6025193B2 JP4629479A JP4629479A JPS6025193B2 JP S6025193 B2 JPS6025193 B2 JP S6025193B2 JP 4629479 A JP4629479 A JP 4629479A JP 4629479 A JP4629479 A JP 4629479A JP S6025193 B2 JPS6025193 B2 JP S6025193B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection device
- film
- curtain flow
- flow coater
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、板状体に塗料を塗布するのに用いられるカー
テンフローコータの塗料液膜の膜切れを自動的に検知す
る膜切れ検知装置付カーテンフローコー夕に関し、カー
テンフローコータ１のスリット２から流出する塗料液膜
５の中方向に対して往復動する投光器３と受光器４とよ
りなる光電検知装置Ａを設け光軍検知装置Ａを塗料液膜
５に対して斜めに配置して成ることを特徴とする膜切れ
検知装置付カーテンフロ−コータに係るものである。
テンフローコータの塗料液膜の膜切れを自動的に検知す
る膜切れ検知装置付カーテンフローコー夕に関し、カー
テンフローコータ１のスリット２から流出する塗料液膜
５の中方向に対して往復動する投光器３と受光器４とよ
りなる光電検知装置Ａを設け光軍検知装置Ａを塗料液膜
５に対して斜めに配置して成ることを特徴とする膜切れ
検知装置付カーテンフロ−コータに係るものである。
第１図に示すようにカーテンフローコータ１のスリット
２から塗料液膜５を中Ｌ、スリット中日で流出させ、そ
の下を板状体６を通過させて板状体６表面に塗料を塗布
するに当り、このスリット中日を極めて４・さくすると
塗料の中の異物がひっかかったり、あるいはその他の原
因で第２図に示すような腰切れ７が生じやすく、その監
視、調整は面倒なものであり、膜切れが生じると塗装不
良が生じるという問題があった。
２から塗料液膜５を中Ｌ、スリット中日で流出させ、そ
の下を板状体６を通過させて板状体６表面に塗料を塗布
するに当り、このスリット中日を極めて４・さくすると
塗料の中の異物がひっかかったり、あるいはその他の原
因で第２図に示すような腰切れ７が生じやすく、その監
視、調整は面倒なものであり、膜切れが生じると塗装不
良が生じるという問題があった。
このため従釆にあってはカーテンフローコータ１で塗装
不良を出さないよう監視、調整のため熟練作業者を配置
しておかなければならないという欠点があった。本発明
は上記の点に鑑みて発明したものであって、その目的と
するところは従来のように熟練作業者を必要とすること
なくカーテンフローコータから流出する塗料液膜の膜切
れが生じた場合ただちに膜切れを検知でき、しかも投光
器及び受光器を往復動させることで塗料液膜のいかなる
部分で膜切れが生じてもこれを確実に検知できる膜切れ
検知装置付カーテンフローコータを提供するにある。本
発明を以下実施例により詳述する。
不良を出さないよう監視、調整のため熟練作業者を配置
しておかなければならないという欠点があった。本発明
は上記の点に鑑みて発明したものであって、その目的と
するところは従来のように熟練作業者を必要とすること
なくカーテンフローコータから流出する塗料液膜の膜切
れが生じた場合ただちに膜切れを検知でき、しかも投光
器及び受光器を往復動させることで塗料液膜のいかなる
部分で膜切れが生じてもこれを確実に検知できる膜切れ
検知装置付カーテンフローコータを提供するにある。本
発明を以下実施例により詳述する。
カーテンフローコータ１のスリット２の下方の前方乃至
後方のいずれか一方に左右に往復動する投光器３を配置
し、いずれか他方に左右に往復動する受光器４を配置し
てあり、投光器３と受光器４とによって光電検知装置Ａ
が形成してある。ここで投光器３及び受光器４でセット
となった光電検知装置Ａは塗料液膜５に対して第４図に
示すように斜めに配置してあり、塗料液膜５に対して斜
めになった状態で投光器３と受光器４とが往復動して塗
料液膜５の中Ｌを走査しうるようになっている。今第４
図ａのように塗料液膜５に膜切れがないときには投光器
３の投光量Ｐｏの一部は塗料液膜５で反射され、透過し
た光もわずかに屈折、散光、するものであり、この結果
受光器４の受光量ＰｉはＰｉ＜Ｐｏとなる。ところが第
４図ｂのように塗料液膜５に膜切れ７が生じると投光器
３の投光量Ｐｏはそのまま受光器４の受光量Ｐｉに等し
くなり、Ｐｏ＝Ｐｉとなるものである。このように受光
量の変化を検知することでカーテンフローコータ１の膜
切れ７を自動的に検知し、膜切れ７が生じると直ちに板
状体６の搬入を停止すると共にオペレータに信号で報知
するようになっている。なお受光器３の投光量Ｐｃの一
部が塗料液膜５で反射されるときの反射光の有無で塗料
液膜５の膜切れ７を検知するようにしてもよい。かくて
本発明にあっては、カーテンフローコータのスリットか
ら流出する塗料液膜に対して往復勤する投光器と受光器
とよりなる光電検知装置を設けてあるので、塗料液膜に
膜切れが生じてもこれを自動的に検知できるものであっ
て、従来のように熟練作業者を必要としないという利点
があり、また投光器と受光器とよりなる光電検知装置が
塗料液膜の中方向に対して往復勤するので、塗料液膜の
中方向のいずれの部分で膜切れが生じてもこれを検知で
きるという利点がある。
後方のいずれか一方に左右に往復動する投光器３を配置
し、いずれか他方に左右に往復動する受光器４を配置し
てあり、投光器３と受光器４とによって光電検知装置Ａ
が形成してある。ここで投光器３及び受光器４でセット
となった光電検知装置Ａは塗料液膜５に対して第４図に
示すように斜めに配置してあり、塗料液膜５に対して斜
めになった状態で投光器３と受光器４とが往復動して塗
料液膜５の中Ｌを走査しうるようになっている。今第４
図ａのように塗料液膜５に膜切れがないときには投光器
３の投光量Ｐｏの一部は塗料液膜５で反射され、透過し
た光もわずかに屈折、散光、するものであり、この結果
受光器４の受光量ＰｉはＰｉ＜Ｐｏとなる。ところが第
４図ｂのように塗料液膜５に膜切れ７が生じると投光器
３の投光量Ｐｏはそのまま受光器４の受光量Ｐｉに等し
くなり、Ｐｏ＝Ｐｉとなるものである。このように受光
量の変化を検知することでカーテンフローコータ１の膜
切れ７を自動的に検知し、膜切れ７が生じると直ちに板
状体６の搬入を停止すると共にオペレータに信号で報知
するようになっている。なお受光器３の投光量Ｐｃの一
部が塗料液膜５で反射されるときの反射光の有無で塗料
液膜５の膜切れ７を検知するようにしてもよい。かくて
本発明にあっては、カーテンフローコータのスリットか
ら流出する塗料液膜に対して往復勤する投光器と受光器
とよりなる光電検知装置を設けてあるので、塗料液膜に
膜切れが生じてもこれを自動的に検知できるものであっ
て、従来のように熟練作業者を必要としないという利点
があり、また投光器と受光器とよりなる光電検知装置が
塗料液膜の中方向に対して往復勤するので、塗料液膜の
中方向のいずれの部分で膜切れが生じてもこれを検知で
きるという利点がある。
しかも、光電検知装置を塗料液膜に対して斜めに配置し
てあるから、投光器より出て塗料液膜を透過した光は塗
料液膜で屈折させられて光路をずらされ、受光器に入射
せず、誤動作の恐れがなく信頼性が高いという利点があ
る。即ち、塗料液際に切れが生じた時には投光器からで
た光は１００％受光器に入るが、塗料液膜に切れが無い
ときには投光器から出た光は全く受光器に入らないので
ある。
てあるから、投光器より出て塗料液膜を透過した光は塗
料液膜で屈折させられて光路をずらされ、受光器に入射
せず、誤動作の恐れがなく信頼性が高いという利点があ
る。即ち、塗料液際に切れが生じた時には投光器からで
た光は１００％受光器に入るが、塗料液膜に切れが無い
ときには投光器から出た光は全く受光器に入らないので
ある。
第１図は従来例の斜視図、第２図は同上の膜切れ状態の
斜視図、第３図は本発明の斜視図、第４図ａ，ｂは同上
の膜切れしていない状態の断面図及び膜切れしている状
態の断面図であって、Ａは光亀検知装置、１はカーテン
フローコータ、２はスリット、３は投光器、４は受光器
、５は塗料液際である。 第１図 第２図 第３図 第４図
斜視図、第３図は本発明の斜視図、第４図ａ，ｂは同上
の膜切れしていない状態の断面図及び膜切れしている状
態の断面図であって、Ａは光亀検知装置、１はカーテン
フローコータ、２はスリット、３は投光器、４は受光器
、５は塗料液際である。 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- １ カーテンフローコータのスリツトから流出する塗料
液膜の巾方向に対して往復動する投光器と受光器とより
なる光電検知装置を設け、光電検知装置を塗料液膜に対
して斜めに配置して成ることを特徴とする膜切れ検知装
置付カーテンフローコータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4629479A JPS6025193B2 (ja) | 1979-04-15 | 1979-04-15 | 膜切れ検知装置付カ−テンフロ−コ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4629479A JPS6025193B2 (ja) | 1979-04-15 | 1979-04-15 | 膜切れ検知装置付カ−テンフロ−コ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55137062A JPS55137062A (en) | 1980-10-25 |
| JPS6025193B2 true JPS6025193B2 (ja) | 1985-06-17 |
Family
ID=12743185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4629479A Expired JPS6025193B2 (ja) | 1979-04-15 | 1979-04-15 | 膜切れ検知装置付カ−テンフロ−コ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6025193B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106298563B (zh) * | 2015-05-14 | 2019-12-20 | 比亚迪股份有限公司 | 用于对晶圆进行检测的装置和方法以及制备硅晶片的方法 |
| CN106098580A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-11-09 | 昆山国显光电有限公司 | 一种液帘分叉检测装置及方法 |
| CN108746010A (zh) * | 2018-05-24 | 2018-11-06 | 友达光电（昆山）有限公司 | 一种清洗系统 |
| CN108899294B (zh) * | 2018-07-06 | 2021-11-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 液帘检测装置、加工设备及液帘检测方法 |
| JP2020116519A (ja) * | 2019-01-23 | 2020-08-06 | 東レ株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
-
1979
- 1979-04-15 JP JP4629479A patent/JPS6025193B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55137062A (en) | 1980-10-25 |
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