JPS60257131A - 縦型加熱炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａｌ　発明の技術分野 本発明は、縦型加熱炉の構造に係り、特にバスケットホ
ルダの耐震性の保持機構と移動装置に関する。

（ｂｌ　技術の背景 近年、半導体基板の大型化し、又製造工程における高度
の無塵化や製造装置の自動化の傾向に伴い、従来使用さ
れてきた横型加熱炉では、石英の炉芯管とウェハを搭載
した石英製のバスケットホルダが摺動するため、石英の
微粒子が発生し、これがウェハの歩留り低下の原因とな
っている。

又縦型炉は構造適に自動化が容易であると共に、占有す
るスペースが小になる等多くの利点があるため、次第に
縦型加熱炉が使用される傾向にあるが、従来の縦型加熱
炉では、炉芯管の内部に挿入されるバスケットホルダが
、上下の両端からでなく、一方向でのみ支持されている
ため、例えばウェハが縦型加熱炉内で加熱されている最
中に、万一地震の如き外部から大きな振動があると、こ
の振動のためにバスケットホルダが転倒するとか、バス
ケットホルダが傾斜することがあり、そのため縦型加熱
炉の炉芯管とバスケットホルダが接触や衝突して、双方
又は一方を損傷する懸念があるため、これらの安全対策
が要望されている。

＋０１　従来技術と問題点 半導体基板の酸化膜を形成する場合とか、半導体基板に
不純物をドープして拡散する場合には、これらの半導体
基板を適当な雰囲気ガスの中で高温に加熱することで行
われ、通當この場合の加熱は１０００℃程度の温度条件
で成される。

第１図は従来構造の縦型加熱炉であり、図において１は
被加熱物を加熱する石英製の管状の炉芯管であり、この
内部にバスケットホルダ２が挿入されるが、このバスケ
ットホルダ２の中に、ウェハバスケット３が多段に積み
重ねてあり、これらのウェハは炉芯管周囲に配設された
加熱体４で加熱されている。

又管状の炉芯管には、密封製の蓋７があり、雰囲気ガス
の供給孔５と排出孔６があって、このバスケットホルダ
は、一対をなす走査保持機構８と駆動部９で駆動される
が、加熱処理が完了したノ望スケットホルダは、一部密
封製の蓋を有する引出し捏ｌＯによって外部にとりださ
れる。

バスケットホルダ２は石英製であり、通常ウェハ５をｌ
ロットとして約２５枚程度を収納するウェハバスケット
を、多段に積み上げて加熱容器内で加熱するが、一般に
このウェハバスケットは洗浄処理と熱処理とに兼用され
て使用される場合が多い。

従来の縦型加熱炉では、バスケ・ノドホルダが、。

バスケットホルダの上端部のみが支持機構に支持されて
炉芯管内に懸垂されているため、バスケットホルダ２が
外部からの振動で振動すると、炉芯管１の直径とバスケ
ットボルダ２との間隙が僅かであるため、外部から大き
な振動が加わるとバスケットホルダが振動して、炉芯管
と接触し、双方が破壊するおそれがあった。

ｆｄ＋　発明の目的 本発明は、上記従来の欠点に鑑み、縦型加熱炉に使用さ
れるバスケットホルダの昇降機構を安定に保持、移動さ
れる保持装置を提供することを目的とする。

（ｅｌ　発明の構成 この目的は、本発明によれば、縦長の管体をほぼ垂直に
配置してなる炉芯管と、該炉芯管を加熱する加熱部と、
該炉芯管内に配置されたバスケットホルダと、該バスケ
ットホルダの上下の両端部に一対をなす保持機構を設け
た縦型加熱炉を提供することによって達成できる。

（ｆｌ　発明の実施例 一般に加熱炉の炉芯管の内径は、加熱効率を高め、又加
熱炉内の温度の均一性を得るために、被加熱体の寸法に
比較して、縦型加熱炉の炉芯管の内径を必要最小限の寸
法に設定されるものであり、特に、バスケットホルダー
の場合には、その間隙がせいぜい数１１１ｍ乃至十数ｍ
ｍ程度であるので、例えばバスケットホルダーが左右に
振動する際には、その振動の振幅が少なくとも上記の間
隙の範囲で十分に余裕が無ければならない。

第２図は本発明の模式図であるが、炉芯管１の内部に、
バスケットホルダ１１が挿入されているが、このバスケ
ットボルダ−の上端部１２と下端部１３にそれぞれ一対
を成して連動する操作保持機構１４と１５を設け、この
双方の操作保持機構が縦型加熱炉の炉芯軸とほぼ軸心上
の位置に配置された案内ローラ１６と１７を介して駆動
装置１８．１９によって操作され、バスケットホルダー
が加熱されている時には保持されていて、縦型加熱炉に
バスケットホルダーを出入する際には、上下の垂直方向
に移動することができる機構を有する装置であるが、一
旦縦型加熱炉内の規定位置にバスケットホルダーが設定
された状態では、この操作保持機構に一定の張力が加え
られて、バスケットホルダーを炉芯管の空間内で振動す
ることなく保持されることが必要である。

この操作保持機構は、線条又は桿状、又はそれに代わる
支持機構でも差支えなく、材質も適当な材質の操作支持
として、ステンレス等の棒状又は線条の材質を使用する
ことができる。

この双方の操作保持機構が上下一対になって、横方向に
振れることなくウェハバスケットを垂直方向に移動させ
ものであればよい。

このような縦型加熱炉のバスケットホルダの保持方法に
より、縦型加熱炉内のバスケットホルダは外部からの振
動があっても、本発明の支持装置により、安定に保持す
ることができ、地震のごとき不測の事態にも炉芯管やバ
スケットホルダを破損することなく対処が出来ることに
なる。

（匍　発明の効果 以上詳細に説明したように、本発明のバスケットホルダ
ー両端部を上下から保持機構で支持することにより製造
工程における不測の地震等の対処し得るという効果大な
るものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の加熱炉の模式図、第２図は本発明の加熱
炉の模式図である。 図において、１１はバスケットホルダ、１２はバスケッ
トホルダーの上端部、１３は下端部、１４．１５は操作
保持機構、１６．１７は案内ローラ、１８．１９は駆動
装置である。 第１図　第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 縦長の管体をほぼ垂直に配置してなる炉芯管と、該炉芯
   管を加熱する加熱部と、該炉芯管内に配置されたバスケ
   ットホルダと、該バスケットホルダの上下の両端部に一
   対をなす保持機構を設けたことを特徴とする縦型加熱炉
   。