JPS6037968B2 - 薄膜形磁気ヘツド - Google Patents
薄膜形磁気ヘツドInfo
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- JPS6037968B2 JPS6037968B2 JP3344781A JP3344781A JPS6037968B2 JP S6037968 B2 JPS6037968 B2 JP S6037968B2 JP 3344781 A JP3344781 A JP 3344781A JP 3344781 A JP3344781 A JP 3344781A JP S6037968 B2 JPS6037968 B2 JP S6037968B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- gap
- substrate
- magnetic head
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- Expired
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/1871—Shaping or contouring of the transducing or guiding surface
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高密度信号の記録再生に適した薄膜形磁気ヘッ
ドに関するものである。
ドに関するものである。
従来、薄膜形磁気へッド‘ま第１図に示すように基板１
上に黍着またはスパッタ等の手法で形成した磁性膜２ａ
、磁性膜２ａとの間に導体３およびギャップ材４等を介
在した磁性膜２ｂおよび保護膜５とで構成され、磁気回
路のギャップ材側が媒体と対向するようになっている。
上に黍着またはスパッタ等の手法で形成した磁性膜２ａ
、磁性膜２ａとの間に導体３およびギャップ材４等を介
在した磁性膜２ｂおよび保護膜５とで構成され、磁気回
路のギャップ材側が媒体と対向するようになっている。
媒体と対向する部分の磁性膜２ａの厚さＰａ、磁性膜２
ｂの厚さＰｂは、被記録信号の再生に影響することが知
られており、再生すべき波長に比して厚さＰａ，Ｐｂが
薄い場合には再生信号分解能が向上し、かつピークシフ
トも少なくできる。しかし、厚さＰａ，Ｐｂが薄くなる
と磁気ヘッドとしての効率も低下することから、信号波
長が短くなる高密度記録再生用ヘッドでは、第２図に示
すように媒体に対向する磁性膜部分のみを薄くして、ヘ
ッドの効率を下げずに再生分解能の向上を図り、また厚
さＰａ，Ｐｂを不等として厚さＰａ，Ｐｂによる再生特
性の変動を少なくしていた。しかし、これらの方法は何
れも薄膜形磁気ヘッドの製造工程数を増加させるととも
に、高度な加工技術を要求する等簸点があった。
ｂの厚さＰｂは、被記録信号の再生に影響することが知
られており、再生すべき波長に比して厚さＰａ，Ｐｂが
薄い場合には再生信号分解能が向上し、かつピークシフ
トも少なくできる。しかし、厚さＰａ，Ｐｂが薄くなる
と磁気ヘッドとしての効率も低下することから、信号波
長が短くなる高密度記録再生用ヘッドでは、第２図に示
すように媒体に対向する磁性膜部分のみを薄くして、ヘ
ッドの効率を下げずに再生分解能の向上を図り、また厚
さＰａ，Ｐｂを不等として厚さＰａ，Ｐｂによる再生特
性の変動を少なくしていた。しかし、これらの方法は何
れも薄膜形磁気ヘッドの製造工程数を増加させるととも
に、高度な加工技術を要求する等簸点があった。
また、媒体に対向する磁性膜部分のみを薄くしたとして
も、磁気ヘッドの効率の低下がまったくなくなるわけで
はないから、従来の手法では高密度記録再生に適した薄
膜形磁気ヘッドを得ることは困難であった。本発明は高
密度記録再生に適した薄膜形磁気ヘッドを得るため、媒
体対向面を研摩する際の異種材質による研摩段差特性を
利用して、磁性膜厚の再生特性への影響を除去したもの
であり、以下にその詳細を示す。
も、磁気ヘッドの効率の低下がまったくなくなるわけで
はないから、従来の手法では高密度記録再生に適した薄
膜形磁気ヘッドを得ることは困難であった。本発明は高
密度記録再生に適した薄膜形磁気ヘッドを得るため、媒
体対向面を研摩する際の異種材質による研摩段差特性を
利用して、磁性膜厚の再生特性への影響を除去したもの
であり、以下にその詳細を示す。
薄膜形磁気ヘッドにおいて、媒体に対向する部分の磁性
膜厚（通常、磁極面長と呼ばれる。
膜厚（通常、磁極面長と呼ばれる。
以下この名称を用いる。）による再生特性への影響は、
第３図に示す磁極端部６で磁気ポテンシャルＵｍが急変
することにより生じる。磁気ポテンシャルの急変をなく
し、再生特性に対する磁極面長の影響を少なくするには
、オーディオ用磁気ヘッドのコンタ効果対策で知られて
いるように、媒体と磁極面との距離を、ギャップ中心部
より磁極端部６に向って漸増するようにすればよい。
第３図に示す磁極端部６で磁気ポテンシャルＵｍが急変
することにより生じる。磁気ポテンシャルの急変をなく
し、再生特性に対する磁極面長の影響を少なくするには
、オーディオ用磁気ヘッドのコンタ効果対策で知られて
いるように、媒体と磁極面との距離を、ギャップ中心部
より磁極端部６に向って漸増するようにすればよい。
しかし、オーディオ用磁気ヘッドではその磁極面長が数
側もあるので、磁極面がハィパボリック曲線状を呈する
ように、媒体と磁極面間隔が、ギャップ位置より磁極端
部に向って漸増する形状に、機械加工することが可能で
あるが、磁極面長が通常数仏ｍ程度である薄膜形磁気ヘ
ッドでは、このような加工を行うことが困難である。一
方、薄膜形磁気ヘッドでは、通常、磁気ヘッド本体が基
板上に形成され、かつ磁気ヘッドを保護するための保護
膜も形成されている。これら基板、導体膜、磁性膜、ギ
ャップ材および保護膜は、何れも異なる材質からなって
いる。一般に異種材料を同時に研摩すると、導体（例え
ばＣｕ，Ａと等）に用いる金属材料は、基板材、ギャッ
プ材および保護膜材として多く用いられるＳｉＱまたは
セラミックス等に比べて多く削られ、材質間に段差が生
じる。この現象を利用して、Ｎｉ−Ｆｅ合金等で構成さ
れた磁性膜２ａ，２ｂの両側に、例えば非磁性層７とし
てＡ夕，Ｃｒ等の金属材料を配すれば、ヘッド面を研摩
したとき磁極端部は非磁性層の研摩段差のため研摩ダレ
を生じ、第３図に示すようなポテンシャルの急変をもた
らす形状ではなくなる。さらにＡそ等の非磁性層７の外
側にＳｉ０２等の雛研摩材からなる保護膜５を配置し、
かつギャップ材４として同様な耐研摩性を有する材質を
選択すれば、研摩後の全体形状は例えば平面研摩の場合
、基板１、保護膜５およびギャップ材４で決定される平
面から、Ａ〆等の非磁性層７が凹状となる。
側もあるので、磁極面がハィパボリック曲線状を呈する
ように、媒体と磁極面間隔が、ギャップ位置より磁極端
部に向って漸増する形状に、機械加工することが可能で
あるが、磁極面長が通常数仏ｍ程度である薄膜形磁気ヘ
ッドでは、このような加工を行うことが困難である。一
方、薄膜形磁気ヘッドでは、通常、磁気ヘッド本体が基
板上に形成され、かつ磁気ヘッドを保護するための保護
膜も形成されている。これら基板、導体膜、磁性膜、ギ
ャップ材および保護膜は、何れも異なる材質からなって
いる。一般に異種材料を同時に研摩すると、導体（例え
ばＣｕ，Ａと等）に用いる金属材料は、基板材、ギャッ
プ材および保護膜材として多く用いられるＳｉＱまたは
セラミックス等に比べて多く削られ、材質間に段差が生
じる。この現象を利用して、Ｎｉ−Ｆｅ合金等で構成さ
れた磁性膜２ａ，２ｂの両側に、例えば非磁性層７とし
てＡ夕，Ｃｒ等の金属材料を配すれば、ヘッド面を研摩
したとき磁極端部は非磁性層の研摩段差のため研摩ダレ
を生じ、第３図に示すようなポテンシャルの急変をもた
らす形状ではなくなる。さらにＡそ等の非磁性層７の外
側にＳｉ０２等の雛研摩材からなる保護膜５を配置し、
かつギャップ材４として同様な耐研摩性を有する材質を
選択すれば、研摩後の全体形状は例えば平面研摩の場合
、基板１、保護膜５およびギャップ材４で決定される平
面から、Ａ〆等の非磁性層７が凹状となる。
Ｎｉ−Ｆｅ合金等の磁極部のギャップ部分では、ギャッ
プ材４の材質に拘束されるためほとんど凹みがなく、磁
極端部では非磁性層７の段差に拘束されるため、凹みが
大きくなる形状となる。
プ材４の材質に拘束されるためほとんど凹みがなく、磁
極端部では非磁性層７の段差に拘束されるため、凹みが
大きくなる形状となる。
第４図において、Ａは研摩仕上り面を示している。この
とき非磁性層７と磁性膜２ａ，２ｂ、および基板１と保
護膜５は互いに拘束しあうため、非磁性層７の厚さ夕が
小さいと非磁性層７の凹みは少な０〈なるが、厚さ〆が
磁極面長Ｐａ，Ｐｂの１．３音以上あれば、磁極端の凹
み量はほとんど変わらない。このように、磁極端部での
媒体面との距離が大きくなっているため、磁極端におけ
る磁気ポテンシャルの急変による再生特性の変化が少な
くなるから、磁性膜厚を大きくして効率の高いヘッドを
構成することができ、かつ磁性膜厚の制御を高精度に行
う必要もないので、加工が容易となる。以上説明したよ
うに、本発明により薄膜形磁気ヘッド磁気回路の記録再
生ギャップを構成する磁性膜のギャップ対向面とは反対
側の面に接して、磁性膜よりも硬度の低い非磁性層を配
することにより、研摩時に研摩ダレが生じるので、再生
特性における磁極端の影響が少なくかつ効率の高い薄膜
形磁気ヘッドを容易に得ることができる。
とき非磁性層７と磁性膜２ａ，２ｂ、および基板１と保
護膜５は互いに拘束しあうため、非磁性層７の厚さ夕が
小さいと非磁性層７の凹みは少な０〈なるが、厚さ〆が
磁極面長Ｐａ，Ｐｂの１．３音以上あれば、磁極端の凹
み量はほとんど変わらない。このように、磁極端部での
媒体面との距離が大きくなっているため、磁極端におけ
る磁気ポテンシャルの急変による再生特性の変化が少な
くなるから、磁性膜厚を大きくして効率の高いヘッドを
構成することができ、かつ磁性膜厚の制御を高精度に行
う必要もないので、加工が容易となる。以上説明したよ
うに、本発明により薄膜形磁気ヘッド磁気回路の記録再
生ギャップを構成する磁性膜のギャップ対向面とは反対
側の面に接して、磁性膜よりも硬度の低い非磁性層を配
することにより、研摩時に研摩ダレが生じるので、再生
特性における磁極端の影響が少なくかつ効率の高い薄膜
形磁気ヘッドを容易に得ることができる。
第１図は従来の薄膜形磁気ヘッドの断面図、第２図は従
来の薄膜形磁気ヘッドの媒体対向部分の磁性膜を薄くし
たものの断面図、第３図は磁極面長と磁気ポテンシャル
の関係を示す図、第４図は本発明を適用した場合の薄膜
形磁気ヘッドの媒体対向部分の拡大断面図である。 １・・・基板、２ａ，２ｂ・・・磁性膜、３・・・コイ
ル導体、４・・・ギャップ材、５・・・保護膜、６・・
・磁極端、７・・・非磁性層、Ｚ・・・非磁性層の厚さ
、Ａ・・・研摩仕上り面、Ｐａ，Ｐｂ・・・磁極面長、
２ｇ・・・ギャップ長、Ｕｍ…磁気ポテンシャルｏ兼１
図 繁２図 兼３図 法４図
来の薄膜形磁気ヘッドの媒体対向部分の磁性膜を薄くし
たものの断面図、第３図は磁極面長と磁気ポテンシャル
の関係を示す図、第４図は本発明を適用した場合の薄膜
形磁気ヘッドの媒体対向部分の拡大断面図である。 １・・・基板、２ａ，２ｂ・・・磁性膜、３・・・コイ
ル導体、４・・・ギャップ材、５・・・保護膜、６・・
・磁極端、７・・・非磁性層、Ｚ・・・非磁性層の厚さ
、Ａ・・・研摩仕上り面、Ｐａ，Ｐｂ・・・磁極面長、
２ｇ・・・ギャップ長、Ｕｍ…磁気ポテンシャルｏ兼１
図 繁２図 兼３図 法４図
Claims (1)
- １ 磁性膜で構成された磁気回路を該磁性膜より高い硬
度を有する材質からなる基板面上に形成し該基板の端部
における磁性膜の部分を磁性膜より高い硬度を有するギ
ヤツプ材を狭んで対向させて記録再生用ギヤツプを形成
してなる薄膜形磁気ヘツドにおいて、少くとも記録再生
用ギヤツプ部における対向する両磁性膜の外側に磁性膜
より低い硬度を有しかつギヤツプ部における磁性膜の厚
さの１．５倍以上の厚さを有する非磁性部を設けるとと
もにさらに磁性膜より高い硬度を有する材質からなる保
護膜を前記基板と反対側の非磁性部の外側に設け、前記
記録再生用ギヤツプの部分を基板および保護膜を含めて
同一面に研摩して磁極面を形成するとともに両非磁性部
に研摩だれを生ぜしめたことを特徴とする薄膜形磁気ヘ
ツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3344781A JPS6037968B2 (ja) | 1981-03-09 | 1981-03-09 | 薄膜形磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3344781A JPS6037968B2 (ja) | 1981-03-09 | 1981-03-09 | 薄膜形磁気ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57147118A JPS57147118A (en) | 1982-09-10 |
| JPS6037968B2 true JPS6037968B2 (ja) | 1985-08-29 |
Family
ID=12386783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3344781A Expired JPS6037968B2 (ja) | 1981-03-09 | 1981-03-09 | 薄膜形磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6037968B2 (ja) |
-
1981
- 1981-03-09 JP JP3344781A patent/JPS6037968B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57147118A (en) | 1982-09-10 |
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