JPS60262042A - 光電的仕事関数測定方法 - Google Patents
光電的仕事関数測定方法Info
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- JPS60262042A JPS60262042A JP59118819A JP11881984A JPS60262042A JP S60262042 A JPS60262042 A JP S60262042A JP 59118819 A JP59118819 A JP 59118819A JP 11881984 A JP11881984 A JP 11881984A JP S60262042 A JPS60262042 A JP S60262042A
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- Japan
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- grid electrode
- work function
- sample
- anode
- light
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/227—Measuring photoelectric effect, e.g. photoelectron emission microscopy [PEEM]
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、試料の光電的仕事関数を測定する光電的仕
事関数測定方法に関する。
事関数測定方法に関する。
従来、試料の仕事関数を測定する方法としては、例えば
、接触電位差法が知られている。この方法は、測定中に
僅かな振動でも受けると測定誤差が生じるため、外部か
らの振動□を遮断する必要があり、このため、緩衝機構
を設けなければならないという問題点がある。
、接触電位差法が知られている。この方法は、測定中に
僅かな振動でも受けると測定誤差が生じるため、外部か
らの振動□を遮断する必要があり、このため、緩衝機構
を設けなければならないという問題点がある。
この発明は、前述の問題点に着目してなされたもので、
外部からの振動に対して強く、しかも正確に光電的仕事
関数を測定できる光電的仕事関数測定方法を提供するこ
とを目的としている。
外部からの振動に対して強く、しかも正確に光電的仕事
関数を測定できる光電的仕事関数測定方法を提供するこ
とを目的としている。
このような目的は、値の異なったエネルギーを試料に個
別に与えて試料から電子を放出させるとともに、各エネ
ルギー値における放出電子の数を計数して該試料の光電
的仕事関数を測定することにより達成することができる
。
別に与えて試料から電子を放出させるとともに、各エネ
ルギー値における放出電子の数を計数して該試料の光電
的仕事関数を測定することにより達成することができる
。
ここで、前記光電的仕事関数とは、金属ではフェルミレ
ベルから真空レベルまでのエネルギー差をいい、半導体
の場合には価電子帯の上部から真空レベルまでのエネル
ギー差となる。また、値の異なった光のエネルギーは、
個別に、即ち、同時ではなく異なった時刻に、１つの試
料に対して与えられる。そして、このように、値の異な
ったエネルギーが試料に与えられると、各党エネルギー
の値に対応した数の電子が試料から放出され、この電子
の数が検出されるのである。この、ような測定を行う場
合の雰囲気は、種々の単体、混合ガスであっても、また
大気であっても何ら差し支えないのである。
ベルから真空レベルまでのエネルギー差をいい、半導体
の場合には価電子帯の上部から真空レベルまでのエネル
ギー差となる。また、値の異なった光のエネルギーは、
個別に、即ち、同時ではなく異なった時刻に、１つの試
料に対して与えられる。そして、このように、値の異な
ったエネルギーが試料に与えられると、各党エネルギー
の値に対応した数の電子が試料から放出され、この電子
の数が検出されるのである。この、ような測定を行う場
合の雰囲気は、種々の単体、混合ガスであっても、また
大気であっても何ら差し支えないのである。
以下、この発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は空気カウンターを示しており、同図において、
１は下部に窓２．３が形成されたケースであって、こ
のケースｌはアースされて陰極となる。ケース １内に
はリング状の陽極４が設けられ、この陽極４には、例え
ば３．４ ＫＶの高圧電源５が接続されている。陽極４
とケース １との間には、例えば１００ｖの電圧が印加
された第１格子電極６が設置され、この第１格子電極８
とケース １の底面上に載置された試料７との間には、
例えば８０Ｖの電圧が印加された第２格子電極８が設置
されている。１０は試料７にエネルギーを与える光源で
あり、この光源１０からの光は分光器１１により単色化
され、前記試料７を窓２を通して照射し、その反射光は
窓３から外に出ていく。なお、この際の単色光の強度は
２個のスリット１２により調節さ〜 れる。１３は陽極
４に接続された増幅器であり、この増幅器１３と第１格
子電極６との間には第１パルス発生器１４が゛設けられ
ている。この第１パルス発生器１４は陽極４に電子パル
スが発生したとき、第１格子電極８に、例えば時間幅Ｔ
ｅ （５ａｓ）で３００■の矩形波パルスを送り、第１
格子電極６の電圧を、第２図（ｂ）に示すように１００
■から４００Ｖに増加させる。また、前記増幅器１３と
第２格子電極８との間には第２パルス発生器１５が設け
られ、この第２パルス発生器１５は陽極４に電子パルス
が発生したとき、、例、えば時間幅Ｔｅ （５ｍｓ）で
−１１０■の矩形波パルスを第２格子電極８に供給し、
第２格子電極８の電圧を、第２図（Ｃ）に示すように８
０Ｖから一３０Ｖまで低下させる。前記第１、第２パル
ス発生器１４．１５は発生する矩形波パルスの時間幅お
よび波高電圧を任意に設定できるものである。１６は増
幅器１３に接続されたスケーラ−等の計数手段であり、
この計数手段１Ｂは陽極４に発生する電子パルスを計数
する。この計数手段１６には演算手段１７が接続され、
この演算手段１７は例えばマイクロコンピュータからな
る。そして、この演算手段、□１よ、縦軸、計数率。ｔ
、−１（イー７．ド） １を、横軸に光子エネルギーを
とったグラフ上の座標を、前述した測定結□果、即ち各
光子エネルギーに対するデータ、に基ずいてめる。この
と゛き、各波長に対する光子エネルギーは、式 ８式％ を用いてめる。ここで、Ｅは光子エネルギー（ｅｖ）、
λは波長（ｎ蓋）である。次に、前記各座標の回帰直線
をめた後、横軸との交点をめると、この交点における光
子エネルギーの値が試料７の光電的仕事関数（ｅＶ）と
なる。次に、この演算゛手段１７からの出力信号は、例
えば、ＣＲＴ、プリンター等の表示手段１Ｂに送られ、
この表示手段１８において前記演算結果、即ち光電的仕
事関数が表示される。
１は下部に窓２．３が形成されたケースであって、こ
のケースｌはアースされて陰極となる。ケース １内に
はリング状の陽極４が設けられ、この陽極４には、例え
ば３．４ ＫＶの高圧電源５が接続されている。陽極４
とケース １との間には、例えば１００ｖの電圧が印加
された第１格子電極６が設置され、この第１格子電極８
とケース １の底面上に載置された試料７との間には、
例えば８０Ｖの電圧が印加された第２格子電極８が設置
されている。１０は試料７にエネルギーを与える光源で
あり、この光源１０からの光は分光器１１により単色化
され、前記試料７を窓２を通して照射し、その反射光は
窓３から外に出ていく。なお、この際の単色光の強度は
２個のスリット１２により調節さ〜 れる。１３は陽極
４に接続された増幅器であり、この増幅器１３と第１格
子電極６との間には第１パルス発生器１４が゛設けられ
ている。この第１パルス発生器１４は陽極４に電子パル
スが発生したとき、第１格子電極８に、例えば時間幅Ｔ
ｅ （５ａｓ）で３００■の矩形波パルスを送り、第１
格子電極６の電圧を、第２図（ｂ）に示すように１００
■から４００Ｖに増加させる。また、前記増幅器１３と
第２格子電極８との間には第２パルス発生器１５が設け
られ、この第２パルス発生器１５は陽極４に電子パルス
が発生したとき、、例、えば時間幅Ｔｅ （５ｍｓ）で
−１１０■の矩形波パルスを第２格子電極８に供給し、
第２格子電極８の電圧を、第２図（Ｃ）に示すように８
０Ｖから一３０Ｖまで低下させる。前記第１、第２パル
ス発生器１４．１５は発生する矩形波パルスの時間幅お
よび波高電圧を任意に設定できるものである。１６は増
幅器１３に接続されたスケーラ−等の計数手段であり、
この計数手段１Ｂは陽極４に発生する電子パルスを計数
する。この計数手段１６には演算手段１７が接続され、
この演算手段１７は例えばマイクロコンピュータからな
る。そして、この演算手段、□１よ、縦軸、計数率。ｔ
、−１（イー７．ド） １を、横軸に光子エネルギーを
とったグラフ上の座標を、前述した測定結□果、即ち各
光子エネルギーに対するデータ、に基ずいてめる。この
と゛き、各波長に対する光子エネルギーは、式 ８式％ を用いてめる。ここで、Ｅは光子エネルギー（ｅｖ）、
λは波長（ｎ蓋）である。次に、前記各座標の回帰直線
をめた後、横軸との交点をめると、この交点における光
子エネルギーの値が試料７の光電的仕事関数（ｅＶ）と
なる。次に、この演算゛手段１７からの出力信号は、例
えば、ＣＲＴ、プリンター等の表示手段１Ｂに送られ、
この表示手段１８において前記演算結果、即ち光電的仕
事関数が表示される。
次に、この発明の一実施例の作用について説明する。
まず、試料７をケースｌの底面上に載置した後、高圧電
源５から陽極４に第２図（ａ’）に示すように１例えば
３．４ ＫＶの高電圧を印加する。次に、光源ｌＯから
の光を分光器１１によっである一定値のエネルギーを有
する単色光に分光するとともにスリッ）１２によってそ
の強度を調節し、試料７に照射する。このとき、試料７
の表面から＋ｅＶ以下の低エネルギーをもつ光電子が放
出されるように、単色光として紫外光を使用する０次に
、試料７から放出さ・れた電子は、第２格子電極８およ
び第１格子電極６を通過し、陽極４に引き寄せられる。
源５から陽極４に第２図（ａ’）に示すように１例えば
３．４ ＫＶの高電圧を印加する。次に、光源ｌＯから
の光を分光器１１によっである一定値のエネルギーを有
する単色光に分光するとともにスリッ）１２によってそ
の強度を調節し、試料７に照射する。このとき、試料７
の表面から＋ｅＶ以下の低エネルギーをもつ光電子が放
出されるように、単色光として紫外光を使用する０次に
、試料７から放出さ・れた電子は、第２格子電極８およ
び第１格子電極６を通過し、陽極４に引き寄せられる。
そして、電子が陽極４近傍に到達すると、陽極４近傍に
は高電圧によって強い電界が発生しているので、この電
界により電子が加速され気体放電を引き起こす。この気
体増幅作用により、陽極４に印加されている電圧は、第
２図（ａ、）に示すように電位が低下し、電子パルスが
発生する。この陽極４に発生した電子パルスは増幅器１
３を介して第１パルス発生器１４および第２パルス発生
器１５に送られる。第１パルス発生器１４は電圧が３０
０■で時間幅がＴｅの矩形波パルスを発生して第１格子
電極６に送り、第１格子電極６の電圧を１００■から４
００■にＴｅ時間だけ増加させる。この結果、陽極４と
第１格子電極６との間の電位差が３００Ｖ低下し、これ
によって、気体増幅作用により発生した光や陽イオンは
放電電圧に達することができず、連続放電が阻止される
。一方、第２パルス発注器１５は時間幅がＴｅで電圧が
一１１ＯＶの矩形波パルスを第２格子電極８に送り、第
２格子電極８の電圧を８０Ｖから一３０Ｖに低下させる
。この結果、前記気体増幅作用によって発生した陽イオ
ンがこの第２格子電極８に捕捉されて中和される。これ
により、陽イオンが試料７に到すしてこれに影響を与え
るようなことはない。また、前記陽極４に発生した電子
パルスは同時に増幅器１３を介して計数手段１６にも送
られ、この計数手段１６は前記電子パルスが到達する度
に１を加算する。次に、Ｔｅ時間だけ経過すると、第１
、第２格子電極６．８の電圧は元の電圧にそれぞれ回復
し、空気カウンターは再び電子を検出できる状態となる
。以上が１個の光電子を空気カウンターによって検出し
た状態を説明−したものであるが、このような動作は電
、子が空気カウンターに到達する度に行われ、これによ
り、放出電子の計数率、即ち１秒間当りの電子パルスの
カウント数、がめられる。このようにして、ある一定値
のエネルギーに対する計数率がめられると、次に、異な
ったエネルギー、即ち、異なった波長の光、を試料７に
与えて、同様に計数率をめる。このように、値の異なっ
たエネルギーを試料７に個別に与えて各エネルギーにお
ける計数率を空気カウンターによりめる。この際、電子
の数を計数するようにしているので、測定が正確となっ
て測定精度が高くなり、また、少ない電子数でも十分計
数することができる。なお、電子の計数率は空気カウン
ターのデッドタイムの補正の後、バックグラウンドの影
響を除去し、これを真の計数率とする。次に、演算手段
１７により、縦軸に計数率のルート（イールド）を、横
軸に光子エネルギーをとったグラフ上の座標を前述した
測定結果、即ち各光子エネルギーに対するデータ、に基
ずいてめる。このとき、各波長°°”ｔ６″１４ ￥：
−４１・ゞ （Ｅ＝１２４０７入 を用いてめる。ここで、Ｅは光子エネルギー（ｅＶ）
、λは波長（ｎ■）である。次に、前記座標の回帰直線
をめ、横軸との交点をめると、この交点における光子エ
ネルギーの値が試料７の光電的仕事関数（ｅＶ）となる
。このようにしてめられた演算結果が表示手段１８に送
られると、この表示手段１８は、試料７の光電的仕事関
数（ｅＶ）を表示する。
は高電圧によって強い電界が発生しているので、この電
界により電子が加速され気体放電を引き起こす。この気
体増幅作用により、陽極４に印加されている電圧は、第
２図（ａ、）に示すように電位が低下し、電子パルスが
発生する。この陽極４に発生した電子パルスは増幅器１
３を介して第１パルス発生器１４および第２パルス発生
器１５に送られる。第１パルス発生器１４は電圧が３０
０■で時間幅がＴｅの矩形波パルスを発生して第１格子
電極６に送り、第１格子電極６の電圧を１００■から４
００■にＴｅ時間だけ増加させる。この結果、陽極４と
第１格子電極６との間の電位差が３００Ｖ低下し、これ
によって、気体増幅作用により発生した光や陽イオンは
放電電圧に達することができず、連続放電が阻止される
。一方、第２パルス発注器１５は時間幅がＴｅで電圧が
一１１ＯＶの矩形波パルスを第２格子電極８に送り、第
２格子電極８の電圧を８０Ｖから一３０Ｖに低下させる
。この結果、前記気体増幅作用によって発生した陽イオ
ンがこの第２格子電極８に捕捉されて中和される。これ
により、陽イオンが試料７に到すしてこれに影響を与え
るようなことはない。また、前記陽極４に発生した電子
パルスは同時に増幅器１３を介して計数手段１６にも送
られ、この計数手段１６は前記電子パルスが到達する度
に１を加算する。次に、Ｔｅ時間だけ経過すると、第１
、第２格子電極６．８の電圧は元の電圧にそれぞれ回復
し、空気カウンターは再び電子を検出できる状態となる
。以上が１個の光電子を空気カウンターによって検出し
た状態を説明−したものであるが、このような動作は電
、子が空気カウンターに到達する度に行われ、これによ
り、放出電子の計数率、即ち１秒間当りの電子パルスの
カウント数、がめられる。このようにして、ある一定値
のエネルギーに対する計数率がめられると、次に、異な
ったエネルギー、即ち、異なった波長の光、を試料７に
与えて、同様に計数率をめる。このように、値の異なっ
たエネルギーを試料７に個別に与えて各エネルギーにお
ける計数率を空気カウンターによりめる。この際、電子
の数を計数するようにしているので、測定が正確となっ
て測定精度が高くなり、また、少ない電子数でも十分計
数することができる。なお、電子の計数率は空気カウン
ターのデッドタイムの補正の後、バックグラウンドの影
響を除去し、これを真の計数率とする。次に、演算手段
１７により、縦軸に計数率のルート（イールド）を、横
軸に光子エネルギーをとったグラフ上の座標を前述した
測定結果、即ち各光子エネルギーに対するデータ、に基
ずいてめる。このとき、各波長°°”ｔ６″１４ ￥：
−４１・ゞ （Ｅ＝１２４０７入 を用いてめる。ここで、Ｅは光子エネルギー（ｅＶ）
、λは波長（ｎ■）である。次に、前記座標の回帰直線
をめ、横軸との交点をめると、この交点における光子エ
ネルギーの値が試料７の光電的仕事関数（ｅＶ）となる
。このようにしてめられた演算結果が表示手段１８に送
られると、この表示手段１８は、試料７の光電的仕事関
数（ｅＶ）を表示する。
第３．４図はそれぞれシリコンおよび鉄の仕事関数を測
定した結果を示すグラフであり、縦軸に計数率のルート
（イ′−ルド）を、横軸に光エネ′ルギーをとっている
。この測定には、試料７として格子面（１００）のシリ
コンおよび研摩直後の鉄を用い、照射単色光の波長を種
々に変化させて計測した。その測定結果は、シリコンに
おいては４、ｌ３８ｅＶ、鉄においては４．３９ｅＶで
ある。なお、同一試料７に対して接触電位差法によりク
ロスチェックを行ったところ、シリコンについては４．
８０ｅＶ、鉄についてはり、３８ｅＶの値を得、この発
明によって測定した光電的仕事関数が極めて精度の高い
ものであることがわかる。
定した結果を示すグラフであり、縦軸に計数率のルート
（イ′−ルド）を、横軸に光エネ′ルギーをとっている
。この測定には、試料７として格子面（１００）のシリ
コンおよび研摩直後の鉄を用い、照射単色光の波長を種
々に変化させて計測した。その測定結果は、シリコンに
おいては４、ｌ３８ｅＶ、鉄においては４．３９ｅＶで
ある。なお、同一試料７に対して接触電位差法によりク
ロスチェックを行ったところ、シリコンについては４．
８０ｅＶ、鉄についてはり、３８ｅＶの値を得、この発
明によって測定した光電的仕事関数が極めて精度の高い
ものであることがわかる。
以上説明したように、この発明によれば、外部からの振
動に対して強く、しかも正確に光電的仕事関数を測定す
ることができる。
動に対して強く、しかも正確に光電的仕事関数を測定す
ることができる。
第１図はこの発明を実施するための装置の一実施例を示
す一部がブロックで示された断面図、第２図は空気カウ
ンターの電圧変化を示すグラフ、第３図は本発明を適用
してシリコンの光電的仕事関数を測定した結果を示すグ
ラフ、第４図は本発明を適用して鉄の光電的仕事関数を
測定した結果を示すグラフである。 ４・・・陽極 ７・・・試料 ｌＯ・・・光源 １６・・・計数手段 １７・・・演算手段 １８・・・表示手段特許出願人
理化学研究所 代理人 弁理士 多 １）敏 雄 ｒ 第２１１
す一部がブロックで示された断面図、第２図は空気カウ
ンターの電圧変化を示すグラフ、第３図は本発明を適用
してシリコンの光電的仕事関数を測定した結果を示すグ
ラフ、第４図は本発明を適用して鉄の光電的仕事関数を
測定した結果を示すグラフである。 ４・・・陽極 ７・・・試料 ｌＯ・・・光源 １６・・・計数手段 １７・・・演算手段 １８・・・表示手段特許出願人
理化学研究所 代理人 弁理士 多 １）敏 雄 ｒ 第２１１
Claims (1)
- 値の異なったエネルギーを試料に個別に与えて試料から
電子を放出させるとともに、各エネルギー値における放
出電子の麹を計数して該試料の光電的仕事関数を測定す
るようにしたことを特徴とする光電的仕事関数測定方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59118819A JPS60262042A (ja) | 1984-06-09 | 1984-06-09 | 光電的仕事関数測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59118819A JPS60262042A (ja) | 1984-06-09 | 1984-06-09 | 光電的仕事関数測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60262042A true JPS60262042A (ja) | 1985-12-25 |
| JPH0556459B2 JPH0556459B2 (ja) | 1993-08-19 |
Family
ID=14745921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59118819A Granted JPS60262042A (ja) | 1984-06-09 | 1984-06-09 | 光電的仕事関数測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60262042A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57161643A (en) * | 1981-03-31 | 1982-10-05 | Matsushita Electric Works Ltd | Measuring device for work function |
-
1984
- 1984-06-09 JP JP59118819A patent/JPS60262042A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57161643A (en) * | 1981-03-31 | 1982-10-05 | Matsushita Electric Works Ltd | Measuring device for work function |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0556459B2 (ja) | 1993-08-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |