JPS6039000B2 - 電解酸化排水処理法 - Google Patents
電解酸化排水処理法Info
- Publication number
- JPS6039000B2 JPS6039000B2 JP55144646A JP14464680A JPS6039000B2 JP S6039000 B2 JPS6039000 B2 JP S6039000B2 JP 55144646 A JP55144646 A JP 55144646A JP 14464680 A JP14464680 A JP 14464680A JP S6039000 B2 JPS6039000 B2 JP S6039000B2
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- JP
- Japan
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- liquid
- water
- washing
- washing tower
- discharged
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- Water Treatment By Electricity Or Magnetism (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電解酸化排水処理法に関するもので、排水中に
含まれる亜硫酸塩又はチオ硫酸塩の除去に関するもので
あり、詳しくは排水中に含まれる食塩を直流電気分解す
る事によって生ずる次亜塩素酸塩によって亜硫酸塩又は
チオ硫酸塩を酸化分解除去するものである。
含まれる亜硫酸塩又はチオ硫酸塩の除去に関するもので
あり、詳しくは排水中に含まれる食塩を直流電気分解す
る事によって生ずる次亜塩素酸塩によって亜硫酸塩又は
チオ硫酸塩を酸化分解除去するものである。
従来、空気中の徴量悪臭ガスを含有した原臭を湿式悪臭
除去装置（以下脱臭装置と言う）で脱臭する場合、弱ア
ルカリ性の次亜塩素酸ソーダ及びオゾンを溶解せせしめ
た第一洗浄塔及び亜硫酸塩又はチオ硫酸塩を含有せしめ
た第二洗浄塔からなる二段洗浄法による脱臭法が一般に
用いられている。
除去装置（以下脱臭装置と言う）で脱臭する場合、弱ア
ルカリ性の次亜塩素酸ソーダ及びオゾンを溶解せせしめ
た第一洗浄塔及び亜硫酸塩又はチオ硫酸塩を含有せしめ
た第二洗浄塔からなる二段洗浄法による脱臭法が一般に
用いられている。
この脱臭装置から排出される排水には、一般に亜硫酸塩
又はチオ硫酸塩が含まれ、これらの化学物質の含有によ
って化学的酸素要求量（以下ＣＯＤと言う）を高める傾
向にある。すなわち、第１図は従来の装置である脱臭装
置の操作と、その操作によって脱臭装置から排出される
排液の性状について説明するもので、この第１図におい
て、悪臭ガスを含有した原臭１がブロアー２によって第
一洗浄塔３の下部から導入される。
又はチオ硫酸塩が含まれ、これらの化学物質の含有によ
って化学的酸素要求量（以下ＣＯＤと言う）を高める傾
向にある。すなわち、第１図は従来の装置である脱臭装
置の操作と、その操作によって脱臭装置から排出される
排液の性状について説明するもので、この第１図におい
て、悪臭ガスを含有した原臭１がブロアー２によって第
一洗浄塔３の下部から導入される。
第一塔底液８が液循環ポンプ６によってスプレーノズル
１４から散布される。第一洗浄塔３の内部には気液接触
効率をより効果的に行なわせしめるためのラシヒリング
又はネットリングテラレット等の充填物４を装填してあ
る。第一洗浄塔３で処理されたガスはデミスター５を通
り中間処理臭となって第二洗浄塔１３の下部から導入さ
れる。第二塔底液１１は液循環ポンプ２６によってスプ
レーノズル１４から散布される。第二洗浄塔１３の内部
には充填物４を装填し気液接触効率の向上をはかってい
る。かくして処理されたガスはデミスター５を通って清
浄な処理臭２５となって大気に放散される。第一塔底液
８は、原臭１中の悪臭ガスを酸化分解除去するために、
ＰＨ＝７〜１０の弱アルカリ性下で次亜塩素酸ソーダを
１００〜５００ｐｐｍ程度含有せしめ、かつ悪臭ガスの
酸化分解をより効果的に行なわせしめるため、オゾナイ
ザー７によって生成せしめたオゾン化空気を第一繋底液
８に曝気し、悪臭物質を確実に除去する。
１４から散布される。第一洗浄塔３の内部には気液接触
効率をより効果的に行なわせしめるためのラシヒリング
又はネットリングテラレット等の充填物４を装填してあ
る。第一洗浄塔３で処理されたガスはデミスター５を通
り中間処理臭となって第二洗浄塔１３の下部から導入さ
れる。第二塔底液１１は液循環ポンプ２６によってスプ
レーノズル１４から散布される。第二洗浄塔１３の内部
には充填物４を装填し気液接触効率の向上をはかってい
る。かくして処理されたガスはデミスター５を通って清
浄な処理臭２５となって大気に放散される。第一塔底液
８は、原臭１中の悪臭ガスを酸化分解除去するために、
ＰＨ＝７〜１０の弱アルカリ性下で次亜塩素酸ソーダを
１００〜５００ｐｐｍ程度含有せしめ、かつ悪臭ガスの
酸化分解をより効果的に行なわせしめるため、オゾナイ
ザー７によって生成せしめたオゾン化空気を第一繋底液
８に曝気し、悪臭物質を確実に除去する。
この場合、第一蕗底液８には悪臭ガスの分解生成物が蓄
積されるので、これを防ぐために次亜塩素酸溶液の新液
９を補給し、第一塔底液８の次亜塩素酸ソーダを１００
〜５０叩ｐｍに保つと同時に、原臭ガス対応で２〜１０
％の新液を補給する。
積されるので、これを防ぐために次亜塩素酸溶液の新液
９を補給し、第一塔底液８の次亜塩素酸ソーダを１００
〜５０叩ｐｍに保つと同時に、原臭ガス対応で２〜１０
％の新液を補給する。
一方ここに補給した原臭ガス対応２〜１０％の液量は第
一塔底緋液１５として擬液浪合槽１７に導入される。ま
た第二洗浄塔１３の第二塔底液１１にはｐＨ＝７〜８の
弱アルカリ性下で、亜硫酸ソーダ５００〜２０００ｐｐ
ｍ、チオ硫酸ソーダ５００〜１５０のｐｍを含む液性に
する事が脱臭性能向上に有効である。亜硫酸ソーダは酸
性亜硫酸ソーダの形で主にアルデヒド類の悪臭ガスの除
去に、またチオ硫酸ソーダは亜硫酸ソーダの空気酸化を
抑制すると同時に中間処理ガス１１中に含まれる未反応
のオゾン及び次鮭塩素酸塩の無水化物であるｃ１２０等
を還元除去する作用を持つ。かくして第二搭底液１１に
は分解生成物が蓄積されるので、これを防ぐために第二
塔底新液１２を補給する。補給する液量は原臭ガス対応
で２〜１０％である。そして補給した液量と同量の第二
※底液１１が第二塔底排液１６として排液混合槽１７に
導入される。清水２４によってこれを希釈し非常に低い
薬品濃度の放流水３０として系外に放流する。次にこの
従来法に言う脱臭装置から排出される混合排液１９の性
丈について説明する。
一塔底緋液１５として擬液浪合槽１７に導入される。ま
た第二洗浄塔１３の第二塔底液１１にはｐＨ＝７〜８の
弱アルカリ性下で、亜硫酸ソーダ５００〜２０００ｐｐ
ｍ、チオ硫酸ソーダ５００〜１５０のｐｍを含む液性に
する事が脱臭性能向上に有効である。亜硫酸ソーダは酸
性亜硫酸ソーダの形で主にアルデヒド類の悪臭ガスの除
去に、またチオ硫酸ソーダは亜硫酸ソーダの空気酸化を
抑制すると同時に中間処理ガス１１中に含まれる未反応
のオゾン及び次鮭塩素酸塩の無水化物であるｃ１２０等
を還元除去する作用を持つ。かくして第二搭底液１１に
は分解生成物が蓄積されるので、これを防ぐために第二
塔底新液１２を補給する。補給する液量は原臭ガス対応
で２〜１０％である。そして補給した液量と同量の第二
※底液１１が第二塔底排液１６として排液混合槽１７に
導入される。清水２４によってこれを希釈し非常に低い
薬品濃度の放流水３０として系外に放流する。次にこの
従来法に言う脱臭装置から排出される混合排液１９の性
丈について説明する。
すなわち、第一塔底排液１５は水量が原臭１の２〜１０
％（ｗｔ／Ｗ）であり、次亜塩素酸ソーダ（以下Ｎａｃ
ｌｏと記す）を１００〜５００ｐｐｍ含有したものであ
る。
％（ｗｔ／Ｗ）であり、次亜塩素酸ソーダ（以下Ｎａｃ
ｌｏと記す）を１００〜５００ｐｐｍ含有したものであ
る。
一方第二塔底擬液１６は水量が原臭１の２〜１０％（Ｍ
／ｗｔ）であり、その液性は弱アルカリ性であって、亜
流酸ソ−ダ（以下Ｎａ２Ｓ０３と託す）を５００〜ｌｏ
ｏｏｐｐｍ，チオ硫酸ソーダ（以下Ｎａ２Ｓ２０３と記
す）を５００〜１５００ｐｐｍ含有した排水である。混
合９Ｅ液１９中のＣＯＤ（Ｍｎ）成分となる薬品はＮａ
２Ｓ０３及びＮａ２Ｓ２０３でありこれら化学物質のＣ
ＯＤ（Ｍｎ）理論値は硫酸根（ＳＯ‐２′４）まで酸化
されるとして表１のようになる。しかし、ＣＯＤ（Ｍｎ
）の実測ＣＯＤ（Ｍｎ）値に関しては、Ｎａ２Ｓ２０３
の場合、理論ＣＯＤ（Ｍｎ）値の０．８倍、Ｎａ２Ｓ０
３Ｎ場合は０．針音の値となる。表１一方、Ｎａ２Ｓの
３及びＮａ交０３は第一塔底９Ｅ液１５中のＮａｃｌｏ
と反応する（Ｎａｃｌｏ＋Ｎａ２Ｓ０３→Ｎａ２Ｓ０４
十Ｎａｃｌ）反応モル比はＮａｃｌｏ：Ｎａ２Ｓ０３＝
１：１であためＮａｃｌｏ５００ｐｐｍ含有する緋水に
よってＮａ２Ｓ０３が８４５ｐｐｍ酸化される。
／ｗｔ）であり、その液性は弱アルカリ性であって、亜
流酸ソ−ダ（以下Ｎａ２Ｓ０３と託す）を５００〜ｌｏ
ｏｏｐｐｍ，チオ硫酸ソーダ（以下Ｎａ２Ｓ２０３と記
す）を５００〜１５００ｐｐｍ含有した排水である。混
合９Ｅ液１９中のＣＯＤ（Ｍｎ）成分となる薬品はＮａ
２Ｓ０３及びＮａ２Ｓ２０３でありこれら化学物質のＣ
ＯＤ（Ｍｎ）理論値は硫酸根（ＳＯ‐２′４）まで酸化
されるとして表１のようになる。しかし、ＣＯＤ（Ｍｎ
）の実測ＣＯＤ（Ｍｎ）値に関しては、Ｎａ２Ｓ２０３
の場合、理論ＣＯＤ（Ｍｎ）値の０．８倍、Ｎａ２Ｓ０
３Ｎ場合は０．針音の値となる。表１一方、Ｎａ２Ｓの
３及びＮａ交０３は第一塔底９Ｅ液１５中のＮａｃｌｏ
と反応する（Ｎａｃｌｏ＋Ｎａ２Ｓ０３→Ｎａ２Ｓ０４
十Ｎａｃｌ）反応モル比はＮａｃｌｏ：Ｎａ２Ｓ０３＝
１：１であためＮａｃｌｏ５００ｐｐｍ含有する緋水に
よってＮａ２Ｓ０３が８４５ｐｐｍ酸化される。
一例としてＮａｃｌｏ＝５００ｐｐｍ含有第一塔底液１
５とＮａ２Ｓ２０３＝１５０岬ｐｍ、Ｎａ２Ｓ０３＝１
００＆ｐｍ含有する第二塔底液１６が等量混合した場合
の理論ＣＯＤ（Ｍｎ）値と実測ＣＯＤ（Ｍｎ）値は各々
１１９５ｐｐｍ及び９５６ｐｐｍである。このように非
常に高いＣＯＤ値の混合排水１９は、そのまま系外に廃
棄する事が出来ないので、清水２４によって希釈し放流
しなければならなかつた。
５とＮａ２Ｓ２０３＝１５０岬ｐｍ、Ｎａ２Ｓ０３＝１
００＆ｐｍ含有する第二塔底液１６が等量混合した場合
の理論ＣＯＤ（Ｍｎ）値と実測ＣＯＤ（Ｍｎ）値は各々
１１９５ｐｐｍ及び９５６ｐｐｍである。このように非
常に高いＣＯＤ値の混合排水１９は、そのまま系外に廃
棄する事が出来ないので、清水２４によって希釈し放流
しなければならなかつた。
希釈に要する清水２４の水量は式１に示すように、放流
水のＣＯＤ値を２仮ｐｍ以下とした場合、清水２４のＣ
ＯＤ値が３ｐｐｍ含有されているとして、混合排水１９
量の５７．４倍以上必要となり膨大な潜水を必要とする
。
水のＣＯＤ値を２仮ｐｍ以下とした場合、清水２４のＣ
ＯＤ値が３ｐｐｍ含有されているとして、混合排水１９
量の５７．４倍以上必要となり膨大な潜水を必要とする
。
（９５６×１）十（３××）ミ２０
１十× −
ｘＺ５７．４ “”“（１
）ここに、ｘは放流水と稀釈用清水との重量比である。
）ここに、ｘは放流水と稀釈用清水との重量比である。
以上に述べたことから明らかなように、従来法の第一の
欠点は混合排水１９の希釈に大量の清水を必要としてい
たこと、第二の欠点はＣＯＤ総量が一定であり、環境汚
染防止上、何ら処置されていなかったため、水質汚濁の
元凶となり、常に問題となっていたことである。本発明
は上言己のような従来のものの欠点を除去するために提
案されたものであり、本発明の主旨は第２図に示す如く
、混合排水１９を直流電流によって電気分解を行ない、
混合排水１９中のＣＯＤ成分であるＮａ２Ｓ２０３又は
Ｎａ２Ｓ０３を電解酸化して、混合排水１９を浄化し、
電解処理水２３として系外に放流する電解酸化排水処理
法を提供するものである。
欠点は混合排水１９の希釈に大量の清水を必要としてい
たこと、第二の欠点はＣＯＤ総量が一定であり、環境汚
染防止上、何ら処置されていなかったため、水質汚濁の
元凶となり、常に問題となっていたことである。本発明
は上言己のような従来のものの欠点を除去するために提
案されたものであり、本発明の主旨は第２図に示す如く
、混合排水１９を直流電流によって電気分解を行ない、
混合排水１９中のＣＯＤ成分であるＮａ２Ｓ２０３又は
Ｎａ２Ｓ０３を電解酸化して、混合排水１９を浄化し、
電解処理水２３として系外に放流する電解酸化排水処理
法を提供するものである。
以下に本発明によって提案された電解酸化排水処理法の
一実施例を第２図により詳述する。
一実施例を第２図により詳述する。
この第２図において第１図と同一符号は同一または相当
部分を示し説明を省略する。脱臭装置から発生した混合
排水１９は一度排液混合槽１７に貯溜され、均一化した
のちポンプ１８にて一定量づつ汲み上げられ、均一化さ
れた混合排水１９Ａを電解槽２川こ供給する。
部分を示し説明を省略する。脱臭装置から発生した混合
排水１９は一度排液混合槽１７に貯溜され、均一化した
のちポンプ１８にて一定量づつ汲み上げられ、均一化さ
れた混合排水１９Ａを電解槽２川こ供給する。
電解槽２０の中には白金メッキチタン，フェライト又は
グラフアィト等の板状又は棒状の不落性陽極２１Ａとス
テンレス鋼等からなる板状又は棒状の陰極２１Ｂを５〜
１５側の等間隔で、かつ、交互に配した水電解用電極郡
を配置し、直流電源２２によって水電解用電極郡に直流
電流を印加し、電気分解を行なうと、水溶液状態にある
Ｎａ２Ｓ２０３又は、Ｎａ２Ｓぴは電気分解によって酸
化分解除去する。水の電気分解は不熔‘性電極を用いた
場合２日２０二２Ｈ＋＋２０Ｈ− 陰極側 ２Ｈ＋＋を‐→日２↑ 陽極側 ２０Ｈ→日２０十○※十左‐ ２０※→０２ となり、発生期の酸素（０※）がＮａ２Ｓ２０３又はＮ
ａ２Ｓ０３を酸化する。
グラフアィト等の板状又は棒状の不落性陽極２１Ａとス
テンレス鋼等からなる板状又は棒状の陰極２１Ｂを５〜
１５側の等間隔で、かつ、交互に配した水電解用電極郡
を配置し、直流電源２２によって水電解用電極郡に直流
電流を印加し、電気分解を行なうと、水溶液状態にある
Ｎａ２Ｓ２０３又は、Ｎａ２Ｓぴは電気分解によって酸
化分解除去する。水の電気分解は不熔‘性電極を用いた
場合２日２０二２Ｈ＋＋２０Ｈ− 陰極側 ２Ｈ＋＋を‐→日２↑ 陽極側 ２０Ｈ→日２０十○※十左‐ ２０※→０２ となり、発生期の酸素（０※）がＮａ２Ｓ２０３又はＮ
ａ２Ｓ０３を酸化する。
Ｎａ２Ｓ２０３十日２０十４０※ →Ｎａ２Ｓ０
４十日２Ｓ０４Ｎａ２Ｓ０３十○※ →
Ｎａ２Ｓ０４このようにＮａ２Ｓ２０３又はＮａ２Ｓ０
３は非常に安定な硫酸塩に酸化されるため、電解処理水
２３にはＮａ２Ｓ２０３やＮａ２Ｓ０３等からなる添加
薬品性のＣＯＤ値は全く含まれない事になる。
４十日２Ｓ０４Ｎａ２Ｓ０３十○※ →
Ｎａ２Ｓ０４このようにＮａ２Ｓ２０３又はＮａ２Ｓ０
３は非常に安定な硫酸塩に酸化されるため、電解処理水
２３にはＮａ２Ｓ２０３やＮａ２Ｓ０３等からなる添加
薬品性のＣＯＤ値は全く含まれない事になる。
また、第一洗浄塔３から排出される第一塔底排液１５中
には悪臭化学物質と次亜塩素酸ソーダが反応し、その１
例として次式で示すように食塩が生成する。
には悪臭化学物質と次亜塩素酸ソーダが反応し、その１
例として次式で示すように食塩が生成する。
（ＣＨ３）２Ｓ十Ｎａｃｌｏ→（ＣＨ３）２ＳＯ＋Ｎａ
ｃｌここに生成したＮａｃｌが水溶液として存在し、こ
れを直流電気分解する事によってＮａｃｌｏを生成せし
め、これによって第二塔底排液中のＮａ２Ｓ２０３又は
Ｎａ２Ｓ０３を酸化分解し、安定な硫酸塩にする事によ
って、これら薬品から生ずるＣＯＤ値を完全に除去する
。
ｃｌここに生成したＮａｃｌが水溶液として存在し、こ
れを直流電気分解する事によってＮａｃｌｏを生成せし
め、これによって第二塔底排液中のＮａ２Ｓ２０３又は
Ｎａ２Ｓ０３を酸化分解し、安定な硫酸塩にする事によ
って、これら薬品から生ずるＣＯＤ値を完全に除去する
。
Ｎａｃｌ二Ｎａ＋＋ｃｌ‐
陰極：Ｎが＋ｅ‐→Ｎａ
Ｎａ＋比○→ＮａＯＨ＋日２↑
陰極：ＣＩ−一妻１２十ｅ−
ＮａＯＨ＋ｃ１２→Ｎａｃｌｏ十Ｎａｃｌ＋日２０Ｎａ
ｃｌｏによってＮａ２Ｓ２０３又はＮａ交０３は次式の
ように酸化分解される。
ｃｌｏによってＮａ２Ｓ２０３又はＮａ交０３は次式の
ように酸化分解される。
Ｎａ２Ｓ２０３十州ａｃｌ０十批０
→Ｎａ２Ｓ０４十日２Ｓ０４十ＮａｃＩ
Ｎａ２Ｓ０３十Ｎａｃｌ →Ｎａ２
Ｓ０４十Ｎａｃｌかくして再生された食塩（Ｎａｃｌ）
は次に示すように化学的に循環使用される。
Ｓ０４十Ｎａｃｌかくして再生された食塩（Ｎａｃｌ）
は次に示すように化学的に循環使用される。
よって本法によってＮａ交２０３又はＮａ２Ｓ０３の酸
化分解除去は非常に効率的に行ない得る。
化分解除去は非常に効率的に行ない得る。
以上のように本発明によれば、第一の特長として混合排
水１９を系外に放流するための清水２４が必要なくなる
こと、第２の特長は放流水中のＣＯＤ値を零にすること
が出来る。
水１９を系外に放流するための清水２４が必要なくなる
こと、第２の特長は放流水中のＣＯＤ値を零にすること
が出来る。
そして第３の特長は薬品性ＣＯＤ成分が含まれていない
ため、その放流水によって環境汚染がないこと等多くの
特徴を有するものである。
ため、その放流水によって環境汚染がないこと等多くの
特徴を有するものである。
第１図は従来における脱臭装置の操作とそれによって排
出される排液の性状を説明するための系統図、第２図は
本発明による電解酸化処理法を示す系統図である。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示し、１は原
臭、３は第一洗浄塔、６は液循環ポンプ、７はオゾナイ
ザ−、１９は混合排水、２０は電解槽、２１Ａは陽極、
２１Ｂは陰極、２２は直流電源、２３は電解処理水、２
４は清水、２５は処理臭、３０は放流水である。 第１図 第２図
出される排液の性状を説明するための系統図、第２図は
本発明による電解酸化処理法を示す系統図である。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示し、１は原
臭、３は第一洗浄塔、６は液循環ポンプ、７はオゾナイ
ザ−、１９は混合排水、２０は電解槽、２１Ａは陽極、
２１Ｂは陰極、２２は直流電源、２３は電解処理水、２
４は清水、２５は処理臭、３０は放流水である。 第１図 第２図
Claims (1)
- １ 第一洗浄塔に次亜塩素酸ソーダ溶液を用い、第二洗
浄塔にチオ硫酸ソーダ又は亜硫酸ソーダ溶液又はその混
合液を用いる脱臭装置に於いて、上記第二洗浄塔から出
る第二洗浄排液、または上記第一洗浄塔及び第二洗浄塔
から出る第一洗浄排液及び第二洗浄排液を混合した排液
を板状又は棒状の白金メツキチタン，フエライト，グラ
フアイト等の不溶性陽極を用いて、直流電気分解する事
により、チオ硫酸ソーダ又は亜硫酸ソーダ等を酸化分解
除去するようにしたことを特徴とする電解酸化排水処理
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55144646A JPS6039000B2 (ja) | 1980-10-16 | 1980-10-16 | 電解酸化排水処理法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55144646A JPS6039000B2 (ja) | 1980-10-16 | 1980-10-16 | 電解酸化排水処理法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5768189A JPS5768189A (en) | 1982-04-26 |
| JPS6039000B2 true JPS6039000B2 (ja) | 1985-09-04 |
Family
ID=15366904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55144646A Expired JPS6039000B2 (ja) | 1980-10-16 | 1980-10-16 | 電解酸化排水処理法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6039000B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI499314B (zh) * | 2009-11-06 | 2015-09-01 | Bse Co Ltd | 微電子機械系統傳聲器及其製造方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT401475B (de) * | 1993-12-07 | 1996-09-25 | Siebenhofer Matthaeus Dipl Ing | Verfahren zur zerstörung von sulfit |
| US6042705A (en) * | 1997-12-30 | 2000-03-28 | Buringer; Hans | Portable device for deionizing liquids |
-
1980
- 1980-10-16 JP JP55144646A patent/JPS6039000B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI499314B (zh) * | 2009-11-06 | 2015-09-01 | Bse Co Ltd | 微電子機械系統傳聲器及其製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5768189A (en) | 1982-04-26 |
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