JPS6045432A

JPS6045432A - アクチユエ−タ

Info

Publication number: JPS6045432A
Application number: JP15383583A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Morioka; 森岡　寛明; Shoji Kawada; 庄二河田; Hiroyuki Amano; 天野　弘幸; Fumio Wada; 文雄和田; Masao Sonoda; 園田　眞夫; Keizo Kurahashi; 倉橋　敬三
Original assignee: Aisin Seiki Co Ltd; Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd; Aisin Corp
Priority date: 1983-08-23
Filing date: 1983-08-23
Publication date: 1985-03-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、電流を機械力に変換するための電気コイルと
、該機械力を受けて動作する機械素子を備えるアクチュ
エータに関し、特に、これに限る意図ではないが、ソレ
ノイド装置およびそれによって駆動される弁部材を備え
て流体圧力を制御する電磁圧力制御装置に関する。

たとえば前記電磁圧力制御装置でも、各種構造および用
途のものがあり、構造および用途に応じた電気制御が行
なわれる。たとえば、車の定速走行制御の一態様では、
ソレノイド装置で負圧ボートと大気圧ボートを開閉して
、ばねバイアスされたダイアフラムとハウジングの間の
圧力制御室の負圧を制御し、ダイアフラムの、該負圧に
応じた運動でエンジンのスロットルバルブを開閉駆動す
る電磁圧力制御装置と、車速センサおよび指示スイッチ
に応じて、定速走行が指示されるとそのときの車速を記
憶し、それ以後、定速走行の指示が解除されるまで、車
速が記憶値になるように電磁圧力制御装置の付勢を制御
する電子制御装置とが用いられる。以下、この種の定速
走行に用いられる一形式の電磁圧力制御装置、すなわち
アクチュエータ、を例として説明を進める。

第１図に電子制御装置の構成を、第２図にアクチュエー
タの構成を示す。

電子制御装置１０は、この例では１チツプマイクロコン
ピユータ（あるいは１チツプマイクロプロセツサ）ＣＰ
Ｕを中心として構成しである。ＣＰＵのリセットボート
ＲＥＳＥＴには、暴走検出回路２０を接続してあり、外
部割り込み入力ボートＩＲＱ、入力ボートに２゜Ｋ３．
ＫＯおよび旧には、それぞれインターフェイス回路ＩＦ
Ｉ、ＩＦ２．■Ｆ３．ＩＦ４およびＩＦ５を介して、車
速検出用リードスイッチＳＶ２．クラッチスイッチＳＷ
３．ス３− トップスイッチＳＷ４．セットスイッチＳＷ５およびリ
ジュームスイッチＳＷ６を接続しである。

車速検出用リードスイッチ５１１１２の近傍には、図示
しないスピードメータケーブルに接続された永久磁石が
配置されており、車輌が移動して永久磁石が回転すると
、それに応じてＳＶ２の接点が開閉する。ＳＶ２の接点
が閉から開になると、インターフェース回路ＩＦＩの出
力レベルが低レベルＬになり、マイクロコンピュータＣ
ＰＵに割り込み要求ががかる。ＣＰＵは割込処理で低レ
ベルＬになった回数をカウントアツプし、所定時間毎に
カウント値を車速値としてレジスタに取込み、カウンタ
値をクリアしてまた割り込みによるカウントアツプを行
なう。

クラッチスイッチＳＶ３は、車輌のクラッチペダルに連
動して開閉し、ストップスイッチ５１１４は車輌のブレ
ーキペダルに連動して開閉する。ストップスイッチＳＶ
４には、ストップランプが接続されており、　５１１４
のオン（閉）でストップランプが点灯する。

セットスイッチＳＷ５およびリジュームスイッチ４− ５Ｗ６は、押しボタンスイッチであり、インストルメン
トパネルーヒのドライバの操作し易い位置に配置されて
いる。

マイクロコンピュータＣＰＵの出力ボートｏ。は暴走検
出回路２０に接続してあり、出力ポートｏ２および０３
には、それぞれソレノイドドライバＤＶＩおよびＤＶ２
を接続しである。ドライバＤＶＩの出方には、後述する
アクチュエータの負圧制御用ソレノイド５Ｌ１（電気コ
イル）を接続してあり、ドライバＤＶ２の出力には負圧
解放用ソレノイドＳ＋、２（電気コイル）を接続しであ
る。

負圧制御用ソレノイド５Ｌｔｎ負圧解放用ソレノイドＳ
Ｌ２および定電圧Ｖｃｃを発生する定電圧電源回路３０
には、イグニッションキースイッチ５ｌｌｌｌを介して
、車輌バッテリーからの電圧が印加される。

回路４０は、ブレーキ作動時に、ｃＰＵの動作とは別に
リリースソレノイドＳＬ２を付勢するためのものである
。

第２図に、第１図の電子制御装置１ｏで制御されるアク
チュエータ１００の構成を示す。第２図を参照して説明
する。ハウジング１０１は、２つの部分１０１ａと１０
１ｂでなっている。ダイアフラム１０２は、２つの部分
１０１ａと１０１ｂのフランジ部分で挟持されている。

ダイアフラム１０２とハウジング１０１ａで囲まれた空
間が負圧室（圧力制御室）であり、ダイアフラム１０２
とハウジング１０１ｂで囲まれた空間は大気と連通して
いる大気室である。１０３は、ハウジング１０１ａとダ
イアフラム１０２の間に介挿された圧縮コイルスプリン
グ（第１のばね手段）であり、負圧室の圧力が大気圧に
近いときにはダイアフラム１０２を仮想線の位置まで押
し戻す。ダイアフラム１０２の中央付近に固着したロッ
ド１０４が、スロットルバルブ１０５のリンクと接続さ
れている。ハウジング１０１ａには、インテークマニホ
ールド１０６と連通する負圧取入口１０７（負圧ポート
）と、大気取入１１１０８および１０９（大気ポート）
が設けである。

１１０が負圧制御弁（弁部材）であり、１１１が負圧解
放弁（弁部材）であって、両者ともハウジング１０１ａ
に固着されている。負圧制御弁１１０の可動片１１２は
、Ｐを支点として傾動可能であり、一端に引張コイ７− ルスプリング（第２のばね手段）１１３が接続され、も
う一端は負圧制御用ソレノイドＳＬ１に対向している。

可動片１１２の両端が弁体として機能し、それらがソレ
ノイドＳ１．１の付勢・消勢に対応して負圧取入口１０
７開放、大気取入口１０８閉塞（図示の状態）または負
圧取入口１０７閉塞、大気取入口１０８開放とする。

負圧解放弁１１１も１】０と同様に可動片１１４．引張
コイルスプリング１１５およびソレノイドＳＬ２を有す
るが、可動片１１４は大気取入口１０９の閉塞（図示の
状態）又は開放を行なう。なお、１１６がアクセルペダ
ル、１１７が引張コイルスプリングである。

従来のアクチュエータは、上述した様に構成されて、第
１図に示した電子制御装置にて駆動されている。

また、この従来例では、電子制御装置とアクチュエータ
とけ別々に構成されて車輌に配置されていた。

ところが、近年、車輌の自動化が進み、各種の装置が車
上名部に数多く配されるため、取付スペ８− 一スの減少とコストダウンならびに単一部品化の要求が
高まっている。

また、車上各部の電子制御が多くなり、１個所。

１組のコンピュータで車上電子制御のすべてを集中して
行なうのは、電気配線や部品構成等が複雑になるばかり
でなく、異なった車種に共通に使用しうる部品が少なく
なり、車製造上の不利益が大きくなる。

そこで、アクチュエータと電子制御装置とを一体化する
事が考えられる。つまり、各部の制御に使用する機械単
位部品とそれの付勢制御に用いる電子制御装置とを一体
として一部品とすることが考えられる。これによれば、
車種が異なっても、部品が共通となり、−車種でも各種
の自動制御部品をオプションとするなど、車の機能設計
や組立が楽になる。

しかしたとえば前述のアクチュエータは車輌のエンジン
ルームに配置されその雰囲気温度が比較的に高温であり
、電子制御装置の半導体素子の耐熱に問題がある。即ち
、半導体素子は一般に耐熱温度が低いため、アクチュエ
ータにそのまま取付けることは困難であり、また耐熱性
の高い半導体素子を用いれば可能であるがコスト高とな
る難点があるなど、電子制御装置を自動制御機械部品と
一体にする場合には、温度の問題がある。

本発明は、電子制御装置を一体とするアクチュエータに
おいて、耐温度性を高めることを目的とする。

」二記目的を達成するために本発明においては、アクチ
ュエータのハウジングの、電子制御装置を取り付ける部
位に、流体流路を形成し、この流体流路に放熱板の表裏
面の一方を対面させ、他方には電子制御装置を固着する
と共に、放熱板の、流体流路に対面する面には放熱を助
ける突起を形成する。これによれば、電子制御装置が発
する熱は、放熱板で吸収され、放熱板の熱は流体流路の
流体で奪われ、電子制御装置の過熱が防止される。

前述の、負圧を制御してスロットルバルブ等の位置を制
御する電磁圧力制御装置では、負圧ポートに、エンジン
のインテークマニホールドの負圧が印加され、この負圧
が弁部材の開閉で大気に逃される。つまり、電磁圧力制
御弁装置に大気が吸引されて、エンジンのインテークマ
ニホールドに吸引される。そこで本発明の好ましい実施
例では、流体流路を負圧ポートと連通として、流体流路
の空気を電磁圧力制御装置に吸引してエンジンのインテ
ークマニホールドに吸入させる。

これによれば、流体流路の空気の通流により、電子制御
装置の熱は、放熱板を介して該空気に吸収されて電磁圧
力制御装置より持ち去られ、強制空冷と同様に、電磁圧
力制御装置の冷却が達成される。冷却のための送風手段
を備える必要がないので、電磁圧力制御装置の構造は格
別に大きくならず、また格別に複雑にならない。

更には、空冷の効果を大きくするために、流体流路は、
ジグザグなどの迷路状の溝とし、放熱板の突起は、互に
分離した複数個の小突起とする。これによれば、放熱板
と空気との接触面積が大きく、また空気の流れが放熱板
の全面に及ぶようになり、冷却効果が更に向上する。

第３図および第４図に本発明のの一実施例の断面図を示
し、第５図に該実施例のハウジングの底面を示す。第３
図は第５図の■−■線断面に相当し、第４図はｍＶ−Ｔ
Ｖ線断面図に相当する。

アクチュエータ２００のハウジング２０１は、２つの部
分２０１ａと２０１ｂとでなっている。ダイアフラム２
０２は、２つの部分２０１ａと２０２ｂのフランジ部で
挟持されている。ダイアフラム２０２とハウジング２０
１ａで囲まれた空間が負圧室（圧力制御室）２０３であ
り、ダイアフラム２０２とハウジング２０】ｂで囲まれ
た空間は大気と連通して大気室２０４を形成している。

ダイアフラム２０２には、ピストン２０５が装着され、
このビス１ヘン２０５にロッド２０７が固着され、この
ロッド２０７がエンジンのスロットルバルブに連結され
る。

ダイアフラム２０２は圧縮コイルスプリング２０６で、
ダイアフラム２０２とハウジング２０１ｂで囲まれた大
気室２０４を縮める方向（左方向）に押されている。

従って、負圧室２０３の圧力が大気室２０４の圧力に近
い時には、コイルスプリング２０６の付勢力により、１
１− ダイアフラム２０２は第４図に示すように、最左端まで
押されている。ロッド２０７は、ケーブル又はリング等
を介してスロットルバルブに連結されている。

ハウジング２０１ａには、インテークマニホールド等の
負圧源と連通する負圧ボート２０８およびフィルタ（図
示せず）を介して大気と連通ずる大気圧ボート２０９が
設けである。

ハウジング２０１ａには、２つの流量制御弁である負圧
制御弁２１０と負圧解放弁２１１がそれぞれ固着されて
いる。負圧制御弁２１０の可動片２１２の一端には、引
張コイルスプリング２１３（第２のばね手段）が接続さ
れ、他端は制御ソレノイドである負圧制御用ソレノイド
ＳＬ１に対向している。また、可動片２１２の両端には
バルブ２１４．２１５がそれぞれ固着されており、それ
らがソレノイドＳＬ、の付勢、消勢に対応して負圧ポー
ト２０８に連通するバルブノズル２１５ａを開放、大気
圧ボート２０９に連通するバルブノズル２１４ａを閉塞
、または、バルブノズル２１５ａを閉塞、バルブノズル
２１４ａを開放とする。

１２− 負圧解放弁２１１も同様に可動片２１６．引張コイルス
プリング２１７（第２のばね手段）、ソレノイドＳＬ２
および可動片２１６に固着されたバルブ２１８，２１９
を有するが、バルブ２１９は大気ボート２０９に連通す
るバルブノズル２１９ａの閉塞又は開放のみを行なう。

ブラケット２２６は、ハウジング２０１ａに固定されて
おり、このブラケット２２６とハウジング２０１ａとの
間隙は、エポキシ樹脂等にてモールド２２７されている
。

ハウジング２０１ａの底面には、大気圧ボート２０９゜
バルブノズル２１４ａおよび２１９ａに連通する。ジグ
ザグ状の迷路溝（流体流路）２２８が形成されている。

第６ａ図に放熱板２２９の底面を、第６ｂ図にその■−
■線断面図を示す。放熱板２２９の表面には、迷路溝２
２８に合せて、該溝２２８に入り得る位置に、多数の小
突起２２９ａが形成されている。第３図および第４図に
示すように、ハウジング２０１ａに放熱板２２９を組付
けた状態では、ハウジング２０１ａの底面の溝２２８に
放熱板２２９の小突起２２９ａが進入している。

次に電子制御装置２２０（第１図に１０で示すものと同
様な構成）は、プリント基板２２１上に構成されて、こ
のプリント基板２２１は放熱板２２９．ガスケット２２
２を介してハウジング２０１ａに固着されている。プリ
ント基板２２１には、コネクタ２２５のリード端子がノ
）ンダ付けされている。このコネクタ２２５の接続端子
を介してソレノイドＳＬ１　、Ｓｌ、２のリード２２３
がプリント基板２２１に接続されている。

第６ｃ図に、コネクタ２２５の外観を拡大して示す。

このコネクタ２２５は、前述の放熱板２２９上のプリン
ト基板２２１に第１図に示す複数個のスイッチ類および
ソレノイドＳＬ１　、Ｓｌ２を接続するに適した形状お
よび接続端子配列となっている。

すなわち、コネクタの受口側（第１図のスイッチ類およ
び電源線との接続側）には、電子制御装置２２０（第１
図の１０）に外部の電気リードを接続する８個の端子導
体１１，１２，１３，１４，１５，１６．．２１および
２２が露出しており、これらの端子導体はコネクタ本体
を貫通して、それらの貫通端部１１ａ、１２ａ、１３ａ
、１４ａ。

１５ａ、１６ａ、２１ａおよび２２ａは、プリント基板
２２１の接続端子の配列と同じ配列で、プリント基板２
２１の表面よりやや上方に位置するように位置が定めら
れている。第１図に示す符号１］、ａ、１２ａ、１３ａ
、１４ａ、１５ａ。

１６ａ、２１ａおよび２２ａがこれらの貫通端部に対応
する電気ラインを示す。

ソレノイドＳｌ、１およびＳｌ２は、放熱板２２９に関
して、プリント基板２２１とは反対側にあるので、ソレ
ノイドＳｔ、１およびＳｔ、２のリードを直接にプリン
１一基板２２１に接続するには、プリント基板２２１に
スルーホールメッキにより裏配線と表記線との電気接続
をし、裏配線にソレノイドのリードをハンダ付けするか
、プリント基板２２１にソレノイドのリードが貫通する
穴を開けて、その穴にソレノイドのリードを通して、プ
リント基板２２１の表側でハンダ付けするなどが必要で
あるが、裏配線をすると、プリント基板２２１と放熱板
２２９の間に絶縁ギャップを形成しなければならないの
で、プリント基板２２１の構造が複雑になるのはもとよ
り、ハンダ付は作業がわずられしく、放熱効果も低下す
るという問題がある。ソレノイドのリードをプリント基
板に貫通させる場合にも、コネクタ端子とソレノ１５− イドリードのプリント基板へのハンダ付けが別位置とな
り、プリント基板が極小形であるので、ハンダ付けがわ
ずられしく、またプリント配線を極高密度にし得ないと
いう問題がある。

そこでこの実施例では、コネクタ２２５に、前述の貫通
端部１１ａ、　１２ａ、　１３ａ、　１４ａ、　１５ａ
、　１６ａ、　２１ａおよび２２ａを有する８個の端子
導体１１，１２，１３，１４．＋５．１６．．２＋およ
び２２を備える外に、ハウジング２０１ａの内側に伸び
るコネクタ端部を下から上に貫通する３個のソレノイド
接続用の端子導体１７．１８および１９を備えて、それ
らの端子導体１７．１８および１９の下端にソレノイド
ＳＬ１　、ｓＬ２の通電リード２２３をハンダ付けし、
つまりＳＬＩに給電用のものを端子導体１８に、Ｓｌ２
に給電用のものを端子導体１７に、ＳＬｌとＳｌ、２に
共通のアース帰電用のものを端子導体１９にハンダ付け
し、端子導体１７，１８，１９の上側の端部１７ａ。

１８ａ、１９ａを、８個の端子導体１１，１２，１３，
１４，１５，１６，２１および２２の貫通端部１１ａ、
１２ａ、１３ａ、１４ａ、１５ａ、１６ａ。

２１ａおよび２２ａと同様に、それらと同じ配列で並べ
てそれらと同時にプリント基板２２１の端子導体に１６
− 同時にハンダ付けする構造としている。

これによれば、第５図に示すようにコネクタ２２５をハ
ウジング２０１ａに固着し、ハウジング２０１ａ内にソ
レノイドＳＩ、１およびＳｌ２を装着し、それらのり一
ド２２３をコネクタ２２５の端子導体１７．１８．１９
の下端にハンダ付けすることにより、アクチュエータ２
００の機械的要素は組上った形となる。

この形のアクチュエータ半製品に、電子制御装置２２０
を装備したプリント基板２２１を固着した放熱板２２９
を、そのプリント基板２２１の接続端子部縁を、コネク
タ２２５の、上側の貫通端部１１ａ、１２ａ、１３ａ、
１４ａ。

１５ａ、　１６ａ、２１ａおよび２２ａならびに端子導
体１７，１８．１９の」二側端部と、ハウジング２０１
ａ内突出端部の受台部２２５ａの間に差し込む形で装着
し、放熱板２２９をハウジング２０１８にねじ締めによ
り固着し、自動ハンダ付は装置で、上側の貫通端部１１
ａ、１２ａ、１３ａ。

１４ａ、１５ａ、１６ａ、２１ａおよび２２ａならびに
端子導体１７゜１８．１９の上側端部を同時に、プリン
ト基板２２１の接続端子にハンダ付けする。

これにより、プリント配線は、比較的にハンダ付けの耐
熱性が低い自動ハンダ付は向きの、高密度高集積のもの
としうるし、ハンダ付は作業が掻く簡単になる。

このようにハンダ付けをしてから、前述のエポキシ樹脂
等によるモールド２２７が施こす。

以上の構成により、大気圧ポート２０９より流入した大
気は開孔２０９ａを介して迷路状溝２２８に流れ込み、
電子制御装置２２０の周囲の熱をプリント基板２２］お
よび放熱板２２９を介して吸収しながらバルブノズル２
１４ａおよび２１９ａに流れ込んで負圧室２０３に至る
。負圧室２０３の空気は、バルブ２１５が開のときにバ
ルブノズル２１５ａを通して負圧ポート２０８を経てエ
ンジンのインテークマニホールドに吸入される。したが
って、電子制御装置２２０が強制空冷されることになる
。

プリント基板２２１は、この実施例ではセラミックプリ
ント基板であり、伝熱性が比較的に高く、電子制御装置
２２０から放熱板２２９への熱伝導を比較的に妨げない
。放熱板２２９は表面をアルマイト加工したアルミニウ
ムであり、伝熱性が高い。なお、セラミックプリント基
板２２１は、銀−パラジウムをプリント配線としている
ので、手ハンダでは銀がハンダ中に配線から分離してハ
ンダ側に移行して配線が切れる確率が高いが、上述のよ
うにコネクタ２２５に工風をこらしてプリント基板には
自動ハンダで電気接続を行なうようにしているので、こ
のような問題がない。

プリント基板２２１としては、セラミックプリント基板
の外に、たとえば表面をアルマイト処理したアルミニウ
ム板の表面に、必要に応じて耐熱性樹脂を被覆し、その
上にプリント配線を施こしたものなど、伝熱性が高いそ
の他のプリント基板を用いてもよい。

以上の構成のアクチュエータでは、第５図に明確なよう
に、このアクチュエータに負圧を供給するための負圧ポ
ート２０８．大気圧を供給するための大気圧ポート２０
９および外部センサおよび電源ラインを接続するための
コネクタ２２５は、配管およびケーブルの配架を単純か
つ容易とするために、すべてハウジング２０１ａの下端
部に配置され、しか１９− もすべて同じ方向を向くようにしている。これにより、
アクチュエータを単位ユニットとして規格化し、車上へ
の着脱を容易にしている。流体管と電気ケーブルを一体
としたケーブル単位でアクチュエータに配管および配線
しうる。

電子制御装置２２０の構成は第１図に示す電子制御装置
１０の構成および制御動作と同じであり、制御動作は、
第７ａ図、第７ｂ図および第７ｃ図に示す通りである。

この制御動作は、本出願人がすでに特許出願した特願昭
５８−３４２６８号に開示し説明している車速制御と同
じであり、しかも、第７ａ図から第７ｃ図より自明であ
るので、詳細な説明は省略する。

なお、上記実施例では、アクチュエータは負圧にて制御
され、迷路状溝（流体流路）２２８は大気圧ポート２０
９に連通しているが、これに限るものではなく、正圧に
て制御されるアクチュエータでもよいし、迷路状溝（流
体流路）２２８は負圧ポートに連通させてもよいし、更
には、アクチュエータは電磁圧力制御装置のみならず、
ソレノイド装置。

２０− モータ等の、電気コイルを主体とする駆動源と、それに
よって駆動される機械要素を備えるその他のものであっ
てもよい。

以」二の通り本発明によれば、付勢制御を行なう電子制
御装置を一体に備え、しかも電子制御装置の熱放散を十
分に行なえるアクチュエータが提供され、自動制御部品
の単品化、汎用化がもたらされると共に、自動制御部品
の所要部への取付けが容易になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の電子制御装置の一例構成を示すブロック
図、第２図は従来のアクチュエータの一例構成を示す断
面図である。第３図および第４図は本発明の一実施例の断面図、第５
図は該実施例のハウジング２０１ａの底面を示す底面図
であり、第３図は第５図の■−■線断面図。第４図は第５図の■−ＴＶ線断面図である。第６ａ図は該実施例の放熱板２２９の平面図、第６ｂ図
は第６ａ図のｖｔ−Ｖｌ線断面図である。第６ｃ図は該
実施例のコネクタ２２５の拡大斜視図である。第７ａ図、第７ｂ図および第７ｃ図は、上記実施例の電
子制御装置２２０の車速制御動作を示すフローチャート
である。１０．２２０　：電子制御装置　２０：暴走検出回路Ｄ
ＶＩ、ＤＶ２　：ソレノイドドライバＳＬ１　、ＳＬ２
：ソレノイド（電気コイル）３０：定電圧電源回路１００．２００　：アクチュエータ２０１．２０１ａ、２０１ｂ　：ハウジング２０２：ダ
イアフラム　２０３：負圧室（圧力制御室）２０４：大
気室　２０５；ピストン２０６：圧縮コイルスプリング（第１のばね手段）２０
７：ロッド　２０８：負圧ボート２０９：大気圧ポート　２１Ｏ：負圧制御弁２１１：負
圧解放弁２１３：引張コイルスプリング（第２のばね手段）２１
４．２１５，２１８，２１９　：バルブ（弁部材）２２
１：セラミックプリント基板２２７：モールド　２２８：迷路状溝（流体流路）２２
９：放熱板　２２９ａ　：小突起２２５：コネクタ　１１〜１６，２１，２２　：端子導
体１１ａ〜１６ａ、２１ａ、２２ａ　：貫通端部１７〜
１．９：端子導体　１７ａ〜１９ａ：上側端部第２羽充３國手続補正書（帥）昭和５８年１１月１７日特許庁長官　若杉　和犬　殿３、補正をする者事件との関係　特許出願人住　所　愛知県刈谷市朝日町２丁目１番地名　称　（０
０１）アイシン精機株式会社　（他１名）代表者　中井
　置去４、代理人　〒１０３　電話　０３−８６４−６０５２
住　所　東京都中央区東日本橋２丁目２７番６号図面６、補正の内容添付の通り、第７ａ図および第７ｂ図を補正する。７、添付書類の目録図面・・・・・・２葉

Claims

【特許請求の範囲】

（１）電気コイルおよび機械素子を備え、電気コイルの
通電に応じて機械素子を駆動するアクチュエータにおい
て、ハウジングの一部をなす部材に形成された流体流路；この流体流路に突出した突起を一方の面に有する放熱板
；および放熱板の他方の面に固着され、前記電気コイルを付勢制
御する電子制御装置；を備えることを特徴とするアクチュエータ。
（２）機械素子は前記流体流路に連通した流体ボートを
開閉する弁部材を含む前記特許請求の範囲第（１）項記
載のアクチュエータ。
（３）機械素子は、ダイアフラム、ダイアプラムとハウ
ジングの間の大気圧室を縮める方向にダイアフラムを駆
動する第１のばね手段、前記流体流路に連通した流体ボ
ートを開閉する弁部材、および、弁部材を流体ポート開
閉の一方の方向に駆動する第２のばね手段であり；流体
ボートの開閉により圧力が定まる、ダイアフラムとハウ
ジングの間の圧力制御室に電気コイル、弁部材および第
２のばね手段を配置し、電気コイルの通電に応じて第２
のばね手段が及ぼす力の方向とは逆の方向に弁部材を駆
動する構成とした、前記特許請求の範囲第（１）項記載
のアクチュエータ。
（４）アクチュエータは、ハウジングとダイアフラムの
間の、大気に連通ずる大気圧室、大気圧室を縮める方向
にダイアフラムに力を及ぼす第１のばね手段、ハウジン
グとダイアフラムの間の、負圧ボートと大気圧ポートに
連通ずる圧力制御室、負圧ボートと大気圧ポートを開閉
する弁部材、負圧ボートと大気圧ポートの一方を開き、
他方を閉じる方向に弁部材に力を及ぼす第２のばね手段
、および通電に応じて弁部材を第２のばね手段が駆動す
る方向とは逆の方向に駆動する電気コイルを備え；大気
圧ポートを前記流体流路に連通とした前記特許請求の範
囲第（１）項記載のアクチュエータ。
（５）流体流路は、迷路状の溝である前記特許請求の範
囲第（１）項、第（２）項、第（３）項又は第（４）項
記載のアクチュエータ。
（６）突起は、互に分離した複数個の小突起である前記
特許請求の範囲第（１）項、第（２）項、第（３）項又
は第（４）項記載のアクチュエータ。