JPS6298546A

JPS6298546A - 真空装置の駆動力伝達方法及び装置

Info

Publication number: JPS6298546A
Application number: JP60238409A
Authority: JP
Inventors: Shozo Ino; 井野　正三
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1985-10-24
Filing date: 1985-10-24
Publication date: 1987-05-08

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、真空蒸着装置、電子顕微鏡、Ｘ線分析装置、
各種の電子分光装置、イオンビーム装置、加速器等の超
高真空を必要とする真空装置において、超高真空中に存
在する物体に真空装置の外側より、該物体の移動、回転
、傾斜等の運動を行わせるための駆動力を伝達する超高
真空装置の駆動力伝達方法及び装置に関する。

〔従来の技術〕

超高真空中に存在する物体に真空装置の外側より、真空
を破らずに該物体の移りＪ、回転、傾斜等を行わせる方
法として、真空装置の外側及び内側に磁石を置き、これ
ら磁石の磁力を利用して物体の移動、回転、傾斜等の運
動を行わせる磁気結合型回転４人器や、真空装置にベロ
ーズを介して駆動手段を取りつけへローズの自由度を利
用して物体移動、回転、傾斜等の運動を行わせるベロー
ズ結合型回転導入器等がある。

Ｌ　マ　１−７Ｓ　　　μ量コ５１Ｌ立小士・シｈ？十
　　２為デ飴　ノ、一つ出回転導入器で移動、回転、傾
斜等の運動の内一つの運動を行うだけで、真空装置内に
置かれた試料を動かす場合のように、いくつかの独立の
運動（移動、回転、傾斜等の運動）を同時に与えようと
するには、いくつかの回転導入器や直線導入器を組み合
わせて用いることになる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、例えばハキュームジュネレータ社製の二軸型試
料ボルダ−では、第一のへローズで回転を行い、これと
は別の第二のへローズの伸縮により回転軸に平行な直線
運動をもたせる方法であり、バンミュアーインスツルメ
ント社製のものは、太さの異なる３本のパイプを互いに
同心になるように配置し、傘歯車を介してこれらパイプ
と直角の方向に配設した回転導入器により、３つの独立
した運動を行わせる方法（例えば日本物理学会誌Ｖｏ１
．イ０ｌｈ８１９８５年８月５日発行　Ａ−１４〜１５
参照）である。第３図は傘歯車を介して回転導入器によ
り直角の方向に配設した駆動軸を操作する従来の機構の
例を示す図である。この例から明らかなように各駆動軸
７．８のそれぞれ先端に傘歯車機構２１．２２を取り付
け、各駆動軸７．８に直交するように駆動部２３．２４
を配設するため、円筒状筐体６の径が大きくなると共に
、駆動部２３．２４の円筒状筺体６からの出っ張りも大
きくなる。そのため、構造的に大きくなり、さらには機
構が複雑となる。従って、小型化が困難で、製作コスト
も高くなると共に、取り扱いや操作も面倒な構造となっ
ていた。

本発明は、上記の問題点を解決するものであって、機構
が簡単で小型化でき、しかも取り扱いや操作も簡単な超
高真空装置の駆動力伝達方法及び装置を提供することを
目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

そのために本発明の超高真空装置の駆動力伝達方法は、
超高真空を必要とする真空装置の内部に相互に独立して
回転可能な複数の駆動軸を同軸上に配設すると共に、径
の小さい順から該駆動軸の先端を露出せしめて磁石を固
定し、真空装置の外部から磁力を利用してそれぞれの駆
動軸を回転させることにより、超高真空中に存在する物
体に駆りＪ力を伝達させることを特徴とするものであり
、また、本発明の超高真空装置の駆動力伝達装置は、超
高真空を必要とする真空装置の内部に同軸上に配設され
相互に独立して回転可能な複数の駆動軸と、該７１　Ｂ
の駆動軸の先端にそれぞれ取付けられろ複数の磁石と、
該複数の磁石に対向して超高真空装置の外部に回転自在
に配設される複数の磁石と１〕）ら構成されることを特
徴とするものである。

１１′ｌ用〕本発明の超高真空装置の駈動力伝達方／去及び装置では
、超高真空を必要とする真空装置の内部に同軸−Ｆに（
０互に独立して回転可能な複数の駆動軸を配設し、超高
真空装置の外部から磁力を利用して前記複数の駆動軸を
回転させるので、無接触で結合でき、小型の強力磁石を
利用することにより、而４１うな構造によりコンパクト
に駆動力が伝達できる。

（実施例〕第１図及び第２図は本発明に係る超高真空装置の駆動力
伝達方法及び装置の実施例を説明するだめの装置の要部
断面図である。図中、１は超高真空装置、２はフランジ
、３は筒体、４は回転導入器、５はフランジ、６は円筒
状筐体、７は第１駆動軸、８は第２駆動軸、９．１０．
１４、は内部磁石、１１．１２．１５は外部磁石、１３
は第３駆動軸を示す。

７ｇ１図は同軸上に２つの回転導入器を配設した実施例
を示すもので、超高真空装置１は、外壁の一部にフラン
ジ２を有する筒体３を有しており、一方、回転導入器４
は、−酩１にフランジ５を備えるを底の円筒状筺体６と
、該円筒状筐体６内に嵌合され、超高真空装置Ｉ内の試
料ホルダー（図示−ピず）を馬区動させる第１の駆りＪ
輔７と第２の駆動４１Ｊ＋　８とを有している。これら
駆動軸７．８は径の異なる同心円筒状のパイプからなり
、第１の駆動軸７と第２の駆動Φｄ＋　８の回転導入器
４側の端部には、それぞれ内部磁石９．１０を取付け、
第１の駆動軸７．８が相互に独立して回転可能になるよ
うに構成すると共に、内部磁石９．１０を隣接した位置
に配置されるように構成している。また、円筒状筐体６
の外周面には、第１の駆動軸７と第２の駆動軸８に取付
けられた内部磁石９．１０に対向して、それぞれ外部磁
石１１．１２が回転自在に装着されている。そして、超
高真空装置１のフランジ２と回転導入器４のフランジ５
とが密着結合され、超高真空が保持されるものである。

上述のような構成において、超高真空装置１の内部が超
高真空に排気されている状態で外部磁石１１を回転させ
ると、これに対向している内部磁石９が回転し、第１の
駆動軸７が回転する。同様にして外部磁石１２を回転さ
せると、これに対向している内部磁石１０が回転し、第
２の駆動軸８が回転する。従って、外部磁石１１．１２
を回転させることにより、第１の駆動軸７と第２の駆動
軸８とを独立して回転させることができ、第１の駆動軸
７と第２の駆動軸８の先端に歯車やランクビニオンを介
在させることにより、２つの独立した運動を超高真空装
置ｌ内の例えば試料ホルダーに伝達させることができる
。

第２図は同心円筒状に３つの回転導入器を配設した実施
例を示すもので、第１駆動軸７の内側に更に第３駆動軸
１３を貫通させ、第１図と同様に内部磁石及び外部磁石
１４．１５をそれぞれ第３駆動軸１３及び円筒状筺体６
に対向して配設したものである。この場合には３つの独
立した運動（移動、回転、傾斜等の運動）を超高真空中
に存在する物体に伝達することができる。

なお、本発明は上記各実施例に限定されるものではなく
、駆動軸と磁石の対の数を必要なだけ増加させることも
可能である。

〔発明の効果〕

本発明の超高真空中に存在する物体に駆動力を伝達する
方法及びその装置では、駆動軸が同心円筒状の複数のパ
イプからなる一軸形であり、機構が簡単であるため、小
型化が容易であり製作コストが安く、また、操作性の向
上を図ることができる。更に、磁石の対の数を増加させ
ることにより、必要な数の多重回転が可能となり、超高
真空中Ｇこ存在する物体に精緻な運動を伝達させること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明に係る超高真空装置の駆動力
伝達方法及び装置の実施例を説明するための装置の要部
断面図、第３図は傘歯車を介して回転導入器により直角
の方向に配設した駆動軸を操作する従来の機構の例を示
す図である。１・・・超高真空装置、２・・・フランジ、３・・・筒
体、４・・・回転導入器、５・・・フランジ、６・・・
円筒状筐体、７・・・第１駆動軸、８・・・第２駆動軸
、９．１０．１４・・・内部磁石、１１．１２．１５・
・・外部磁石、１３・・・第３駆動軸。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）超高真空を必要とする真空装置の内部に相互に独
立して回転可能な複数の駆動軸を同軸上に配設すると共
に、径の小さい順から該駆動軸の先端を露出せしめて磁
石を固定し、真空装置の外部から磁力を利用してそれぞ
れの駆動軸を回転させることにより、超高真空中に存在
する物体に駆動力を伝達させることを特徴とする超高真
空装置の駆動力伝達方法。
（２）超高真空を必要とする真空装置の内部に同軸上に
配設され相互に独立して回転可能な複数の駆動軸と、該
複数の駆動軸の先端にそれぞれ取付けられる複数の磁石
と、該複数の磁石に対向して超高真空装置の外部に回転
自在に配設される複数の磁石とから構成されることを特
徴とする超高真空装置の駆動力伝達装置。