JPS6039752A - 電子増倍装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は２次電子放出を行うｊ−有孔プレ−１〜（アパ
ーチャードブレート）」形電子増倍素子に関づ−るもの
である。また本発明は２次電子放出を行なうＮ個の電子
増倍素子を平行に積重ねた電子増倍装置、及び前記電子
増倍装置を用いる光電子増倍管に関ブるものである。

斯る電子増倍装置は、例えば、フランス国特許第２．２
９９．７２２号明細書から既知である。

この明細書には、凹状壁を有する２個の有孔デミ・プレ
ートにより形成されＩＣ２次電子放出を行う電子増倍素
子の積層体から成り、前記有孔デミ・プレートを組合せ
る際に各有孔デミ・プレートの関連する孔が単一の櫛形
孔を形成するようにした電子増倍管が記載されている。

前記樽形状孔の壁を２次電子放出材料層で被覆し、各単
一樽形状孔の有効部分を孔の下側半部により形成する。

断る電子増倍素子の構造によれば、僅かなスペースに例
えば円筒状の幅広ビーム形態で有孔デミ・プレートに入
射する入射電子の増倍作用を可能と゛し、且つ電子収束
光学系を用いる必要がない等の利点がある。又、小ピツ
チの循環構造のため増強画像を形成覆るに好適である。

しかし、この種の電子増倍素子は、所定数の入射電子が
２次電子増倍を行うことなく直接増倍孔の中心を通過す
るため２次電子放出を行わずしかもその他の入射電子も
増倍素子の２次電子放出を行わない個所、例えば２個の
樽形状孔の間或いは樽形状孔の有効部分以外の個所に到
達する欠点かある。

本発明の目的は、増倍素子の電子捕獲効率を増加させる
ことにより前記欠点を軽減せしめることにある。

本発明は２次電子放出を行う有孔プレート形の電子増倍
素子において、該電子増倍素子は、まず規則正しい平坦
パターンに従っ−（配設された多数の増倍孔を有づる第
１プレートを具え、各増倍孔によって前記第１プレート
の第１表面に入力間口を画成すると共に前記第１プレー
１への第２表面に入力開口よりも小さい出力開口を画成
し、各入力開口の端部は互いに接触するか或いは互いに
ほぼ接触し、ざら前記電子増倍素子は、第１プレー１−
に平行で多数の補助孔を有する第２プレー１へを具え、
各補助孔によって、第１プレートの第２表面に対向して
配置された該第２プレートの第１表面に入力開口を画成
し、該入力開口は増倍孔の出力開口にほぼ等しく、且つ
第２プレー１〜の第２表面に形成された前記補助孔の出
力開口の口径より小さくし、さらに前記第１プレート及
び第２プレートは互いに電気的に絶縁すると共に、前記
第２プレートを第１プレートの電位より高い電位に保持
するようにしたことを特徴とする。また、前記入力間口
がほぼ接線方向であり、且つ増倍孔が開放セミ・バレル
形構造であるため、第１プレートは入射電子に対し、既
知の開口ブレートの有効増倍表面より極めて大きな有効
増倍表面を有する。ざらに増倍孔の出力開口とほぼ同一
形状である補助孔を有する第２プレートは加速電極とし
て作用する。

前記増倍孔の入力開口及び出力開口は円形とし、規則正
しい平坦パターンを正方形状或いは六角形状に組立てる
。この場合この平坦パターンには第１プレートの有効増
倍表面を増大する利点がある。

さらに有効増倍領域を増大させるために、第１プレート
の増倍孔の入力開口をほぼ正方形成いは六角形とし、前
記規則正しい平坦パターンを正方形状或いは六角形状と
する。

また、第１プレートの増倍孔の出力開口を、第１プレー
トの入力開口に対し適宜ずらμて、前記増倍孔が非対称
となるようにすることで有効増倍表面を確保する。非対
称増倍孔の配置による利点は、有効増倍部分の増倍孔の
出力間口に対する空間的位置決めにより２次電子の通路
をその好適な方向に向は得ることにある。

また、本発明による電子増倍素子を高い捕獲効率を有す
る電子増倍装置の製造に利用するのが好適である。これ
がため、本発明において、１番目の電子増倍素子の第２
プレートの第２表面と１＋１番目の電子増倍素子の第１
プレー１−の第１表面との間の距離を、同一の増倍素子
の前記第１プレートと第２プレートとの間の距離より大
きくし、ｉ番目の増倍素子の第２プレー１〜をｉ＋１番
目の増倍素子の第１プレートの電位に等しい電位と覆る
ようにしたことを特徴とする。この電子増倍素子が比較
的広く離間されたパターンによれば、１個の電子増倍素
子と次の電子増倍素子との間で良好な電子捕獲を行ない
得る利点がある。

本発明の電子増倍装置の特殊な例では、ｉ＋１番目の電
子増倍素子の増倍孔及び補助孔を１番目の増倍素子の増
倍孔及び補助孔に対向して配置して、Ｎ個の増倍素子の
関連Ｊる増倍孔及び補助孔によりＮ１１ｌｉｌの増倍素
子の表面に対し直角を成す方向に直線状チャンネルを形
成するようにしたことを特徴とする。この特殊な変更例
では、イメージ増強型の管に使用する場合には、画像を
増強させる構造とし得る利点がある。その理由は、装置
のチャンネルから放出される２次電子が原理的にチレン
ネル内に侵入した入射電子の増倍によってのみ発生する
からである。

逆に、増倍回路が対称的である場合の孔の゛構造の可能
性を切り捨てれば、本発明の＠置の利得を所望のとおり
にさらに増大させることができる。

このためにｉ番目の電子増倍素子の増倍孔及び補助孔に
対し１千１番目の電子増倍素子の増倍孔及び補助孔を適
宜ずらせて、Ｎ個の増倍素子の関連する増倍孔及び補助
孔によってＮ個の増倍素子の表面の法線に対し鋭角を成
覆方向に直線状チレンネルを形成する。特に増倍孔を５
点スポットによりダイス型で設けた構造とする場合には
、本発明による電子増４Ｂ装置の組立てを極めて良好と
する。

非対称孔を右−りる電子増倍素子を具える装置は、画像
形成の可能性と良好な電子捕獲効率とを同時に得ること
ができる。本発明の電子増倍装置を光電子増倍管に設け
る場合に、前記直線状チャンネルを経て光電陰極に光や
イオンがもどるのを防止するため、１番目の電子増倍素
子の増倍孔及び補助孔に対してｉ＋１番目の増倍素子の
増倍孔及び補助孔を適宜ずらせて、Ｎ個の電子増倍素子
の関連する増倍孔及び２次電子放出孔によって螺旋状チ
ャンネルを形成することを考慮する。

本発明による電子増倍装置を光電陰極及び少なくとも１
つの陽極を有覆る光電子増倍管に特に有効な方法で供給
する。この応用において、電子増倍装置を光電陰極及び
陽極管に配置し、且つ少なくとも既知のダイノードと部
分的に交換する。この光電子増倍管は広い捕獲領域、良
好な直線、性、速度及び小スペース等の多くの利点があ
る。

本発明の光電子増倍装置を光電子増倍管に応用する特別
な応用例では、特に、隣接するｎ個の陽極を具え、前記
電子増倍装置を光電陰極に近接して配置すると共に２個
の連続する陽極の分離区域に対向して位置する耐電子隔
壁によりｎ個の２次電子増倍装置に分割してｎ個の２次
電子増倍管を同一の光電子増倍管内に形成するようにし
たことを特徴とする。これがため、各２次光電子増倍装
置は、関連する光電陰極素子に入射した光情報に比例し
た電気信号を出力側に発生させることができる。この光
電子増倍管は、例えば原子核の位置測定に好適である。

図面につき本発明の実施例を詳細に説明する。

第１図は、２次電子放出を行なう「有孔プレートＪ形の
電子増倍素子１１の断面図を示す。第１図に示すように
、前記増倍素子は、増倍孔と称され、規則的な平坦パタ
ーンに従って組立てられる孔１３を有する第１プレート
１２から構成される。各増倍７Ｌ１３は、入力開口と称
される開口１５を第１プレート１２の第１表面１４によ
り画成し、且つ出力開口と称される開口１６を第１プレ
ート１２の第２表面１７により画成し、且つ入力開口１
５は出力開口１６より大きくし、また各増倍孔の入力開
口１５を前記増倍素子の隣接する入力開口にほぼ接触さ
せるようにづる。又、増倍素子１１は第１プレート１２
と平行で且つ補助孔と称される孔２３をも有する第２プ
レー１〜２２を具え、第２プレート２２の第１表面２４
に形成した補助孔２３の間口２５は第１プレート１２の
第２表面１７に対向して配置し、増倍孔１３の出力開口
１６にほぼ等しくし、且つ第２プレート２２の第２表面
２７に画成される前記補助孔２３の開口２６よりも小さ
くする。さらに第１図に示すように、前記第１プレート
及び第２プレート２２を互いに電気的絶縁し、第２プレ
ー１〜２２を第１プレー１〜１２の電位Ｖｏよりも高い
電位ｖ１に保持し得るようにする。

少なくとも第１プレート１２は、２次電子放出を生じ得
る材料、例えば既知の処理、即ちベリリウムの熱移動及
び酸化処理を施す銅・ベリリウム合金から製造する。ま
た、この第１プレート１２は、左程高価でない材料、例
えば軟鋼に２次電子放出材料、即ち酸化銅・ベリリウム
合金層或いは酸化マグネシウム層を被覆して造ることが
できる。既知の「有孔プレート」形電子増倍管と比較す
るに、本発明の増倍素子は第１プレート１２の第１表面
の側に電子６０が入射するに充分な広さの電子捕獲兼増
倍面を設けることができる。２枚のプレート１２と２２
との電気的相互絶縁はこれらプレートの周縁間に介挿さ
れた直径が１００μｍ乃至２００μｍの小さなガラス球
７０により行う。第１プレート１２の電位より高い電位
を有する第２プレート２２により加速電極の部分を構成
する。第２図は第１図の増倍素子１１の第１プレート１
２の平面図である。この第２図に示すように、増倍孔１
３の入力間口１３及−び出力開口１６は円形とすると共
にその規則正しいパターンを正方形状とする。第３図に
は、第２図に示した第１プレートの有効な増倍表面を拡
大し得るようにしたプレートの第１の変更例を示す。第
３図に示°ケように第１プレート１２の僧侶孔１３の入
力開口１５及び出力開口１６は円形とすると共にその規
則正しい平坦なパターンを六角形状とする。

さ弓に第１プレートの電子捕獲兼増倍効率を更に大きく
する必要がある場合には、第４図及び第５図に示すよう
に、第１プレート１２の僧侶孔１３の入力間口１５を夫
々はぼ正方形状及び六角形状どし、前記規則正しい平坦
なパターンを夫々正方形状及び六角形状とする。

本発明による増倍素子の第３の変更例を第５図及び第６
図に示す。この変更例では、第１プレート１２の増倍孔
１３の出力開口１６をその入力間口１５に対してずらせ
て前記増倍孔１３が非対称となるようにする。かかる増
倍素子は適切にずらせたマークを介して第１金属プレー
１への２表面に化学的エツチングを施すことにより製造
することかできる。

第７図は、第１図に示す増倍素子と同様の増倍素子をＮ
個（本例ではＮ−３）平行に積車ねた電子増倍装置の断
面図である。第７図に示すように、ｉ番目の増倍素子の
第２プレート２２の第２表面２７と、（ｉ＋１）番目の
増倍素子の第１プレート１２の第１表面１４との間の距
離りは同一の増倍素子の第１プレート１２及び第２プレ
ート２２間の距離ｄより大きくする。又、ｉ番目の増倍
素子の第２プレート２２の電位Ｖ＋ｉは（ｉ＋１）番目
の増倍索子の第１プレート１２の電位Ｖ　ｏ（ｉ＋１）
　と同一とする。

本発明による電子増倍装置の電子捕獲効率は、各増倍索
子の良好な捕獲効率のため、且つまた連続する２個の増
倍素子間のスペース効果のために既知の装置の捕獲効率
よりも良好である。

増倍素子は各プレートの周囲に設けたスペース部材２９
により相互に距離りの間隔に保持する。

第７図の変更例においては、（ｉ＋１）番目の増倍素子
の増倍孔１３及び補助孔２３をｉ番目の増倍素子の増倍
孔及び補助孔に対向して夫々適宜配設して、Ｎ個の増倍
素子の対応する増倍孔及び補助孔によってＮ個の増倍素
子の表面に対し垂直な方向３０に直線状のチャンネルを
形成し得るようにする。本発明のこの変更例には、入Ｉ
ＪＩ電子６０の増倍作用により発生して、装置の１個の
チャンネルから到来する２次電子が同一チャンネルに導
入されるためイメージ増強型増倍管に使用できるという
利点がある。

第８図は、第７図に示ず増倍装置の変更例の断面図であ
り、本例では（ｉ＋１）番目の増倍素子の増倍孔１３及
び補助孔２３をｉ番目の増倍素子の増倍孔及び補助孔に
対して適宜ずらせて、Ｎ個の増倍素子の関連する増倍孔
及び補助孔によりＮ個の増倍素子の表面の法線３０に対
し鋭角を成７方向３゜に直線状のチ１シンネルを形成し
得るようにする。

この例によれば増倍装置の利得を増大さけることができ
る。その理由は、増倍素子の増倍孔の中心を増倍される
ことな（通過した入射電子が第７図の例には示されてい
ない次の増倍索子により増大されるからである。しかし
、逆に第８図に示づ増倍装置は、画像の形成に使用でき
ない。その理由は、１番面の増倍素子の所定の増倍孔と
Ｎ番目及び最後の増倍素子の増倍孔どが明らかに一致し
ないからである。

しかし、第６図に示されるような非対称の増倍孔を有す
る増倍素子を使用すること↓こより電子捕獲効率を良好
とし、且つ画像を形成することができる。かかる例の増
倍装置を第９図に示す。さらに、増倍素子の数Ｎが大き
な場合に、入力画像と出力画像との間の変化が大きくな
り、従ってこの変化を防止するためには、第１０図に示
すように（ｉ＋１）番目の増倍素子の非対称増倍孔に対
してヘッド・テイル（ｈｅａｄ　−ｔａｉ　ｌ　）配置
に構成する。

まｔｃ、本発明の電子増倍装置により光電子増強管の一
部を形成する場合には、前記直線状の孔を経てイオン或
いは光が光電陰極に入射するのを防止するために、第１
１ａ図に示すようにｉ番目の増倍素子の増倍孔及び補助
孔に対して（ｉ＋１）番目の増倍素子の増倍孔１３及び
補助孔２３を適宜ずらせてＮ個の増倍素子の増倍孔及び
関連する２次電子放出孔が螺旋状のチャンネルを形成し
得るようにり゛る。

Ｎ個の増倍素子の軸（ｘ　、　ｙ　）は互いに平行とす
るが、基準の増倍孔２３の中心７０は所定の円７１Ｑ）
円周上に規則正しく分布されるようにする。２個の連続
する孔２３の中心７０が円７１の中心７２に対し成す角
度を所定の角度αとし、この角度αはＮ個の増倍素子の
全部に対し同様とする。第１１ｂ図は円８０で示される
有効部分を有す−る三角形状増倍素子のブＰ−トの１１
Ｐ−面図である。このプレートには、電気接続パッド８
１を設【プると共に３個の孔８２を打抜きこれら孔によ
り増倍索子のプレートを孔８２を貫通する小さな柱状部
材により組立てるようにする。この螺旋状の変形は軸（
ｘ　、　ｙ　）の原点を決めた後、中心区域８０の増倍
孔或いは補助孔に突出ず接続円板により３個の孔８２の
位置を逆方向にずらせることによって行う。

本発明の電子増倍装置は特に光電子僧侶管に適用するの
が有効である。

第１２図に示すように、光電子増倍管は光電陰極４１及
び陽極４２を具える。

本発明の電子増（８装置４０は光電陰極４１及び陽極４
２間に位置させ、電子増倍装置内の増倍孔の入力間口１
５を光電陰極４１に向けるようにする。第１２図の例に
おいて、光電子増倍管の第１ダイノード４３も寸法を大
きくし、従って、捕獲効率を大きくし、同様に直線性を
良好にし、速度を速く且っ占積率を小さくすることがで
きる。

第１３図は本発明増倍装置をｎ個の隣接する陽極４２に
適用した他の例の断面図である。この例においては、増
倍装置は光電陰極４１に近接して配置゛りると共に２個
の連続する陽極４２の分離区域５１に対向して設【プら
れた耐電子柱状体５０により「］個の２次電子増倍装置
に分布させて、ｎ個の２次電子増倍管を同一の光電子増
倍管に形成し得るようにづる。第１３図に示す型の光電
子増倍管は、検出すべき素粒子の正確な位置測定が可能
となるため、植物理学への適用に良好である。

仕切り部材（柱状体）５０は金属プレートをマスキング
及びフォトエツチングすることにより既知の手段で製造
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１歯は、本発明電子増倍素子の１例を示丈断面図、 第２図は、第１図に示す電子増倍素子の第１プレートを
示す平面図、 第３図は、本発明電子増倍素子の第１プレートの第１変
形例を示ず平面図、 第４図は、本発明電子増倍素子の第１プレートの第２変
形例を示す平面図、 第５図は、本発明電子増倍素子の第１プレートの第３変
形例を示す平面図、 第６図は、第４図に示す電子増倍素子の■−■線上の断
面図或いは第５図に示Ｊ電子増倍素子の■−■線上の断
面図、 第７図は、第１図の電子増倍素子と同様の電子増倍素子
から成る本発明電子増倍装置を承り一断面図、 第８図は、第７図に示される電子増倍装置の変形例を示
す断面図、 第９図は、第６図の電子増倍素子と同様の電子増倍素子
から成る本発明電子増倍装置を示す断面図、 第１０図は、第９図に示される電子増倍装置の変形例を
示す断面図、 第１１ａ図は、電子増倍素子を螺旋状に組立てて構成す
る本発明電子増倍装置の原理的な構成を示す説明図、 第１１ｂ図は、第１１ａ図に示した原理的な構成を適用
するに好適な電子増倍素子の形状を示す平面図、 第１２図は、本発明゛光電子増倍装置を用いる光電子増
倍管の構成を示す断面図、 第１３図は、本発明電子増倍装置により製造さ、れる２
次光電子増倍器より成る光電子増倍管の構成を案ず断面
図である。 １１・・・電子増倍素子　１２・・・第１プレート１３
・・・増倍孔 １４・・・第１プレートの第１表面 １５・・・増倍孔の入力同日 １６・・・増倍孔の出力開口 １７・・・第１プレートの第２表面 ２２・・・第芝プレート　２３・・・補助孔２４・・・
第２プレートの第１表面 ２５・・・第２プレートの入口開口 ２６・・・第２プレートの出力開口 ２７・・・第２プレートの第２表面 ３０・・・増倍素子表面に直角な方向 ３１・・・直線状チャンネル方向 ４０・・・電子増倍装置　４１・・・光電陰極４２・・
・陽極　４３・・・第１ダイノード５０・・・柱状体　
５１・・・分Ｆｉｌ１区域７０・・・ガラス球　７１・
・・円 ７２・・・円の中心　８０・・・中心区域８１・・・接
続パッド。 （り − ｈ才 ＝１ （”−Ｊ 、−十　◆ ゝ−′　Ｎ−〆 ・−十　＋ ＦｌＯ，１２ ＦＩＧ、１３

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．２次電子放出を行う有孔プレート形の電子増倍素子
   （１１）において、該電子増倍素子は、まず規則正しい
   平坦パターンに従って配設された多数の増倍孔（１３）
   を有する第１プレート（１２）を具え、各増倍孔（１３
   ）によって前記第１プレート（１２）の第１表面に入力
   開口（１５）を画成すると共に前記第１プレー１−の第
   ２表面に入力間口よりも小さい出力開口（１６）を画成
   し、各入力開口（１５）の端部は互いに接触するか或い
   は互いにほぼ接触し、ざら前記電子増倍素子は、第１プ
   レート（１２）に平行で多数の補助孔（２３）を有づる
   第２プレー１−（１３）を具え、各補助孔（２３）によ
   って、第１プレートの第２表面（１７）に対向して配置
   された該第２プレー１〜（２２）の第１表面（２４）に
   入力開口を画成し、該入力開口（２５）は増倍孔（１３
   ）の出力開口（１６）にほぼ等しく、且つ第２プレート
   （２２）の第２表面（２７）に形成された前記補助孔（
   ２３）の出力開口（２６）の口径より小ざくし、さらに
   前記第１プレート〈１２）及び第２プレート（２２）は
   互いに電気的に絶縁すると共に、１）ａ記第２プレート
   （２２）を第１プレーｈ（１２）の電位（ＶＯ）より高
   い電位〈ｖｌ〉に保持するようにしたことを特徴と覆る
   電子増倍素子。 ２、増倍孔（１３）の入力開口（１５）及び出力開口（
   １６）を円形とし、前記規則正しい平坦パターンを正方
   形状とづるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の電子増倍素子。 ３、第１プレート（１２）の増倍孔（１３）の人力開口
   及び出力開口を円形とし、且つ前記規則正しい平坦パタ
   ーンを六角形状とり−るようにしたことを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載の電子増倍素子。 ４．第１プレート（１２）の増倍孔（１３）の入力開口
   （１５）をほぼ正方形とし、且つ前記規則正しい平担パ
   ターンを正方形状としたことを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載、の電子増倍素子。 ５、第１プレート（１２）の増倍孔（１３）の入力開口
   （１５〉をほぼ六角形とし、且つ前記規則正しい平担パ
   ターンを六角形状としたことを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載の電子増倍素子。 ６、第１プレート（１２）の前記増倍孔（１３）の前記
   出力開口（１６）を、第１プレー１−（１２）の人力間
   口り１５）に対し適宜ずらせて前記増倍孔（１３）が非
   対称となるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の゛電子増倍素子。 ７．１番目の電子増倍素子の第２プレート（２２）の第
   ２表面（２７）とｉ＋１番目の電子増倍素子の第１プレ
   ート（１２）の第１表面（１４）との間の距離（Ｄ）を
   、同一の増倍素子の前記第１プレート（１２）と第２プ
   レー１−（２２）との間の距離（ｄ　）より大きくし、
   １番目の増倍素子の第２プレートク２２）を；＋１番目
   の増倍素子の第１７ル−ト（１２）の電位（Ｖｏ　（ｉ
   　＋１））に等しい電位（Ｖ＋ｉ＞とするようにしたこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第６項の何れ
   かに記載の２次電子放出を行なうＮ個の電子増倍素子を
   平行に積重ねた電子増倍装置。 ８、ｉ＋１番目の電子増倍素子の増倍孔（１３）及び補
   助孔（２３）を１番目の増倍素子の増倍孔及び補助孔に
   対向して配置して、Ｎ個の増倍素子の関連する増倍孔及
   び補助孔によりＮ個の増倍素子の表面に対し直角を成す
   方向（３０）に直線状チャンネルを形成するようにした
   ことを特徴とする特許請求の範囲第７項記載の電子増倍
   装置。 ９．１番目の電子増倍素子の増倍孔及び補助孔に対しｉ
   ＋１番目の電子増倍素子の増倍孔（１３）及び補助孔（
   ２３）を適宜ずらせて、Ｎ個の増倍素子の関連する増倍
   孔及び補助孔によってＮ個の増倍素子の表面の法線（３
   ０）’に対し鋭角を成す方向（３１）に直線状チャンネ
   ルを形成するようにしたことを特徴とする特許請求の範
   囲第７項記載の電子増倍装置。 １０．１番目の電子増倍素子の増倍孔及び補助孔に対し
   て１＋１番目の増倍素子の増倍孔（１３）及び補助孔（
   ２３）を適宜ずらせて、Ｎ個の電子増倍素子の関連する
   増倍孔及び２次電子放出孔によって螺旋状チャンネルを
   形成するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第
   ７項記載の電子増倍装置。 １１．１番目の電子増倍素子の非対称増倍孔に対し、ｉ
   ＋１番目の電子増倍素子の非対称増倍孔（１３）を逆向
   き（ヘッドティル構体状）に゛配置するようにしたこと
   を特徴とする特許請求の範囲第６項乃至第１０項の何れ
   かに記載の電子増倍装置。 １２、光電陰極（４１）及び少なくとも１個の陽極（４
   ２）を有する光電子増倍管において、電子増倍装置を光
   電陰極（４１）と陽極（４２）との間に配置し、増倍孔
   （１３）の入力量［Ｎ１５）を光電陰極（４１）に向り
   るようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第７項乃
   至第１０項の何れかに記載の電子増倍装置を用いる光電
   子増倍管。 １３、隣接する１１個の陽極（４２）を具え、前記電子
   増倍装置を光電陰極（４１）に近接して配置すると共に
   ２個の連続する陽極（４２〉の弁口１区域（５１）に対
   向して位置する耐電子隔壁（５０）により１１個の２次
   電子増倍装置に分割してｎ個の２次電子増倍管を同一の
   光電子増倍管内に形成するようにしたことを特徴とする
   特許請求の範囲第７項乃至第１０項の伺れかに記載の電
   子増倍装置を用いる光電子指（ｆ＜管。