JPS6046058A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPS6046058A JPS6046058A JP58154554A JP15455483A JPS6046058A JP S6046058 A JPS6046058 A JP S6046058A JP 58154554 A JP58154554 A JP 58154554A JP 15455483 A JP15455483 A JP 15455483A JP S6046058 A JPS6046058 A JP S6046058A
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- lead
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- H10W74/10—Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their shape or disposition
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- H10W90/731—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
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- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置に係シ、特に樹脂封止型の半導体装
置の構造に関するものである。
置の構造に関するものである。
樹脂封止型半導体装置はセラミック封止品と比して安価
であシ、大量生産向きという理由から、現在の主流のパ
ッケージング方式となりてし1右。
であシ、大量生産向きという理由から、現在の主流のパ
ッケージング方式となりてし1右。
しかしながら樹脂封止型半導体装置は上記のような利点
はあるものの耐湿性が劣るという欠点があシ、この問題
は依然として解決されていない。
はあるものの耐湿性が劣るという欠点があシ、この問題
は依然として解決されていない。
また近年パッケージの小屋化、薄型化の要求が高まシ、
半田浸し等の熱ストレスによる耐湿性劣化問題が顕著に
なってきた。
半田浸し等の熱ストレスによる耐湿性劣化問題が顕著に
なってきた。
上記半田浸しによる耐湿性劣化は、半田浸しの熱ストレ
スによシ半導体素子やリードフレームと封止樹脂との界
面で剥離が起こシ、水分や活性不純物が容易に侵入でき
る経路が生じることが原因と考えられる。
スによシ半導体素子やリードフレームと封止樹脂との界
面で剥離が起こシ、水分や活性不純物が容易に侵入でき
る経路が生じることが原因と考えられる。
特に従来技術においては半導体素子を載置するタブ部の
支持リードがリードフレーム外枠に連結されており、個
々の半導体装置に分離する時に連結部をプレスにて切断
する方法がとられている。
支持リードがリードフレーム外枠に連結されており、個
々の半導体装置に分離する時に連結部をプレスにて切断
する方法がとられている。
そのため半田浸しを行なった際の熱ストレスによシ、該
支持リードの連結部における切断箇所付近から界面剥離
を生じた場合には、該支持リードと封止樹脂との界面を
フラックス等の活性な不純物が容易に半導体素子近傍に
達し、A7電極または配線が腐食不良を起こすという欠
点があった。
支持リードの連結部における切断箇所付近から界面剥離
を生じた場合には、該支持リードと封止樹脂との界面を
フラックス等の活性な不純物が容易に半導体素子近傍に
達し、A7電極または配線が腐食不良を起こすという欠
点があった。
本発明の目的は上述の半田浸しによる耐湿性劣化を生じ
ない昼信頼性を有する樹脂封止型半導体装置を提供する
ことにある。
ない昼信頼性を有する樹脂封止型半導体装置を提供する
ことにある。
上記目的を達成するため本発明の要旨は、半導体素子な
載t4するタブ部の支持リードが、他の内部リードと有
機接着剤を介して支持材にて連結、固定され、かつ該タ
ブ部の支持リードが封止樹脂内部に埋め込まれているこ
とを%敵とする。
載t4するタブ部の支持リードが、他の内部リードと有
機接着剤を介して支持材にて連結、固定され、かつ該タ
ブ部の支持リードが封止樹脂内部に埋め込まれているこ
とを%敵とする。
本発明によれば、タブ部の支持リードが封止樹脂内に完
全に埋め込まれていることにより、半田浸しを行なって
も従来品のような不純物の侵入経路が生じない。
全に埋め込まれていることにより、半田浸しを行なって
も従来品のような不純物の侵入経路が生じない。
またタブ部の支持リードと内部リードとを支持材にて連
結、固着するのに有機接着剤層を用いるととKよシ、封
止樹脂との膨張差に基く剥離が生じないため、内部リー
ドと封止樹脂界面から不純物や水が侵入しても、該有機
接着剤層で止めることができる。
結、固着するのに有機接着剤層を用いるととKよシ、封
止樹脂との膨張差に基く剥離が生じないため、内部リー
ドと封止樹脂界面から不純物や水が侵入しても、該有機
接着剤層で止めることができる。
以上の様に半田浸し時のストレスに起因する外部からの
不純物や水分の主なる侵入経路を本発明を用いて遮断す
ることが可能となシ、半田浸し後の耐湿性劣化の無い冒
信頼性をイ」する樹脂封止型半導体装置が実現でさる。
不純物や水分の主なる侵入経路を本発明を用いて遮断す
ることが可能となシ、半田浸し後の耐湿性劣化の無い冒
信頼性をイ」する樹脂封止型半導体装置が実現でさる。
次に本発明につい1実施例を用いで説明する。
従来の半導体装置を通常のプーアルインラインパッケー
ジ(DIP)で胱鴨すると第1UA(司及び(b)で示
すように、螢や銀メッキ等の施ぜれた半導体素子を載置
するタブ部1a及び該タブ部の支持リード2a’(r有
するリードフレームに半導体素子3aを金属ロー材4a
等で該タブ部1aに固着し、該半導体素子と複数の内部
リード5aとを導体であるボンディングワイヤー6aで
接続した後に、モールド樹脂7aKよシ封止されていた
。
ジ(DIP)で胱鴨すると第1UA(司及び(b)で示
すように、螢や銀メッキ等の施ぜれた半導体素子を載置
するタブ部1a及び該タブ部の支持リード2a’(r有
するリードフレームに半導体素子3aを金属ロー材4a
等で該タブ部1aに固着し、該半導体素子と複数の内部
リード5aとを導体であるボンディングワイヤー6aで
接続した後に、モールド樹脂7aKよシ封止されていた
。
その後各内部リード−Jの連結部(タイバー)8aと、
リードフレームの外枠9aとタブ部の支持リード2aと
の連結部10a とを切断して1個1個のモールドIC
になる。このような構造の場合、半田浸し等の急激な熱
ストレスに、l:!+熱膨張係数が異なシ、密着力に乏
しい支持リード2aや 1内部リード5aとモールド樹
脂との界面で剥離が生じ、特に支持リード2aからは直
接半導体素子3aの近傍に不純物が侵入することKなシ
、耐湿性劣化は免れない。
リードフレームの外枠9aとタブ部の支持リード2aと
の連結部10a とを切断して1個1個のモールドIC
になる。このような構造の場合、半田浸し等の急激な熱
ストレスに、l:!+熱膨張係数が異なシ、密着力に乏
しい支持リード2aや 1内部リード5aとモールド樹
脂との界面で剥離が生じ、特に支持リード2aからは直
接半導体素子3aの近傍に不純物が侵入することKなシ
、耐湿性劣化は免れない。
これに対して本発明の実施例は第2図(a)及び(1)
)に示すようにタブ部1bの支持リード2bは有機接着
剤11bを介して支持材12bにて内部リード5bに連
結、固定されている。
)に示すようにタブ部1bの支持リード2bは有機接着
剤11bを介して支持材12bにて内部リード5bに連
結、固定されている。
また該支持リード2bはモールド樹脂7bの封止範囲内
に入るように予め切断されている。このような構造をと
ったことによシ、半田浸し等の急激な熱ストレスを与え
ても外部からの不純物や水分の主な侵入経路が遮断され
ているため、耐湿性劣化が生じない。
に入るように予め切断されている。このような構造をと
ったことによシ、半田浸し等の急激な熱ストレスを与え
ても外部からの不純物や水分の主な侵入経路が遮断され
ているため、耐湿性劣化が生じない。
なおこの場合、有機接着剤11bの材質としては後に半
導体素子をマムント、ボンディングする工程での加熱条
件に耐えられるものを用いるのは言うまでもなく、中で
もポリイミド系、エポキシ系、シリコーン系、テフロン
系、ポリブタジェン系の樹脂が有効であるが限定される
ものではない。
導体素子をマムント、ボンディングする工程での加熱条
件に耐えられるものを用いるのは言うまでもなく、中で
もポリイミド系、エポキシ系、シリコーン系、テフロン
系、ポリブタジェン系の樹脂が有効であるが限定される
ものではない。
また熱膨張係数や熱伝導率、耐熱性を改善するため一般
に充填剤を混入した方がよシ好ましい結果が得られるこ
とがわかった。例としては絶縁性接着剤では50〜90
wt%のシリカ(Sift)を添加したもの、導電性接
着剤では銀等の戴h4粉末を60〜90wt%硲加した
ものが効果があったが、これも特に限定されるものでは
ない。
に充填剤を混入した方がよシ好ましい結果が得られるこ
とがわかった。例としては絶縁性接着剤では50〜90
wt%のシリカ(Sift)を添加したもの、導電性接
着剤では銀等の戴h4粉末を60〜90wt%硲加した
ものが効果があったが、これも特に限定されるものでは
ない。
またタブ部の支持リードと内部リードとの連結固定用の
支持材としては耐熱性、剛性の旨いものがマウント、ボ
ンディング工程での取扱い上好ましいものである。例と
して42@金、鋼合金等の金属、アルミノ等の無機酸化
物、ポリイミド系。
支持材としては耐熱性、剛性の旨いものがマウント、ボ
ンディング工程での取扱い上好ましいものである。例と
して42@金、鋼合金等の金属、アルミノ等の無機酸化
物、ポリイミド系。
エポキシ系、シリコーン系等のM機樹脂材料などがある
。これらの支持材と上述の有機接着剤の材質の組合せは
タブ部の内部リードとの導通の必要性の有無によシ使い
分ければ良い。
。これらの支持材と上述の有機接着剤の材質の組合せは
タブ部の内部リードとの導通の必要性の有無によシ使い
分ければ良い。
なお該支持材の形状としては短冊状、コの字状。
口の字状等が好ましいが特に限定されるものではない。
次に本発明の一実施例の一実楕例のリードフレームの製
造方法としてはまず従来形状のリードフレーム、すなわ
ちタブ部の支持リードがリードフレームの外枠等と連結
されているリードフレームな作成した後、イf重接着剤
を介して支持材をタブ部の支持リードと内部リードとに
連結、固定する。
造方法としてはまず従来形状のリードフレーム、すなわ
ちタブ部の支持リードがリードフレームの外枠等と連結
されているリードフレームな作成した後、イf重接着剤
を介して支持材をタブ部の支持リードと内部リードとに
連結、固定する。
その後タブ部の支持リードとリードフレームの外枠との
連結部をプレス、エツチング等KJII7切断すれば良
い。
連結部をプレス、エツチング等KJII7切断すれば良
い。
以上詳述したように本発明によれば半田浸しによる耐湿
性劣化の問題を解消し、高信頼性で商品価値の高い半導
体装置を実現できる。
性劣化の問題を解消し、高信頼性で商品価値の高い半導
体装置を実現できる。
第1図fa)は従来の半導体装置の上面図であり、第1
図(b)は第1図(a)のl−/’線における断面図で
ある。また第2図(a)は本発明による一実施例の半導
体装置の上面図であシ、第2図中)は第21伸)の、、
/線における断面図である。 なお図において、la、lb・・・・・・タブ部、2a
。 2b・・・・・・タブ部の支持リード、3a、3b・・
・・・・半導体素子、4a、4b・・・・・・ロー材、
5a、5b・・・・・・内部リード、6a、6b・・・
・・・ボンディングワイヤー、7a、7b・・・・・・
モールド樹脂% 8a#8b・・・・・・タイバー=、
、ga、gb・・・・・・リードフレームの外枠、10
a・・・・−・タブ部の支持リードと外枠との連結部、
llb・・・・・・絶縁性有機接着剤、12b・・・・
・・支持材、である。 代理人 弁理士 内 原 2・ “°0゛bii、’
〜ハ 叉・−・シ」二、ノ
図(b)は第1図(a)のl−/’線における断面図で
ある。また第2図(a)は本発明による一実施例の半導
体装置の上面図であシ、第2図中)は第21伸)の、、
/線における断面図である。 なお図において、la、lb・・・・・・タブ部、2a
。 2b・・・・・・タブ部の支持リード、3a、3b・・
・・・・半導体素子、4a、4b・・・・・・ロー材、
5a、5b・・・・・・内部リード、6a、6b・・・
・・・ボンディングワイヤー、7a、7b・・・・・・
モールド樹脂% 8a#8b・・・・・・タイバー=、
、ga、gb・・・・・・リードフレームの外枠、10
a・・・・−・タブ部の支持リードと外枠との連結部、
llb・・・・・・絶縁性有機接着剤、12b・・・・
・・支持材、である。 代理人 弁理士 内 原 2・ “°0゛bii、’
〜ハ 叉・−・シ」二、ノ
Claims (1)
- 半導体素子を載置するタブ部の支持リードが、他の内部
リードと有機接着剤を介して支持材にて連結、固定され
、かつ該タブ部の支持リードが封止樹脂内部に埋め込ま
れていることを41!徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58154554A JPS6046058A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58154554A JPS6046058A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | 半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6046058A true JPS6046058A (ja) | 1985-03-12 |
Family
ID=15586785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58154554A Pending JPS6046058A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6046058A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS629656A (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-17 | Shinko Electric Ind Co Ltd | リ−ドフレ−ム |
| US4788583A (en) * | 1986-07-25 | 1988-11-29 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and method of producing semiconductor device |
-
1983
- 1983-08-24 JP JP58154554A patent/JPS6046058A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS629656A (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-17 | Shinko Electric Ind Co Ltd | リ−ドフレ−ム |
| US4788583A (en) * | 1986-07-25 | 1988-11-29 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and method of producing semiconductor device |
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