JPS6030353A - インクジエツトヘツドの製造方法 - Google Patents
インクジエツトヘツドの製造方法Info
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- JPS6030353A JPS6030353A JP13806583A JP13806583A JPS6030353A JP S6030353 A JPS6030353 A JP S6030353A JP 13806583 A JP13806583 A JP 13806583A JP 13806583 A JP13806583 A JP 13806583A JP S6030353 A JPS6030353 A JP S6030353A
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- Japan
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- nozzle hole
- ink
- flow path
- nozzle
- ink flow
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/161—Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
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-
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- B41J2002/14362—Assembling elements of heads
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はインクジェットヘッドの製造方法に係り、特に
該ヘッドのノズル孔をインク流路と連通して一体に形成
する製造方法に関する。
該ヘッドのノズル孔をインク流路と連通して一体に形成
する製造方法に関する。
（ｂ） 技術の背景
インクジェットプリンタはその無騒音性と普通用紙を利
用できるという利点により最近急速に普及してきている
が、特に必要な時に必要量のインクを供給するオンデマ
ンド方式は、不要インクの回収装置や高圧電源が不要で
附属機器も少ない点から経済的にも有利なため各方面で
開発実用化が進められている。
用できるという利点により最近急速に普及してきている
が、特に必要な時に必要量のインクを供給するオンデマ
ンド方式は、不要インクの回収装置や高圧電源が不要で
附属機器も少ない点から経済的にも有利なため各方面で
開発実用化が進められている。
そして、このようなプリンタのインクジェットヘッドは
記録用のインクを導入するインク流路と、前記インクを
吐出するために前記インク流路に連続して設けられたノ
ズル孔とを具備しており、該ノズル孔から吐出されるイ
ンク微小粒の飛翔方向が安定していること、及び前記イ
ンクジェットヘッド内部でのインク押出しエネルギーの
損失が小さいことが必要要件として要求されている。
記録用のインクを導入するインク流路と、前記インクを
吐出するために前記インク流路に連続して設けられたノ
ズル孔とを具備しており、該ノズル孔から吐出されるイ
ンク微小粒の飛翔方向が安定していること、及び前記イ
ンクジェットヘッド内部でのインク押出しエネルギーの
損失が小さいことが必要要件として要求されている。
従来、上記のようなインクジェットヘッドとしてはイン
ク流路を具備するヘッド本体とは別個に、微細なノズル
孔を備えたノズル板を電鋳法等で製造し、しかるのち前
記ノズル板と前記ヘッド本体とを合成樹脂接着剤を使用
して接着したものが用いられていた。
ク流路を具備するヘッド本体とは別個に、微細なノズル
孔を備えたノズル板を電鋳法等で製造し、しかるのち前
記ノズル板と前記ヘッド本体とを合成樹脂接着剤を使用
して接着したものが用いられていた。
しかし、この従来の構成では、ノズル板の接着を行う際
、前記合成樹脂接着剤がノズル孔の一部を塞いで目詰り
を起こす場合があり、ヘッドの製造歩留りが悪く量産に
適さない問題があった。
、前記合成樹脂接着剤がノズル孔の一部を塞いで目詰り
を起こす場合があり、ヘッドの製造歩留りが悪く量産に
適さない問題があった。
更に、ノズル孔が微細であるため、特にノズル孔数が多
く、ノズル孔列が複数の場合には前記ノズル板自体の製
造も難しい等の問題があった。
く、ノズル孔列が複数の場合には前記ノズル板自体の製
造も難しい等の問題があった。
そこで、ノズｌし孔とインク流路とを一体的に形成する
ことが考えられ、その１つの方法として所定の金属板に
エツチング法等でノズル孔とインク流路との溝パターン
を同時に一体形成する方法が考えられている。
ことが考えられ、その１つの方法として所定の金属板に
エツチング法等でノズル孔とインク流路との溝パターン
を同時に一体形成する方法が考えられている。
しかし、上記のようなエツチング法で溝パターンを形成
する場合、ノズμ溝部では該溝幅が微小であるため該溝
幅を維持したまま十分な深さに該溝を形成することは非
常に困難である。また、エツチング面は比較的粗面とな
るので、該溝を多数形成した時にはインク粒径が不揃い
となるほか、サイドエツチングの影響により溝の内面形
状が不規則と彦ってノズル孔より吐出されるインク微小
粒の飛翔方向にばらつきを生じる問題があった。
する場合、ノズμ溝部では該溝幅が微小であるため該溝
幅を維持したまま十分な深さに該溝を形成することは非
常に困難である。また、エツチング面は比較的粗面とな
るので、該溝を多数形成した時にはインク粒径が不揃い
となるほか、サイドエツチングの影響により溝の内面形
状が不規則と彦ってノズル孔より吐出されるインク微小
粒の飛翔方向にばらつきを生じる問題があった。
口）発明の目的
本発明は上記従来の欠点に鑑みなされたものであって、
ノズル孔とインク流路とを最初から連通して一体形成す
ることのできるインクジェットヘッドの製造方法の提供
を目的とし、具体的には各ノズル孔より吐出されるイン
ク微小粒の飛翔方向を一定にすることのできるよう改善
されたノズル孔形成方法の提供を目的とするものである
。
ノズル孔とインク流路とを最初から連通して一体形成す
ることのできるインクジェットヘッドの製造方法の提供
を目的とし、具体的には各ノズル孔より吐出されるイン
ク微小粒の飛翔方向を一定にすることのできるよう改善
されたノズル孔形成方法の提供を目的とするものである
。
（ｅ） 発明の構成
簡単に述べると本発明は、上記のような目的を達成する
ため、インクジェットヘッドの基体ニ、あらかじめノズ
ル孔を除いたインク流路の溝パターンを形成したのち、
前記基体上面の前記ノズル孔を規定する所定位置に該ノ
ズル孔の断面と同一の断面形状を有する非電導性の細線
を固定し、該細線を電鋳法による金属で埋込み、かつ前
記溝パターンの内面も前記金属で被覆し、しかるのち前
記細線を除去することによって前記インク流路に連通し
たノズル孔を形成するようにしたことを特徴とするもの
である。
ため、インクジェットヘッドの基体ニ、あらかじめノズ
ル孔を除いたインク流路の溝パターンを形成したのち、
前記基体上面の前記ノズル孔を規定する所定位置に該ノ
ズル孔の断面と同一の断面形状を有する非電導性の細線
を固定し、該細線を電鋳法による金属で埋込み、かつ前
記溝パターンの内面も前記金属で被覆し、しかるのち前
記細線を除去することによって前記インク流路に連通し
たノズル孔を形成するようにしたことを特徴とするもの
である。
ｃｆ）発明の実施例
以下、本発明の一実施例を図面を用いて詳述する。
第１図は本発明によって製造するインクジェットヘッド
の構造を示す一部破断斜視図であり、基体となる所定の
金属、例えばステンレス等の金属板ｌの表面には、記録
用のインクを吐出する８個（代表的に例示）のノズル孔
２と、インク流路８とが連続して形成されている。イン
ク流路８は対応する各ノズル孔２に連通し前記インクに
衝撃圧力を発生させる圧力室４と、対応する各圧力室４
に前記インクを導入する個別インク流路６と、個り流路
６とからなる。そして、上記ノズル孔２とインク流路８
とは後で詳しく説明するように基体金属板ｌ上に電鋳法
で形成したニッケ／Ｌ／（Ｎｉ−）等の金属の電鋳層１
８で境界面を形づくられている。
の構造を示す一部破断斜視図であり、基体となる所定の
金属、例えばステンレス等の金属板ｌの表面には、記録
用のインクを吐出する８個（代表的に例示）のノズル孔
２と、インク流路８とが連続して形成されている。イン
ク流路８は対応する各ノズル孔２に連通し前記インクに
衝撃圧力を発生させる圧力室４と、対応する各圧力室４
に前記インクを導入する個別インク流路６と、個り流路
６とからなる。そして、上記ノズル孔２とインク流路８
とは後で詳しく説明するように基体金属板ｌ上に電鋳法
で形成したニッケ／Ｌ／（Ｎｉ−）等の金属の電鋳層１
８で境界面を形づくられている。
また、これらインク流路８の上面は蓋板７で閉塞され、
かつ該蓋板？の上記共通インク流路６に対応した部分に
はインクを導入するインク導入口８が設けられている。
かつ該蓋板？の上記共通インク流路６に対応した部分に
はインクを導入するインク導入口８が設けられている。
尚、ノズル孔２．圧力室４、及び個別インク流路５の数
は必要に応じて任意に設定されている。
は必要に応じて任意に設定されている。
第２図は本発明に係るノズル孔２の形成方法を説明する
ためのステンレスよりなる基体金属板ｌの平面図であり
、第８図は第２図のｘ −ｘ’断面図である。
ためのステンレスよりなる基体金属板ｌの平面図であり
、第８図は第２図のｘ −ｘ’断面図である。
両図の関連において、基体金属板１０表面には、あらか
じめ予定されたインク流路８の幅に対して後の工程で行
なう電鋳法で析出させる電鋳金属の厚みと同程度大きい
幅で、インク流路８を規定する溝パターン８′がエツチ
ング法によって形成されしたノズル孔２を規定する位置
、すなわち溝パターン８′の圧力室４を規定する部分の
左端中央部ｌＯ上に近接させて非電導性の細線９が直線
状に固定治具１１に止めねじ１２で張架されている。こ
の細線９としては次工程の電鋳浴に対し耐蝕性を有する
テトロン等が適し、その径はノズル孔２の断面形状に対
応した直径０．０５ 耐程度のものを用いる。
じめ予定されたインク流路８の幅に対して後の工程で行
なう電鋳法で析出させる電鋳金属の厚みと同程度大きい
幅で、インク流路８を規定する溝パターン８′がエツチ
ング法によって形成されしたノズル孔２を規定する位置
、すなわち溝パターン８′の圧力室４を規定する部分の
左端中央部ｌＯ上に近接させて非電導性の細線９が直線
状に固定治具１１に止めねじ１２で張架されている。こ
の細線９としては次工程の電鋳浴に対し耐蝕性を有する
テトロン等が適し、その径はノズル孔２の断面形状に対
応した直径０．０５ 耐程度のものを用いる。
また、固定治具ｌｌはセラミックス或いはプラスチック
等次工程の電鋳浴に対し耐蝕性を有し、か↓ つ硬質な非電導性材料で加したものを用いる。
等次工程の電鋳浴に対し耐蝕性を有し、か↓ つ硬質な非電導性材料で加したものを用いる。
尚、この時、上記細線９は左端部を基体金属板ｌ上面に
密着させ、右端部を基体金属板ｌ上面よりＱ、 ２１１
程度隔てて張架させるのが好ましい。
密着させ、右端部を基体金属板ｌ上面よりＱ、 ２１１
程度隔てて張架させるのが好ましい。
この状態で、基体金属板ｌが上記のようにステンレスで
ある場合には、電鋳金属が基体金属板ｌに密着するよう
、あらかじめ基体金属板１表面の酸化被膜を除去し、ニ
ッケルストライクを施す等の前処理を行なう。その後、
所定の電鋳法、例えばスｌレフアミン酸浴等一般のニッ
ケＩＶ（Ｎｊ−）電鋳浴に浸漬して行がうニッケル電鋳
法により、溝パターン８′を含む基体金属板ｌ上面にニ
ッケルを０．１Ｍ厘程度被覆させる。
ある場合には、電鋳金属が基体金属板ｌに密着するよう
、あらかじめ基体金属板１表面の酸化被膜を除去し、ニ
ッケルストライクを施す等の前処理を行なう。その後、
所定の電鋳法、例えばスｌレフアミン酸浴等一般のニッ
ケＩＶ（Ｎｊ−）電鋳浴に浸漬して行がうニッケル電鋳
法により、溝パターン８′を含む基体金属板ｌ上面にニ
ッケルを０．１Ｍ厘程度被覆させる。
尚、細線９を被覆してノズル孔２を規定する電鋳金属と
しては、記録用のインクに対する耐蝕性及び被覆させた
金属の強度を考慮して決定すれば良く、現在のところニ
ッケル電鋳法が好ましい。
しては、記録用のインクに対する耐蝕性及び被覆させた
金属の強度を考慮して決定すれば良く、現在のところニ
ッケル電鋳法が好ましい。
第４図は！鋳抜の基体金属板ｌの平面図であり、第す図
は第４図のｙ−ｙ′断面図、第６図は第４図のｚ −ｚ
’断面図である。
は第４図のｙ−ｙ′断面図、第６図は第４図のｚ −ｚ
’断面図である。
基体金属板１上面にニッケルを被覆させた結果、第４図
及び第５図に示すように、細線９のノズル孔２を規定す
る部分が電鋳層１８の中に埋込まれて細線９と同一断面
を有するノズル孔２が形成され、同時に溝パターン３′
の内面を含む基体金属板１上面にも０．１１１１程度の
厚さに電鋳層１８が被覆されてインク流路３が所望の溝
幅に形成される。
及び第５図に示すように、細線９のノズル孔２を規定す
る部分が電鋳層１８の中に埋込まれて細線９と同一断面
を有するノズル孔２が形成され、同時に溝パターン３′
の内面を含む基体金属板１上面にも０．１１１１程度の
厚さに電鋳層１８が被覆されてインク流路３が所望の溝
幅に形成される。
この時、ノズ７し孔２及びインク流路３の内面の面粗さ
が０．８ＲＺ程度と々す、エツチングだけの面の粗さが
３．２ＲＺ以上であるのに対し、非常に滑らかな面に形
成される。従って、ノズル孔２とインク流路８との連通
部が極めてスムーズな形状となる。つまり、細線９が非
電導性であって溝パターン８′上ではこの細線９が基体
金属板ｌから浮いた状態にあるので、電鋳金属は溝パタ
ーン８′面に沿った形で付着し、溝パターン８′での細
線９の影響はないわけである。
が０．８ＲＺ程度と々す、エツチングだけの面の粗さが
３．２ＲＺ以上であるのに対し、非常に滑らかな面に形
成される。従って、ノズル孔２とインク流路８との連通
部が極めてスムーズな形状となる。つまり、細線９が非
電導性であって溝パターン８′上ではこの細線９が基体
金属板ｌから浮いた状態にあるので、電鋳金属は溝パタ
ーン８′面に沿った形で付着し、溝パターン８′での細
線９の影響はないわけである。
但しこの場合、第６図に示すようにノズル孔２が形成さ
れた位置の電鋳層１８上面には細線９に対応した凹凸１
４ができるため、電鋳層１８上面を機械研摩によって０
．０２ｎ＋程度削りとり電鋳層１３上面を平滑に仕上げ
る。
れた位置の電鋳層１８上面には細線９に対応した凹凸１
４ができるため、電鋳層１８上面を機械研摩によって０
．０２ｎ＋程度削りとり電鋳層１３上面を平滑に仕上げ
る。
そして、ノＺ′ル孔２より細線９を抜脱した後、拡散ろ
う付は法により基体１の上面を蓋板７で閉塞する。その
後、この組立体の先端部を圧力室４何より仕上げ寸法を
見込んだ所定長さ、例えば０．５電騎 １３ ｎ程度残して切断し、また後端部は船層Ｈの後端より後
方に突出した部分を切断し、これらの切断面を仕上げ加
工して第１図に示したインクジェットヘッドを完成させ
る。
う付は法により基体１の上面を蓋板７で閉塞する。その
後、この組立体の先端部を圧力室４何より仕上げ寸法を
見込んだ所定長さ、例えば０．５電騎 １３ ｎ程度残して切断し、また後端部は船層Ｈの後端より後
方に突出した部分を切断し、これらの切断面を仕上げ加
工して第１図に示したインクジェットヘッドを完成させ
る。
以上、詳細に説明したように、本発明に係るインクジェ
ットヘッドの製造方法によれば、あらかじめノズル孔を
除いたインク流路の溝パターンを形成した基体上面の所
定位置に、非電導性の細線を固定して該細線を電鋳法に
よる金属で埋込み、かつ前記溝パターンの内面も前記金
属で被覆してノズル孔及びインク流路を形成することに
より、複雑かつ微細な構造をもつノズル孔を正確に、か
つ該ノズル孔内面を滑らかに形成でき、更に、インク流
路内面を連続した滑らかな面に形成できるため、各ノズ
ル孔より吐出されるインク微小粒の飛翔方向が一定で、
かつインクジェットヘッド内部でのインク押出しエネル
ギーの損失が少ない高品質で信頼性の高いインクジェッ
トヘッドを提供することができる。
ットヘッドの製造方法によれば、あらかじめノズル孔を
除いたインク流路の溝パターンを形成した基体上面の所
定位置に、非電導性の細線を固定して該細線を電鋳法に
よる金属で埋込み、かつ前記溝パターンの内面も前記金
属で被覆してノズル孔及びインク流路を形成することに
より、複雑かつ微細な構造をもつノズル孔を正確に、か
つ該ノズル孔内面を滑らかに形成でき、更に、インク流
路内面を連続した滑らかな面に形成できるため、各ノズ
ル孔より吐出されるインク微小粒の飛翔方向が一定で、
かつインクジェットヘッド内部でのインク押出しエネル
ギーの損失が少ない高品質で信頼性の高いインクジェッ
トヘッドを提供することができる。
第１図は本発明によって製造するインクジェットヘッド
の構造を示す一部破断斜視図、第２図は本発明に係るノ
ズル孔の形成方法を説明するため断面図、第４図は電鋳
後の基体金属板の平面図、第５図は第４図のＹ−Ｙ’断
面図、第６図は第４図のｚ −ｚ’断面図である。 図において、ｌは基体金属板、２はノズル孔、８はイン
ク流路、７は蓋板、９は細線、１１は固定治具、１８は
電鋳層である。 第１図 第２図 第３図
の構造を示す一部破断斜視図、第２図は本発明に係るノ
ズル孔の形成方法を説明するため断面図、第４図は電鋳
後の基体金属板の平面図、第５図は第４図のＹ−Ｙ’断
面図、第６図は第４図のｚ −ｚ’断面図である。 図において、ｌは基体金属板、２はノズル孔、８はイン
ク流路、７は蓋板、９は細線、１１は固定治具、１８は
電鋳層である。 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 記録用のインクを導入するインク流路と、前記インクを
吐出するために前記インク流路に連続して設けられたノ
ズル孔とを具備したインクジェットヘッドの製造方法に
あって、あらかじめ前記インクジェットヘッドの基体に
前記ノズｔｖ孔を除いた前記インク流路の溝パターンを
形成したのち、前記基体上面の前記ノズル孔を規定する
所定位置に該ノズル孔の断面と同一の断面形状を有する
非電導性の細線を固定し、該細線を電鋳法による金属で
埋込み、かつ前記溝パターンの内面も前記金属で被覆し
、しかるのち前記細線を除去することによって前記イン
ク流路に連通したノズル孔を形成するようにしたことを
特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13806583A JPS6030353A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | インクジエツトヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13806583A JPS6030353A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | インクジエツトヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6030353A true JPS6030353A (ja) | 1985-02-15 |
Family
ID=15213155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13806583A Pending JPS6030353A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | インクジエツトヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6030353A (ja) |
-
1983
- 1983-07-27 JP JP13806583A patent/JPS6030353A/ja active Pending
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