JPS6112026A - 縦型加熱炉 - Google Patents
縦型加熱炉Info
- Publication number
- JPS6112026A JPS6112026A JP59133737A JP13373784A JPS6112026A JP S6112026 A JPS6112026 A JP S6112026A JP 59133737 A JP59133737 A JP 59133737A JP 13373784 A JP13373784 A JP 13373784A JP S6112026 A JPS6112026 A JP S6112026A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- basket holder
- section
- heating furnace
- basket
- projecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ） 発明の技術分野
本発明は、縦型加熱炉の構造に係り、特に耐震性のウェ
ハ用バスケットの保持と移動装置に関する。
ハ用バスケットの保持と移動装置に関する。
山）技術の背景
近年、半導体基板の大型化、無塵化や自動化の傾向に伴
い、従来使用されてきた横型炉では、石英の容器とウェ
ハを搭載した石英製のウェハバスケットが摺動するため
、石英の微粒子が発生して、これをウニハブ歩留りの低
下の原因となる。ことや、又縦型炉は自動化が容易であ
り、設備の占有スペースが小になる等多くの利点がある
ため、次第に縦型加熱炉が使用されている゛が、通常縦
型炉の場合には加熱される容器の内部に挿入されるバス
ケット某ルダが、一方の端部で支持されているため、例
えば地震の如き外部から大きな振動がある場合には、バ
スケットホルダが転倒とか傾斜をして加熱炉とバスケッ
トホルダを損傷する懸念があり、従来の構造では耐震性
の点で改善が要求されている。
い、従来使用されてきた横型炉では、石英の容器とウェ
ハを搭載した石英製のウェハバスケットが摺動するため
、石英の微粒子が発生して、これをウニハブ歩留りの低
下の原因となる。ことや、又縦型炉は自動化が容易であ
り、設備の占有スペースが小になる等多くの利点がある
ため、次第に縦型加熱炉が使用されている゛が、通常縦
型炉の場合には加熱される容器の内部に挿入されるバス
ケット某ルダが、一方の端部で支持されているため、例
えば地震の如き外部から大きな振動がある場合には、バ
スケットホルダが転倒とか傾斜をして加熱炉とバスケッ
トホルダを損傷する懸念があり、従来の構造では耐震性
の点で改善が要求されている。
（Ｃ１従来技術と問題点
半導体基板の酸化膜を形成する場合とか、半導体基板に
不純物をドープして拡散する場合には、これらの半導体
基板を適当な雰囲気ガスの中で高温に加熱することで行
われ、通常この場合の加熱炉は１０００℃程度の温度条
件で成される。 ゛第１図は従来構造の縦型加熱
炉であり、図において１は石英製の管状の炉芯部であり
、この内側にバスケットホルダ２が挿入されるが、この
内部にはウエハバスケ・フト３が多段に積み上げされて
いて、これらは、炉芯部周囲に配設された発熱体４で加
熱されている。
不純物をドープして拡散する場合には、これらの半導体
基板を適当な雰囲気ガスの中で高温に加熱することで行
われ、通常この場合の加熱炉は１０００℃程度の温度条
件で成される。 ゛第１図は従来構造の縦型加熱
炉であり、図において１は石英製の管状の炉芯部であり
、この内側にバスケットホルダ２が挿入されるが、この
内部にはウエハバスケ・フト３が多段に積み上げされて
いて、これらは、炉芯部周囲に配設された発熱体４で加
熱されている。
又管状の加熱管には、雰囲気ガスの供給孔５と排出孔６
があって、密封製の上蓋７ａと下蓋７ｂがあり、バスケ
ットホルダは、操作索条８によって駆動部９で駆動され
るが、加熱処理されたバスケットホルダは、密封製の上
蓋を取り除き、操作索条８によって外部にとりだされる
。
があって、密封製の上蓋７ａと下蓋７ｂがあり、バスケ
ットホルダは、操作索条８によって駆動部９で駆動され
るが、加熱処理されたバスケットホルダは、密封製の上
蓋を取り除き、操作索条８によって外部にとりだされる
。
この場合に、バスケットホルダは操作索条８が共スケッ
トホルダの上端部のみで懸垂されているため、バスケッ
トホルダ２が外部からの振動で振動すると、炉芯管の直
径とウェハバスケット間には間隙が僅かではあるが存在
するため、ウェハバスケットが振動して炉芯管と接触し
て、双方が破壊するおそれがあり、これの改善が要望さ
れている。
トホルダの上端部のみで懸垂されているため、バスケッ
トホルダ２が外部からの振動で振動すると、炉芯管の直
径とウェハバスケット間には間隙が僅かではあるが存在
するため、ウェハバスケットが振動して炉芯管と接触し
て、双方が破壊するおそれがあり、これの改善が要望さ
れている。
（ｄｌ 発明の目的
本発明は、上記従来の欠点に鑑み、加熱炉に使用される
バスケットホルダの昇降機構を安定に保持、移動される
製造装置を提供することを目的とする。
バスケットホルダの昇降機構を安定に保持、移動される
製造装置を提供することを目的とする。
（ｅ） 発明の構成
この目的は、本発明によれば、縦長の管体をほぼ垂直に
配置してなる容器と、該容器の両端部に設けられた蓋部
と、該容器を加熱する加熱部を具備した縦型加熱炉にお
いて、該容器内に配置されたウェハバスケットの上下の
両端面部に突起部が設けられ、該突起部が該管体の両端
部に設けられたスペーサの孔に嵌入されて固定されるこ
とを特徴とする縦型加熱炉を提供することによって達成
できる。
配置してなる容器と、該容器の両端部に設けられた蓋部
と、該容器を加熱する加熱部を具備した縦型加熱炉にお
いて、該容器内に配置されたウェハバスケットの上下の
両端面部に突起部が設けられ、該突起部が該管体の両端
部に設けられたスペーサの孔に嵌入されて固定されるこ
とを特徴とする縦型加熱炉を提供することによって達成
できる。
（ｆｌ 発明の実施例
一般に加熱炉の炉芯部の内径は、加熱効率が高く、又加
熱炉内の温度の均一性を得るために、被加熱体の寸法に
比較して必要最小限の内径に設定されるものであり、特
にバスケットホルダーの場合には、その間隙がせいぜい
数ｌ乃至数１０ｍｍ程度であるので、例えばバスケット
ホルダーが左右に振動する際には、その振動の振幅が少
なくとも其の範囲内で許容されるなけれはならない。
熱炉内の温度の均一性を得るために、被加熱体の寸法に
比較して必要最小限の内径に設定されるものであり、特
にバスケットホルダーの場合には、その間隙がせいぜい
数ｌ乃至数１０ｍｍ程度であるので、例えばバスケット
ホルダーが左右に振動する際には、その振動の振幅が少
なくとも其の範囲内で許容されるなけれはならない。
第２図は本発明の模式図であふが、容器１の内部に、バ
スケットホルダ１１が挿入されるが、このバスケットホ
ルダーの上端部１２と下端部１３にそれぞれ上部に操作
索条２２と接続された突起部１４と、下部に突起部１５
を設け、この双方の突起部と着脱自在の上部スペーサ１
６の孔部１７と下部スペーサ１８の孔１９とに、それぞ
れ嵌入されて、バスケットホルダを固定し外部からの振
動に対して耐震性をもたせるものである。
スケットホルダ１１が挿入されるが、このバスケットホ
ルダーの上端部１２と下端部１３にそれぞれ上部に操作
索条２２と接続された突起部１４と、下部に突起部１５
を設け、この双方の突起部と着脱自在の上部スペーサ１
６の孔部１７と下部スペーサ１８の孔１９とに、それぞ
れ嵌入されて、バスケットホルダを固定し外部からの振
動に対して耐震性をもたせるものである。
上記バスケットホルダの両端面の突起部の嵌入孔は、必
ずしも着脱自在のスペーサを使用する必要がなく、開閉
自在の蓋２０．２１に新たに嵌入孔を設けてバスケット
ホルダを固定してもよい。
ずしも着脱自在のスペーサを使用する必要がなく、開閉
自在の蓋２０．２１に新たに嵌入孔を設けてバスケット
ホルダを固定してもよい。
このような縦型加熱炉のバスケットホルダーの保持方法
により、製造装置として安定に操作が可能になると共に
、地震のごとき不測の事態にも製造装置やウェハを破損
することなく対処が出来う造装置やウェハを破損するこ
となく対処が出来うるという効果がある。
により、製造装置として安定に操作が可能になると共に
、地震のごとき不測の事態にも製造装置やウェハを破損
することなく対処が出来う造装置やウェハを破損するこ
となく対処が出来うるという効果がある。
（荀 発明の効果
以上詳細に説明したように、本発明のバスケットホルダ
ーの上下の端面部に突起部を設けて、加熱管との間隙を
保持されることにより、製造工程における装置の保守や
不測の地震等の対処し得るという効果大なるものがある
。
ーの上下の端面部に突起部を設けて、加熱管との間隙を
保持されることにより、製造工程における装置の保守や
不測の地震等の対処し得るという効果大なるものがある
。
第１図は従来の加熱炉の模式断面図、
第２図は本発明の加熱炉の模式断面図である。
図において、
１１はバスケットホルダ、
１２はバスケットホルダーの上端面、
１３はバスケットホルダの下端面、
１４．１５は突起部、 −１６，１８はスペーサ、１
７．１９は孔部、 ２０．２１は蓋、をそれぞれ示
す。 第１図 第２図
７．１９は孔部、 ２０．２１は蓋、をそれぞれ示
す。 第１図 第２図
Claims (1)
- 縦長の管体をほぼ垂直に配置してなる容器と、該容器の
両端部に設けられた蓋部と、該容器を加熱する加熱部を
具備した縦型加熱炉において、該容器内に配置されたウ
ェハバスケットの上下の両端面部に突起部が設けられ、
該突起部が該管体の両端部に設けられたスペーサの孔に
嵌入されて固定されることを特徴とする縦型加熱炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59133737A JPS6112026A (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 縦型加熱炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59133737A JPS6112026A (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 縦型加熱炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6112026A true JPS6112026A (ja) | 1986-01-20 |
Family
ID=15111736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59133737A Pending JPS6112026A (ja) | 1984-06-27 | 1984-06-27 | 縦型加熱炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6112026A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0165130U (ja) * | 1987-10-20 | 1989-04-26 | ||
| US5399376A (en) * | 1991-12-04 | 1995-03-21 | Armco Steel Company, L.P. | Meniscus coating steel strip |
| US6421615B1 (en) | 1997-03-14 | 2002-07-16 | Yanmar Diesel Engine Co., Ltd. | Torsional vibration measuring instrument and torsional vibration measuring method |
-
1984
- 1984-06-27 JP JP59133737A patent/JPS6112026A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0165130U (ja) * | 1987-10-20 | 1989-04-26 | ||
| US5399376A (en) * | 1991-12-04 | 1995-03-21 | Armco Steel Company, L.P. | Meniscus coating steel strip |
| US6421615B1 (en) | 1997-03-14 | 2002-07-16 | Yanmar Diesel Engine Co., Ltd. | Torsional vibration measuring instrument and torsional vibration measuring method |
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