JPS6042674B2 - 表面検査装置の自動検査範囲設定方式 - Google Patents
表面検査装置の自動検査範囲設定方式Info
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- JPS6042674B2 JPS6042674B2 JP15260477A JP15260477A JPS6042674B2 JP S6042674 B2 JPS6042674 B2 JP S6042674B2 JP 15260477 A JP15260477 A JP 15260477A JP 15260477 A JP15260477 A JP 15260477A JP S6042674 B2 JPS6042674 B2 JP S6042674B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、被検査体表面を複数台の撮像装置で撮像し、
その映像信号により被検査体の表面検査を行なう装置の
自動検査範囲設定方式に関する。
その映像信号により被検査体の表面検査を行なう装置の
自動検査範囲設定方式に関する。
熱延ラインの鋼板などの被検査体の表面をテレビカメラ
で撮像し、鋼板表面に疵があると該疵はビデオ信号には
振幅変化部として現われるので、該カメラの出力ビデオ
信号を処理して振幅変化部を捉え、疵検出を行なう表面
検査装置を本出願人は開発し、特願昭５１−８６３８７
号、特願昭５１−８７０１７号等で提案した。ところで
疵をビデオ信号の振幅変化部として捉えるという方式を
とる場合、振幅変化部は疵以外に鋼板エッジ、熱延ライ
ンの銅板ガイド、更には水平同期信号などによつても生
じるのでこれらと区別する必要があり、そこで上記表面
検査装置では第３図に示すようにエッジ検出器ＥＤで銅
板の左、右エッジ信号を検出し、これらのエッジ信号の
間従つて鋼板の両エッジを除く鋼板巾よりや）狭い範囲
を検査範囲にさせる検査範囲設定信号を回路ＣＡＳで作
り、該信号をテレビカメラＴＶＣからのビデオ信号Ｓｇ
を入力される欠陥検出器鳩に加えてマスクの作用をさせ
、上記範囲の鋼板表面に対するビデオ信号のみから誤り
のない正確な疵検出を行なうようにしている。ところで
表面検査の精度を上げ、微細な疵までも検出可能にする
には、特に圧延ラインの鋼板は巾が広く、テレビカメラ
の解像度には限度があるので、複数台のカメラを用い、
鋼板表面を分割してその各部をこれらのカメラで撮像す
ることが必要になる。この場合問題なのは前述の検査範
囲である。即ち例えば２台で鋼板表面の巾方向各半分を
分担撮像する場合を考えると、左端から中央までが守備
範囲のカメラは左エッジ信号の検出は可能であるが右エ
ッジ信号はなく、また中央から右端までが守備範囲のカ
メラは右エッジ信号は検出できるが左エッジ信号はない
。第１及び第２の発明はか）る問題に対処しようとする
ものであり、被検査体表面を幅方向で分割撮像する複数
台の撮像装置と、該撮像装置の出力ビデオ信号により検
査範囲を決定する検査範囲設定回路と、該検査範囲内の
ビデオ信号から表面欠陥を検知する回路を備える表面検
査装置の自動検査範囲設定方式において、各撮像装置の
撮像範囲が隣接する様に各撮像装置を位置決めしておき
、検査範囲外における設定ラインに対応する水平走査ラ
インを抜取り、水平走査期間に相当するパルスを出力す
る設定ライン抜取り回路の出力によつてカウンタを起動
し、該被検査体の左又は右のエッジ検出信号が入力され
た時該カウンタのカウント値をメモリに書込み、次回以
降の水平走査では該メモリの値を該カウンタにロードし
、該カウンタをダウンカウントさせ、該カウンタから出
力されるフオロー信号を検査範囲の左又は右の疑似エッ
ジ信号として検査範囲設定信号出力回路に入力し、撮像
範囲が隣接する部分については水平同期信号を該部分に
対ｌするエッジ信号として該検査範囲設定信号出力回路
に入力する様にしたこと、及び前記表面検査装置の自動
検査範囲設定方式において、各撮像装置の撮像範囲が重
なる様にしておき、検査範囲外におげる設定ラインに対
応する水平走査ラインを抜門き取り、水平走査期間に相
当するパルスを出力する設定ライン抜き取り回路の出力
によつて第１カウンタを起動し、該被検査体の左又は右
のエッジ検出信号が入力された時該第１カウンタのカウ
ント値をメモリに書込み、次回以降の水平走査ではｊ該
メモリの値を該カウンタにロードし、該第１カウンタを
ダウンカウントさせ、該第１カウンタから出力されるフ
オロー信号を検査範囲の左又は右の疑似エッジ信号とし
て、また該第１カウンタと同期してダウンカウントし検
査終了点又は開始点を示す定数をプリセットされた第２
カウンタからのフオロー信号を撮像範囲が重なる部分に
対するエッジ信号として検査範囲設定信号出力回路に入
力する様にしたことを特徴とするものである。鋼板長さ
方向については、テレビカメラの撮像頻度を大にすれば
高速移動中の鋼板でもその全表面を１台のカメラで洩れ
なく撮像することは可能であるはずであるが、撮像に必
要なストロボ装置の作動可能頻度およびテレビカメラの
所要信号蓄積時間等から撮像頻度増大には限度があり、
従つてやはり複数台のテレビで分担撮像する必要が生じ
る。この場合（１台の場合でも同様であが）各回の検査
範囲が鋼板長手方向において密接しているのが好ましく
、離散しまたは重複するのは、疵不検出または重複検出
を招くので好ましくない。各回検査範囲を密接させるに
は鋼板速度に合わせて撮像頻度を変えるという方法をと
るが、完全に密接させることは難しい。そこで本発明で
は鋼板１検査範囲を長手方向で例えば２分してこれを２
台のテレビカメラで分担撮像し、次回の検査範囲とは密
接させるか又は重なる様にし、その重なる部分について
は上、下流側テレビカメラの一方、例えば上流側のテレ
ビカメラの検査範囲を制限し、両検査範囲が密接する様
にした。即ちこの発明の第２の発明は、被検査体表面を
幅方向及び被検査体移動方向で分割撮像する複数台の撮
像装置と、該撮像装置の出力ビデオ信号により検査範囲
を決定する検査範囲設定回路と、該検査範囲内のビデオ
信号から表面欠陥を検知する回路を備える表面検査装置
の自動検査範囲設定方式において、鋼板表面反復撮像が
過不足なく行なわれるときの１フィールドのライン数を
ＬＳｌ鋼板速度を示すパルスの数をＮＯとして、１フィ
ールドの間該パルスが入力する度にＬｓ／ＮＯを累積す
る累積器と、該累積器出力がプリセットされるカウンタ
を；有し、該累積器は検査開始前に累積を行なつて垂直
同期信号に同期して該カウンタにプリセットし、該カウ
ンタは水平同期信号に同期してダウンカウントし、該カ
ウンタのフオロー信号を移動方向の検査範囲の終端を示
す信号として該検査範囲く設定信号出力回路に入力する
様にしたことを特徴とするものである。次に図面を参照
しながらこれらを詳細に説明する。第１図は４台のテレ
ビカメラで被検査体の表面検査を行なう例を示す。
で撮像し、鋼板表面に疵があると該疵はビデオ信号には
振幅変化部として現われるので、該カメラの出力ビデオ
信号を処理して振幅変化部を捉え、疵検出を行なう表面
検査装置を本出願人は開発し、特願昭５１−８６３８７
号、特願昭５１−８７０１７号等で提案した。ところで
疵をビデオ信号の振幅変化部として捉えるという方式を
とる場合、振幅変化部は疵以外に鋼板エッジ、熱延ライ
ンの銅板ガイド、更には水平同期信号などによつても生
じるのでこれらと区別する必要があり、そこで上記表面
検査装置では第３図に示すようにエッジ検出器ＥＤで銅
板の左、右エッジ信号を検出し、これらのエッジ信号の
間従つて鋼板の両エッジを除く鋼板巾よりや）狭い範囲
を検査範囲にさせる検査範囲設定信号を回路ＣＡＳで作
り、該信号をテレビカメラＴＶＣからのビデオ信号Ｓｇ
を入力される欠陥検出器鳩に加えてマスクの作用をさせ
、上記範囲の鋼板表面に対するビデオ信号のみから誤り
のない正確な疵検出を行なうようにしている。ところで
表面検査の精度を上げ、微細な疵までも検出可能にする
には、特に圧延ラインの鋼板は巾が広く、テレビカメラ
の解像度には限度があるので、複数台のカメラを用い、
鋼板表面を分割してその各部をこれらのカメラで撮像す
ることが必要になる。この場合問題なのは前述の検査範
囲である。即ち例えば２台で鋼板表面の巾方向各半分を
分担撮像する場合を考えると、左端から中央までが守備
範囲のカメラは左エッジ信号の検出は可能であるが右エ
ッジ信号はなく、また中央から右端までが守備範囲のカ
メラは右エッジ信号は検出できるが左エッジ信号はない
。第１及び第２の発明はか）る問題に対処しようとする
ものであり、被検査体表面を幅方向で分割撮像する複数
台の撮像装置と、該撮像装置の出力ビデオ信号により検
査範囲を決定する検査範囲設定回路と、該検査範囲内の
ビデオ信号から表面欠陥を検知する回路を備える表面検
査装置の自動検査範囲設定方式において、各撮像装置の
撮像範囲が隣接する様に各撮像装置を位置決めしておき
、検査範囲外における設定ラインに対応する水平走査ラ
インを抜取り、水平走査期間に相当するパルスを出力す
る設定ライン抜取り回路の出力によつてカウンタを起動
し、該被検査体の左又は右のエッジ検出信号が入力され
た時該カウンタのカウント値をメモリに書込み、次回以
降の水平走査では該メモリの値を該カウンタにロードし
、該カウンタをダウンカウントさせ、該カウンタから出
力されるフオロー信号を検査範囲の左又は右の疑似エッ
ジ信号として検査範囲設定信号出力回路に入力し、撮像
範囲が隣接する部分については水平同期信号を該部分に
対ｌするエッジ信号として該検査範囲設定信号出力回路
に入力する様にしたこと、及び前記表面検査装置の自動
検査範囲設定方式において、各撮像装置の撮像範囲が重
なる様にしておき、検査範囲外におげる設定ラインに対
応する水平走査ラインを抜門き取り、水平走査期間に相
当するパルスを出力する設定ライン抜き取り回路の出力
によつて第１カウンタを起動し、該被検査体の左又は右
のエッジ検出信号が入力された時該第１カウンタのカウ
ント値をメモリに書込み、次回以降の水平走査ではｊ該
メモリの値を該カウンタにロードし、該第１カウンタを
ダウンカウントさせ、該第１カウンタから出力されるフ
オロー信号を検査範囲の左又は右の疑似エッジ信号とし
て、また該第１カウンタと同期してダウンカウントし検
査終了点又は開始点を示す定数をプリセットされた第２
カウンタからのフオロー信号を撮像範囲が重なる部分に
対するエッジ信号として検査範囲設定信号出力回路に入
力する様にしたことを特徴とするものである。鋼板長さ
方向については、テレビカメラの撮像頻度を大にすれば
高速移動中の鋼板でもその全表面を１台のカメラで洩れ
なく撮像することは可能であるはずであるが、撮像に必
要なストロボ装置の作動可能頻度およびテレビカメラの
所要信号蓄積時間等から撮像頻度増大には限度があり、
従つてやはり複数台のテレビで分担撮像する必要が生じ
る。この場合（１台の場合でも同様であが）各回の検査
範囲が鋼板長手方向において密接しているのが好ましく
、離散しまたは重複するのは、疵不検出または重複検出
を招くので好ましくない。各回検査範囲を密接させるに
は鋼板速度に合わせて撮像頻度を変えるという方法をと
るが、完全に密接させることは難しい。そこで本発明で
は鋼板１検査範囲を長手方向で例えば２分してこれを２
台のテレビカメラで分担撮像し、次回の検査範囲とは密
接させるか又は重なる様にし、その重なる部分について
は上、下流側テレビカメラの一方、例えば上流側のテレ
ビカメラの検査範囲を制限し、両検査範囲が密接する様
にした。即ちこの発明の第２の発明は、被検査体表面を
幅方向及び被検査体移動方向で分割撮像する複数台の撮
像装置と、該撮像装置の出力ビデオ信号により検査範囲
を決定する検査範囲設定回路と、該検査範囲内のビデオ
信号から表面欠陥を検知する回路を備える表面検査装置
の自動検査範囲設定方式において、鋼板表面反復撮像が
過不足なく行なわれるときの１フィールドのライン数を
ＬＳｌ鋼板速度を示すパルスの数をＮＯとして、１フィ
ールドの間該パルスが入力する度にＬｓ／ＮＯを累積す
る累積器と、該累積器出力がプリセットされるカウンタ
を；有し、該累積器は検査開始前に累積を行なつて垂直
同期信号に同期して該カウンタにプリセットし、該カウ
ンタは水平同期信号に同期してダウンカウントし、該カ
ウンタのフオロー信号を移動方向の検査範囲の終端を示
す信号として該検査範囲く設定信号出力回路に入力する
様にしたことを特徴とするものである。次に図面を参照
しながらこれらを詳細に説明する。第１図は４台のテレ
ビカメラで被検査体の表面検査を行なう例を示す。
ＳＰは被検査体で、本例では熱延ラインの鋼板である。
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは４台の高解像度テレビカメラの撮像範
囲を示し、カメラは固定従つて撮像範囲は一定であるが
、鋼板ＳＰは移送されかつ蛇行つまり横方向移動もする
ので各カメラにより撮像される鋼板表面部分は一定では
ない。被検範囲Ａ−Ｄは、鋼板に蛇行があつても該範囲
から鋼板が外れない様な範囲とし、また鋼板の移送速度
に合せて該範囲で撮像をフ繰り返して鋼板全表面が余す
所なくかつ重復せずに検査される様にする。鎖線で示す
線１１，１２は設定ラインと呼ぶ線で、この線上で鋼板
の左、右エッジ検出を行ない、該エッジに基づいて前記
検査範囲の設定を行ない、かつそれを記憶しておき、・
エッジが検出されない様な場合はその記憶値を用いて検
査範囲設定を行なう。これらのエッジ検出、検査範囲設
定、その記憶、読出し等の仕方については前述の特願昭
５１−８７０１７号に詳記されている。ところでカメラ
１台で被検査体の巾Ｗ全体をカバーする場合は、該カメ
ラのビデオ出力には左、右両エッジが含まれるが、第１
図のようなりメラ配置では各々左または右エッジしか含
まないことになる。第２図ａ−ｄは前記Ａ−Ｄを撮像範
囲とするテレビカメラＴＶＣａ−ＴＶＣｄの設定ライン
上のビデオ信号を示すが、これらの図に示すように左側
のテレビカメラＴＶＣａ，ＴＶＣｃのビデオ信号には左
エッジを示す段差ＥＬがあるが、走査は鋼板中央で終る
から右エッジは含まれておらず、これとは逆に右側のテ
レビカメラＴＶＣｂ，ＴＶＣｄのビデオ信号には右エッ
ジを示す段差ＥＲが含まれるが、走査は鋼板中央から始
まるから左エッジは含まれない。従つて第２図Ｅ，ｆに
示すように左側カメラからは左エッジ信号ｈ１、右側カ
メラからは右エッジ信号Ｈ２しか取出せない。ところで
前述のようにカメラの撮像範囲は一定であり、これは銅
板の移送、蛇行とは関係ない。
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは４台の高解像度テレビカメラの撮像範
囲を示し、カメラは固定従つて撮像範囲は一定であるが
、鋼板ＳＰは移送されかつ蛇行つまり横方向移動もする
ので各カメラにより撮像される鋼板表面部分は一定では
ない。被検範囲Ａ−Ｄは、鋼板に蛇行があつても該範囲
から鋼板が外れない様な範囲とし、また鋼板の移送速度
に合せて該範囲で撮像をフ繰り返して鋼板全表面が余す
所なくかつ重復せずに検査される様にする。鎖線で示す
線１１，１２は設定ラインと呼ぶ線で、この線上で鋼板
の左、右エッジ検出を行ない、該エッジに基づいて前記
検査範囲の設定を行ない、かつそれを記憶しておき、・
エッジが検出されない様な場合はその記憶値を用いて検
査範囲設定を行なう。これらのエッジ検出、検査範囲設
定、その記憶、読出し等の仕方については前述の特願昭
５１−８７０１７号に詳記されている。ところでカメラ
１台で被検査体の巾Ｗ全体をカバーする場合は、該カメ
ラのビデオ出力には左、右両エッジが含まれるが、第１
図のようなりメラ配置では各々左または右エッジしか含
まないことになる。第２図ａ−ｄは前記Ａ−Ｄを撮像範
囲とするテレビカメラＴＶＣａ−ＴＶＣｄの設定ライン
上のビデオ信号を示すが、これらの図に示すように左側
のテレビカメラＴＶＣａ，ＴＶＣｃのビデオ信号には左
エッジを示す段差ＥＬがあるが、走査は鋼板中央で終る
から右エッジは含まれておらず、これとは逆に右側のテ
レビカメラＴＶＣｂ，ＴＶＣｄのビデオ信号には右エッ
ジを示す段差ＥＲが含まれるが、走査は鋼板中央から始
まるから左エッジは含まれない。従つて第２図Ｅ，ｆに
示すように左側カメラからは左エッジ信号ｈ１、右側カ
メラからは右エッジ信号Ｈ２しか取出せない。ところで
前述のようにカメラの撮像範囲は一定であり、これは銅
板の移送、蛇行とは関係ない。
そこで、走査は左から右に行なわれるとして、左側カメ
ラの撮像範囲の終端と右側カメラの撮像範囲の始端を一
致させることは可能であり、これには単にカメラを設置
した段階で各カメラのビデオ信号を取出す水平走査の始
終点を調整すればよい。このようにすれば簡単には左側
カメラの撮像範囲の終端は水平ブランキング信号の後縁
、右側カメラの撮像範囲の始点は水平ブランキング信号
の前縁とすることができる。勿論これらの前、後縁より
所定長進め又は遅らせてもよく、要は疵検出に用いる有
効部分の始終端が互いに一致する様にすればよい。第４
図は左、右カメラの検査範囲設定回路の実施例を示し、
１０は設定ラインを抜き取る回路で、垂直同期信号ＶＤ
と水平同期信号ＨＤを入力され、垂直同期信号から数え
てｎ番目（ｎは任意の数）の水平同期信号からｎ＋１番
目迄のそれ迄の１水平走査期間相当の間オンになる信号
Ｓ１を出力する。
ラの撮像範囲の終端と右側カメラの撮像範囲の始端を一
致させることは可能であり、これには単にカメラを設置
した段階で各カメラのビデオ信号を取出す水平走査の始
終点を調整すればよい。このようにすれば簡単には左側
カメラの撮像範囲の終端は水平ブランキング信号の後縁
、右側カメラの撮像範囲の始点は水平ブランキング信号
の前縁とすることができる。勿論これらの前、後縁より
所定長進め又は遅らせてもよく、要は疵検出に用いる有
効部分の始終端が互いに一致する様にすればよい。第４
図は左、右カメラの検査範囲設定回路の実施例を示し、
１０は設定ラインを抜き取る回路で、垂直同期信号ＶＤ
と水平同期信号ＨＤを入力され、垂直同期信号から数え
てｎ番目（ｎは任意の数）の水平同期信号からｎ＋１番
目迄のそれ迄の１水平走査期間相当の間オンになる信号
Ｓ１を出力する。
この信号Ｓ１は第１図から明らかなように設定ライン１
１，１．を示す。１１はメモＩ八１２はカウンタ、１３
はクロック発振器であり、これらは前述の出願明細書に
詳記のようにエッジ信号を記憶、再生する機能を持つ。
１，１．を示す。１１はメモＩ八１２はカウンタ、１３
はクロック発振器であり、これらは前述の出願明細書に
詳記のようにエッジ信号を記憶、再生する機能を持つ。
１４は検査範囲信号抜取り回路、ＣＥＳは検査範囲設定
信号出力回路でアンドゲート１６及びフリップフロップ
回路ＦＦを備える。
信号出力回路でアンドゲート１６及びフリップフロップ
回路ＦＦを備える。
第４図ａは左カメラ用、同図ｂは右カメラ用の検査範囲
設定回路である。第５図を参照しながらこれを概述する
と、第５図１は水平ブランキング信号１（ＢＬを示し、
２および６は左、右エッジ信号Ｈｌ，ｈ２を示す。
設定回路である。第５図を参照しながらこれを概述する
と、第５図１は水平ブランキング信号１（ＢＬを示し、
２および６は左、右エッジ信号Ｈｌ，ｈ２を示す。
エッジ信号は第２図に示すようにビデオ信号の振幅変化
が該エッジ部で非常に大きいので、微分値を求めて閾別
し、また予め予想されるエッジ部を残して他の部分をマ
スクするゲートに通したりして検出することができる。
設定ライン信号Ｓ１は第５図３に示す如くであり、この
信号Ｓ１はアンドゲート１５に加わると共にカウンタ１
２に加わり、該カウンタ１２をアップカウンタにセット
し、かつクロック発振器１３からのクロックＣＬＫの計
数を開始させる。ビデオ信号からやがて左エッジ信号ｈ
１が検出されると、この信号はアンドゲート１５に加わ
り、該ゲートは第５図４に示すように信号Ｓ２を出力し
、この信号Ｓ２はカウンタ１２の当該時点の計数値をメ
モリ１１に記憶させる。該計数値は水平走査の始端から
エッジまでの長さを示している。次回以降の水平走査で
は設定ライン信号Ｓ１は０であり、該信号Ｓ１によりカ
ウンタ１２はダウンカウンタにセットされ、そして水平
同期信号冊によりメモリ１１の内容をローディングされ
、かつクロックＣＬＫの計数（減算）を開始する。カウ
ンタの内容が０になるとフオロー信号Ｓ３が生じ、この
信号はアンドゲート１６を通つて擬似左エッジ信号Ｓ４
としてフリップフロップ下Ｆへ入力し、これをセットす
る。該フリップフロップは水平同期信号Ｄでリセットさ
れ、第５図５に示す左側カメラのビデオ信号用検査範囲
設定信号Ｓａを作る。右側カメラのビデオ信号用検査範
囲設定に対しては、４図ｂの回路を用い、アンドゲート
１５へは右エッジ信号Ｈ２を入力する。設定ライン抜取
り回路１０が設定ライン信号Ｓ１を出力すると、やはり
カウンタ１２をアップカウンタにセットし、クロックＣ
ＬＫの計数を開始させる。右エッジ信号Ｈ２が現われる
ときアンドゲート１５は第５図７に示すように信号Ｓ２
を出力し、そのときのカウンタ１２の計数値をメモリ１
１へ記憶させる。この計数値は水平走査の始端から右エ
ッジまでの長さを示している。次回以降の水平走査では
信号Ｓ１はＯであり、カウンタ１２はダウンカウンタに
セットされ、水平同期パルスＨＤが入力するときカウン
゛夕１２はメモリ１１の内容をローディングされかつク
ロックＣＬＫの計数（減算）を開始する。カウンタ１２
の内容がＯになるとフオロー信号Ｓ３が出力し、アンド
ゲート１６を通つて右擬似エッジ信号Ｓ５となつてフリ
ップフロップ下Ｆへ入力する。該フリップフロップは水
平同期信号ＨＤでセット、信号Ｓ５でリセットされて第
５図８に示す右側カメラのビデオ信号用検査範囲設定信
号Ｓｂを作る。こうして検査範囲は設定ライン上で検知
した鋼板エッジ信号に基づいて設定され、記憶され同一
画面ではその記憶値が用いられ、画面が変る毎に記憶値
の更新がなされる。
が該エッジ部で非常に大きいので、微分値を求めて閾別
し、また予め予想されるエッジ部を残して他の部分をマ
スクするゲートに通したりして検出することができる。
設定ライン信号Ｓ１は第５図３に示す如くであり、この
信号Ｓ１はアンドゲート１５に加わると共にカウンタ１
２に加わり、該カウンタ１２をアップカウンタにセット
し、かつクロック発振器１３からのクロックＣＬＫの計
数を開始させる。ビデオ信号からやがて左エッジ信号ｈ
１が検出されると、この信号はアンドゲート１５に加わ
り、該ゲートは第５図４に示すように信号Ｓ２を出力し
、この信号Ｓ２はカウンタ１２の当該時点の計数値をメ
モリ１１に記憶させる。該計数値は水平走査の始端から
エッジまでの長さを示している。次回以降の水平走査で
は設定ライン信号Ｓ１は０であり、該信号Ｓ１によりカ
ウンタ１２はダウンカウンタにセットされ、そして水平
同期信号冊によりメモリ１１の内容をローディングされ
、かつクロックＣＬＫの計数（減算）を開始する。カウ
ンタの内容が０になるとフオロー信号Ｓ３が生じ、この
信号はアンドゲート１６を通つて擬似左エッジ信号Ｓ４
としてフリップフロップ下Ｆへ入力し、これをセットす
る。該フリップフロップは水平同期信号Ｄでリセットさ
れ、第５図５に示す左側カメラのビデオ信号用検査範囲
設定信号Ｓａを作る。右側カメラのビデオ信号用検査範
囲設定に対しては、４図ｂの回路を用い、アンドゲート
１５へは右エッジ信号Ｈ２を入力する。設定ライン抜取
り回路１０が設定ライン信号Ｓ１を出力すると、やはり
カウンタ１２をアップカウンタにセットし、クロックＣ
ＬＫの計数を開始させる。右エッジ信号Ｈ２が現われる
ときアンドゲート１５は第５図７に示すように信号Ｓ２
を出力し、そのときのカウンタ１２の計数値をメモリ１
１へ記憶させる。この計数値は水平走査の始端から右エ
ッジまでの長さを示している。次回以降の水平走査では
信号Ｓ１はＯであり、カウンタ１２はダウンカウンタに
セットされ、水平同期パルスＨＤが入力するときカウン
゛夕１２はメモリ１１の内容をローディングされかつク
ロックＣＬＫの計数（減算）を開始する。カウンタ１２
の内容がＯになるとフオロー信号Ｓ３が出力し、アンド
ゲート１６を通つて右擬似エッジ信号Ｓ５となつてフリ
ップフロップ下Ｆへ入力する。該フリップフロップは水
平同期信号ＨＤでセット、信号Ｓ５でリセットされて第
５図８に示す右側カメラのビデオ信号用検査範囲設定信
号Ｓｂを作る。こうして検査範囲は設定ライン上で検知
した鋼板エッジ信号に基づいて設定され、記憶され同一
画面ではその記憶値が用いられ、画面が変る毎に記憶値
の更新がなされる。
垂直ブランキング期間等、表面検査を行なわない期間は
検査範囲設定信号は不要であるから、検査範囲信号抜取
り回路１４により、該期間中はアンドゲート１６へ加え
るその出力信号Ｓ６を“゜０゛にして該ゲートを閉じる
。次に第６図を参照しながら鋼板長さ方向（移送方向）
の撮像範囲設定を説明する。
検査範囲設定信号は不要であるから、検査範囲信号抜取
り回路１４により、該期間中はアンドゲート１６へ加え
るその出力信号Ｓ６を“゜０゛にして該ゲートを閉じる
。次に第６図を参照しながら鋼板長さ方向（移送方向）
の撮像範囲設定を説明する。
この図で第４図と同じ部分には同じ符号が付されており
、同じ動作をする。第４図に示した検査範囲抜取り信号
回路１４およびそのゲート回路１６はこの図には示して
なく、代つてカウンタ１７が設けられる。このカウンタ
１７は左カメラの右端、右カメラの左端検査範囲を設定
する。即ち該左、右端検査範囲設定に必要な数値Ｃを該
カウンタにセットし、水平同期信号冊でクロックＣＬＫ
の計数（減算）を開始させる。例えば左カメラ用の場合
、前述のようにして左擬似エッジ信号Ｓ３力幼ウンタ１
２から出力し、このときインヒビツトゲート１８はカウ
ンタ１７のフオロー出力信号Ｓ７がＯであるから゜゜１
゛出力を生じる。信号Ｓ３はインバータ２０で反転され
たのちカウンタ１２のイネーブル端子に加わるから該カ
ウンタの計数は停止し、信号Ｓ３従つてゲート１８の出
力信号Ｓ８は“゜１゛の状態を保つ。カウンタ１７では
減算が続いており、やがて設定数Ｃまで減算するとカウ
ンタ１７の内容は０になり、このとき゜′Ｆ゛のフオロ
ー信号Ｓ７が生じ、ゲート１８を閉じ、かつ同様にして
カウンタ１７の計数を止める。従つてゲート１８の出力
信号Ｓ８は左カメラに対する検査範囲設定信号になる。
ゲート１８の出力信号を右カメラ用にするにはカウンタ
１７の設定値Ｃを変えればよい。第７図を用いてこの点
を詳しく説明すると、本例は、図示の如く、左右の撮像
範囲が重なつていることを前提としている。ここで、左
右の検査領域の境界を点線Ａ−Ｎの位置であるとする。
左側の検査領域について述べると、カウンタ出力Ｓ３は
１の水平同期信号ＨＤが入力してから２の左エーツジ信
号ｈ１が入力するまでは０で、ｈ１が入力した時点でフ
オロー信号Ｓ３が出力される（３）。このフオロー信号
Ｓ３はカウンタ１２をイネーブルしているので、次のＨ
Ｄが入力するまで゛１゛レベルを保つ。一方カウンタ１
７には、左端ＬＥから点丁線Ａ−Ａ″で示す幅方向に対
応するカウント値Ｃがプリセットされ、フオロー信号が
出力されるまでカウントダウンしている。やがてフオロ
ー信号Ｓ７が出力されアンドゲート１８に反転して入力
される。アンドゲート１８ではＳ３・私がＳ８として３
出力される。このＳ８は被検査体の左端エッジから予め
定めた右端までの領域を示す。次に右側の検査領域につ
いて述べると、検査領域は右側の撮像領域よりＣ″だけ
内側の部分から被検査体の右側のエッジの部分までであ
る。
、同じ動作をする。第４図に示した検査範囲抜取り信号
回路１４およびそのゲート回路１６はこの図には示して
なく、代つてカウンタ１７が設けられる。このカウンタ
１７は左カメラの右端、右カメラの左端検査範囲を設定
する。即ち該左、右端検査範囲設定に必要な数値Ｃを該
カウンタにセットし、水平同期信号冊でクロックＣＬＫ
の計数（減算）を開始させる。例えば左カメラ用の場合
、前述のようにして左擬似エッジ信号Ｓ３力幼ウンタ１
２から出力し、このときインヒビツトゲート１８はカウ
ンタ１７のフオロー出力信号Ｓ７がＯであるから゜゜１
゛出力を生じる。信号Ｓ３はインバータ２０で反転され
たのちカウンタ１２のイネーブル端子に加わるから該カ
ウンタの計数は停止し、信号Ｓ３従つてゲート１８の出
力信号Ｓ８は“゜１゛の状態を保つ。カウンタ１７では
減算が続いており、やがて設定数Ｃまで減算するとカウ
ンタ１７の内容は０になり、このとき゜′Ｆ゛のフオロ
ー信号Ｓ７が生じ、ゲート１８を閉じ、かつ同様にして
カウンタ１７の計数を止める。従つてゲート１８の出力
信号Ｓ８は左カメラに対する検査範囲設定信号になる。
ゲート１８の出力信号を右カメラ用にするにはカウンタ
１７の設定値Ｃを変えればよい。第７図を用いてこの点
を詳しく説明すると、本例は、図示の如く、左右の撮像
範囲が重なつていることを前提としている。ここで、左
右の検査領域の境界を点線Ａ−Ｎの位置であるとする。
左側の検査領域について述べると、カウンタ出力Ｓ３は
１の水平同期信号ＨＤが入力してから２の左エーツジ信
号ｈ１が入力するまでは０で、ｈ１が入力した時点でフ
オロー信号Ｓ３が出力される（３）。このフオロー信号
Ｓ３はカウンタ１２をイネーブルしているので、次のＨ
Ｄが入力するまで゛１゛レベルを保つ。一方カウンタ１
７には、左端ＬＥから点丁線Ａ−Ａ″で示す幅方向に対
応するカウント値Ｃがプリセットされ、フオロー信号が
出力されるまでカウントダウンしている。やがてフオロ
ー信号Ｓ７が出力されアンドゲート１８に反転して入力
される。アンドゲート１８ではＳ３・私がＳ８として３
出力される。このＳ８は被検査体の左端エッジから予め
定めた右端までの領域を示す。次に右側の検査領域につ
いて述べると、検査領域は右側の撮像領域よりＣ″だけ
内側の部分から被検査体の右側のエッジの部分までであ
る。
右側４の場合もフオロー信号Ｓ３はエッジ信号Ｈ２が入
力した時出力される（９）。そしてＣ″として図に示す
如き検査範囲に対応する値をカウンタ１７にプリセット
すると、フオロー信号Ｓ７は第７図１０に示すタイミン
グで出力される。アンドゲート１８はこの場合はＳ３の
方を反転する様にしておき、出力Ｓ８として第７図１１
に示す信号Ｓ″８＝百。・Ｓ７が出力される。これは右
側の検査範囲を示している。従つて右カメラに対しては
Ｃを変え、ゲートの構成を変えるだけでよい。以上は鋼
板移動方向Ｆにおいて下流側のカメラＴＶＣａ，ＴＶＣ
ｂに対する巾方向検査範囲設定であり、これらのカメラ
については鋼板移動方向の検つ査範囲制限は行なわない
。
力した時出力される（９）。そしてＣ″として図に示す
如き検査範囲に対応する値をカウンタ１７にプリセット
すると、フオロー信号Ｓ７は第７図１０に示すタイミン
グで出力される。アンドゲート１８はこの場合はＳ３の
方を反転する様にしておき、出力Ｓ８として第７図１１
に示す信号Ｓ″８＝百。・Ｓ７が出力される。これは右
側の検査範囲を示している。従つて右カメラに対しては
Ｃを変え、ゲートの構成を変えるだけでよい。以上は鋼
板移動方向Ｆにおいて下流側のカメラＴＶＣａ，ＴＶＣ
ｂに対する巾方向検査範囲設定であり、これらのカメラ
については鋼板移動方向の検つ査範囲制限は行なわない
。
この制限を行なわれるのは同上流側のカメラＴＶＣｃ，
ＴＶＣｄに対してである。なおこれら下流側カメラの巾
方向検査範囲設定については上流側カメラのそれと同じ
である。鋼板移動方向検査範囲制限は、加算器２１、７
メモリ２２、カウンタ２３、設定フィールド抜取り回路
２６などが行なう。カメラＴＶＣａ−ＴＶＣｄによる銅
板表面反復撮像が過不足なく行なわれるときの１フィー
ルドのライン数（水平走査線数）をＢ．．＃ｌ板速度を
示すパルスＰＧＰの数をＮＯとし、鋼板速度パルス数が
Ｎのときの過不足ない１フィールドライン数をｘとすれ
ばｘ＝ＬＳ−Ｎ／ＮＯの関係があるから、比ム／ＮＯ＝
Ｂを加算器２１にセットし、任意の１フィールド期間″
Ｒ５になる信号Ｓ９を設定フィールド抜取り回路２６に
より出力されてこれをアンドゲート２４に加え、該ゲー
トを介して鋼板速度パルスＰＧＰを加算器２１へ入力す
る。この加算器２１はパルスＰＧＰが入力する度にメモ
リ２２の内容と定数Ｂとを加算し、その結果をメモリ２
２へ書込む。こうしてＮ個の速度パルスＰＧＰが入力し
た状態ではメモリ２２の内容はＢＮつまりｘとなる。こ
のメモリ２２の内容Ｘは垂直同期信号ＶＤが入力する毎
にカウンタ２３にローディングされ、かつ該カウンタは
水平同期信号ＨＤの計数（減算）を行なう。減算が進ん
でカウンタ２３の内容が０になるとフオロー信号ＳｌＯ
が“゜１゛になり、それまで開いていたインヒビツトゲ
ート１９を閉じる。またこの信号ＳｌＯはインバータ２
５で反転され、カウンタ２３の計数を止める。この結果
ゲート１９は閉じ、次の水平走査が始つても最早検査範
囲設定信号Ｓｌｌを出力せす、こうして銅板移動方向の
検査範囲制限かなされる。このゲート１９の出力信号は
上流側カメラの検査範囲設定用に用いる。なお検査範囲
制限は本例では上流側カメラについてのみ行なう゛が、
これは通常これで充分検査範囲の重復等を阻止すること
ができるからである。
ＴＶＣｄに対してである。なおこれら下流側カメラの巾
方向検査範囲設定については上流側カメラのそれと同じ
である。鋼板移動方向検査範囲制限は、加算器２１、７
メモリ２２、カウンタ２３、設定フィールド抜取り回路
２６などが行なう。カメラＴＶＣａ−ＴＶＣｄによる銅
板表面反復撮像が過不足なく行なわれるときの１フィー
ルドのライン数（水平走査線数）をＢ．．＃ｌ板速度を
示すパルスＰＧＰの数をＮＯとし、鋼板速度パルス数が
Ｎのときの過不足ない１フィールドライン数をｘとすれ
ばｘ＝ＬＳ−Ｎ／ＮＯの関係があるから、比ム／ＮＯ＝
Ｂを加算器２１にセットし、任意の１フィールド期間″
Ｒ５になる信号Ｓ９を設定フィールド抜取り回路２６に
より出力されてこれをアンドゲート２４に加え、該ゲー
トを介して鋼板速度パルスＰＧＰを加算器２１へ入力す
る。この加算器２１はパルスＰＧＰが入力する度にメモ
リ２２の内容と定数Ｂとを加算し、その結果をメモリ２
２へ書込む。こうしてＮ個の速度パルスＰＧＰが入力し
た状態ではメモリ２２の内容はＢＮつまりｘとなる。こ
のメモリ２２の内容Ｘは垂直同期信号ＶＤが入力する毎
にカウンタ２３にローディングされ、かつ該カウンタは
水平同期信号ＨＤの計数（減算）を行なう。減算が進ん
でカウンタ２３の内容が０になるとフオロー信号ＳｌＯ
が“゜１゛になり、それまで開いていたインヒビツトゲ
ート１９を閉じる。またこの信号ＳｌＯはインバータ２
５で反転され、カウンタ２３の計数を止める。この結果
ゲート１９は閉じ、次の水平走査が始つても最早検査範
囲設定信号Ｓｌｌを出力せす、こうして銅板移動方向の
検査範囲制限かなされる。このゲート１９の出力信号は
上流側カメラの検査範囲設定用に用いる。なお検査範囲
制限は本例では上流側カメラについてのみ行なう゛が、
これは通常これで充分検査範囲の重復等を阻止すること
ができるからである。
そしてこのようにすれば検査開始点は下流側カメラの第
１水平走査ラインとなり、一定させることができる。以
上詳細に説明したように、本発明によれば複数台の撮像
装置により被検査体表面を過不足なく撮像し、高解像度
の正確な表面検査を行なうことが可能になる。
１水平走査ラインとなり、一定させることができる。以
上詳細に説明したように、本発明によれば複数台の撮像
装置により被検査体表面を過不足なく撮像し、高解像度
の正確な表面検査を行なうことが可能になる。
第１図は４台のテレビカメラで被検査体を撮像する例を
示す説明図、第２図ａ−ｆはビデオ信号および疵信号の
説明図、第３図は既提案表面検査装置の概要を示すブロ
ック図、第４図および第６図は本発明の実施例を示すブ
ロック図、第５図１〜８は第４図の動作説明用波形図、
第７図は第６図の動作説明図である。 図面でＳＰは被検査体表面、ＴＶＣａ−ＴＶＣｄは撮像
装置、ＣＡＳは検査範囲設定回路、ＡＤは欠陥検出器で
ある。
示す説明図、第２図ａ−ｆはビデオ信号および疵信号の
説明図、第３図は既提案表面検査装置の概要を示すブロ
ック図、第４図および第６図は本発明の実施例を示すブ
ロック図、第５図１〜８は第４図の動作説明用波形図、
第７図は第６図の動作説明図である。 図面でＳＰは被検査体表面、ＴＶＣａ−ＴＶＣｄは撮像
装置、ＣＡＳは検査範囲設定回路、ＡＤは欠陥検出器で
ある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被検査体表面を幅方向で分割撮像する複数台の撮像
装置と、該撮像装置の出力ビデオ信号により検査範囲を
決定する検査範囲設定回路と、該検査範囲内のビデオ信
号から表面欠陥を検知する回路を備える表面検査装置の
自動検査範囲設定方式において、各撮像装置の撮像範囲
が隣接する様に各撮像装置を位置決めしておき、検査範
囲外における設定ラインに対応する水平走査ラインを抜
取り、水平走査期間に相当するパルスを出力する設定ラ
イン抜取り回路の出力によつてカウンタを起動し、該被
検査体の左又は右のエッジ検出信号が入力された時、該
カウンタのカウント値をメモリに書込み、次回以降の水
平走査では該メモリの値を該カウンタにロードし、該カ
ウンタをダウンカウントさせ、該カウンタから出力され
るフォロー信号を検査範囲の左又は右の疑似エッジ信号
として検査範囲設定信号出力回路に入力し、撮像範囲が
隣接する部分については水平同期信号を該部分に対する
エッジ信号として該検査範囲設定信号出力回路に入力す
る様にしたことを特徴とする表面検査装置の自動検査範
囲設定方式。 ２ 被検査体表面を幅方向及び被検査体移動方向で分割
撮像する複数台の撮像装置と、該撮像装置の出力ビデオ
信号により検査範囲を決定する検査範囲設定回路と、該
検査範囲内のビデオ信号から表面欠陥を検知する回路を
備える表面検査装置の自動検査範囲設定方式において、
鋼板表面反復撮像が過不足なく行なわれるときの１フィ
ールドのライン数をＬ＿ｓ、鋼板速度を示すパルスの数
をＮ＿ｏとして、１フィールドの間該パルスが入力する
度にＬ＿ｓ／Ｎ＿ｏを累積する累積器と、該累積器出力
がプリセットされるカウンタを有し、該累積器は検査開
始前に累積を行なつて垂直同期信号に同期して該カウン
タにプリセットし、該カウンタは水平同期信号に同期し
てダウンカウントし、該カウンタのフォロー信号を移動
方向の検査範囲の終端を示す信号として該検査範囲設定
信号出力回路に入力する様にしたことを特徴とする表面
検査装置の自動検査範囲設定方式。 ３ 被検査体表面を幅方向て分割撮像する複数台の撮像
装置と、該撮像装置の出力ビデオ信号により検査範囲を
決定する検査範囲設定回路と、該検査範囲内のビデオ信
号から表面欠陥を検知する回路を備える表面検査装置の
自動検査範囲設定方式において、各撮像装置の撮像範囲
が重なる様にしておき、検査範囲外における設定ライン
に対応する水平走査ラインを抜き取り、水平走査期間に
相当するパルスを出力する設定ライン抜き取り回路の出
力によつて第１カウンタを起動し、該被検査体の左又は
右のエッジ検出信号が入力された時該第１カウンタのカ
ウント値をメモリに書込み、次回以降の水平走査では該
メモリの値を該カウンタにロードし、該第１カウンタを
ダウンカウントさせ、該第１カウンタから出力されるフ
ォロー信号を検査範囲の左又は右の疑似エッジ信号とし
て、また該第１カウンタと同期してダウンカウントし検
査終了点又は開始点を示す定数をプリセットされた第２
カウンタからのフォロー信号を撮像範囲が重なる部分に
対するエッジ信号として検査範囲設定信号出力回路に入
力する様にしたことを特徴とする表面検査装置の自動検
査範囲決定方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15260477A JPS6042674B2 (ja) | 1977-12-19 | 1977-12-19 | 表面検査装置の自動検査範囲設定方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15260477A JPS6042674B2 (ja) | 1977-12-19 | 1977-12-19 | 表面検査装置の自動検査範囲設定方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5484786A JPS5484786A (en) | 1979-07-05 |
| JPS6042674B2 true JPS6042674B2 (ja) | 1985-09-24 |
Family
ID=15544028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15260477A Expired JPS6042674B2 (ja) | 1977-12-19 | 1977-12-19 | 表面検査装置の自動検査範囲設定方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6042674B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61270984A (ja) * | 1985-05-27 | 1986-12-01 | Fuji Electric Co Ltd | 直列デ−タ処理装置 |
| JPH02120397A (ja) * | 1988-10-28 | 1990-05-08 | Kawasaki Steel Corp | 潤滑離型剤 |
-
1977
- 1977-12-19 JP JP15260477A patent/JPS6042674B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5484786A (en) | 1979-07-05 |
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