JPS6049890B2 - 分割露光用回転シャッタ - Google Patents
分割露光用回転シャッタInfo
- Publication number
- JPS6049890B2 JPS6049890B2 JP54092624A JP9262479A JPS6049890B2 JP S6049890 B2 JPS6049890 B2 JP S6049890B2 JP 54092624 A JP54092624 A JP 54092624A JP 9262479 A JP9262479 A JP 9262479A JP S6049890 B2 JPS6049890 B2 JP S6049890B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarity
- shutter
- rotary
- permanent magnet
- airtight container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Shutters For Cameras (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超Ｌｉ製造工程において、軟Ｘ線を用いマス
クパターンをウェハ上に転写し・露光する場合、露光領
域を複数に分割し、順次露光する分割露光方式における
分割露光用回転シャッタに関 するものである。
クパターンをウェハ上に転写し・露光する場合、露光領
域を複数に分割し、順次露光する分割露光方式における
分割露光用回転シャッタに関 するものである。
超ＬＳＩの製造工程においては、数種のマスクパター
ンをウェハを上に転写する所謂多重露光が行なわれる。
ンをウェハを上に転写する所謂多重露光が行なわれる。
一方、ウェハは多重露光に対してはエッチング・拡散等
の加工プロセスを経るため、ウェハの変形が避けられな
いこと、またマスク及びウェハの近傍の温度によつては
両物体の熱膨張による変形が生じる等の原因で、ウェハ
全面にわたつて精度よく位置合わせすることが極めて困
難であつた。この問題を解決するために、マスク及びウ
ェハを対応する複数の領域に分割し、領域ごとに部分的
位置合わせをし、順次露光する所謂分割露光方式が採用
され、露光にはマスク・ウェハを大気中に置く方法が多
く用いられている。 このような分割露光に対応する一
手法として、第１図に示すようにＸ線放射範囲内にＸ線
の一部分を取り出せるようなシャッタ板１を設け、これ
を順次移動させて露光する方法がある。
の加工プロセスを経るため、ウェハの変形が避けられな
いこと、またマスク及びウェハの近傍の温度によつては
両物体の熱膨張による変形が生じる等の原因で、ウェハ
全面にわたつて精度よく位置合わせすることが極めて困
難であつた。この問題を解決するために、マスク及びウ
ェハを対応する複数の領域に分割し、領域ごとに部分的
位置合わせをし、順次露光する所謂分割露光方式が採用
され、露光にはマスク・ウェハを大気中に置く方法が多
く用いられている。 このような分割露光に対応する一
手法として、第１図に示すようにＸ線放射範囲内にＸ線
の一部分を取り出せるようなシャッタ板１を設け、これ
を順次移動させて露光する方法がある。
図において、２は真空容器、Ｍはマスク、Ｗはウェハ、
ＸはＸ線である。 従来、この種装置におけるシャッタ
板１は真空容器２の内部に置かれる場合と大気中に置か
れる場合（鎖線にて示す）とがあるが、何れもシャッタ
板１の駆動に対してはモータを駆動源として歯車、ねじ
等による伝達機構、支持案内機構を有するため、装置の
大形化、複雑化または真空容器２とマスクＭ１ウェハＷ
との間隙Ｈの増大に伴なうＸ線の大気中における減衰が
逸れない等の欠点があつた。
ＸはＸ線である。 従来、この種装置におけるシャッタ
板１は真空容器２の内部に置かれる場合と大気中に置か
れる場合（鎖線にて示す）とがあるが、何れもシャッタ
板１の駆動に対してはモータを駆動源として歯車、ねじ
等による伝達機構、支持案内機構を有するため、装置の
大形化、複雑化または真空容器２とマスクＭ１ウェハＷ
との間隙Ｈの増大に伴なうＸ線の大気中における減衰が
逸れない等の欠点があつた。
本発明はこのような従来の欠点を除去したもので、電磁
力を用いて気密容器内に設置されたシャッタ板を気密容
器外部から操作して、駆動することて装置の小形化、Ｘ
線の高効率利用を可能にしたものである。
力を用いて気密容器内に設置されたシャッタ板を気密容
器外部から操作して、駆動することて装置の小形化、Ｘ
線の高効率利用を可能にしたものである。
以下本発明の一実施例を図面により詳細に説明する。第
２図は本発明分割露光用回転シャッタにおける構成の説
明図で、１はシャッタ板、２は気密容器（真空容器）、
３はシャッタ板１の切欠き窓、４（４ａ，４ｂ）は永久
磁石、５（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）は電磁石のヨーク
、６はコイル、７は磁性体リングであり、シャッタ板１
にある切欠き窓３はＸ線が通過し、露光される領域で、
これを順次回転させることで部分的に露光するものであ
る。
２図は本発明分割露光用回転シャッタにおける構成の説
明図で、１はシャッタ板、２は気密容器（真空容器）、
３はシャッタ板１の切欠き窓、４（４ａ，４ｂ）は永久
磁石、５（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）は電磁石のヨーク
、６はコイル、７は磁性体リングであり、シャッタ板１
にある切欠き窓３はＸ線が通過し、露光される領域で、
これを順次回転させることで部分的に露光するものであ
る。
またシャッタ板１には２枚の永久磁石４ａ，４ｂが円周
方向に添つて相対向する方向の磁極をもつて固着されて
おり、真空容器２の中部でシャッタ板１と一緒に回転方
向のみ自由運動させるように支持案内されている。さら
に真空容器２の外部には円周方向４等分の位置に、ヨー
ク５とコイル６で構成される電磁石が配置され、コイル
６に流す電流の方向によりヨーク５の磁極の方向を自由
に制御てき、さらにヨーク５（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ
）の各々を磁性体リング７で結合することによつて、磁
路を構成しており、該電磁石並びに磁性体リング７は真
空容器２の外周に固着されている。このような構成にお
いて、その動作を次に説明する。
方向に添つて相対向する方向の磁極をもつて固着されて
おり、真空容器２の中部でシャッタ板１と一緒に回転方
向のみ自由運動させるように支持案内されている。さら
に真空容器２の外部には円周方向４等分の位置に、ヨー
ク５とコイル６で構成される電磁石が配置され、コイル
６に流す電流の方向によりヨーク５の磁極の方向を自由
に制御てき、さらにヨーク５（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ
）の各々を磁性体リング７で結合することによつて、磁
路を構成しており、該電磁石並びに磁性体リング７は真
空容器２の外周に固着されている。このような構成にお
いて、その動作を次に説明する。
第３図はコイル６に流す電流方向によつてヨーク５ａ，
５ｂ，５ｃ，５ｄの極性と永久磁石４ａ，４ｂに対向す
る面の極性を表わしたもので、第２図におけるヨーク５
ａと５ｂは一対をなし、コイル６に電流を印加すること
により永久磁石４ａ，４ｂに対向する面の極性が同極と
なるように結線され、またヨーク５ｃ，５ｄとを一対と
して、同様の結線がなされている。
５ｂ，５ｃ，５ｄの極性と永久磁石４ａ，４ｂに対向す
る面の極性を表わしたもので、第２図におけるヨーク５
ａと５ｂは一対をなし、コイル６に電流を印加すること
により永久磁石４ａ，４ｂに対向する面の極性が同極と
なるように結線され、またヨーク５ｃ，５ｄとを一対と
して、同様の結線がなされている。
今、ヨーク５ａ，５ｂがＮ極、ヨーク５ｃ，５ｄがＳ極
となるように電流を印加すると、永久磁石４ａ，４ｂと
の間では各ヨークことに吸引力が作用しているため、シ
ャッタ板１は静止している。
となるように電流を印加すると、永久磁石４ａ，４ｂと
の間では各ヨークことに吸引力が作用しているため、シ
ャッタ板１は静止している。
次に、第３図に示すようにヨーク５ａ，５ｂにＳ極が生
じるような電流を印加すると、永久磁石４ａ，４ｂとの
間では反撥力が作用し、また同時にヨーク５ｃ，５ｄの
コイル６の電流を切断すれば反撥力によつて永久磁石４
ａ，４ｂ及びシャッタ板１は回転トルクを得て、回転を
初める。ここで回転方向については永久磁石４ａ，４ｂ
の長さとヨーク５ａ，５ｄ間及び５ｂ，５ｃ間の長さ、
又は反撥力を生じさせるのをヨーク５ａ，５ｂからにす
るか、ヨーク５ｃ，５ｄから始めるかによつて方向が決
まるが、第２図の構成においては前記駆動を行うことに
よつて時計方向の回転が生じる。ヨーク５ａ（７）Ｓ極
と永久磁石４ａ（７）Ｓ極及びヨーク５ｂ（７）Ｓ極と
永久磁石４ｂ（７）Ｓ極による反撥力で回転を始めると
、反撥力が次第に弱くなり、一方、永久磁石４ａ，４ｂ
のＮ極がヨーク５ａ，５ｂに近づくことにより吸引力が
増大し、ここでヨーク５ｃ，５ｄをＮ極化することで吸
引力はさらに倍化されて回転力が増し、ヨーク５ａ，５
ｂ（７）Ｓ極、永久磁石４ａ，４ｂ（７）Ｎ極及びヨー
ク５ｃ，５ｄ（７）Ｎ極と永久磁石４ａ，４ｂのＳ極が
対向した位置で回転は静止する。即ちシャッタ板１の切
欠き窓３は９０度回転した位置に移動する。以上の操作
を順次繰返すことで露光部分であるシャッタ板１の切欠
き窓３を順次回転させることができる。第４図は本発明
分割露光用回転シャッタの一実施例を示す一部切欠斜視
図で、切欠き窓３を有するシャッタ板１を一端面に設け
た回転円筒８と、この回転円筒８の外周に設けた円周方
向に磁極をもつ永久磁石４ａ，４ｂと、鋼球９によつて
前記回転円筒８を真空容器２内に回転支持する案内機構
によつて構成される回転シャッタが真空容器２の内部に
おいて回転方向のみ自由運動する構造になつている。
じるような電流を印加すると、永久磁石４ａ，４ｂとの
間では反撥力が作用し、また同時にヨーク５ｃ，５ｄの
コイル６の電流を切断すれば反撥力によつて永久磁石４
ａ，４ｂ及びシャッタ板１は回転トルクを得て、回転を
初める。ここで回転方向については永久磁石４ａ，４ｂ
の長さとヨーク５ａ，５ｄ間及び５ｂ，５ｃ間の長さ、
又は反撥力を生じさせるのをヨーク５ａ，５ｂからにす
るか、ヨーク５ｃ，５ｄから始めるかによつて方向が決
まるが、第２図の構成においては前記駆動を行うことに
よつて時計方向の回転が生じる。ヨーク５ａ（７）Ｓ極
と永久磁石４ａ（７）Ｓ極及びヨーク５ｂ（７）Ｓ極と
永久磁石４ｂ（７）Ｓ極による反撥力で回転を始めると
、反撥力が次第に弱くなり、一方、永久磁石４ａ，４ｂ
のＮ極がヨーク５ａ，５ｂに近づくことにより吸引力が
増大し、ここでヨーク５ｃ，５ｄをＮ極化することで吸
引力はさらに倍化されて回転力が増し、ヨーク５ａ，５
ｂ（７）Ｓ極、永久磁石４ａ，４ｂ（７）Ｎ極及びヨー
ク５ｃ，５ｄ（７）Ｎ極と永久磁石４ａ，４ｂのＳ極が
対向した位置で回転は静止する。即ちシャッタ板１の切
欠き窓３は９０度回転した位置に移動する。以上の操作
を順次繰返すことで露光部分であるシャッタ板１の切欠
き窓３を順次回転させることができる。第４図は本発明
分割露光用回転シャッタの一実施例を示す一部切欠斜視
図で、切欠き窓３を有するシャッタ板１を一端面に設け
た回転円筒８と、この回転円筒８の外周に設けた円周方
向に磁極をもつ永久磁石４ａ，４ｂと、鋼球９によつて
前記回転円筒８を真空容器２内に回転支持する案内機構
によつて構成される回転シャッタが真空容器２の内部に
おいて回転方向のみ自由運動する構造になつている。
なお、真空容器２の外周にはヨーク５、コイル６よりな
る電磁石が磁性体リングで結合されている。従つて前記
動作説明のようにヨーク５の磁極方向を制御することで
、回転シャッタの切欠き窓３を順次回転させることがで
きる。以上説明したように、本発明は真空容器即ち気密
容器内部に永久磁石を設けた回転シャッタと気密容器外
部に設けた電磁石とにより、その電磁石の極性を制御し
、磁力作用によつて回転シャッタを順次回転させるよう
にしたから、力の伝達に機械的な接続を必要とせず、従
来この種の真空容器内部への動力伝達導入部における空
気漏洩が改善され、さらに装置の構成も簡単で、且つ小
形化と操作性の良い回転シャッタが得られる。その上、
露光部分、つまり狭域部分を対象に位置合わせを行うの
で同時に一括転写する場合に比較してウェハの変形及び
熱膨張等による位置ずれが生ぜず高精度の露光を可能に
する効果がある。
る電磁石が磁性体リングで結合されている。従つて前記
動作説明のようにヨーク５の磁極方向を制御することで
、回転シャッタの切欠き窓３を順次回転させることがで
きる。以上説明したように、本発明は真空容器即ち気密
容器内部に永久磁石を設けた回転シャッタと気密容器外
部に設けた電磁石とにより、その電磁石の極性を制御し
、磁力作用によつて回転シャッタを順次回転させるよう
にしたから、力の伝達に機械的な接続を必要とせず、従
来この種の真空容器内部への動力伝達導入部における空
気漏洩が改善され、さらに装置の構成も簡単で、且つ小
形化と操作性の良い回転シャッタが得られる。その上、
露光部分、つまり狭域部分を対象に位置合わせを行うの
で同時に一括転写する場合に比較してウェハの変形及び
熱膨張等による位置ずれが生ぜず高精度の露光を可能に
する効果がある。
第１図はシャッタ板を用いた分割露光の説明図、第２図
は本発明分割露光用回転シャッタにおける構成説明図、
第３図は第２図を動作させるための磁極制御説明図、第
４図は本発明分割露光用回転シャッタの一実施例を示す
一部切欠斜視図である。 １・・・シャッタ板、２・・・気密容器（真空容器）、
３・・・切欠き窓、４（４ａ，４ｂ）・・・永久磁石、
５（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）・・・ヨーク、６・・・
コイル、７・・・磁性体リング、８・・・回転円筒、９
・・・鋼球。
は本発明分割露光用回転シャッタにおける構成説明図、
第３図は第２図を動作させるための磁極制御説明図、第
４図は本発明分割露光用回転シャッタの一実施例を示す
一部切欠斜視図である。 １・・・シャッタ板、２・・・気密容器（真空容器）、
３・・・切欠き窓、４（４ａ，４ｂ）・・・永久磁石、
５（５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ）・・・ヨーク、６・・・
コイル、７・・・磁性体リング、８・・・回転円筒、９
・・・鋼球。
Claims (1)
- １ 軟Ｘ線を用い露光領域を複数に分割して部分的に順
次露光する分割露光方式において、一部軟Ｘ線が通過す
るように切欠窓を有するシャッタ板を一端面に設けた回
転円筒と、該回転円筒外周に設けた円周方向に磁極をも
つ永久磁石と、回転支持案内機構からなる回転シャッタ
をＸ線取出し用気密容器内に保持し、該気密容器外周に
は前記永久磁石と対向する位置の円周方向４個所に直交
して電磁石を設け、相対する２つの前記電磁石を１組と
し、１組は瞬時に極性を切替え、他の１組は前記極性切
替と同時に極性を一時的に遮断した後に前記１組の極性
とは逆の極性を与えることにより永久磁石と電磁石との
間に作用する電磁力によつて前記気密容器内の回転シャ
ッタを外部から間欠的に回転させ、切欠き窓部を順次回
転せしめることを特徴とする分割露光用回転シャッタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54092624A JPS6049890B2 (ja) | 1979-07-23 | 1979-07-23 | 分割露光用回転シャッタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54092624A JPS6049890B2 (ja) | 1979-07-23 | 1979-07-23 | 分割露光用回転シャッタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5617340A JPS5617340A (en) | 1981-02-19 |
| JPS6049890B2 true JPS6049890B2 (ja) | 1985-11-05 |
Family
ID=14059591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54092624A Expired JPS6049890B2 (ja) | 1979-07-23 | 1979-07-23 | 分割露光用回転シャッタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6049890B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63170293U (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-07 | ||
| JPH01150994U (ja) * | 1988-04-06 | 1989-10-18 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2543732Y2 (ja) * | 1990-12-14 | 1997-08-13 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線銃 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5025537Y2 (ja) * | 1972-04-12 | 1975-07-31 |
-
1979
- 1979-07-23 JP JP54092624A patent/JPS6049890B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63170293U (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-07 | ||
| JPH01150994U (ja) * | 1988-04-06 | 1989-10-18 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5617340A (en) | 1981-02-19 |
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