JPS6047751B2 - 撮像管タ−ゲツト - Google Patents

撮像管タ−ゲツト

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Publication number
JPS6047751B2
JPS6047751B2 JP50100772A JP10077275A JPS6047751B2 JP S6047751 B2 JPS6047751 B2 JP S6047751B2 JP 50100772 A JP50100772 A JP 50100772A JP 10077275 A JP10077275 A JP 10077275A JP S6047751 B2 JPS6047751 B2 JP S6047751B2
Authority
JP
Japan
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tube target
image pickup
layer
present
pickup tube
Prior art date
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Expired
Application number
JP50100772A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5224090A (en
Inventor
隆夫 近村
慎司 藤原
治 江口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication of JPS5224090A publication Critical patent/JPS5224090A/ja
Publication of JPS6047751B2 publication Critical patent/JPS6047751B2/ja
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    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/549Organic PV cells

Landscapes

  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は撮像管ターゲットの改良に関するものである。
本出願人は、従来の一般用ビジコン(Sb、S。からな
るもの)、Siビジコン(Si(7)pn接合ダイオー
ドアレイよりなるもの)、PbOビジコン(PbOから
なるもの)などが持つ欠点を除去できる新らしい撮像管
ターゲットを提案している。すなわち、この撮像管ター
ゲットはZnsl−ZseZまたはZn、−vCdvS
と(Zn、−xCdxTe)、−y(In2Te。
)yとの異種接合構造からなる。しかし、このターゲッ
トでは総合的な諸特性についてはきわめてすぐれている
ものの、残像については改善すべき余地が残されていた
。本発明者らは、この問題点にかんがみて種々検討した
結果、残像を改善できることを見出し、本発明を完成し
た。
以下図面とともに本発明を説明する。
第1図に本発明の撮像管ターゲットの一例を示す。
図において、1はガラス基板、2は透明性導電膜、3は
バンドギャップの大きい物質ではZnS、−2Se2N
Zn、−vCdvS)4は(Zn、−xCd、Te)、
−y(In、Te。)y)5は島状金属である。次に第
1図における撮像管ターゲットの製作方法をのべる。透
明性導電膜2を形成したガラス基板1上にバンドギャッ
プの大きい物質3例えばはZnS、−2Se2、、Zn
、−、Cd、Sを基板温度100〜4000Cにて0.
03〜1μ几の厚さに蒸着し、その上に(Zn、−、C
d、Te)、−y(IルTe。
)、4を基板温度150〜250℃にて膜厚が1〜7μ
mとなるよう蒸着する。このようにして得られた膜を真
空中において・ 300〜700℃の温度範囲で5〜2
0紛間の熱処理を施こす。更に、金属例えばAu、Ag
NcuNIn)川、Ca等を解像度を劣化せしめないよ
うに100A以下の膜厚に形成するか、またはメッシュ
を通して蒸着し各絵素間の横方向のリークを生じないよ
フうにする。このようにして得られた撮像管ターゲット
は諸特性が優れ、とりわけ残像が向上する。第1表に、
本発明の撮像管ターゲット (Auあり)4従来の撮像
管ターゲット (Auなし)とを比較して諸特性を示す
。夕 第1表から本発明のものは従来のものに比べて残像が格
段に向上するのがわかる。
また金属層としては、Auのほか、他の金属例えばAu
..Ag..Cu,.In..Al、Cs等においても
同様な結果が得られた。
以上説明したように、本発明によれば、諸特性が優れた
、とりわけ残像がよい撮像管ターゲットが得られる。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例である撮像管ターゲットを示す断
面図である。 1・・・・・・ガラス基板、2・・・・・・透明性導電
膜、3・・・・・・バンドギャップの大きい物質、4・
・・(Znl−,.CdOTe)1−y(Irl2Te
3)Yl5・・・・・・金属。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 透明性導電膜を有する透明基板上に、第一層として
    第二層よりもバンドギャップが大なる物質を形成し、前
    記第二層として(Zn_1_−_xCd_xTe)_1
    _−_y(In_2Te_3)_yなる物質を形成し、
    更に前記第二層上に100Å以下の金属を形成してなる
    撮像管ターゲット。
JP50100772A 1975-08-19 1975-08-19 撮像管タ−ゲツト Expired JPS6047751B2 (ja)

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JPS5224090A JPS5224090A (en) 1977-02-23
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5964210U (ja) * 1982-10-23 1984-04-27 大東木工株式会社 たわみ性の小さい板材からなる折曲壁のコ−ナ部分
JPS5964209U (ja) * 1982-10-23 1984-04-27 大東木工株式会社 たわみ性の小さい板材からなる折曲壁のコ−ナ部分
JPS60107218U (ja) * 1983-12-27 1985-07-22 大建工業株式会社 板材
JPS617670A (ja) * 1984-06-22 1986-01-14 Ricoh Co Ltd 光電変換膜

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