JPS60255665A - 低温焼成用磁器組成物 - Google Patents
低温焼成用磁器組成物Info
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- JPS60255665A JPS60255665A JP59112619A JP11261984A JPS60255665A JP S60255665 A JPS60255665 A JP S60255665A JP 59112619 A JP59112619 A JP 59112619A JP 11261984 A JP11261984 A JP 11261984A JP S60255665 A JPS60255665 A JP S60255665A
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Landscapes
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- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分解)
この発明は低温で焼成ができ、侍性的には、比抵抗が高
く、まだ誘′亀率が低くさらにはn電体損失の小さい低
温焼成用磁器組成物に関する。
く、まだ誘′亀率が低くさらにはn電体損失の小さい低
温焼成用磁器組成物に関する。
(従来の技術)
電子機器の小型化に半い、回路を構成する各種の部品を
実pcrるために磁器基板が数多く利用されCいる。
実pcrるために磁器基板が数多く利用されCいる。
最近ではさらに実装密度を上げるために多層磁器基板へ
と開発が進んでいる。この多層磁器基板の材料としCは
一般的にアルミナが知られ〔いる。
と開発が進んでいる。この多層磁器基板の材料としCは
一般的にアルミナが知られ〔いる。
しかしながら、アルミナは焼成温度が1500〜160
0cと亮昌であるため、焼成のために多くのエネルギー
が必要となる。またアルミナと同時焼成する内部導体材
料もに1MOなどの高融点材料を用い′Cいるが、これ
らの金属は比抵抗が高く、回路抵抗そのものも高くなる
欠点がある。
0cと亮昌であるため、焼成のために多くのエネルギー
が必要となる。またアルミナと同時焼成する内部導体材
料もに1MOなどの高融点材料を用い′Cいるが、これ
らの金属は比抵抗が高く、回路抵抗そのものも高くなる
欠点がある。
したがり′〔、アルミナよ)低温で焼成できる磁器材料
であれば、焼成のためのエネルギーが少なくなるととも
に、たとえば1000υ以丁での焼成がgT能な場合、
Ag、 kg−Pd、 Cuなどあ導電材料を導体路と
しC用(へることができる他、抵抗材料なども印刷し〔
同時焼成するなどの利点がでCくる。
であれば、焼成のためのエネルギーが少なくなるととも
に、たとえば1000υ以丁での焼成がgT能な場合、
Ag、 kg−Pd、 Cuなどあ導電材料を導体路と
しC用(へることができる他、抵抗材料なども印刷し〔
同時焼成するなどの利点がでCくる。
このよう、シ低温焼成用の磁器材料とし°Cは、アルミ
力に多量のガラス成分を添加したものがあるが、得られ
た磁器に空孔が多く存在し、空孔を介し〔導体路間のマ
イグレーションが発生するという問題が見られる。また
、Ba5nO,にホウ素を多量に添加したものもあるが
、仮焼物がガラス状とな)、この仮焼物の粉砕が困難に
なるばかシか、ホウ素の蒸発が激♂〜、このため同時焼
成したとき導電材料と反応したシ、焼成のための炉の炉
材に損傷を与えるといった問題があった。
力に多量のガラス成分を添加したものがあるが、得られ
た磁器に空孔が多く存在し、空孔を介し〔導体路間のマ
イグレーションが発生するという問題が見られる。また
、Ba5nO,にホウ素を多量に添加したものもあるが
、仮焼物がガラス状とな)、この仮焼物の粉砕が困難に
なるばかシか、ホウ素の蒸発が激♂〜、このため同時焼
成したとき導電材料と反応したシ、焼成のための炉の炉
材に損傷を与えるといった問題があった。
(発明の目的)
したがつC1この発明は1000を以下で焼成できる磁
器組成物を提供することを目的とする。
器組成物を提供することを目的とする。
また、この発明はその製造1橘におい゛C扮粉砕の処理
が行いやすい磁器組成物を提供することを目的とする。
が行いやすい磁器組成物を提供することを目的とする。
さらにこの発明は電気的には比抵抗が高く、また誘電率
が低く、さらには誘電体損失の小さい磁器組成物を提供
することを目的とする。
が低く、さらには誘電体損失の小さい磁器組成物を提供
することを目的とする。
さらにまたこの発明は、特に限定されるものではないが
、多層磁器基板に適した磁器組成物を提供することを目
的とする。
、多層磁器基板に適した磁器組成物を提供することを目
的とする。
(発明の構成)
この発明にかかる低温焼成用磁器組成物を要約すれば、
次の構成材料(1)〜(灼からなるものである。
次の構成材料(1)〜(灼からなるものである。
(i) (Ba、−x”c)(Ti、 、Mny)O,
が20〜40モル係 ただし、Mr (d Sr、 Can Mfのうち少な
くとも1種 MHはZr、 Snのうち14またd2種 0≦X≦’)、5.03≦゛]、3.0≦1+7≦9.
3(江) Sin、が55〜65モルチ (モルl) B、O,が 4〜25モルチモルf) A
jzL)sが 2〜SOモルチ(t) Bad、 Ca
Oのうら1種または2、踵が2〜10モルチ モルした組成範囲に限定したのは次のとおシである。
が20〜40モル係 ただし、Mr (d Sr、 Can Mfのうち少な
くとも1種 MHはZr、 Snのうち14またd2種 0≦X≦’)、5.03≦゛]、3.0≦1+7≦9.
3(江) Sin、が55〜65モルチ (モルl) B、O,が 4〜25モルチモルf) A
jzL)sが 2〜SOモルチ(t) Bad、 Ca
Oのうら1種または2、踵が2〜10モルチ モルした組成範囲に限定したのは次のとおシである。
すなわち、(1)の(Ba、−XMi、)(Ti、 、
Mfrρo3が20モル未満では焼成温度が1000で
を越え、一方40モルチを越えると蒔電本が大きくなる
からである。
Mfrρo3が20モル未満では焼成温度が1000で
を越え、一方40モルチを越えると蒔電本が大きくなる
からである。
また、Ml、、IAu のx、y罠りい〔、それぞれ0
5x≦0.3.0Qy≦0.3.Q≦x4−y≦0.3
と規定した。Llr:、カッ’C1(Ba□−XMIX
)(Ti□−yMtt、)O。
5x≦0.3.0Qy≦0.3.Q≦x4−y≦0.3
と規定した。Llr:、カッ’C1(Ba□−XMIX
)(Ti□−yMtt、)O。
としCは、X=Lj、 7=Oの場合5B−aTiO,
っ池、(扼。
っ池、(扼。
Ca)Tie、 、 (Ba、 Ca)(T1. Zr
)03. (Ba、 5rJTiO,。
)03. (Ba、 5rJTiO,。
(Ba、 5r)(Ti、 5a)Os H(Bal
Sr、 Cat Mf)(Tiean)O,などの成分
からなるものが含まれる。ここで” + 7 +および
X 十yの上限値を0.5以下としたのは、X、7およ
びx−4−7の量が増大するに伴い焼成温度が上昇する
傾向VC+あシ、特にX、7.X+7が9.5を越える
と焼成温度がtooot’以上になるからである。
Sr、 Cat Mf)(Tiean)O,などの成分
からなるものが含まれる。ここで” + 7 +および
X 十yの上限値を0.5以下としたのは、X、7およ
びx−4−7の量が増大するに伴い焼成温度が上昇する
傾向VC+あシ、特にX、7.X+7が9.5を越える
と焼成温度がtooot’以上になるからである。
5102にりい°(35アロ5モルチとしたのは、35
モモル未満または65モモルを越えると焼結温度が高く
なるからである。
モモル未満または65モモルを越えると焼結温度が高く
なるからである。
B、O,にりい〔4〜25モルチモルたのは、4モルチ
未満では焼結温度が高くなシ、25モル慢を越えると磁
器同志の溶着が発生しゃすくなるからである。
未満では焼結温度が高くなシ、25モル慢を越えると磁
器同志の溶着が発生しゃすくなるからである。
Aegosについ′〔2〜1oモルチとしたのは、2モ
ルチ未満または10jル膚を越えると焼結温度が高くな
るからである。
ルチ未満または10jル膚を越えると焼結温度が高くな
るからである。
Mn0ICつい’(15モルチ以〜ドとしたのは、15
モモルを越えると誘電体損失が大きくなるからである。
モモルを越えると誘電体損失が大きくなるからである。
BfiQとCaOのうち1種または2種が2〜10%−
としたのは、2モルチ未満または10モモルを越えると
焼結温度が高くなるからである。
としたのは、2モルチ未満または10モモルを越えると
焼結温度が高くなるからである。
なお、(Ba、、Mlり(Ti、、Ms、)O,はAB
O。
O。
からなるペロプスカイト型の組成とし′〔表わされるが
、AとBとの比率(モル比)を特性を損ゎな原料とし〔
、BaC0,、caco、 、 5rCO,、旬CO8
゜Ti01 、 ZrO,、8nO,を準備し、第1表
に示す組成比率になるように秤量した。秤量原料を混食
した後1150tで仮焼した。次にこれらの仮焼粉末と
Si 0g + J 03 * Al20B 、 Mn
B40y l Ba CO@ * CeL COsの各
原料を第1表に示す組成比率の磁器が得られるように秤
量した。秤量原料を混合、粉砕し、)くイングーを加え
〔円板状に成形した。成形体を空気中850〜950C
で焼成し“C磁器を作成した。
、AとBとの比率(モル比)を特性を損ゎな原料とし〔
、BaC0,、caco、 、 5rCO,、旬CO8
゜Ti01 、 ZrO,、8nO,を準備し、第1表
に示す組成比率になるように秤量した。秤量原料を混食
した後1150tで仮焼した。次にこれらの仮焼粉末と
Si 0g + J 03 * Al20B 、 Mn
B40y l Ba CO@ * CeL COsの各
原料を第1表に示す組成比率の磁器が得られるように秤
量した。秤量原料を混合、粉砕し、)くイングーを加え
〔円板状に成形した。成形体を空気中850〜950C
で焼成し“C磁器を作成した。
各磁器につい゛〔、比抵抗、誘電率、誘電体損失および
抗折強度を測定した。
抗折強度を測定した。
各諸物件についCの測定条件は次のとおシである。
比抵抗:D、C,1,5V
誘電率: IMHz
誘電体損失: IMH2
抗折強度 : J工Sの規洛による
第2表は各磁器の諸物件の測定結果を示したものである
。
。
第1表
第2表
第1表、第2表中条印を付したものはこの発明範囲外の
ものであり、それ以外はすべ′にの発明範囲内のもので
ある。
ものであり、それ以外はすべ′にの発明範囲内のもので
ある。
実施例2゜
原料としく、 Ba co、 l ca Co3. S
r co 3 + M9 Co、。
r co 3 + M9 Co、。
Tiej、 ZrO!、 EInOl、 Sin、、
B4C,klzO,、MnC0,。
B4C,klzO,、MnC0,。
BaC0,、CaC0,を準備し、実施例1の第1表に
示す組成比率の磁器が得られるように秤量した。
示す組成比率の磁器が得られるように秤量した。
秤量原料を混合した後、850〜950υで仮焼した。
仮焼物を粉砕した後、有機系バインダーを加え、ドクタ
ーブレード法に゛〔シート成形した。得られたセラミッ
クグリーンシートを所定の大きさにカットし、これを空
気中850〜950 t1′ で焼成し゛tS器板を得
た。
ーブレード法に゛〔シート成形した。得られたセラミッ
クグリーンシートを所定の大きさにカットし、これを空
気中850〜950 t1′ で焼成し゛tS器板を得
た。
得られた磁器板〈つい′C1実施列1と同様に諸物件を
同一測定条件で測定したところ、実施例1の第2表に示
した特性とほぼ同じような44を示した。
同一測定条件で測定したところ、実施例1の第2表に示
した特性とほぼ同じような44を示した。
また、上記した工程で得られたセラミックグリーンシー
トを弔い、このシートの表面にホウケイ酸鉛系ガラスフ
リットを含む銀ペーストを印刷し、これを3枚積み重ね
゛C熱圧着し、空気中850〜900tで焼成した。
トを弔い、このシートの表面にホウケイ酸鉛系ガラスフ
リットを含む銀ペーストを印刷し、これを3枚積み重ね
゛C熱圧着し、空気中850〜900tで焼成した。
れず、銀は良好な連成性を示した。
実施例3゜
実施例2で作成した各セラミックグリーンシートを用い
、40Ucでバインダーを燃焼さぜ、窒によつCは比抵
抗が1013〜1d’n−rm と多少低下したものが
あったが、実用上何ら問題のないことが確認できた。
、40Ucでバインダーを燃焼さぜ、窒によつCは比抵
抗が1013〜1d’n−rm と多少低下したものが
あったが、実用上何ら問題のないことが確認できた。
したがつ〔、多層磁器基板の内部導体としC1たとえば
Cuなどを使用する場合、同時焼成の雰囲気とし゛〔中
性または還元銅¥囲気に設定しなければならないが、こ
れらの’4Q気で焼成しCも実用上十分な絶縁性を有す
る磁器でちることが川明した。
Cuなどを使用する場合、同時焼成の雰囲気とし゛〔中
性または還元銅¥囲気に設定しなければならないが、こ
れらの’4Q気で焼成しCも実用上十分な絶縁性を有す
る磁器でちることが川明した。
なお、上記した実施例ではSin、 、 Altos
、 CaOの各成分原料を用いたが、これら各成分がこ
の発明の組成範囲内で存在するように、カオリ7(Ad
・Os・2810.、’2)I、o)、ワラスナイト(
Cabinj)などの化合物を原料としC用いCもよい
。
、 CaOの各成分原料を用いたが、これら各成分がこ
の発明の組成範囲内で存在するように、カオリ7(Ad
・Os・2810.、’2)I、o)、ワラスナイト(
Cabinj)などの化合物を原料としC用いCもよい
。
(発明の効果)
以上の8地明から明らかなように、この発明によれば、
1000″C以下の低温での焼成で焼結磁器が得られ、
製造工程での粉砕などの作業も行いやすいものである。
1000″C以下の低温での焼成で焼結磁器が得られ、
製造工程での粉砕などの作業も行いやすいものである。
また、特性的には比抵抗が高く、誘電率が低く、さらに
誘電体損失も小さい。また多層磁器基板としたとき、同
時焼成時における内部導体との反応がみられない。また
磁器の空孔が少ないため、内部導体間のマイグレーショ
ンが発生しないという利点を有する。また中性、還元性
雰囲気で焼成しCも比抵抗の低下がみられず、内部導体
としくCu、Niなどの卑金属を使用することができる
。
誘電体損失も小さい。また多層磁器基板としたとき、同
時焼成時における内部導体との反応がみられない。また
磁器の空孔が少ないため、内部導体間のマイグレーショ
ンが発生しないという利点を有する。また中性、還元性
雰囲気で焼成しCも比抵抗の低下がみられず、内部導体
としくCu、Niなどの卑金属を使用することができる
。
特許出願人
株式会社村田製作所
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 次の組成(す、 (it)、 (iii)、 (iV)
、 (”/)、 (vi)からなる低温焼成用磁器組成
物。 (リ (B a、 −xM X X) (T ’ □−
yMM y ) Ozが 20〜40モルチ たモル、MlはSr、 Ce1. M9のうち少なくと
7も1種 M双はZr、 anのうち1種または 2種 <<<< << 0=1c=””、0=y=”” O=x+y=0.3(
■ン5102が 65〜65モルチ (モルi) B、O,が 4〜25モルチモル1r)
Alx0dfi 2〜f Oモルチ(v) MnOが
15モモル以下(ただし、0を含lず) (Vi) Bad、 CaOのうち1種または2欅が2
〜10モルチ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59112619A JPS60255665A (ja) | 1984-05-31 | 1984-05-31 | 低温焼成用磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59112619A JPS60255665A (ja) | 1984-05-31 | 1984-05-31 | 低温焼成用磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60255665A true JPS60255665A (ja) | 1985-12-17 |
| JPH0480868B2 JPH0480868B2 (ja) | 1992-12-21 |
Family
ID=14591262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59112619A Granted JPS60255665A (ja) | 1984-05-31 | 1984-05-31 | 低温焼成用磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60255665A (ja) |
-
1984
- 1984-05-31 JP JP59112619A patent/JPS60255665A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0480868B2 (ja) | 1992-12-21 |
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