JPS60262658A - インクジエツトヘツドの製造方法 - Google Patents
インクジエツトヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS60262658A JPS60262658A JP11889084A JP11889084A JPS60262658A JP S60262658 A JPS60262658 A JP S60262658A JP 11889084 A JP11889084 A JP 11889084A JP 11889084 A JP11889084 A JP 11889084A JP S60262658 A JPS60262658 A JP S60262658A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- plate
- inkjet head
- nozzle
- ink jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はインクジェット記録装置のインクジエソＩ・ヘ
ッドに係り、特にインクを噴射するノズル等のインク通
路の形状を精度良く形成する方法に関する。
ッドに係り、特にインクを噴射するノズル等のインク通
路の形状を精度良く形成する方法に関する。
印字記録用インクが収容されている圧力室上に設置され
ている圧電素子に、印字情報に基づいて電圧を印加して
歪ませ、この歪みによる圧力を圧力室に伝達し、この圧
力室に連通して一端部に設けられているノズルより、圧
力室内に収容されている印字記録用インクを、記録紙上
に噴射記録するインクジェット記録方法は周知である。
ている圧電素子に、印字情報に基づいて電圧を印加して
歪ませ、この歪みによる圧力を圧力室に伝達し、この圧
力室に連通して一端部に設けられているノズルより、圧
力室内に収容されている印字記録用インクを、記録紙上
に噴射記録するインクジェット記録方法は周知である。
このインクジェット記録方法はノンインパクト記録方式
であり、印字記録する際の騒音の発生が少なく、また装
置の構造が簡単であるので、最近電子計算機の出力装置
等に利用されている。
であり、印字記録する際の騒音の発生が少なく、また装
置の構造が簡単であるので、最近電子計算機の出力装置
等に利用されている。
ところで、このインクを噴射させるノズルの形状は、イ
ンクの飛翔方向やインクの粒子化特性に大きい影響を及
ぼすので、高精度に加工仕上げすることが要望されてい
る。
ンクの飛翔方向やインクの粒子化特性に大きい影響を及
ぼすので、高精度に加工仕上げすることが要望されてい
る。
このようなインクジェットヘッドの平面図を第７図に、
また第７図をＡ−Ａ ’線に沿って切断した断面図を第
８図に示す。第７図、および第８図に示すように、１は
インクを噴射させるためのノズル、２はインクを収容し
、圧電素子３からの圧力を伝達するだめの圧力室、４ば
インク室、５はインク供給管である。
また第７図をＡ−Ａ ’線に沿って切断した断面図を第
８図に示す。第７図、および第８図に示すように、１は
インクを噴射させるためのノズル、２はインクを収容し
、圧電素子３からの圧力を伝達するだめの圧力室、４ば
インク室、５はインク供給管である。
このようなインクジェットヘッドを形成する従来の方法
は、既に特開昭５９−２２７６３号公報に提案されてい
るように、まず第９図に示すように前記した圧電素子３
の圧力を伝達するためのステンレス製の薄板よりなる振
動板６を用意する。また第１０図に示すように前記した
ノズル１、圧力室２、インク室４等のインク通路をエツ
チング加工により開口形成したステンレス製の薄板より
なるインク流路板７を用意し、更に第１１図に示すよう
な前記インク供給管５を接続する貫通孔８をエツチング
加工により形成したステンレス製の薄板よりなる底板９
を用意する。
は、既に特開昭５９−２２７６３号公報に提案されてい
るように、まず第９図に示すように前記した圧電素子３
の圧力を伝達するためのステンレス製の薄板よりなる振
動板６を用意する。また第１０図に示すように前記した
ノズル１、圧力室２、インク室４等のインク通路をエツ
チング加工により開口形成したステンレス製の薄板より
なるインク流路板７を用意し、更に第１１図に示すよう
な前記インク供給管５を接続する貫通孔８をエツチング
加工により形成したステンレス製の薄板よりなる底板９
を用意する。
次いでこれ等の振動板６、インク流路板７および底板９
の各々にニッケルメッキを施した後、これ等の各板を積
層し、水素ガスのような還元性雰囲気内で加熱すること
で、ニッケルメッキ層を溶融し、この溶融したニッケル
の原子と各板を構成するステンレス板の構成原子がそれ
ぞれ相互拡散するいわゆる拡散接合法により接合形成し
ていた。
の各々にニッケルメッキを施した後、これ等の各板を積
層し、水素ガスのような還元性雰囲気内で加熱すること
で、ニッケルメッキ層を溶融し、この溶融したニッケル
の原子と各板を構成するステンレス板の構成原子がそれ
ぞれ相互拡散するいわゆる拡散接合法により接合形成し
ていた。
然し、上記した従来の方法では、第１２図に示すように
インク流路板７に形成したノズル１の内壁面に被着した
ニッケル層１０Ａや、或いは振動板６、および底Ｆｊ、
９の表面に被着形成されているニッケル層１０Ｂが、拡
散接合する際の凝集等により流れ出し、ノズル１の断面
寸法が正確に形成されない問題点がある。
インク流路板７に形成したノズル１の内壁面に被着した
ニッケル層１０Ａや、或いは振動板６、および底Ｆｊ、
９の表面に被着形成されているニッケル層１０Ｂが、拡
散接合する際の凝集等により流れ出し、ノズル１の断面
寸法が正確に形成されない問題点がある。
特にノズルの断面寸法は５０μｍＸ５０μｍと微小であ
るので、この流れ出たニッケルの金属層がノズルの断面
寸法に影響を及ぼし、そのためこのノズル内に流れ出し
た金属層によりインクの飛翔方向が変化し、特にノズル
を一枚の流路板に多数形成したマルチノズルの場合には
、この影響が甚だしく、インクの飛翔方向に伴う、印字
ドツトの位置ずれ等の現象を起こし、印字品位が低下し
たインクジェットヘッドが形成されるような問題点を生
しる。
るので、この流れ出たニッケルの金属層がノズルの断面
寸法に影響を及ぼし、そのためこのノズル内に流れ出し
た金属層によりインクの飛翔方向が変化し、特にノズル
を一枚の流路板に多数形成したマルチノズルの場合には
、この影響が甚だしく、インクの飛翔方向に伴う、印字
ドツトの位置ずれ等の現象を起こし、印字品位が低下し
たインクジェットヘッドが形成されるような問題点を生
しる。
上記問題点は、複数の薄板を積層し、接合した □構造
のインクジェットヘッドを製造する方法に於いて、イン
ク通路形成予定部分を除いた接合面にろう材となる金属
膜を被着形成したインク流路板と、前記金属膜を表面に
被着形成していない平板とを接合して形成する本発明の
インクジェットヘッドの製造方法により解決される。
のインクジェットヘッドを製造する方法に於いて、イン
ク通路形成予定部分を除いた接合面にろう材となる金属
膜を被着形成したインク流路板と、前記金属膜を表面に
被着形成していない平板とを接合して形成する本発明の
インクジェットヘッドの製造方法により解決される。
即ち、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、ノ
ズル等のインク通路の形成予定領域以外に選択的に金属
膜を被着形成したインク流路板を用意し、これと別個に
金Ｍ膜を何等被着形成していない振動板と底板のような
他の基板を用意し、これ等インク流路板、振動板、底板
をそれぞれ積層して拡散接合することで、拡散接合時に
ノズル等のインク通路内に金属層が溶融して流れ出す現
象を無くして、高精度な断面寸法のインク通路を有する
インクジェットヘッドを得るようにしたものである。
ズル等のインク通路の形成予定領域以外に選択的に金属
膜を被着形成したインク流路板を用意し、これと別個に
金Ｍ膜を何等被着形成していない振動板と底板のような
他の基板を用意し、これ等インク流路板、振動板、底板
をそれぞれ積層して拡散接合することで、拡散接合時に
ノズル等のインク通路内に金属層が溶融して流れ出す現
象を無くして、高精度な断面寸法のインク通路を有する
インクジェットヘッドを得るようにしたものである。
以下、図面を用いて本発明の一実施例につき詳細に説明
する。
する。
第１図乃至第６図は、本発明のインクジェットヘッドの
製造方法を工程順に示す断面図で、説明の便宜上、前記
した第７図をＢ−Ｂ“線に沿って切断した形の断面図で
説明する。
製造方法を工程順に示す断面図で、説明の便宜上、前記
した第７図をＢ−Ｂ“線に沿って切断した形の断面図で
説明する。
まず第１図に示すように厚さ０．１額のステンレス製の
薄板１１を用意する。
薄板１１を用意する。
次いで第２図に示すように、この薄板１１の表面に厚さ
が２μｍの金メッキ層】２を電解メッキ法により形成す
る。
が２μｍの金メッキ層】２を電解メッキ法により形成す
る。
更に第３図に示すようにこの薄板１１の表面にポジ型の
ホトレジスト膜（商品名：ＡＺ−１３５０） １３を塗
布した後、ノズル形成予定領域１４上のホトレジストＩ
ｌｌをホトリソグラフィ法を用いて除去する。
ホトレジスト膜（商品名：ＡＺ−１３５０） １３を塗
布した後、ノズル形成予定領域１４上のホトレジストＩ
ｌｌをホトリソグラフィ法を用いて除去する。
次いでこのようにパターンニングされたホトレジスト膜
１３をマスクとして、王水等の金のエソチンダ液を用い
て金メッキＮ１２を所定のパターンになるようにエツチ
ング除去する。
１３をマスクとして、王水等の金のエソチンダ液を用い
て金メッキＮ１２を所定のパターンになるようにエツチ
ング除去する。
その後、第４図に示すようにホトレジスト膜をアセトン
により除去する。
により除去する。
次いで第５図に示すようにパターンニングされた金メッ
キ層１２をマスクとして用いてインク流路板１１を塩化
第２鉄溶液でエツチングし、ノズル１５を形成する。こ
こで本実施例においては、ノズルを形成する場合に付い
て述べたが、熱論適当なホトマスクを用いて、インク流
路板に形成したホトレジスト１３膜を所定のパターンに
パターン形成することで、ノズルを形成するのと同時に
平行してインク通路板の圧力室や、インク室等のインク
通路を形成することが可能である。このようにすれば、
ノズル等のインク通路の内壁面に金属層が被着されない
状態でインク通路が形成できる。
キ層１２をマスクとして用いてインク流路板１１を塩化
第２鉄溶液でエツチングし、ノズル１５を形成する。こ
こで本実施例においては、ノズルを形成する場合に付い
て述べたが、熱論適当なホトマスクを用いて、インク流
路板に形成したホトレジスト１３膜を所定のパターンに
パターン形成することで、ノズルを形成するのと同時に
平行してインク通路板の圧力室や、インク室等のインク
通路を形成することが可能である。このようにすれば、
ノズル等のインク通路の内壁面に金属層が被着されない
状態でインク通路が形成できる。
次いで第６図に示すように前記形成したインク流路板１
１の底面に、金属層を被着形成していない厚さが０．４
１のステンレス製の薄板よりなる底板１６を設置し、ま
た前記インク流路板の表面に金属層を被着形成していな
い厚さが０．ＩＮのステンレス製の薄板よりなる振動板
１７を設置した状態で、これ等、インク流路板１１、底
板１６、振動板１７のそれぞれを拡散接合させる。この
ようにすれば、ノズルの内壁面に金属層が形成されてい
ないので、拡散接合の際に金属層がノズルの内壁面に流
れ出してノズルの寸法に変動をきたすような恐れがなく
なり、ノズルの断面寸法が精密に加工された高信頼度の
インクジェットヘッドが得られる。
１の底面に、金属層を被着形成していない厚さが０．４
１のステンレス製の薄板よりなる底板１６を設置し、ま
た前記インク流路板の表面に金属層を被着形成していな
い厚さが０．ＩＮのステンレス製の薄板よりなる振動板
１７を設置した状態で、これ等、インク流路板１１、底
板１６、振動板１７のそれぞれを拡散接合させる。この
ようにすれば、ノズルの内壁面に金属層が形成されてい
ないので、拡散接合の際に金属層がノズルの内壁面に流
れ出してノズルの寸法に変動をきたすような恐れがなく
なり、ノズルの断面寸法が精密に加工された高信頼度の
インクジェットヘッドが得られる。
以上の実施例に於いては、一枚のインク流路板に一関の
ノズルを形成した場合に付いて述べたが、一枚のインク
流路板に多数のノズルを形成するマルチノズルのインク
ジェットヘッドの場合、本発明の方法は更に効果が大と
なる。
ノズルを形成した場合に付いて述べたが、一枚のインク
流路板に多数のノズルを形成するマルチノズルのインク
ジェットヘッドの場合、本発明の方法は更に効果が大と
なる。
またインク流路板を形成する際、エツチング加工により
ノズルや、圧力室等を開口することな（、インク流路板
の厚さの約１／２の厚さ迄、上記ノズルや圧力室をエツ
チングで加工したインク流路板を用意し、これに圧電素
子とインク供給管を備えた他の一枚の基板を接合してイ
ンクジェットヘッドを形成する場合にも、本発明の方法
を適用することも可能である。
ノズルや、圧力室等を開口することな（、インク流路板
の厚さの約１／２の厚さ迄、上記ノズルや圧力室をエツ
チングで加工したインク流路板を用意し、これに圧電素
子とインク供給管を備えた他の一枚の基板を接合してイ
ンクジェットヘッドを形成する場合にも、本発明の方法
を適用することも可能である。
またインク流路板に、金メッキを施す代わりにニッケル
メッキを施しても良い。
メッキを施しても良い。
以上述べたように本発明のインクジェットヘッドの製造
方法によれば、ノズル等のインク通路が高精度に加工仕
上げされたインクジェットヘッドが得られるので、イン
クの飛翔方向が安定した、高信頼度のインクジェットヘ
ッドが得られる効果がある。
方法によれば、ノズル等のインク通路が高精度に加工仕
上げされたインクジェットヘッドが得られるので、イン
クの飛翔方向が安定した、高信頼度のインクジェットヘ
ッドが得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図乃至第６図は本発明のインクジエソ１−ヘッドの
製造方法を工程順に示す断面図、第７図は一般的なイン
クジェットヘッドの平面図、 第８図は第７図をＡ−Ａ’線に沿って切断した断面図、 第９図はインクジェットヘッドの振動板の平面図、 第１０図はインクジェットヘッドのインク流路板の平面
図、 第１１図はインクジェットヘッドの底板を示す平面図、 第１２図は従来の方法で形成したインクジェットヘッド
の不都合を示す要部断面図である。 図に於いて、１１はインク流路板、１２は金メッキ層、
１３はホトレジスト膜、１４はノズル形成予定領域、１
５はノズル、１６は底板、１７は振動板を示す。 第１図 ２乙石フｚ２１１ 第６図 ！！ｉ７図 第 ９ 図 第１０図
製造方法を工程順に示す断面図、第７図は一般的なイン
クジェットヘッドの平面図、 第８図は第７図をＡ−Ａ’線に沿って切断した断面図、 第９図はインクジェットヘッドの振動板の平面図、 第１０図はインクジェットヘッドのインク流路板の平面
図、 第１１図はインクジェットヘッドの底板を示す平面図、 第１２図は従来の方法で形成したインクジェットヘッド
の不都合を示す要部断面図である。 図に於いて、１１はインク流路板、１２は金メッキ層、
１３はホトレジスト膜、１４はノズル形成予定領域、１
５はノズル、１６は底板、１７は振動板を示す。 第１図 ２乙石フｚ２１１ 第６図 ！！ｉ７図 第 ９ 図 第１０図
Claims (1)
- 複数の薄板を積層し、接合した構造のインクジェットヘ
ッドを製造する方法に於いて、インク通路形成予定部分
を除いた接合面にろう材となる金属膜を被着形成したイ
ンク流路板と、前記金属膜を表面に被着形成していない
平板とを接合して形成することを特徴とするインクジェ
ットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11889084A JPS60262658A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | インクジエツトヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11889084A JPS60262658A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | インクジエツトヘツドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60262658A true JPS60262658A (ja) | 1985-12-26 |
| JPH0341074B2 JPH0341074B2 (ja) | 1991-06-20 |
Family
ID=14747677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11889084A Granted JPS60262658A (ja) | 1984-06-08 | 1984-06-08 | インクジエツトヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60262658A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5638271A (en) * | 1979-09-07 | 1981-04-13 | Toshiba Corp | Head for ink jet recording |
| JPS5793444U (ja) * | 1980-12-01 | 1982-06-09 | ||
| JPS5922763A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-02-06 | Fujitsu Ltd | インクジエツトプリンタヘツドの製作方法 |
-
1984
- 1984-06-08 JP JP11889084A patent/JPS60262658A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5638271A (en) * | 1979-09-07 | 1981-04-13 | Toshiba Corp | Head for ink jet recording |
| JPS5793444U (ja) * | 1980-12-01 | 1982-06-09 | ||
| JPS5922763A (ja) * | 1982-07-30 | 1984-02-06 | Fujitsu Ltd | インクジエツトプリンタヘツドの製作方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0341074B2 (ja) | 1991-06-20 |
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