JPH0615365B2

JPH0615365B2 - 移送装置

Info

Publication number: JPH0615365B2
Application number: JP61070195A
Authority: JP
Inventors: 信行高橋
Original assignee: Anelva Corp
Current assignee: Canon Anelva Corp
Priority date: 1986-03-28
Filing date: 1986-03-28
Publication date: 1994-03-02
Anticipated expiration: 2009-03-02
Also published as: JPS62230513A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、薄膜形成やエッチング等を行なう真空処理
室内の移送装置に関する。

（従来の技術）ウエハーの表面に薄膜形成やエッチング等を行なう真空
処理装置１は、第５図に示すように、ロードロック室
２、バッファ室３、クリーニング室４および真空処理室
５を連続して設けるのが一般的である。

前記ロードロック室２２にはゲートバルブ７を設け、オ
ートローダ15からウエハーを搬入できるようにしてい
る。また上記の各室２〜５は、ゲートバルブ８〜10を介
して相互に連通するとともに、独立して排気が行なえる
ようにし、さらにロードロック室２およびバッファ室３
にはウエハーＡを載置するカセット11〜13を設けてい
る。

前記クリーニング室４には、ウエハーＡをスパッタクリ
ーニングするエッチングステージ４ａと、真空処理され
たウエハーＢを冷却する冷却ステージ４ｂとを設けてい
る。

前記真空処理室５には、水平に移送されてきたウエハー
を垂直状態にして回転移送する回転移送機５ａを設け、
さらに垂直状態に移送されるウエハーＡを加熱する加熱
器５ｂと、スパッタ原子を放出して加熱されたウエハー
Ａを膜付処理するマグネトロンカソード５ｃとを設けて
いる。

前記オートローダ15のカセット17からロードロック室２
→バッファ室３→クリーニング室４→真空処理室５ある
いは真空処理室５から上記と逆方向にウエハーＡを、順
次移送するために移送装置18,19を設けている。

上記移送装置19は、第６図に示すように、駆動シャフト
21および従動シャフト22の両端に、駆動プーリ23および
従動プーリ24を取付け、そのプーリ23,24に移送ベルト2
5を巻回し、この移送ベルト25の移動によってウエハー
Ａを移送している。

前記駆動シャフト21は、連結器31を介して回転導入機32
（第７図参照）の入力軸33に接続しているが、各室にお
ける当該回転導入機32の位置関係は、第５図に示すとお
りである。

また、各室における回転導入機32は、第７図に示すよう
に、入力軸33と一体回転している回転子34と、駆動回転
体35がシール部材36を介して磁気結合されており、駆動
回転体35が回転すると、磁気結合した回転子34が回転し
て入力軸33を回転させる。そして、前記駆動回転体35に
図示しないモータを接続している。

したがって、モータの駆動力が駆動回転体33および回転
子34を介して入力軸33に伝達し、駆動シャフト21を回転
させる。

（本発明が解決しようとする問題点）このようにした従来の移送装置は、プーリ23、24に巻回
した移送ベルト25を回転移動させてウエハーを移送して
いるので、移送ベルト25とプーリ23、24との摩擦によっ
て塵埃が発生し、真空処理に悪影響を及ぼすという問題
があった。

また、駆動シャフト21を円滑に駆動するには、この駆動
シャフト21と、回転導入機32の入力軸33とが同一軸線上
に軸合してあるのが望ましい。

しかし、各室２〜５に取付けた回転導入機32は、室の壁
に設けた孔41（第７図参照）に取付けるので、その取付
け位置は孔41の位置によって決定される。このため、回
転導入機32の取付け位置の自由度がなく、駆動シャフト
21と入力軸33とを軸合せするのが困難であった。しか
も、通常は各室２〜５に複数の回転導入機32を設けるの
で、各回転導入機ごとに、軸合せしなければならないと
いう問題があった。

この発明は、上記問題を解消した移送装置を提供するこ
とを目的とする。

（問題を解決するための手段）この発明は、上記の目的を達成するために、真空処理装
置内でウエハー等の平板状の目的物を移送する移送装置
において、固定子を気密に封止した永久磁石回転子電動
モータの回転軸にローラを設けてなる複数個の移送ユニ
ットを、移送方向に所定の間隔を保って設けたものであ
り、前記回転軸には該軸に沿って前記永久磁石回転子が
固定されており、前記固定子は前記回転軸を回転可能に
指示する中筒と電磁コイルとからなり、前記電磁コイル
にはパルス電圧を印加する端子を接続し、前記電動モー
タの電磁コイルと永久磁石回転子とで回転軸を回転させ
ることを特徴とする。

（本発明の作用）回転軸の軸に沿って設けられた永久磁石回転子と電磁コ
イルとにより回転軸が回転し、この回転軸の回転によ
り、ローラが回転し、平板上の目的物を移送する。

（本発明の効果）この発明の移送装置によれば、移送ベルトを使用してい
ないので、従来のように、移送ベルトとプーリとの摩擦
で塵埃が発生するということがない。また、回転軸を回
転させるのに回転導入機を使用していないから、従来の
ようにやっかいな軸合せを行なう必要がない。

また回転軸を電動モータで直接回転させるので、ギヤ等
の伝達機構を必要せず、それだけ回転軸の回転機構が簡
単になる。

固定子を密封したので、真空処理室における薄膜形成等
の際、この固定子から放出されるガスの影響をなくすこ
とができる。

さらに、回転軸に永久磁石回転子を設けて、その回転軸
を電磁コイルにより直接回転できるのでギヤ筒の伝達機
構を必要とせず、回転軸の回転機構が簡単にできる。

（本発明の実施例）第１図は移送装置60を示すもので、複数の移送ユニット
61で構成している。

この移送ユニット61は、基台83に設けた保持部材82にケ
ースＣを固定してい構成しているが、このケースＣは、
第２〜４図に示すように、上記保持部材82に固定した外
筒70と、この外筒70に内装した中筒62とからなる。

上記中筒62の両端には大径部62aを形成し、この大径部6
2aを外筒の内周に密着させ、これら中筒62には非磁性体
からなる回転軸63を、中筒62の軸線に沿って貫通させる
とともに、上記大径部62aに設けた軸受64で、この回転
軸63を支持している。

上記回転軸63には、断面扇状の一対の棒磁石65、66（第
３図参照）を、その軸に平行に、かつ軸に対して対称に
固定するとともに、この棒磁石65、66の磁極を図示のよ
うにし、前記棒磁石65、66の間には、非磁性体のスペー
サ67、68を固定している。上記棒磁石65、66は強い磁束
密度を得るためには希土類の磁石で構成するとよい。

上記空間部71には３つの電磁コイル73〜75を配設してい
るが、この電磁コイル73〜75は外筒70に設けたターミナ
ル端子77〜79に接続し、外部の電源に接続するようにし
ている。そしてこの電磁コイル73〜75がステータを構成
し、上記磁石65、66がロータを構成し、そのステータお
よびロータととで回転軸63を直接回転させる電動モータ
を構成している。

そして、上記中筒62と電磁コイル73〜75とによって、当
該電動モータの固定子を構成している。

なお、軸受64は中筒62の大径部62aの内周面に装着した
リティニングリング72によって固定されるとともに、こ
のリティニングリング72を取外すことによって、回転軸
63等をケースｃから取外すことができるようにしてい
る。

一方、前記回転軸63の両端に、回転軸63と一体回転する
ローラ80を取付け、さらにこのローラ80の外周にバイト
ンＯリング81を嵌着し、ウエハーＡ（第１図参照）との
摩擦を大きくさせて、ウエハーＡの直線的な移送を容易
にしている。

しかして、この移送装置を用いてウエハー等の平板状の
目的物Ａを移送するときは、移送ユニット61のローラ80
間に上記目的物Ａを乗せるとともに、電動モータを駆動
してローラ80を回転させる。ローラ80が回転すると、こ
のローラ80に乗せた上記目的物Ａが矢印90方向に移動
し、次に並ぶ移送ユニット61に順送りされつつ目的の箇
所まで移送される。

なお、上記ローラ80の直径を約30mmに設定し、ターミナ
ル端子77〜79に、５サイクル／秒程度のパルス電圧を印
加すると約300r.p.mの回転が得られ、上記目的物Ａの移
送速度を約150mm/sにすることができる。ただし、その
目的に応じて移送速度を調整してもよいことは当然であ
る。

また、目的物Ａを上記移送方向と逆方向に移送するとき
には、上記パルス電圧の向きを逆にすればよい。

このように移送ベルトを使用しないで、ウエハーを移送
することができるので、従来のように、移送ベルトとプ
ーリとの間の摩擦で塵埃が発生してしまうことがない。
また回転導入機を使用しないで、回転軸63を電動モータ
で直接回転させているので、従来のように軸合せを行な
う必要がない。

移送装置60を移送ユニット61で構成したので、回転軸63
の回転不良等の際、移送ユニット自体を交換すればよい
から、修理が簡単である。

また回転軸63に棒磁石65、66を設けて、その回転軸63を
電磁コイルで直接回転させるので、ギヤ等の伝達機構を
必要とせず、回転軸63の回転機構が簡単になる。

密封した空間部71に電磁コイル73〜75を設置したので、
真空処理室５における薄膜形成の際、電磁コイル73〜75
から放出されるガスの影響をなくすことができる。

なお、上記実施例の移送装置では、移送ユニット61の全
てに電動モータを備えているが、ウエハーの大きさや、
移送ユニットの配置によっては、例えば一つおきに電動
モータを備え、他はアイドラーにしてもよい。

またこの実施例では、スパッタ装置の移送装置について
説明しているが、これに限らずＣＶＤ装置やドライエッ
チング装置、あるいはオートローダ等に利用できること
は勿論である。

前記電動モータは２つの磁石と３つの電磁コイルで構成
しているが、これらの磁極数に限定されるものではな
い。さらに、ローターは電動モータの一側だけに複数個
設けるのでもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例の移送装置の斜視図、第２図は実施例の
移送ユニットの断面図、第３図は第２図のIII−III線に
沿った断面図、第４図は中筒に電磁コイルを装着した斜
視図、第５図は真空処理装置の概略説明図、第６図は従
来の移送装置の説明図、第７図は回転導入機の説明図で
ある。１……真空処理装置、２……ロードロック室、５……真
空処理室、60……移送装置、61……移送ユニット、63…
…回転軸、65、66……棒磁石、80……ローラ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空処理装置内でウエハー等の平板状の目
的物を移送する移送装置において、固定子を気密に封止
した永久磁石回転子電動モータの回転軸にローラを設け
てなる複数個の移送ユニットを、移送方向に所定の間隔
を保って設けたものであり、前記回転軸には該軸に沿っ
て前記永久磁石回転子が固定されており、前記固定子は
前記回転軸を回転可能に指示する中筒と電磁コイルとか
らなり、前記電磁コイルにはパルス電圧を印加する端子
を接続し、前記電動モータの電磁コイルと永久磁石回転
子とで回転軸を回転させることを特徴とする移送装置。