JPS6028148B2 - フオトダイオ−ド - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はフオトダィオード‘こ関し、フオトダィオード
‘こおけるフィル夕の改良された構造を提供することを
目的とする。

フオトダイオードの一例のカメラ用フオトダイオ−ド‘
こシリコンのものが多く用いられている。

第１図ａに示すシリコンフオトダィオードは、外囲器１
の本体ｌａの受光面にガラスフィルタｌｂを備え、フオ
トダィオードベレツト２を外囲器内に配設する。そして
べレットの電極端子を外囲器の電極導出１」−ドｌｃ，
ｌｃ′に夫々接続してなる。上記ガラスフィル夕はフオ
トダィオードベレットの分光感度特性９０００Ａにピー
クをもつなだらかな曲線であるところから、これを人間
の視感度（５６００Ａにピークをもつ）に合わせるため
７０００Ａ以上の長波長分をカットするものを適用する
。かかるガラスフィル夕には干渉型と吸収型とがある。
前者はガラスの片面に誘電体を通常１３層程度蒸着する
必要があり、かっこの膜厚の制御が非常に繁雑で、製造
も難しく高価である。後者はガラスにリン系物質を添加
してなるが、この添加物のために吸湿しやすくガラスフ
ィル夕に白濁を生じ、光の透過率が低下する。これによ
りカメラにおける露出の過多、過少がおきる。さらに分
光感度が変化し、人間の視感度と少しずれる事によって
写真が赤味を帯びたり、青味を帯びたりする場合もある
。上記に対し、通常ガラスフィルタｌｂの両面に、第１
図ｂに示す如くフツ化マグネシウム３（ＭｇＦ２）等を
被着することによって吸湿を防止してたいるが充分でな
く、白濁を生じ支障を来たすことが多い。

本発明は上記従来のフオトダィオ−ド‘こおける欠点を
除去するためになされたもので、改良された構造のフィ
ル夕を備えたフオトダィオードを提供する。

本発明のフオトダィオードは、受光部にフィル夕を有す
るフオトダィオー日こして、フィル夕の両王面に気相成
長により形成された被覆層を有し、この被覆層がＳｉ０
２−リン添加Ｓｉ０２−Ｓｉ０２の積層構造からなるこ
とを特徴とするものである。

以下、本発明の一実施例のフオトダィオード‘こかかる
一例のカメラ用フオトダィオード‘こつき詳細に説明す
る。第２図に本発明のかかるフオトダィオードのフィル
夕の一部を断面図で示す。

即ち平板状のガラスフイルタｌｂの両主面にＳｉ０２（
二酸化ケイ素）の被覆層１２を設ける。上記Ｓｉ０２層
は一般に用いられる気相成長の手段、即ち、シラン（Ｓ
ｉ比）を酸素雰囲気中で加熱分解することにより次の化
学式の如く形成される。Ｓｉ比十２仏→Ｓｉ０２十２日
２０ そして層厚は多くの実験に基づき０．３〜２．０〃が好
適する。

この限界は防湿能力の発生する下限が０．３ムであり、
光の透過性を維持できる限界が２ムであることに基づく
。次に第２図における被覆層１２は、これを拡大して示
す第３図からわかるように、リンを添加したＳｉ０２層
１ ２ａを挟んで二つのＳｉ０２層１ ２ｂ，１２ｂ′
で形成された積層機構となっている。

このリン添力ロＳｉ０２層１２ａは、前述のシランの加
熱分解による気相成長工程の途中でその雰囲気中にリン
を添加するという簡単な操作で形成される。このような
被覆層１２はガラスフィル夕の湿気による自濁を防止す
るとともに、それ自身熱的影響によるクラックが防止さ
れ、常時フィル夕の白濁防止効果を失うことがないなど
、種々の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図ａはフオトダィオードの断面図を示し、図ｂはフ
ィルタ部の一部の断面図、第２図は本発明の一実施例の
フオトダィオードのフィルタ部の一部の断面図、第３図
は第２図の被覆層部を拡大して示す断面図である。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を夫々示すも
のとする。１・・・・・・フィル夕、１２・・・・・・
被覆層、１２ａ・・・・・・リン添加Ｓｉ０２層、１２
ｂ……Ｓｉ０２層。 第１図第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 受光部にフイルタを有するフオトダイオードにおい
   て、フイルタの両主面に気相成長により形成された被覆
   層を有し、この被覆層がＳｉＯ＿２−リン添加ＳｉＯ＿
   ２−ＳｉＯ＿２の積層構造からなることを特徴とするフ
   オトダイオード。