JPS6039452B2 - 非晶質の無機質材料の製造法およびそれに用いる装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は新規な非晶質の無機質材料の製造法およびそれ
に用いる装置に関する。

近年、非晶質材料が種々の研究機関で研究されており、
その物理的性質、化学的性質、電気的性質、機械的性質
において晶質の無機質材料にはないすぐれた特性が見出
され、それらの特性を活した製品の開発が進められてい
る。

それらの非晶質材料は、一般にアモルファス材料と呼ば
れており、従来からガラス、プラスチックなどが知られ
ているが、１９６０王代に金属材料を中心としたアモル
ファス材料の研究が活発になり、１９６５年にはパラジ
ウムーシリコン合金が、１９６７年には鉄−燐−炭素合
金が見出され、アモルファス金属材料の実用化の途が開
かれた。

アモルファス物質は結晶構造を有さず、不規則な原子（
分子）配列をした物質であり、したがって結晶構造を有
する物質のような結晶異方性がなく等万性であり、かつ
結晶欠陥のない均一な物質である。

とくに金属アモルファスはガラス、プラスチックなどの
分子性アモルファスとは異なり、原子の配列が理想的な
アモルファス状態のものであり、また原子間距離が短い
範囲では結晶状態に近似しているので金属特有の性質を
保持しており、それゆえ未来材料としてきわめて有望な
ものである。このようなアモルファス材料の製造法とし
ては、融液の急冷やメッキなど液体から製造する方法、
蒸着やスパッタリングなど気相から製造する方法、結晶
固体から熱分解などによって製造する方法が知られてい
る。

本発明は、それらのうち融液を急袷することにより過冷
却液体状態にして非晶質部分をうる方法（以下、急冷法
という）にかかわるものである。

この方法でえられる非晶質部分は、液体状態の各原子（
または分子）の配列を保持しており、したがって結晶状
態のものより密度が少し小さくなっている。急冷法によ
ってアモルファス材料をうるぱあし、のもっとも重要な
点は、融液が結晶を生成する温度（凝固点）とアモルフ
ァス状態の固体に転移する温度（ガラス転移点）との温
度間隔を狭くし、凝固点とガラス転移点との間を通過す
るのに要する時間を短くする、すなわち冷却速度を大き
くするほどアモルファス化の進んだ材料をうろことがで
きるということである。

一般に、１び℃／秒以上の速度で急冷するときにアモル
ファス状態の固体が生成するとされている。たとえば金
属を用いるぱあし、には、凝固点とガラス転移温度との
温度間隔を狭くするために合金化して共晶組成として凝
固点を下げ、融液の流動性を小さくしてガラス転移点を
あげる方法が多く採用されている。

また冷却速度を大きくするためには、たとえば回転ロー
ルの表面に融液を吹きつけて急冷する固体接触急冷法が
開発されている。しかしながら団体接触急冷法によると
きには、平らなフィルム状もしくはリボン状のアモルフ
ァス材料しかえられず、線状であることが有利であるＦ
ＲＭ、ＦＰＲやＦＲＴＰなどに用いる繊維補強用線材、
通信用や医療用などに用いる光ファイバー、発電機、モ
ータや送電線などに用いる超電導線村またはコイルおよ
び非晶質の無機質材材料が有する高耐食性や帯磁歪性、
イオン伝導性などを用いる線材あるいは線材の各種セン
サー素子などをうろことはできなかった。本発明者らは
鋭意研究を重ねた結果、合金を形成しうる混合物または
固溶体を形成しうる混合物の融液をガスの高速平行流中
で吹き出して１ぴ〜１び℃／秒の冷却速度で急冷すると
同時に延伸することによって種々の断面形状を有する非
晶質の無機質材料かえられることを見出し、本発明を完
成した。

本発明において非品質とは、構造的に原子の配置が長距
離秩序を有さず短距離秩序を有しており、原子と原子と
の結合が共有結合もしくは共有結合にファンデルワール
ス結合力が加わったものであり、熱的に準安定状態もし
くは非平衡状態にあるもののことをいう。

本発明の製造法におけるガスの高速平行流は乱流のない
ものであり、その流速は融液の吹き出し速度より大でな
ければならない。

その平行流の流速と融液の吹き出し速度との差および吹
き出し角度が、高虫液の急冷速度やえられる非品質の無
機質材料の形状などを決定する重要な要因である。前記
平行流の流速と融液の吹き出し速度との差は、融液の組
成や密度により適宜設定すればよい。一般に融液の密度
が高いほど前記速度差を広くとる必要がある。平行流の
流速は原料の粘度などを考慮に入れて選択すればよいが
、通常５〜ｌｏｗ／秒が好ましい。

流速が遅すぎるときは融液が落下したり充分な延伸がで
きず、流速が速すぎるときは吹き出された融液が切れて
しまい、長いものがえられない。また均一な形状や品質
のものをうるためには吹き出される融液の量を常に一定
に保つ必要があり、それを行なうには適宜平行流の流速
および吹き出し速度を調節すればよい。

融液の吹き出しにはノズルを用いることができ、その吹
き出し口の形状としては、たとえば円筒形、偏平円筒形
、スリット形、同心円筒形などが適当である。

ノズルの材質としては高温高圧に耐えかつ耐薬品性を有
する材料であればいかなるものでもよく、たとえば白金
、ロジウム、タングステン、モリプテン、イリジウムや
それらの合金または焼結ァルミナ、石英などを用いるこ
とができる。高速平行流に対する融液の吹き出し方向は
、平行流に対して０〜９００の角度の範囲内であればよ
い。

円筒形、偏平円筒形および同心円筒形のノズル口を有す
るノズルを用いて平行流に平行に葛虫液を吹き出すとき
には、それぞれ従釆うろことのできなかった断面形状が
円、偏平円およびドーナツ形の線状材料をうろことがで
きる。

このようにしてえられる線状材料は、その直径が数ミク
ロンから数ミリメートルの均一な断面形状を有するもの
であり、しかも直径方向および長さ方向における原子密
度はほとんど均一である。また線状材料は鋭角な部分を
有さないので応力集中を生ぜず、線状材料自体の強度が
大きく向上する。さらに光、音、電気、磁気などを伝送
するぱあいは、断面形状が円形またはそれに類似のもの
であるため通過するエネルギーの減衰量が大きく減少し
、伝送効率が大きく向上する。一方、ガスの高速平行流
に対して該平行流を横切るように、好ましくは垂直に融
液を吹き出すかまたはスリット形のノズル口を有するノ
ズルを用いて平行流に平行に融液を吹き出すときには、
リボン状またはフィルム状の非品質の無機質材料がえら
れる。

このようにしてえられるリボン状またはフィルム状の材
料は、同一組成の耳虫液を用いた固体接触急冷法によっ
てえられた非品質の無機質材料と比較して形状や品質、
物性においてはほぼ同じであるが、表面の平滑性および
エッジ部の平滑性がすぐれており、厚さもより一層均一
であるので、製品の品質が大きく向上する。本発明にお
いて用いるガスとしては、たとえば不活性ガス、還元性
ガス、酸化性ガスなどの１種または２種以上を用いるこ
とができる。

不活性ガスとしては、たとえばチッ素ガス、二酸化炭素
ガス、ネオンガス、ヘリウムガス、クリプトンガス、キ
セノンガス、アルゴンガスなどがあげられ、還元性ガス
としては、たとえば水素ガス、一酸化炭素ガスなどがあ
げられ、また酸化性ガスとしては、たとえば空気、酸素
ガスなどがあげられ、必要に応じて２種以上を混合して
用いることもできる。ガスはあらかじめ乾燥剤や凝縮器
を通し、またミストセパレータ−、フィルターなどを通
して乾燥および塵などの異物を排除して用いるのが好ま
しい。

また必要ならば、あらかじめ寒剤または冷蝶によってガ
スの温度を下げておくことも急袷効果を高めることにな
る。ガス温度としては原料組成や目的とする製品によっ
て異なるが、通常−３０〜３０００の範囲が好ましい。
寒剤および冷煤としては、たとえば液体チッ素、液体酸
素、液体ヘリウムさらには凝固点の低い溶媒を間接的に
寒剤にて冷却せしめた冷煤、もしくは凝縮系冷却装置を
設けたフレオン系、アンモニア系などの冷煤が用いられ
る。本発明で用いる合金は、金属−金属または金属一半
金属のいずれの組合せのものでもよい。

金属−金属の合金としては、たとえば周期表のＷＢ族、
ＶＢ族、ランタン系、アクチニウム系およびのＢ族の元
素の１種または２種以上と血族およびＩＢ族の元素の１
種まは２種以上との合金があげられ、具体例として、た
とえば鉄−クロム（５〜９５：９５〜５重量％、以下同
様）、ネプツニウム−ニッケル（５〜９５：９５〜５）
、銅−スズ（５〜９５：９５〜５）、銅−ジルコニウム
（５〜９５：９５〜５）、鉄−ガドリニウム（５〜９５
：９５〜５）などがあげられる。金属−半金属の合金と
しては、たとえば周期表の血族、ランタン系およびＩＢ
族の元素の１種または２種以上とｍＡ〜ＷＢ族の元素の
１種または２種以上との合金があげられ、具体例として
は、たとえばパラジウムーケィ素−銅（５〜９０：１〜
７０：１〜６０）、ネプツニウムーニツケルーリン（１
〜７０：１〜９０：１〜４０）、ランタンーガリウム（
１〜９５：５〜７０）、ジルコニウムーロジウム（５〜
９９：１〜９５）、鉄−コバルト−ホウ素（１〜２０：
１０〜９８：１〜７０）、（コバルト−鉄−ニッケル）
−ケイ素−ホウ素〔（１〜９７：１〜９７：１〜９７）
５０〜９０：１〜３０：１〜５０〕、モリブテンーホウ
素−ケイ素（５０〜９０：１〜４０：１〜３０）などが
あげられる。園溶体を形成しうる混合物としては、たと
えば風チタン、タングステン、モリブテン、ニオフ、バ
ナジウム、タンタル、ゲルマニウム、ガリウム、アルミ
ニウム、ジルコニウム、マンガン、アンチモン、レニウ
ム、ホウ素、ケイ素などの酸化物または水酸化物の１種
もしくはフェライト化合物の１種と‘Ｂ）アルカリ金属
、アルカリ士類金属、ランタン系金属、アクチニウム系
金属、イットリウム、スカンジウム、鉛、マンガンなど
の金属の１種または２種以上との組合せからなり、かつ
固溶体となりうる混合物があげられる。

これらの混合物は、全混合範囲において固溶体を形成す
る。具体例としては、たとえばチタン酸系としてチタン
酸カリウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン酸
マグネシウム、チタン酸カルシウム、チタン酸ナトリウ
ム、チタン酸ベリリウム、チタン酸ルビジウム、チタン
酸セシウム、チタン酸イットリウム、チタン酸アクチニ
ウム、チタン酸ネプツニウム、チタン酸トリウム、チタ
ン酸ランタン、チタン酸ガドリニウム、チタン酸イッテ
ルビウム、チタン酸スカンジウムなどがあげられ、タン
グステン酸系としてはタングステン酸マグネシウム、タ
ングステン酸カルシウム、タングステン酸ナトリウム、
タングステン酸ベリリウム、タングステン酸ルビシウム
、タングステン酸セシウム、タングステン酸イットリウ
ム、タングステン酸アクチニウム、タングステン酸ネプ
ツニウム、タングステン酸トリウム、タングステン酸ラ
ンタン、タングステン酸ガドリニウム、タングステン酸
イッテルビウム、タングステン酸スカンジウム、タング
ステン酸鉛、タングステン酸リチウム、タングステン酸
カリウム、タングステン酸バリウム、タングステン酸ス
ト。ンチウムなどがあげられる。このほかにニオブ酸系
、バ，ナジン酸系、タンタル酸系、ゲルマン酸系、ガリ
ウム酸系、アルミン酸系、ジルコン酸系、マンガン酸系
、アンチモン酸系、レニウム酸系、ホウ酸系、ケイ酸系
およびフェライト系のものがチタン酸系やタングステン
酸系のものと同様にあげられる。これらの原料の溶融温
度は原料の組合せや組成割合によって異なるが、通常７
００〜２２００ｏｏの範囲の間でよい。

なお当然のことではあるが、原料の組合せおよび組成割
合は目的とする製品により決定ごれるものである。

本発明の非晶質の無機質材料の製造は、合金を形成しう
る混合物または園溶体を形成しうる混合物の融液を吹き
出すためのノズルおよび該融液を急冷すると同時に延伸
するためのガスの高速平行流を作製するための整流装置
を有する装置を用いて行なうことできる。

つぎに本発明の製造法および装置を図面に基づいて具体
的に説明する。

第１図に非晶質の無機質線状材料を製造するための本発
明の装置の一実施態様の概略説明図を示す。

第２図の第１図に示す実施態様の吹出しノズル付近の拡
大断面図を示す。合金を形成しうる混合物または固溶体
を形成しうる混合物を容器１に入れ加熱炉２で該混合物
を加熱熔融して融液３をうる。

容器１からは吹き出しノズル４が通気管５内に伸びてお
り、ノズル４の吹き出し口は通気管５の長手方向を向い
ている。高速のガス流をノズル付近でさらに加速するた
めに、ノズルの手前で通気管５を絞ってもよい。加速さ
れたガス流はまず整流装置である第１整流板６によって
平行流とされ、さらにノズル４の吹き出し口の直前で再
度第２整流板７によって完全な高速平行流８とされる。
容器１内の融液３は、加圧装置（図示されてない）によ
ってノズル４からガスの高速平行流８中に平行に吹き出
される。

吹き出された融液はガス流によって急冷されると同時に
延伸され線状の非晶質の無機質材料９となり、巻取り機
１０に巻き取られる。第３図は同Ｄ円筒形のノズルを用
いたぱあし、の吹き出しノズル付近の拡大断面図を示す
。

このノズルのぱあし、には、融液３は外側の通路１１を
通り、内側の通路１２にはノズルに設けられたガス流取
込みロー３から取り込まれたガス流が通る。したがって
、ノズルから吹き出された融液は中空のパイプ状をして
おり、そのまま急冷延伸され、中空ドーナツ形の線状の
非晶質の無機質材料を形成する。第４図にスリット形の
ノズルを用いたぱあし、の吹き出しノズル付近の拡大切
欠断面図を示す。

スリット１５から吹き出された融液３は高速平行流８に
よって急冷されると同時に延伸され、スリット１５の形
にしたがったフィルム状またはリボン状の非晶質の無機
質材料１６となる。第５図にノズルを高速平行流に対し
て垂直に設直した実施態様の概略説明図を示す。

ノズルとしては第２図に示す円筒形のものを用いてある
。この実施態様仰ぎあいでは、第２整流板７をノズルを
挟むようにノズルの吹き出し口を中心として凹形に通気
管５側へ向って長くしてある。すなわちノズル管４によ
る乱流を調整する目的で第２整流板７を凹形にしている
のである。使用しうるノズルは円筒形でもスリット形で
も同０円筒形でもよい。

本発明の製造法、とくに線状材料をうる方法を実施する
にあたってもっとも好適な条件はつぎに示すものである
が、これらの条件にのみ限定されるものではない。

ノズル口径：０．０１〜５肌 融液の吹き出し圧力（ガス圧）：０．１〜１５０ｋ９／
地ノズルの吹き出し口付近のガスの平行流速：５〜１０
０の／秒ガスの平行流速が５ｍ／秒を下回るときには吹
き出された融液が浮遊せずに落下してしまうおそれがあ
り、また１００ｍ／秒を超えるときには通気管内に乱流
が生ずるおそれがある。

また平行流に垂直に融液を吹き出すぱあし、も同じ条件
で行なうことができる。

なお、ノズルは通気管内に乱流を生ぜしめないかぎり、
２個以上設けてもよい。

本発明の製造法でえられた非晶質の無機質材料は、他の
製造法でえられる材料と同様の用途、たとえば高強籾材
料、耐摩耗材料、触媒、耐高腐食材料、耐放射線材料、
半導体、誘電体、圧電体、焦電体、イオン伝導体、太陽
電池、水素吸着材、高透磁率材、スイッチング素材、高
周波トランス、磁気変換素子、高磁歪性材料としてのＶ
ＴＲ遅延素子、超音波素子、低鉄損材、メモリ素子、高
電気抵抗材、通信用光ファイバー、医療用光ファイバー
、有機ガスセンサー、温度センサー、湿度センサー、酸
素センサー、光センサーなどとして有用である。

つぎに本発明の製造法を実施例をあげて詳しく説明する
が、本発明はそれらの実施例のみに限定されるものでは
ない。

実施例 １ 酸化チタン３１８夕、炭酸カリウム１３８夕および酸化
アルミニウム９．１８夕を混合したのちアルミナと白金
の合金製の容器に入れ、高周波電気炉で４０分間、１４
００００にて加熱溶融した。

ついで第１図に示すタイプの装置を用いてえられた融液
をチッ素ガスによってガス圧５０ｋ９ノめで円筒形のア
ルミナと白金の合金製のノズル（口径０．５）からアル
ゴンガスの高速平行流中へガス流と平行に吹き出した。
ガス流の温度は２０００であり、流速は４０ｍ／秒であ
つた。えられた本発明の非晶賞の無機質材料は、断面形
状が直径０．３脚の円であり、長さが２６仇の線状のも
のであった。

その材料のＸ線回折図を第６図に、熱分析装置によって
測定したＤＴＡ−ＴＧ曲線を第７図に示す。Ｘ線回折条
件は、理学電機■製ＲＡＤ−ＤＡ型を使用し、３５ｋＶ
、１５ｍＡ、Ｃｕ／ＮｉＫａ線でシンチレーションカウ
ンターにて測定した。

熱分析装置は■島津製作所製を使用し、昇温速度２００
０／分、最高温度１３５０ｏ○、試料３５ｍ９、ＤＴＡ
レンジ＋１００〃Ｖ、チャートスピード５肋／分で測定
した。実施例 ２ つぎに示す条件をかえたほかは実施例１と同様の条件で
行なった。

ノズル形状：同心円筒形（内側のガス通路の直径２側、
外側の融液通路の内径３．５仇醜、外径４．５０柳）吹
き出し条件：ガス圧１５０ｋ９′地のヘリウムガスガス
流：水素ガスｉｏ重量％を含むアルゴンガス、流速８０
ｍ／秒、温度２０００えられた非晶質の無機質材料は、
断面形状がドーナツ形（内径２．６肋、外径３．８肌）
の中空線状で長さ１６ののものであった。

そのアモルファス状態も均質であり、形状も一定してい
た。実施例 ３〜１６ 第１表に示す組成の原料を用い、同表に示す条件で実施
例１と同様にして行ない、それぞれ非晶質の無機質線状
材料をえた。

えられた線状材料の形状を第２表に示す。

実施例 １７〜２０ 第５図に示すタイプの装置を用い、第１表に示す組成の
原料を用いて同表に示す条件で融液を吹き出し、急冷延
伸して非晶質の無機質材料をえた。

えられた材料の形状を第２表に示す。

聡 船 処 種 Ｓ Ｋ ７Ｒ ろ “ 馨 薫 事 薫 霊 １い Ｓ Ｑ 誓 ○ Ｓ 鶴 ご 曲 ざ 。

１Ｋ 。

ＮＪ ＼べごＳ ３聖繋 由蓮錘 塵の田 Ｎ ］ ′コ ×辰頂 怠け′ 片処し ＊ミ３ ミＸ対 Ｘ＼ビ ＼３蓬。

３Ｐｅｗ ドＮ蝉鴇 す【ロレ 軍軍ミＪ 樺蝉Ｋ峠 世 第２表 比較例 酸化チタン３１８夕、炭酸カルシウム１３８夕および酸
化アルミニウム９．１８夕を混合したのち、アルミナ被
覆した白金合金製の容器に入れ、高周波電気炉で４粉ご
間、１４００００に加熱して溶融した。

えられた雛夜を白金製ノズル（吹出し口径０．５脚）か
ら６ｍ／秒の押出し速度で１５００の圧縮空気流（流速
２４ｍ／秒）上に押し出した。えられた試料は、空気流
との接触面では平滑であったが、非接触部では波形の凹
凸が生じており、繊維状物と塊状物との不均一な混合物
であった。

この試料をＸ線回折により分析して第８図に示す×線回
折図をえた。

第８図においてＡは６チタン酸カリウムのピークであり
、Ｂはアナターゼ型の酸化チタンのピークであり、Ｃは
ルチル型の酸化チタンのピークである。第８図から明ら
かなごと〈、えられた試料は多結晶体であった。また、
この試料の熱分析を行なったところ、第９図に示すＤＴ
Ａ−ＴＣ曲線がえられた。

第９図において、ガラス転移温度および結晶化温度に相
当する熱吸収が認められず、このことはえられた試料が
結晶体であることを示している。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の非晶質の無機質材料を製造するための
装置の一実施態様の概略説明図、第２図は円筒形のノズ
ルを用いたときのノズル付近の拡大断面図、第３図は同
じ円筒形のノズルを用いたときのノズル付近の拡大断面
図、第４図はスリット形のノズルを用いたときのノズル
付近の拡大断面図、第５図は本発明の装置の別の実施態
様の概略説明図、第６図および第７図はそれぞれ実施例
１でえられた非晶賞の無機質材料のＸ線回折図とＤＴＡ
−ＴＯ曲線を示し、第８図および第９図はそれぞれ比較
例１でえられた試料のＸ線回折図およびＤＴＡ−ＴＧ曲
線を示す。 （図面の主要符号）、３：融液、４：ノズル、６，７：
整流板、８：高速平行流、９：非晶賞の無機質材料。 才ー図 才２図 才３図 才４図 才５図 才６図 才７図 才９図 才８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 合金を形成しうる混合物または固溶体を形成しうる
   混合物の融液をガスの高速平行流中で吹き出して１０＾
   ４〜１０＾６℃／秒の冷却速度で急冷すると同時に延伸
   することを特徴とする非晶質の無機質材料の製造法。 ２ 前記融液をガスの高速平行流中へ０〜９０°の角度
   の範囲で吹き出すことを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の製造法。 ３ 前記融液をガスの高速平行流中へ該平行流に平行に
   吹き出すことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   製造法。 ４ 前記合金が、周期表のIVＢ族、VＢ族、ランタン系
   、アクチニウム系およびVIＢ族の元素よりなる群から選
   ばれた１種または２種以上と周期表のIＢ族およびVIII
   族の元素よりなる群から選ばれた１種または２種以上と
   の合金である特許請求の範囲第１項記載の製造法。 ５ 前記合金が、周期表のIＢ族、ランタン系およびVI
   II族の元素の１種または２種以上と周期表のIIIＡ〜VI
   Ｂ族の元素よりなる群から選ばれた１種または２種以上
   との合金である特許請求の範囲第１項記載の製造法。 ６ 前記固溶体を形成しうる混合物が、 （Ａ） チタン、タングステン、モリブデン、ニオブ、
   バナジウム、タンタル、ゲルマニウム、ガリウム、アル
   ミニウム、ジルコニウム、マンガン、アンチモン、レニ
   ウム、ホウ素およびケイ素の酸化物および水酸化物なら
   びにフエライト化合物よりなる群から選ばれた１種と（
   Ｂ） アルカリ金属、アルカリ土類金属、ランタン系金
   属、アクチニウム系金属、イツトリウム、スカンジウム
   、鉛およびマンガンよりなる群から選ばれた１種または
   ２種以上とからなる特許請求の範囲第１項載の製造法。 ７ 前記ガスが不活性ガス、還元性ガスおよび酸化性ガ
   スの１種または２種以上である特許請求の範囲第１項記
   載の製造法。 ８ 前記不活性ガスが窒素ガス、ネオンガス、二酸化炭
   素ガス、ヘリウムガス、クリプトンガス、キセノンガス
   またはアルゴンガスである特許請求の範囲第７項記載の
   製造法。 ９ 前記還元性ガスが水素ガスまたは一酸化炭素ガスで
   ある特許請求の範囲第７項記載の製造法。 １０ 前記酸化ガスが空気まは酸素ガスである特許請求
   の範囲第７項記載の製造法。 １１ 前記ガスをあらかじめ寒剤または冷媒を用いて冷
   却する特許請求の範囲第１項記載の製造法。 １２ 前記ガス中の水分および塵をあらかじめ除去する
   特許請求の範囲第１項記載の製造法。 １３ 前記融液の吹き出しにノズルを用いる特許請求の
   範囲第１項記載の製造法。 １４ 前記ノズルの吹き出し口の形状が円筒形、偏平円
   筒形、スリツト形または同心円筒形である特許請求の範
   囲第１３項記載の製造法。 １５ 前記ノズルを１個または２個以上設ける特許請求
   の範囲第１３項または第１４項記載の製造法。 １６ 合金を形成しうる混合物または固溶体を形成しう
   る混合物の融液を吹き出すためのノズルおよび該融液を
   急冷すると同時に延伸するためのガスの高速平行流を作
   製する整流装置を有し、かつ前記ノズルがガスの高速平
   行流中に開口している非晶質の無機質材料の製造装置。 １７ 前記ノズルが融液をガスの高速平行流中へ０〜９
   ０°の角度の範囲で吹き出すように設置されてなる特許
   請求の範囲第１６項記載の製造装置。１８ 前記ノズル
   が融液をガスの高速平行流中へ該平行流に平行に吹き出
   すように設置されてなる特許請求の範囲第１７項記載の
   装置。 １９ 前記ノズルの吹き出し口の形状が円筒形、偏平円
   筒形、スリツト形または同心円筒形である特許請求の範
   囲第１６項、第１７項または第１８項記載の装置。 ２０ 前記整流装置が整流板である特許請求の範囲第１
   ６項記載の装置。 ２１ 前記整流板を２段設けてなる特許請求の範囲第２
   ０項記載の装置。