JPS6047751B2 - 撮像管タ−ゲツト - Google Patents
撮像管タ−ゲツトInfo
- Publication number
- JPS6047751B2 JPS6047751B2 JP50100772A JP10077275A JPS6047751B2 JP S6047751 B2 JPS6047751 B2 JP S6047751B2 JP 50100772 A JP50100772 A JP 50100772A JP 10077275 A JP10077275 A JP 10077275A JP S6047751 B2 JPS6047751 B2 JP S6047751B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube target
- image pickup
- layer
- present
- pickup tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は撮像管ターゲットの改良に関するものである。
本出願人は、従来の一般用ビジコン(Sb、S。からな
るもの)、Siビジコン(Si(7)pn接合ダイオー
ドアレイよりなるもの)、PbOビジコン(PbOから
なるもの)などが持つ欠点を除去できる新らしい撮像管
ターゲットを提案している。すなわち、この撮像管ター
ゲットはZnsl−ZseZまたはZn、−vCdvS
と(Zn、−xCdxTe)、−y(In2Te。
るもの)、Siビジコン(Si(7)pn接合ダイオー
ドアレイよりなるもの)、PbOビジコン(PbOから
なるもの)などが持つ欠点を除去できる新らしい撮像管
ターゲットを提案している。すなわち、この撮像管ター
ゲットはZnsl−ZseZまたはZn、−vCdvS
と(Zn、−xCdxTe)、−y(In2Te。
)yとの異種接合構造からなる。しかし、このターゲッ
トでは総合的な諸特性についてはきわめてすぐれている
ものの、残像については改善すべき余地が残されていた
。本発明者らは、この問題点にかんがみて種々検討した
結果、残像を改善できることを見出し、本発明を完成し
た。
トでは総合的な諸特性についてはきわめてすぐれている
ものの、残像については改善すべき余地が残されていた
。本発明者らは、この問題点にかんがみて種々検討した
結果、残像を改善できることを見出し、本発明を完成し
た。
以下図面とともに本発明を説明する。
第1図に本発明の撮像管ターゲットの一例を示す。
図において、1はガラス基板、2は透明性導電膜、3は
バンドギャップの大きい物質ではZnS、−2Se2N
Zn、−vCdvS)4は(Zn、−xCd、Te)、
−y(In、Te。)y)5は島状金属である。次に第
1図における撮像管ターゲットの製作方法をのべる。透
明性導電膜2を形成したガラス基板1上にバンドギャッ
プの大きい物質3例えばはZnS、−2Se2、、Zn
、−、Cd、Sを基板温度100〜4000Cにて0.
03〜1μ几の厚さに蒸着し、その上に(Zn、−、C
d、Te)、−y(IルTe。
バンドギャップの大きい物質ではZnS、−2Se2N
Zn、−vCdvS)4は(Zn、−xCd、Te)、
−y(In、Te。)y)5は島状金属である。次に第
1図における撮像管ターゲットの製作方法をのべる。透
明性導電膜2を形成したガラス基板1上にバンドギャッ
プの大きい物質3例えばはZnS、−2Se2、、Zn
、−、Cd、Sを基板温度100〜4000Cにて0.
03〜1μ几の厚さに蒸着し、その上に(Zn、−、C
d、Te)、−y(IルTe。
)、4を基板温度150〜250℃にて膜厚が1〜7μ
mとなるよう蒸着する。このようにして得られた膜を真
空中において・ 300〜700℃の温度範囲で5〜2
0紛間の熱処理を施こす。更に、金属例えばAu、Ag
NcuNIn)川、Ca等を解像度を劣化せしめないよ
うに100A以下の膜厚に形成するか、またはメッシュ
を通して蒸着し各絵素間の横方向のリークを生じないよ
フうにする。このようにして得られた撮像管ターゲット
は諸特性が優れ、とりわけ残像が向上する。第1表に、
本発明の撮像管ターゲット (Auあり)4従来の撮像
管ターゲット (Auなし)とを比較して諸特性を示す
。夕 第1表から本発明のものは従来のものに比べて残像が格
段に向上するのがわかる。
mとなるよう蒸着する。このようにして得られた膜を真
空中において・ 300〜700℃の温度範囲で5〜2
0紛間の熱処理を施こす。更に、金属例えばAu、Ag
NcuNIn)川、Ca等を解像度を劣化せしめないよ
うに100A以下の膜厚に形成するか、またはメッシュ
を通して蒸着し各絵素間の横方向のリークを生じないよ
フうにする。このようにして得られた撮像管ターゲット
は諸特性が優れ、とりわけ残像が向上する。第1表に、
本発明の撮像管ターゲット (Auあり)4従来の撮像
管ターゲット (Auなし)とを比較して諸特性を示す
。夕 第1表から本発明のものは従来のものに比べて残像が格
段に向上するのがわかる。
また金属層としては、Auのほか、他の金属例えばAu
..Ag..Cu,.In..Al、Cs等においても
同様な結果が得られた。
..Ag..Cu,.In..Al、Cs等においても
同様な結果が得られた。
以上説明したように、本発明によれば、諸特性が優れた
、とりわけ残像がよい撮像管ターゲットが得られる。
、とりわけ残像がよい撮像管ターゲットが得られる。
図は本発明の一実施例である撮像管ターゲットを示す断
面図である。 1・・・・・・ガラス基板、2・・・・・・透明性導電
膜、3・・・・・・バンドギャップの大きい物質、4・
・・(Znl−,.CdOTe)1−y(Irl2Te
3)Yl5・・・・・・金属。
面図である。 1・・・・・・ガラス基板、2・・・・・・透明性導電
膜、3・・・・・・バンドギャップの大きい物質、4・
・・(Znl−,.CdOTe)1−y(Irl2Te
3)Yl5・・・・・・金属。
Claims (1)
- 1 透明性導電膜を有する透明基板上に、第一層として
第二層よりもバンドギャップが大なる物質を形成し、前
記第二層として(Zn_1_−_xCd_xTe)_1
_−_y(In_2Te_3)_yなる物質を形成し、
更に前記第二層上に100Å以下の金属を形成してなる
撮像管ターゲット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50100772A JPS6047751B2 (ja) | 1975-08-19 | 1975-08-19 | 撮像管タ−ゲツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50100772A JPS6047751B2 (ja) | 1975-08-19 | 1975-08-19 | 撮像管タ−ゲツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5224090A JPS5224090A (en) | 1977-02-23 |
| JPS6047751B2 true JPS6047751B2 (ja) | 1985-10-23 |
Family
ID=14282767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50100772A Expired JPS6047751B2 (ja) | 1975-08-19 | 1975-08-19 | 撮像管タ−ゲツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6047751B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5964210U (ja) * | 1982-10-23 | 1984-04-27 | 大東木工株式会社 | たわみ性の小さい板材からなる折曲壁のコ−ナ部分 |
| JPS5964209U (ja) * | 1982-10-23 | 1984-04-27 | 大東木工株式会社 | たわみ性の小さい板材からなる折曲壁のコ−ナ部分 |
| JPS60107218U (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-22 | 大建工業株式会社 | 板材 |
| JPS617670A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-14 | Ricoh Co Ltd | 光電変換膜 |
-
1975
- 1975-08-19 JP JP50100772A patent/JPS6047751B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5224090A (en) | 1977-02-23 |
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