JPH04247402A - 多色表示装置の製造方法 - Google Patents
多色表示装置の製造方法Info
- Publication number
- JPH04247402A JPH04247402A JP3012018A JP1201891A JPH04247402A JP H04247402 A JPH04247402 A JP H04247402A JP 3012018 A JP3012018 A JP 3012018A JP 1201891 A JP1201891 A JP 1201891A JP H04247402 A JPH04247402 A JP H04247402A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive layer
- transparent conductive
- photosensitive resin
- layer
- exposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0035—Multiple processes, e.g. applying a further resist layer on an already in a previously step, processed pattern or textured surface
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133512—Light shielding layers, e.g. black matrix
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液晶などの表示素子を多
色化するために用いられる多色表示装置の製法に関する
。
色化するために用いられる多色表示装置の製法に関する
。
【０００２】
【従来の技術】従来のカラーフィルターを形成する方法
には種々の方法があるが、現在注目されている方法は電
着を用いる方法である。例えば、特開昭６１−２７２７
２０号公報には基板上に導電層を形成し、その上にポジ
型の感光性被覆を形成して、露光し、露光部分を除去し
たのちに、必要な色の着色層を電着により形成する方法
が開示されている。この方法はポジ型の感光性被覆であ
るために、理想的には露光部分のみが現像液に可溶化し
、残った感光性被膜について露光現像を繰り返すことが
できることになる。
には種々の方法があるが、現在注目されている方法は電
着を用いる方法である。例えば、特開昭６１−２７２７
２０号公報には基板上に導電層を形成し、その上にポジ
型の感光性被覆を形成して、露光し、露光部分を除去し
たのちに、必要な色の着色層を電着により形成する方法
が開示されている。この方法はポジ型の感光性被覆であ
るために、理想的には露光部分のみが現像液に可溶化し
、残った感光性被膜について露光現像を繰り返すことが
できることになる。
【０００３】しかしながら、現在市販されているキノン
ジアジドを用いるにはポジ型感光性被膜は第１回目の現
像時に光の当たっていない部分が現像液と電着とで変性
されてしまい、残った部分を再び露光現像処理すること
はできなくなる。したがって、この方法の場合現実には
一度露光現像したポジ型の感光性被膜は一旦全部剥離し
て、その後再びポジ型の感光性被膜を形成するという剥
離工程が必要であり、工程を複雑化する。
ジアジドを用いるにはポジ型感光性被膜は第１回目の現
像時に光の当たっていない部分が現像液と電着とで変性
されてしまい、残った部分を再び露光現像処理すること
はできなくなる。したがって、この方法の場合現実には
一度露光現像したポジ型の感光性被膜は一旦全部剥離し
て、その後再びポジ型の感光性被膜を形成するという剥
離工程が必要であり、工程を複雑化する。
【０００４】また、特開昭６１−２７９８０３号公報に
も、キノンジアジドを用いるポジ型感光性組成物を用い
た繰り返し露光、現像、電着を行なうカラーフィルター
の製造方法が示されているが、この場合もキノンジアジ
ドが熱により分解して２色目以降のポジ型感光性被膜と
しての機能が発揮できない。
も、キノンジアジドを用いるポジ型感光性組成物を用い
た繰り返し露光、現像、電着を行なうカラーフィルター
の製造方法が示されているが、この場合もキノンジアジ
ドが熱により分解して２色目以降のポジ型感光性被膜と
しての機能が発揮できない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、より簡単な
生産工程で薄膜均一性に優れたより微細な着色パターン
を有するカラーフィルターを得る多色表示装置の製法を
提供する。
生産工程で薄膜均一性に優れたより微細な着色パターン
を有するカラーフィルターを得る多色表示装置の製法を
提供する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、（ａ）
透明基板上に透明導電層を形成する工程、（ｂ）カルボ
ン酸のｔｅｒｔ−ブチルエステルまたはフェノールのｔ
ｅｒｔ−ブチルカルボナートよりなる酸に対して不安定
な反復的に存在する枝分れした基を有する重合体と露光
時に酸を生じる光重合開始剤とを含むポジ型感光性樹脂
組成物を該透明導電層上に形成する工程、（ｃ）該感光
性樹脂層上に所望のパターンを有するマスクを載置した
後、露光・現像して、透明導電層の一部を露出する工程
、（ｄ）露出した透明導電層上に電着により所望の色の
着色層を形成する工程、および （ｅ）前記（ｃ）および（ｄ）の工程を必要回数繰り返
す工程からなる多色表示装置の製造方法を提供する。
透明基板上に透明導電層を形成する工程、（ｂ）カルボ
ン酸のｔｅｒｔ−ブチルエステルまたはフェノールのｔ
ｅｒｔ−ブチルカルボナートよりなる酸に対して不安定
な反復的に存在する枝分れした基を有する重合体と露光
時に酸を生じる光重合開始剤とを含むポジ型感光性樹脂
組成物を該透明導電層上に形成する工程、（ｃ）該感光
性樹脂層上に所望のパターンを有するマスクを載置した
後、露光・現像して、透明導電層の一部を露出する工程
、（ｄ）露出した透明導電層上に電着により所望の色の
着色層を形成する工程、および （ｅ）前記（ｃ）および（ｄ）の工程を必要回数繰り返
す工程からなる多色表示装置の製造方法を提供する。
【０００７】まず、図１（Ａ）に示すように基板１上に
透明導電層を形成する。基板１は通常多色表示装置に用
いられる如何なる基板を用いてもよく、ガラス基板ある
いはプラスチック基板等が挙げられる。透明導電層には
たとえば酸化スズ，酸化インジウム，または酸化アンチ
モン等を主成分とするものが好適に用いられる。この透
明導電層は蒸着もしくはスパッタリング等の方法により
形成される。
透明導電層を形成する。基板１は通常多色表示装置に用
いられる如何なる基板を用いてもよく、ガラス基板ある
いはプラスチック基板等が挙げられる。透明導電層には
たとえば酸化スズ，酸化インジウム，または酸化アンチ
モン等を主成分とするものが好適に用いられる。この透
明導電層は蒸着もしくはスパッタリング等の方法により
形成される。
【０００８】次に図１（Ｂ）に示すように、該導電層２
上にポジ型感光性樹脂層３を形成する。このポジ型感光
性樹脂は一回塗布された感光性樹脂層で複数回露光、現
像できるものであり、具体的にはカルボン酸のｔｅｒｔ
−ブチルエステルまたはフェノールのｔｅｒｔ−ブチル
カルボナートよりなる酸に対して不安定な枝分れした基
を有する重合体と露光時に酸を生じる光重合開始剤とを
含むポジ型感光性樹脂組成物である（特公平２−２７６
６０号公報および特願平１−１３２１２６号）、この場
合、酸に対して不安定な枝分れした基を有する重合体は
、上記酸に対して不安定な枝分れした基を有する重合性
化合物の単独重合体または共重合体である。酸に対して
不安定な枝分れした基を有する重合性化合物の例として
はｐ−ｔ−ブトキシカルボニルオキシ−α−メチルスチ
レン、ｐ−ｔ−ブトキシカルボニルオキシスチレン、ｔ
−ブチル−ｐ−ビニルベンゾエート、ｔ−ブチル−ｐ−
イソプロペニルフェニルオキシアセテートおよびｔ−ブ
チルメタクリレート等が挙げられる。上記単量体と共重
合体しうる単量体の例としてはモノオレフィンおよびジ
オレフィン炭化水素類である。光照射（露光）により酸
を生じる光重合開始剤は、一般的にオニウム塩で従来よ
り知られている。
上にポジ型感光性樹脂層３を形成する。このポジ型感光
性樹脂は一回塗布された感光性樹脂層で複数回露光、現
像できるものであり、具体的にはカルボン酸のｔｅｒｔ
−ブチルエステルまたはフェノールのｔｅｒｔ−ブチル
カルボナートよりなる酸に対して不安定な枝分れした基
を有する重合体と露光時に酸を生じる光重合開始剤とを
含むポジ型感光性樹脂組成物である（特公平２−２７６
６０号公報および特願平１−１３２１２６号）、この場
合、酸に対して不安定な枝分れした基を有する重合体は
、上記酸に対して不安定な枝分れした基を有する重合性
化合物の単独重合体または共重合体である。酸に対して
不安定な枝分れした基を有する重合性化合物の例として
はｐ−ｔ−ブトキシカルボニルオキシ−α−メチルスチ
レン、ｐ−ｔ−ブトキシカルボニルオキシスチレン、ｔ
−ブチル−ｐ−ビニルベンゾエート、ｔ−ブチル−ｐ−
イソプロペニルフェニルオキシアセテートおよびｔ−ブ
チルメタクリレート等が挙げられる。上記単量体と共重
合体しうる単量体の例としてはモノオレフィンおよびジ
オレフィン炭化水素類である。光照射（露光）により酸
を生じる光重合開始剤は、一般的にオニウム塩で従来よ
り知られている。
【０００９】このポジ型感光性樹脂組成物３上に所定の
パターンを有するマスク４を載置し（図１（Ｃ））、露
光することにより露光部分の感光性樹脂組成物層を溶出
可能にし、次いで所定の溶出液により溶出することによ
りパターン化された基板を得る（図１（Ｄ））。マスク
および溶出技術は公知である。この基板は、図１（Ｄ）
に示すように着色必要箇所に導電層２が露出している形
となっている。図１（Ｅ）に示されるように導電層２に
通電して電着浴中で電着により着色層（例えば、赤（Ｒ
）５）が形成される。この方法に用いる電着浴の造膜成
分として使用される合成高分子樹脂はカチオン性、アニ
オン性または両性のいずれであってもよく、従来公知の
種々のもの、例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレ
タン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリアミド樹脂、カル
ボキシル基導入ポリブタジエン、カルボキシル基導入ア
ルキド樹脂等が挙げられる。尚、合成高分子樹脂のイオ
ン性によっては導電層２を侵すものもあり、この点を考
慮して造膜成分を選択する必要がある。電着浴その他の
詳しい内容は特開昭５９−１１４５９２号および本発明
者等による特願昭６２−４６３２１号等（特開昭６３−
２１０９０１号公報）に詳細に記載されている。この電
着塗料は光硬化性または熱硬化性のいずれであってもよ
い。
パターンを有するマスク４を載置し（図１（Ｃ））、露
光することにより露光部分の感光性樹脂組成物層を溶出
可能にし、次いで所定の溶出液により溶出することによ
りパターン化された基板を得る（図１（Ｄ））。マスク
および溶出技術は公知である。この基板は、図１（Ｄ）
に示すように着色必要箇所に導電層２が露出している形
となっている。図１（Ｅ）に示されるように導電層２に
通電して電着浴中で電着により着色層（例えば、赤（Ｒ
）５）が形成される。この方法に用いる電着浴の造膜成
分として使用される合成高分子樹脂はカチオン性、アニ
オン性または両性のいずれであってもよく、従来公知の
種々のもの、例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂、ウレ
タン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリアミド樹脂、カル
ボキシル基導入ポリブタジエン、カルボキシル基導入ア
ルキド樹脂等が挙げられる。尚、合成高分子樹脂のイオ
ン性によっては導電層２を侵すものもあり、この点を考
慮して造膜成分を選択する必要がある。電着浴その他の
詳しい内容は特開昭５９−１１４５９２号および本発明
者等による特願昭６２−４６３２１号等（特開昭６３−
２１０９０１号公報）に詳細に記載されている。この電
着塗料は光硬化性または熱硬化性のいずれであってもよ
い。
【００１０】次に図１（Ｆ）に示すように基板１上に形
成された着色層とポジ型感光性樹脂層にポジマスク４を
載置し（図１（Ｆ）、露光することにより前記と同様に
露光部分の感光性樹脂組成物層を溶出しパターン化され
た基板を得る（図１（Ｇ））。更に図１（Ｈ）に示され
るように導電層２に通電して電着浴中で電着により着色
層（例えば、緑（Ｇ））６が形成される。次に３色目は
図１（Ｆ）〜（Ｈ）のくり返しにより着色層（例えば、
青（Ｂ））７が形成される（図１（Ｉ）〜（Ｋ））。
成された着色層とポジ型感光性樹脂層にポジマスク４を
載置し（図１（Ｆ）、露光することにより前記と同様に
露光部分の感光性樹脂組成物層を溶出しパターン化され
た基板を得る（図１（Ｇ））。更に図１（Ｈ）に示され
るように導電層２に通電して電着浴中で電着により着色
層（例えば、緑（Ｇ））６が形成される。次に３色目は
図１（Ｆ）〜（Ｈ）のくり返しにより着色層（例えば、
青（Ｂ））７が形成される（図１（Ｉ）〜（Ｋ））。
【００１１】青、赤および緑以外に必要に応じてブラッ
クマトリックスを形成してもよい。その場合着色層（Ｒ
，Ｇ，Ｂ）とポジ型感光性樹脂層の残った基板に全面露
光し、更に溶出することで着色層（Ｒ，Ｇ，Ｂ）以外の
導電層２を露出させる（図１（Ｌ））。次に図１（Ｍ）
に示されるように導電層２に通電して電着浴中で電着に
より着色層（例えば黒）８が形成してもよい。またブラ
ックマトリックスは電着方法によらず形成してもよい。 本発明のカラーフィルターの製法によれば、導電層の形
状に影響されることなく任意の配列形状の着色層を有す
るカラーフィルターを製造することができる。
クマトリックスを形成してもよい。その場合着色層（Ｒ
，Ｇ，Ｂ）とポジ型感光性樹脂層の残った基板に全面露
光し、更に溶出することで着色層（Ｒ，Ｇ，Ｂ）以外の
導電層２を露出させる（図１（Ｌ））。次に図１（Ｍ）
に示されるように導電層２に通電して電着浴中で電着に
より着色層（例えば黒）８が形成してもよい。またブラ
ックマトリックスは電着方法によらず形成してもよい。 本発明のカラーフィルターの製法によれば、導電層の形
状に影響されることなく任意の配列形状の着色層を有す
るカラーフィルターを製造することができる。
【００１２】本発明方法によれば希望する着色層の配列
形状を考慮して図１（Ｃ）（Ｆ）（Ｉ）の露光に用いる
マスクを設計することが必要である。
形状を考慮して図１（Ｃ）（Ｆ）（Ｉ）の露光に用いる
マスクを設計することが必要である。
【００１３】
【実施例】本発明を実施例により更に詳細に説明する。
本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
（参考例１）（ポジ型感光性樹脂組成物の調製）２．０
ｇのアゾビスイソブチロニトリルを含む５０ｇのキシレ
ン中にｔ−ブチルメタクリレート６５．０ｇ、ブチルア
クリレート２０．０ｇおよびメチルメタクリレート２０
．０ｇを加え、窒素気流中で６０℃で１０時間加熱撹拌
を行った。冷却後反応生成物をテトラヒドロフランで希
釈し、石油エーテル／メタノールで洗浄した。重合体は
９３．０ｇ（収率９３％）および数平均分子量（ＧＰＣ
）は２２０００であった。この重合体をテトラヒドロフ
ラン中に固型物が２０重量％になる様に溶解し、トリフ
ェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネートを重
合体に対して２０重量％加えて、ポジ型感光性樹脂組成
物を得た。
ｇのアゾビスイソブチロニトリルを含む５０ｇのキシレ
ン中にｔ−ブチルメタクリレート６５．０ｇ、ブチルア
クリレート２０．０ｇおよびメチルメタクリレート２０
．０ｇを加え、窒素気流中で６０℃で１０時間加熱撹拌
を行った。冷却後反応生成物をテトラヒドロフランで希
釈し、石油エーテル／メタノールで洗浄した。重合体は
９３．０ｇ（収率９３％）および数平均分子量（ＧＰＣ
）は２２０００であった。この重合体をテトラヒドロフ
ラン中に固型物が２０重量％になる様に溶解し、トリフ
ェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネートを重
合体に対して２０重量％加えて、ポジ型感光性樹脂組成
物を得た。
【００１４】（参考例２）
（カラーフィルター形成用のカチオン性感光性電着樹脂
組成物の調製）
青 緑
赤 黒 ─────────
─────────────────────────
── カチオン性感光性電着 ９９５．
０ ９９５．０ ９９５．０
９９２．５樹脂組成物 フタロシアニンブルー ５．０
− −フタロシアニング
リーン − ５．０
−アゾ金属塩赤顔料
− −
５．０カーボンブラック
７．５────────────
────────────────────────
１０００．０ １０００．０
１０００．０ １０００．０
組成物の調製）
青 緑
赤 黒 ─────────
─────────────────────────
── カチオン性感光性電着 ９９５．
０ ９９５．０ ９９５．０
９９２．５樹脂組成物 フタロシアニンブルー ５．０
− −フタロシアニング
リーン − ５．０
−アゾ金属塩赤顔料
− −
５．０カーボンブラック
７．５────────────
────────────────────────
１０００．０ １０００．０
１０００．０ １０００．０
【００１５】Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチルメタクリレ
ート、スチレン、エチルアクリレートおよびｐ−ヒドロ
キシ安息香酸とグリシジルアクリレートの等モル反応に
よって得られた化合物をモル比で３：２：４：１、重量
平均分子量７万に共重合した有機重合体バインダー８０
重量部、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェ
ノン０．５重量部、トリメチロールプロパントリアクリ
レート１４．５重量部からなるカチオン性感光性樹脂組
成物をエチレングリコールモノブチルエーテルで揮発分
８０％に希釈し、０．５当量の酢酸で中和し純水にて揮
発分１０％に調整した。上記のように調整した電着樹脂
組成物に以下のように顔料を配合することにより３色の
カチオン電着浴液を作成した。
ート、スチレン、エチルアクリレートおよびｐ−ヒドロ
キシ安息香酸とグリシジルアクリレートの等モル反応に
よって得られた化合物をモル比で３：２：４：１、重量
平均分子量７万に共重合した有機重合体バインダー８０
重量部、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェ
ノン０．５重量部、トリメチロールプロパントリアクリ
レート１４．５重量部からなるカチオン性感光性樹脂組
成物をエチレングリコールモノブチルエーテルで揮発分
８０％に希釈し、０．５当量の酢酸で中和し純水にて揮
発分１０％に調整した。上記のように調整した電着樹脂
組成物に以下のように顔料を配合することにより３色の
カチオン電着浴液を作成した。
【００１６】（実施例１）ガラス基板１上に、従来技術
と同様にして透明導電膜２ＩＴＯ（酸化インジウム錫）
化合物を形成した。この透明導電膜２上に参考例１のポ
ジ型感光性樹脂組成物をスピナーにて塗布し、乾燥させ
て透明導電膜上にポジ型感光性樹脂組成物層３を形成し
た。 次に所定のパターンを有するマスクを介して高圧水銀ラ
ンプで露光し、更に１００℃で３分間加熱しこれをアル
カリ水溶液で現像すると露光部は塩を形成して溶出し、
透明導電層２の表面が露出した。次に前述の如く作製し
た赤色のカチオン性感光性電着樹脂組成物の電着浴中に
透明導電層２が露出された基板１を浸漬し、透明導電膜
を負電極として５ボルトの直流電圧を３０秒間印加した
。その後基板を引き上げ十分に水洗した。この際、透明
導電膜の上にあるポジ型感光性樹脂組成物の上には電着
樹脂組成物は付着しなく、水洗により洗い流されるが電
圧を印加した電極上に付着した高分子は水に不溶性とな
っているため、水洗で洗い流されない。水洗後、乾燥さ
せると透明電極上に透明性の良い着色高分子膜が形成さ
れる。
と同様にして透明導電膜２ＩＴＯ（酸化インジウム錫）
化合物を形成した。この透明導電膜２上に参考例１のポ
ジ型感光性樹脂組成物をスピナーにて塗布し、乾燥させ
て透明導電膜上にポジ型感光性樹脂組成物層３を形成し
た。 次に所定のパターンを有するマスクを介して高圧水銀ラ
ンプで露光し、更に１００℃で３分間加熱しこれをアル
カリ水溶液で現像すると露光部は塩を形成して溶出し、
透明導電層２の表面が露出した。次に前述の如く作製し
た赤色のカチオン性感光性電着樹脂組成物の電着浴中に
透明導電層２が露出された基板１を浸漬し、透明導電膜
を負電極として５ボルトの直流電圧を３０秒間印加した
。その後基板を引き上げ十分に水洗した。この際、透明
導電膜の上にあるポジ型感光性樹脂組成物の上には電着
樹脂組成物は付着しなく、水洗により洗い流されるが電
圧を印加した電極上に付着した高分子は水に不溶性とな
っているため、水洗で洗い流されない。水洗後、乾燥さ
せると透明電極上に透明性の良い着色高分子膜が形成さ
れる。
【００１７】次にこの基板にパターンをずらしたマスク
４を介して高圧水銀ランプで露光し更に１００℃で３分
間加熱し、更にアルカリ水溶液で現像すると同様に透明
導電膜２の表面が露出した。次に、前述の緑色のカチオ
ン性感光性電着樹脂組成物の電着浴中に透明導電膜２が
露出された赤色着色層が形成された基板１を浸漬し、透
明導電膜を負電極として５ボルトの直流電圧を４５秒間
印加して、その後基板を引き上げ十分に水洗した。この
際、透明導電膜の上にあるポジ型感光性樹脂組成物と赤
色着色層の上には緑色電着組成物には付着しなく、水洗
により洗い流される。水洗後、乾燥させると透明性の良
い緑色高分子膜が形成される。
４を介して高圧水銀ランプで露光し更に１００℃で３分
間加熱し、更にアルカリ水溶液で現像すると同様に透明
導電膜２の表面が露出した。次に、前述の緑色のカチオ
ン性感光性電着樹脂組成物の電着浴中に透明導電膜２が
露出された赤色着色層が形成された基板１を浸漬し、透
明導電膜を負電極として５ボルトの直流電圧を４５秒間
印加して、その後基板を引き上げ十分に水洗した。この
際、透明導電膜の上にあるポジ型感光性樹脂組成物と赤
色着色層の上には緑色電着組成物には付着しなく、水洗
により洗い流される。水洗後、乾燥させると透明性の良
い緑色高分子膜が形成される。
【００１８】更に同様にこの基板にパターンをずらした
マスク４を露光、加熱、現像し、青色電着を５ボルトの
直流電圧で３０秒間印加した。水洗乾燥後、青色高分子
膜が同様に形成される。残りのポジ型感光性樹脂組成物
と赤、緑、青の着色層の形成された基板１を全面に高圧
水銀ランプで露光し、アルカリ水溶液で現像すると着色
層を残しポジ型感光性樹脂組成物を溶出して透明導電膜
２の表面が露出した。次に、黒色電着を３ボルト２０秒
の直流電圧を印加した。水洗乾燥後、赤、緑、青の着色
層の間隙に黒色着色層が形成された。最後に、透明基板
上に形成された赤、緑、青、黒色・着色膜に全面に２０
０ｍＪ／ｃｍ２露光し、膜を硬化した。着色膜の膜厚は
２．０ミクロンであった。
マスク４を露光、加熱、現像し、青色電着を５ボルトの
直流電圧で３０秒間印加した。水洗乾燥後、青色高分子
膜が同様に形成される。残りのポジ型感光性樹脂組成物
と赤、緑、青の着色層の形成された基板１を全面に高圧
水銀ランプで露光し、アルカリ水溶液で現像すると着色
層を残しポジ型感光性樹脂組成物を溶出して透明導電膜
２の表面が露出した。次に、黒色電着を３ボルト２０秒
の直流電圧を印加した。水洗乾燥後、赤、緑、青の着色
層の間隙に黒色着色層が形成された。最後に、透明基板
上に形成された赤、緑、青、黒色・着色膜に全面に２０
０ｍＪ／ｃｍ２露光し、膜を硬化した。着色膜の膜厚は
２．０ミクロンであった。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば透明電極上に一度ポジ型
感光性樹脂層を形成するのみでカラーフィルターを形成
できるので、従来のようにレジストの剥離などの不便な
工程を全く行なうことはない。
感光性樹脂層を形成するのみでカラーフィルターを形成
できるので、従来のようにレジストの剥離などの不便な
工程を全く行なうことはない。
【００２０】また、異なる色のカラーフィルターの膜厚
も均一に形成する事が可能となり、基板上の膜厚分布に
もとづく色ムラが解消され、良質の表示画像を実現する
事ができる。更に、感光性樹脂層の現像により露出して
くる透明電極は常にフレッシュな、汚れなどのないもの
であり、電着による着色層の形成も有利に作用する。
も均一に形成する事が可能となり、基板上の膜厚分布に
もとづく色ムラが解消され、良質の表示画像を実現する
事ができる。更に、感光性樹脂層の現像により露出して
くる透明電極は常にフレッシュな、汚れなどのないもの
であり、電着による着色層の形成も有利に作用する。
【図１】 本発明の製造方法の各工程図であり、図１
（Ａ）−（Ｍ）は断面から見た図である。
（Ａ）−（Ｍ）は断面から見た図である。
【符号の説明】
図中、１：ガラス基板、２：透明導電膜、３：ポジ型レ
ジスト、４：フォトマスク、５：１色目着色層、６：２
色目着色層、７：３色目着色層、８：ブラックマトリッ
クス層。
ジスト、４：フォトマスク、５：１色目着色層、６：２
色目着色層、７：３色目着色層、８：ブラックマトリッ
クス層。
Claims (1)
- 【請求項１】 以下の工程からなる多色表示装置の製
造方法； （ａ）透明基板上に透明導電層を形成する工程、（ｂ）
カルボン酸のｔｅｒｔ−ブチルエステルまたはフェノー
ルのｔｅｒｔ−ブチルカルボナートよりなる酸に対して
不安定な枝分れした基を有する重合体と露光時に酸を生
じる光重合開始剤とを含むポジ型感光性樹脂組成物を該
透明導電層上に形成する工程、（ｃ）該感光性樹脂層上
に所望のパターンを有するマスクを載置した後、露光・
現像して、透明導電層の一部を露出する工程、（ｄ）露
出した透明導電層上に電着により所望の色の着色層を形
成する工程、および（ｅ）前記（ｃ）および（ｄ）の工
程を必要回数繰り返す工程。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1201891A JP2968349B2 (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | 多色表示装置の製造方法 |
| US07/930,514 US5663019A (en) | 1991-02-01 | 1992-01-29 | Process for producing multicolor display |
| PCT/JP1992/000079 WO1992014172A1 (en) | 1991-02-01 | 1992-01-29 | Method for manufacturing multiple color display device |
| EP92904241A EP0523245B1 (en) | 1991-02-01 | 1992-01-29 | Method for manufacturing multiple color display device |
| DE69212251T DE69212251T2 (de) | 1991-02-01 | 1992-01-29 | Herstellungsverfahren für vielfarbenanzeigegerät |
| KR1019920702406A KR100262021B1 (ko) | 1991-02-01 | 1992-10-01 | 다색표시 장치의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1201891A JP2968349B2 (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | 多色表示装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04247402A true JPH04247402A (ja) | 1992-09-03 |
| JP2968349B2 JP2968349B2 (ja) | 1999-10-25 |
Family
ID=11793861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1201891A Expired - Lifetime JP2968349B2 (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | 多色表示装置の製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5663019A (ja) |
| EP (1) | EP0523245B1 (ja) |
| JP (1) | JP2968349B2 (ja) |
| KR (1) | KR100262021B1 (ja) |
| DE (1) | DE69212251T2 (ja) |
| WO (1) | WO1992014172A1 (ja) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5439582A (en) * | 1991-10-02 | 1995-08-08 | Nippon Paint Co., Ltd. | Process for producing multicolor display |
| JP3302165B2 (ja) * | 1994-03-28 | 2002-07-15 | シャープ株式会社 | カラーフィルターの欠陥修正方法 |
| JPH08129103A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-21 | Shinto Paint Co Ltd | カラーフィルター製造用金網状電極及び同電極を用いたカラーフィルターの製造方法 |
| KR100396934B1 (ko) * | 1995-11-21 | 2003-12-31 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 안료물질을기판에부착시키는방법,컬러필터의제조방법및전기분해장치및그컬러필터를탑재한액정표시장치 |
| JP3779103B2 (ja) * | 1999-09-06 | 2006-05-24 | シャープ株式会社 | 反射型カラー液晶表示装置 |
| EP1271243A3 (en) | 2001-06-19 | 2003-10-15 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Image forming material, color filter master plate, and color filter |
| KR100881860B1 (ko) * | 2007-01-17 | 2009-02-06 | 제일모직주식회사 | 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 이미지센서컬러필터 |
| US20090073099A1 (en) * | 2007-09-14 | 2009-03-19 | Tpo Displays Corp. | Display comprising a plurality of pixels and a device comprising such a display |
| US20090155717A1 (en) * | 2007-12-18 | 2009-06-18 | Cheil Industries Inc. | Photosensitive Resin Composition with Good Stripper-Resistance for Color Filter and Color Filter Formed Using the Same |
| CN101727003B (zh) * | 2008-10-24 | 2012-07-18 | 第一毛织株式会社 | 用于彩色滤光片的光敏树脂组合物以及使用其制备的彩色滤光片 |
| KR20110077881A (ko) * | 2009-12-30 | 2011-07-07 | 제일모직주식회사 | 투명성 및 난연성이 우수한 인계 아크릴계 공중합체 수지 및 그 조성물 |
| KR101293787B1 (ko) | 2010-07-28 | 2013-08-06 | 제일모직주식회사 | 난연성 및 내열성이 우수한 투명 열가소성 수지 조성물 |
| CN102436142B (zh) | 2010-09-29 | 2013-11-06 | 第一毛织株式会社 | 黑色光敏树脂组合物以及使用其的光阻层 |
| KR101351614B1 (ko) | 2010-11-05 | 2014-02-17 | 제일모직주식회사 | 난연 내스크래치성 폴리카보네이트 수지 조성물 |
| KR101400193B1 (ko) | 2010-12-10 | 2014-05-28 | 제일모직 주식회사 | 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
| KR101374360B1 (ko) | 2010-12-14 | 2014-03-18 | 제일모직주식회사 | 난연 내스크래치성 폴리카보네이트 수지 조성물 |
| KR20130002789A (ko) | 2011-06-29 | 2013-01-08 | 제일모직주식회사 | 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
| KR101400185B1 (ko) | 2011-11-29 | 2014-06-19 | 제일모직 주식회사 | 컬러 필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용하여 제조한 컬러 필터 |
| KR101344786B1 (ko) | 2011-12-02 | 2013-12-26 | 제일모직주식회사 | 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
| JP6174331B2 (ja) * | 2012-09-07 | 2017-08-02 | 東京応化工業株式会社 | パターン形成方法、構造体、櫛型電極の製造方法、及び二次電池 |
| KR101674990B1 (ko) | 2012-12-07 | 2016-11-10 | 제일모직 주식회사 | 컬러필터용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 컬러필터 |
| KR20140076320A (ko) | 2012-12-12 | 2014-06-20 | 제일모직주식회사 | 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 블랙 스페이서 |
| KR20140083620A (ko) | 2012-12-26 | 2014-07-04 | 제일모직주식회사 | 차광층용 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 차광층 |
| JP6150587B2 (ja) | 2013-03-29 | 2017-06-21 | 東京応化工業株式会社 | パターン形成方法、構造体、櫛型電極の製造方法、及び二次電池 |
| KR101656000B1 (ko) | 2014-02-24 | 2016-09-08 | 제일모직 주식회사 | 감광성 수지 조성물, 이를 이용한 차광층 및 컬러필터 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4491628A (en) * | 1982-08-23 | 1985-01-01 | International Business Machines Corporation | Positive- and negative-working resist compositions with acid generating photoinitiator and polymer with acid labile groups pendant from polymer backbone |
| JPS63210901A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-01 | Nippon Paint Co Ltd | カラ−表示装置の製法 |
| JPS63249106A (ja) * | 1987-04-06 | 1988-10-17 | Oki Electric Ind Co Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
| JP2669826B2 (ja) * | 1987-07-17 | 1997-10-29 | 日本ペイント株式会社 | 着色表示装置の製造方法 |
| JPS6450023A (en) * | 1987-08-21 | 1989-02-27 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Production of color filter |
| JPH01198722A (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-10 | Toshiba Corp | 液晶表示器用カラーフィルタの製造方法 |
| JPH02309358A (ja) * | 1989-05-24 | 1990-12-25 | Nippon Paint Co Ltd | ポジ型感光性樹脂組成物 |
| JPH04104102A (ja) * | 1990-08-23 | 1992-04-06 | Nippon Paint Co Ltd | 多色表示装置の製法 |
| US5214542A (en) * | 1991-03-08 | 1993-05-25 | Nippon Oil Co., Ltd. | Method for producing color filter |
-
1991
- 1991-02-01 JP JP1201891A patent/JP2968349B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-01-29 DE DE69212251T patent/DE69212251T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1992-01-29 US US07/930,514 patent/US5663019A/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-01-29 WO PCT/JP1992/000079 patent/WO1992014172A1/ja not_active Ceased
- 1992-01-29 EP EP92904241A patent/EP0523245B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-10-01 KR KR1019920702406A patent/KR100262021B1/ko not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2968349B2 (ja) | 1999-10-25 |
| KR100262021B1 (ko) | 2000-07-15 |
| WO1992014172A1 (en) | 1992-08-20 |
| DE69212251D1 (de) | 1996-08-22 |
| US5663019A (en) | 1997-09-02 |
| EP0523245A4 (en) | 1993-02-24 |
| EP0523245B1 (en) | 1996-07-17 |
| EP0523245A1 (en) | 1993-01-20 |
| DE69212251T2 (de) | 1997-01-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2968349B2 (ja) | 多色表示装置の製造方法 | |
| KR0131085B1 (ko) | 칼라디스플레이의 제조 방법 | |
| JPH07117662B2 (ja) | 微細な透明導電性回路パタ−ン上およびその間隙に機能性薄膜を形成する方法 | |
| JP3092869B2 (ja) | 多色表示装置の製造方法 | |
| JPS63210901A (ja) | カラ−表示装置の製法 | |
| US5641595A (en) | Manufacture of color filters by incremental exposure method | |
| US5631111A (en) | Method for producing color filters | |
| JPH04104102A (ja) | 多色表示装置の製法 | |
| JPS63266482A (ja) | 多色表示装置の製造方法 | |
| JPH0687084B2 (ja) | カラーフイルタの製造方法 | |
| JP3351850B2 (ja) | パターン形成方法及びこれに用いる粘着性電着塗料組成物 | |
| JP2852097B2 (ja) | 着色表示装置の製造方法 | |
| JPS59155830A (ja) | 液晶カラ−表示用カラ−パネル板の製造方法 | |
| JP4373520B2 (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPH02239204A (ja) | カラーフィルター及びその製造方法 | |
| JPH0588016A (ja) | カラーフイルターの製造方法 | |
| JPH1048414A (ja) | カラーフィルター用着色パターンの形成方法 | |
| JPH05273407A (ja) | 液晶表示素子用カラ−フィルタの遮光層の作製法 | |
| JPH09302500A (ja) | アニオン性電着塗料によるカラーフィルタ製造方法 | |
| TW402694B (en) | Color filter black matrix and method for producing the same | |
| JPH02827A (ja) | 遮光性絶縁膜によって分離された透明導電性パターンを有する透明基板および表面着色体の製造方法 | |
| JPH08220339A (ja) | カラ−フィルタ−、それを使用したカラ−液晶表示装置およびその製造法 | |
| JPH0843619A (ja) | カラーフィルターの製造方法 | |
| JPH05303012A (ja) | 液晶表示素子用カラ−フィルタの遮光層の作製法 | |
| JPH07198934A (ja) | カラーフィルタの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070820 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080820 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080820 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090820 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090820 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100820 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110820 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110820 Year of fee payment: 12 |