JPS6043835A - 遠心脱水乾燥装置 - Google Patents
遠心脱水乾燥装置Info
- Publication number
- JPS6043835A JPS6043835A JP58151940A JP15194083A JPS6043835A JP S6043835 A JPS6043835 A JP S6043835A JP 58151940 A JP58151940 A JP 58151940A JP 15194083 A JP15194083 A JP 15194083A JP S6043835 A JPS6043835 A JP S6043835A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- holding frame
- supporting frame
- rotating
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment
- H10P72/0406—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H10P72/0408—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、洗浄処理されたカセット内の半導体ウェー
／Ｓを脱水乾燥させる、遠心脱水乾燥装置の改良に関す
る。
／Ｓを脱水乾燥させる、遠心脱水乾燥装置の改良に関す
る。
半導体ウェーハは製造工程において、エツチングなど化
学処理後は、カセットに収納したまま純水などにより洗
浄し処理液を除去する０このカセットに収納された半導
体ウェーッ・（以下「ウェーハ」と称する）は、遠心脱
水乾燥装置にかけられ脱水乾燥される。
学処理後は、カセットに収納したまま純水などにより洗
浄し処理液を除去する０このカセットに収納された半導
体ウェーッ・（以下「ウェーハ」と称する）は、遠心脱
水乾燥装置にかけられ脱水乾燥される。
この種の従来の遠心脱水乾燥装置は、第１図に概要縦断
面図で示すようになっていたｏ（１）は多数枚のウェー
ハで、カセット（２）内に立てて並べられてあり、図で
は９０°回動され水平姿勢にされ永状態を示す。（３）
は回転枠で、固定部に軸受（ともに図示は略す）を介し
支持された回転軸（４）の上部に固定されである。この
回転軸（４）は駆動電動機（５）に直結されていて、回
転枠（３）に回転を伝える。（６）は回転枠（３）内に
軸中心線を中心に１８０°対称に配置されだ１対宛のカ
セット保持枠（以下「保持枠」と称する）で、回転枠（
３）に支持軸（７）を介し回動自在に支持されている。
面図で示すようになっていたｏ（１）は多数枚のウェー
ハで、カセット（２）内に立てて並べられてあり、図で
は９０°回動され水平姿勢にされ永状態を示す。（３）
は回転枠で、固定部に軸受（ともに図示は略す）を介し
支持された回転軸（４）の上部に固定されである。この
回転軸（４）は駆動電動機（５）に直結されていて、回
転枠（３）に回転を伝える。（６）は回転枠（３）内に
軸中心線を中心に１８０°対称に配置されだ１対宛のカ
セット保持枠（以下「保持枠」と称する）で、回転枠（
３）に支持軸（７）を介し回動自在に支持されている。
保持枠（６）は図示を略した押上げ手段による押上げに
より、実線の垂直姿勢から上方に９０°回動され、鎖線
で示す開口部が上向きの水平姿勢にされる。（８）は搬
送ロボットで、チャック（９）により、前工程による洗
浄後のカセット（２）を挾持し搬送してきて、水平姿勢
の保持枠（６）内に上方から下降して載せ、あるいは、
脱水乾燥終了したカセット（２）を、水平姿勢の保持枠
（６）内から挾持して上方に取出し、次の工程へ搬送す
る。
より、実線の垂直姿勢から上方に９０°回動され、鎖線
で示す開口部が上向きの水平姿勢にされる。（８）は搬
送ロボットで、チャック（９）により、前工程による洗
浄後のカセット（２）を挾持し搬送してきて、水平姿勢
の保持枠（６）内に上方から下降して載せ、あるいは、
脱水乾燥終了したカセット（２）を、水平姿勢の保持枠
（６）内から挾持して上方に取出し、次の工程へ搬送す
る。
上記カセット保持枠（６）を第２図に斜視図で示す。
水平姿勢の保持枠（６）内にカセット（２）を収容した
状態を、第３図に示す。
状態を、第３図に示す。
上記従来装置において、前工程で洗浄処理されたウェー
ハ（１）を収納したカセット（２）が上方から下降され
、水平姿勢の保持枠（６）内に載置される０つづいて、
押上げ手段による引込みにより、水平姿勢の保持枠（６
）は下方に回動し、垂直姿勢に復帰する。この状態で駆
動電動機を始動し、回転枠（３）を高速回転する。カセ
ット（２）内の各ウェーッ１（１）の脱水乾燥が終れば
、回転枠（３）の回転を停止し、保持枠（６）を上方に
回動し水平姿勢にし、カセット（２）を上方に取出す０ 上記従来装置では、搬送ロボット（８）によりカセット
（２）を保持枠（６）に収容するのに、カセット（２）
の内部に挿入できなく、支障をきたしていた。
ハ（１）を収納したカセット（２）が上方から下降され
、水平姿勢の保持枠（６）内に載置される０つづいて、
押上げ手段による引込みにより、水平姿勢の保持枠（６
）は下方に回動し、垂直姿勢に復帰する。この状態で駆
動電動機を始動し、回転枠（３）を高速回転する。カセ
ット（２）内の各ウェーッ１（１）の脱水乾燥が終れば
、回転枠（３）の回転を停止し、保持枠（６）を上方に
回動し水平姿勢にし、カセット（２）を上方に取出す０ 上記従来装置では、搬送ロボット（８）によりカセット
（２）を保持枠（６）に収容するのに、カセット（２）
の内部に挿入できなく、支障をきたしていた。
この発明は、カセット保持枠の開口部の四辺の端部に外
方に折曲げ傾斜した案内部を設け、搬送ロボットによる
保持枠への下降位置がずれていても、案内部による案内
で容易に収容できる遠心脱水乾燥装置を提供することを
目的としている。
方に折曲げ傾斜した案内部を設け、搬送ロボットによる
保持枠への下降位置がずれていても、案内部による案内
で容易に収容できる遠心脱水乾燥装置を提供することを
目的としている。
第４図はこの発明の一実施例による遠心脱水乾燥装置の
保持枠の斜視図であり、この保持枠の他の部品の構成は
上記第１図の従来装置と同一であり、説明は略する０保
持枠（ロ）の開口部の四辺の端部（ｌｌａ）には、外方
に折曲げ傾斜した案内部（２）を設けである。
保持枠の斜視図であり、この保持枠の他の部品の構成は
上記第１図の従来装置と同一であり、説明は略する０保
持枠（ロ）の開口部の四辺の端部（ｌｌａ）には、外方
に折曲げ傾斜した案内部（２）を設けである。
上記−実施例の装置において、搬送ロボット（８）（第
１図参照）のチャック（９）に挾持されたカセット（２
）が、水平姿勢の保持枠αつ上方に至シ、位置が多少・
ずれていても、カセット（２）は開口部端部（Ｈａ）の
案内部Ｕ！に沿って下降し、保持枠αυ内に案内されて
収容される０ 〔発明の効果〕 以上のように、この発明によれば１、カセット保持枠の
開口部の四辺の端部に、外方に折曲げ傾斜した案内部を
設けだので、搬送ロボットによるカセットが水平姿勢保
持枠の上方に至シ、対応する双方の位置が多少ずれてい
ても、下降するカセットが案内部に沿−って容易に保持
枠内に案内されて収容される。
１図参照）のチャック（９）に挾持されたカセット（２
）が、水平姿勢の保持枠αつ上方に至シ、位置が多少・
ずれていても、カセット（２）は開口部端部（Ｈａ）の
案内部Ｕ！に沿って下降し、保持枠αυ内に案内されて
収容される０ 〔発明の効果〕 以上のように、この発明によれば１、カセット保持枠の
開口部の四辺の端部に、外方に折曲げ傾斜した案内部を
設けだので、搬送ロボットによるカセットが水平姿勢保
持枠の上方に至シ、対応する双方の位置が多少ずれてい
ても、下降するカセットが案内部に沿−って容易に保持
枠内に案内されて収容される。
第１図は従来の遠心脱水乾燥装置の概要縦断面図、第２
図は第１図のカセット保持枠の斜視図、第３図は第２図
のカセット保持枠内にカセットを収納した状態を示す斜
視図、第４図はこの発明の一実施例による遠心脱水乾燥
装置のカセット保持枠の斜視図である。 １・・・半導体ウェーハ、２・・・カセット、３・・・
回転枠、４・・・回転軸、５・・・駆動電動機、８・・
・搬送ロボット、９・・・チャック、Ｕ・・・カセット
保持枠、１１ａ・・・開口部の端部、１２・・・案内部
なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す０代理人
大 岩 増 大ｊ。
図は第１図のカセット保持枠の斜視図、第３図は第２図
のカセット保持枠内にカセットを収納した状態を示す斜
視図、第４図はこの発明の一実施例による遠心脱水乾燥
装置のカセット保持枠の斜視図である。 １・・・半導体ウェーハ、２・・・カセット、３・・・
回転枠、４・・・回転軸、５・・・駆動電動機、８・・
・搬送ロボット、９・・・チャック、Ｕ・・・カセット
保持枠、１１ａ・・・開口部の端部、１２・・・案内部
なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す０代理人
大 岩 増 大ｊ。
Claims (1)
- 駆動電動機によ多回転される回転軸の上部に固定された
回転枠と、この回転枠内に９０°回動可能に支持され、
上方に回動され開口部が上向きの水平姿勢にされ、半導
体ウェーハを収納したカセットが上方から収容され、又
は収容されであるカセットが上方に取出されるようにさ
れた複数のカセット保持枠とを有し、上記カセットを収
容した保持枠が下方に９０°回動され、上記開口部が軸
中心向きの垂直姿勢にされ、上記回転枠を回転し上記半
導体ウェーハを脱水乾燥する装置において、上記カセッ
ト保持枠の開口部の四辺の端部に１外方に折曲げ斜傾し
た案内部を設け、上方から下降された上記カセットがこ
の案内部に沿って内部に導かれるようにしたことを特徴
とする遠心脱水乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58151940A JPS6043835A (ja) | 1983-08-20 | 1983-08-20 | 遠心脱水乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58151940A JPS6043835A (ja) | 1983-08-20 | 1983-08-20 | 遠心脱水乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6043835A true JPS6043835A (ja) | 1985-03-08 |
Family
ID=15529528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58151940A Pending JPS6043835A (ja) | 1983-08-20 | 1983-08-20 | 遠心脱水乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6043835A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6329936U (ja) * | 1986-08-13 | 1988-02-27 | ||
| JPH0285688A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-03-27 | Matsushita Refrig Co Ltd | フィンアンドチューブ型熱交換器用水切装置 |
| KR20200096844A (ko) * | 2018-01-30 | 2020-08-13 | 에이엠에스 아게 | 광 감지 방법 |
-
1983
- 1983-08-20 JP JP58151940A patent/JPS6043835A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6329936U (ja) * | 1986-08-13 | 1988-02-27 | ||
| JPH0285688A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-03-27 | Matsushita Refrig Co Ltd | フィンアンドチューブ型熱交換器用水切装置 |
| KR20200096844A (ko) * | 2018-01-30 | 2020-08-13 | 에이엠에스 아게 | 광 감지 방법 |
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