JPS6040760B2 - コンデンサマイクロホン用振動膜の製造方法 - Google Patents
コンデンサマイクロホン用振動膜の製造方法Info
- Publication number
- JPS6040760B2 JPS6040760B2 JP15019377A JP15019377A JPS6040760B2 JP S6040760 B2 JPS6040760 B2 JP S6040760B2 JP 15019377 A JP15019377 A JP 15019377A JP 15019377 A JP15019377 A JP 15019377A JP S6040760 B2 JPS6040760 B2 JP S6040760B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- diaphragm
- manufacturing
- membrane
- metal
- Prior art date
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- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R19/00—Electrostatic transducers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はコンデンサ型マイクロホン用振動膜の製造方法
に関するものである。
に関するものである。
第１図は従来のマイクロホンの全体の構造を示したもの
である。
である。
同図において振動膜３は膜張りリング１に接着剤を用い
て固定され、引張られている。この振動膜３はスベーサ
５によって平滑に仕上げられた固定電極９との間に適当
な間隙が保持されている。固定電極９は絶縁体から成る
電極支持ケース７によって固定支持され、固定電極９の
端子６は電極支持ケース７の中心を貫通して外部へ引き
出されている。また膜張りリング１、固定電極９、電極
支持ケース７などは外錘ケース８に依って被われ、下端
部８′に於てかしめられ、固定されている。この様に構
成されたコンデンサマィクロホソにおいて、従釆振動膜
は第２図に示す如く構成されている。
て固定され、引張られている。この振動膜３はスベーサ
５によって平滑に仕上げられた固定電極９との間に適当
な間隙が保持されている。固定電極９は絶縁体から成る
電極支持ケース７によって固定支持され、固定電極９の
端子６は電極支持ケース７の中心を貫通して外部へ引き
出されている。また膜張りリング１、固定電極９、電極
支持ケース７などは外錘ケース８に依って被われ、下端
部８′に於てかしめられ、固定されている。この様に構
成されたコンデンサマィクロホソにおいて、従釆振動膜
は第２図に示す如く構成されている。
すなわち１０はプラスチック，セラミック，ガラスなど
の絶縁体から成る膜張り用リング、１１はプラスチック
などのフィルムから成る振動膜、１２は振動膿の上に被
着された金属蒸着箔、１３，１４は膜張り用リングの側
面及び上面に被着された金属蒸着箔の部分である。この
様な振動膜を製作するに当っては、金属蒸着していない
段階でプラスチックフィルム１１上に膜張り用リング１
０を接着剤を用いてあるし、は熱融着等により固定し、
この後に、上面より膜張り用リング１０及び振動膿１１
を含め全面に金属蒸着を行なう。
の絶縁体から成る膜張り用リング、１１はプラスチック
などのフィルムから成る振動膜、１２は振動膿の上に被
着された金属蒸着箔、１３，１４は膜張り用リングの側
面及び上面に被着された金属蒸着箔の部分である。この
様な振動膜を製作するに当っては、金属蒸着していない
段階でプラスチックフィルム１１上に膜張り用リング１
０を接着剤を用いてあるし、は熱融着等により固定し、
この後に、上面より膜張り用リング１０及び振動膿１１
を含め全面に金属蒸着を行なう。
その後、各膜張り用リング毎に切り抜き切断を行なう。
第３図に実際に金属蒸着を行なう場合の装置の概略を示
す。
第３図に実際に金属蒸着を行なう場合の装置の概略を示
す。
３一１は蒸着装層本体、３一２はベルジャー、３−３は
チャソバーでポンプ等により真空に排気されている。
チャソバーでポンプ等により真空に排気されている。
３一４は蒸着給具、３一５はヒーター、３一６はニッケ
ル等の金属、３一７は金属分子の飛ぶ方向、３一１川ま
膜張り用リング、３−１１は振動膜である。
ル等の金属、３一７は金属分子の飛ぶ方向、３一１川ま
膜張り用リング、３−１１は振動膜である。
金属分子の飛ぶ方向３一７は被蒸着物の付近では真上へ
向かう方向となり、第２図に示す膜張り用リングの内側
面とは平行する事になり、この内側面に金属が蒸着し‘
こくく、蒸着面１２と１４の導通がとれずにマイクロホ
ンの感度が大中に低下する事がある。なお、蒸着面１４
と外蟹ケース８は電気的に導通がとれている。上記のよ
うな欠点を改善する一方法として第４図に示す如く、膜
張り用リングの内側面にテーパを付ける事が考えられる
。
向かう方向となり、第２図に示す膜張り用リングの内側
面とは平行する事になり、この内側面に金属が蒸着し‘
こくく、蒸着面１２と１４の導通がとれずにマイクロホ
ンの感度が大中に低下する事がある。なお、蒸着面１４
と外蟹ケース８は電気的に導通がとれている。上記のよ
うな欠点を改善する一方法として第４図に示す如く、膜
張り用リングの内側面にテーパを付ける事が考えられる
。
第２図の構造と異なる点は１５のテーパ角が９００より
小さい事であるが、この角度は鋭角の部分の強度を保持
するため、６００〜７５０が望ましい。しかしながら、
プラスチック材料の切削加工ではこのテーパ角は小さく
するのは不可能であり、加工のコストダウンのため、プ
レス加工にすると、第２図と同一の構造にせざるを得な
い。本発明はこのような振動膜周辺の製造上の欠点を改
善せんとするものである。
小さい事であるが、この角度は鋭角の部分の強度を保持
するため、６００〜７５０が望ましい。しかしながら、
プラスチック材料の切削加工ではこのテーパ角は小さく
するのは不可能であり、加工のコストダウンのため、プ
レス加工にすると、第２図と同一の構造にせざるを得な
い。本発明はこのような振動膜周辺の製造上の欠点を改
善せんとするものである。
以下第５図により本発明の一実施例を説明する。第５図
は実際に金属葵着を行なう場合の装瞳の概略を示すもの
で、５ーーは蒸着装層本体、５−２はベルジャー、５一
３はチャンバーでポンプ等により真空に排気されている
。
は実際に金属葵着を行なう場合の装瞳の概略を示すもの
で、５ーーは蒸着装層本体、５−２はベルジャー、５一
３はチャンバーでポンプ等により真空に排気されている
。
５−４は蒸着治具、５一５はヒーター、５−６はニッケ
ル等の金属、５一７は金属分子の飛ぶ方向、５−１０は
膜張り用リング、５−１１は振動膜である。
ル等の金属、５一７は金属分子の飛ぶ方向、５−１０は
膜張り用リング、５−１１は振動膜である。
被蒸着物を傾ける角度５−８は均一の厚さで蒸着させる
ため、チャンバ５一３の大きさによって多少異なるが、
１５０〜３０ｏが望ましい。これにより、第２図に示す
葵着面１２と１４には確実に金属が蒸着でき、ある一方
向で確実に電気的な導通がとれる。尚、コンデンサマィ
クロホンの場合、振動膜と電極間の容量はせし、ぜし、
１０肥Ｆであるから、ＩＫＨＺでＩＭＯとなり、導通抵
抗が１０ＫＯであってもマイクロホンの感度ロスは無視
し得る。つまり、第２図における蒸着面１２と１４が一
方向だけ、一部分だけ電気的に導通しても、導通抵抗が
数ＫＱ以下になるので、マイクロホンの感度のロスはな
い。以上のように、本発明によれば、膜張り用リングの
材料、加工法の選択の自由度が大きく、かつマイクロホ
ンの感度ロスを十分に防止できる。
ため、チャンバ５一３の大きさによって多少異なるが、
１５０〜３０ｏが望ましい。これにより、第２図に示す
葵着面１２と１４には確実に金属が蒸着でき、ある一方
向で確実に電気的な導通がとれる。尚、コンデンサマィ
クロホンの場合、振動膜と電極間の容量はせし、ぜし、
１０肥Ｆであるから、ＩＫＨＺでＩＭＯとなり、導通抵
抗が１０ＫＯであってもマイクロホンの感度ロスは無視
し得る。つまり、第２図における蒸着面１２と１４が一
方向だけ、一部分だけ電気的に導通しても、導通抵抗が
数ＫＱ以下になるので、マイクロホンの感度のロスはな
い。以上のように、本発明によれば、膜張り用リングの
材料、加工法の選択の自由度が大きく、かつマイクロホ
ンの感度ロスを十分に防止できる。
第１図は従来のマイクロホンの全体の構造を示す断面図
、第２図は従来の振動膜の要部側断面図、第３図は上記
振動膜の製法における金属蒸着装瞳の概略図、第４図は
従来の振動膜の一致良例を示す要部側断面図、第５図は
本発明の一実施例によるコンデンサマィクロホン用振動
膜の製法における金属蒸着装瞳の概略図である。 １０，３−１０，５−１０・・・・・・膜張り用リング
「 １１，３−１１，５一１１……プラスチックフィル
ム、１２，１３，１４・・・…蒸着面。 第１図第２図 第３図 第４図 第５図
、第２図は従来の振動膜の要部側断面図、第３図は上記
振動膜の製法における金属蒸着装瞳の概略図、第４図は
従来の振動膜の一致良例を示す要部側断面図、第５図は
本発明の一実施例によるコンデンサマィクロホン用振動
膜の製法における金属蒸着装瞳の概略図である。 １０，３−１０，５−１０・・・・・・膜張り用リング
「 １１，３−１１，５一１１……プラスチックフィル
ム、１２，１３，１４・・・…蒸着面。 第１図第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- １ プラスチツクフイルムに固定した絶縁体からなる膜
張り用リングを金属分子が飛ぶ方向に対して傾けて設け
、上記プラスチツクフイルムの片面および上記リングの
片面にそれぞれ金属蒸着箔を設けるとともに、上記リン
グの内周面の少なくとも一部に金属蒸着箔を設け、上記
プラスチツクフイルム上の金属蒸着箔と、上記リング上
の金属蒸着箔とを、上記リング内周面上の金属蒸着箔で
電気的に導通させることを特徴とするコンデンサマイク
ロホン用振動膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15019377A JPS6040760B2 (ja) | 1977-12-13 | 1977-12-13 | コンデンサマイクロホン用振動膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15019377A JPS6040760B2 (ja) | 1977-12-13 | 1977-12-13 | コンデンサマイクロホン用振動膜の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5482227A JPS5482227A (en) | 1979-06-30 |
| JPS6040760B2 true JPS6040760B2 (ja) | 1985-09-12 |
Family
ID=15491542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15019377A Expired JPS6040760B2 (ja) | 1977-12-13 | 1977-12-13 | コンデンサマイクロホン用振動膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6040760B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58132499U (ja) * | 1982-02-26 | 1983-09-07 | 松下電器産業株式会社 | 双指向性型のエレクトレットコンデンサマイクロホン |
-
1977
- 1977-12-13 JP JP15019377A patent/JPS6040760B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5482227A (en) | 1979-06-30 |
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