JPS6049406U - 格子干渉計 - Google Patents

格子干渉計

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JPS6049406U
JPS6049406U JP14187783U JP14187783U JPS6049406U JP S6049406 U JPS6049406 U JP S6049406U JP 14187783 U JP14187783 U JP 14187783U JP 14187783 U JP14187783 U JP 14187783U JP S6049406 U JPS6049406 U JP S6049406U
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Japan
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reflecting mirror
light source
grating
diffraction grating
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JP14187783U
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寛 水谷
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Mitutoyo Corp
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  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来の格子干渉計の原理構成を示す線図、第
２図は、本考案に係る格子干渉計の実施例の構成を示す
、一部ブロック線図を含む断面図である。 １０・・・回折格子、１２・・・第１光路、１４・・・
光源、１６・・・第１平面鏡、１８・・・第２光路、２
０・・・第２平面鏡、２２・・・光検出器、２４．２６
・・・コリメータレンズ、３０・・・内側円筒部材、３
２・・・外側円筒部材。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）相対回動自在に嵌合され、一方の円筒部材には回
    動軸を辿る第１光路が、他方の円筒部材には回動軸を通
    り且つ前記第１光路と交差する第２光路が形成された、
    ２つの回忌円筒部材と、該回忌円筒部材の回動軸を通り
    、その直径方向に延在させて配設された回折格子と、前
    記第１光路の一端から光を入射するための光源と、前記
    第１光路の他端に設けられた第１反射鏡と、前記第２光
    路の、回折格子に関して第１反射鏡と同一側端に設けら
    れた第２反射鏡と、前記第２光路の、回折路格子に関し
    て光源と同一側端に設けられた、回折格子による干渉の
    発生状態を監視するための干渉監視手段とを備え、前記
    第１反射鏡又は第２反射鏡の少なくともいずれか一方が
    、その光路方向に進退勤可能とされていることを特徴と
    する格子干渉計。
  2. （２）前記光源及び干渉監視手段の前方には、各々コリ
    メータレンズが設けられ、各コリメータレンズが各々の
    光路方向に進退勤可能とされている実用新案登録請求の
    範囲第１項記載の格子干渉計。
JP14187783U 1983-09-13 1983-09-13 格子干渉計 Granted JPS6049406U (ja)

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JP14187783U JPS6049406U (ja) 1983-09-13 1983-09-13 格子干渉計

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Publication Number Publication Date
JPS6049406U true JPS6049406U (ja) 1985-04-06
JPH0230723Y2 JPH0230723Y2 (ja) 1990-08-20

Family

ID=30317185

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JP14187783U Granted JPS6049406U (ja) 1983-09-13 1983-09-13 格子干渉計

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