JPS6050901A - 感湿素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は湿度の変化を電気抵抗の変化として検出するこ
とにより湿度を測定するのに有用な感湿素子に関する。

さらに詳しくは、本発明は湿度の変化に呼応して電気抵
抗が迅速に変化する応答性に優れ、且つ湿度の変化に追
随して電気抵抗が実用的な適正範囲内で指数函数的に変
化し、例えば、相対湿度が約８０〜約３０チ程度の範囲
での変化に対して電気抵抗が約１０４〜１０’Ω程度の
適正なオーダーで直線的に変化し、しかも、安価で製造
が容易な高性能の酸化鉄をペースとする感湿素子及びそ
の製造方法に関する。

感湿素子の一例として塩化リチウム水溶液を多孔質アル
ミナ、樹脂発泡体等の多孔質マトリックスに含浸させた
ものが知られている〔例えば、高橋清著「センサ技術入
門」工業調査会、初版１−３２〜１３４頁（昭和５３年
）参照〕が、これらの電解質を利用した感湿素子は温度
に弱く、例えば３５℃以上の温度で６ケ月間放置すると
特性が大きく変化して使用不可能となり、また、高湿度
条件下では潮解により電解質が流亡する等の欠点がある
。

一方、金属酸化物を利用した感湿素子としては、例えば
、（１）強銹電体ＬｉＡ”ｂＯ３結晶を利用したもの（
特開昭５５−２２１２２号公報）、（２）ニオブ酸リチ
ウム又はタンタル酸リチウムの粉末をガラス粉末との混
合物を焼結したもの（特開昭５７−８０７０３号公報）
、（３１１Ｊチウムを含む金属酸化物系成分粉末、例え
ばＬｉＮｂ０．などと、ガラス粉末及びＦｅ２Ｏ，、Ｃ
ｒ２Ｏ３、Ｇａ、０３などの３価の金属酸化物の粉末と
を含む組成物を焼結したもの（特開昭５７−２０７３０
１号公報、％開昭５７−２１０６０４号公報）　、（４
）Ｆｅ２０．及びＬｉＮｂ０゜などの金属酸化物の磁器
に抵抗発熱体を付けた感湿抵抗素子（特開昭５６−２３
７０２号公報）、（５）１価の金属とモリブデンを含む
感湿抵抗体（特開昭５１−９６０９３号公報）、（６）
鉄、カリウム及び６価の金属を含む感湿抵抗体（特開昭
５２−４９４９７号公報）、（７）　Ｎ　ｂ２０．１．
　Ｍ　ｏ　Ｏ３及びＢａＣ０゜を含む感湿抵抗体（特開
昭５２−１５３１９５号公報）、（８）　Ｃｒ２０３、
ＴｉＯ２及びＭＱＯなどの金属酸化物の磁器よりなる感
湿抵抗体素子、等多数のものが知られているが、これら
従来提案されている金属酸化物型の感湿素子は、物理的
、化学的、熱的に安定であるが、一般に、固有抵抗が高
いため吸脱湿現象による電気抵抗変化があっても高精度
でそれを検出することが困難である等の欠点がある。

そこで、本発明者らはかかる欠点のない感湿素子につい
て鋭意研究を行なった結果、鉄、ニオブ、リチウム及び
モリブデン等を金属成分として含有する金属酸化物を特
定の条件下で焼結させて再現性よく製造される焼結体が
、湿度の変イヒに対する電気抵抗の応答性に優れ、しか
も、湿度の変イしに追随して電気抵抗が実用的な適正範
囲で直線的に変化し、従って、湿度を高感度で検出しつ
る感湿素子を提供しうることケ見い出し本発明を完成す
るに至った。

しかして、本発明によれば、（ａ）鉄、（ｂ）１ノチウ
ム、（Ｃ）ニオブ、及ヒ（カモリブデン、イツ）　ｌ）
ラム、・々ナノラム及びジルコニウムからＪｔ　Ｉｔ−
［ｉする少なくとも１種の金属を必須の金属成多上とし
て含有する金属酸化物の焼結体よりなることを特徴とす
る感湿素子が提供される。

本発明による上記焼結体は、酸イヒ鉄Ｖ東、酸イヒ１７
ばレ チウム、酸化ニオブ源並ひにモ１ノン゛テン、イノトリ
ウム、バナジウム及びジルコニウムから選ばれる金属の
酸化物源からそれ自体既知の方法で焼成することによっ
て製造することができる。

酸化鉄源としては、例えばＰ’　ｅ　ＯｌＦ　Ｃ２０３
、Ｆｅ、Ｏ，の他、酸素含有ガス雰囲気下に焼成して酸
化鉄に変わりうる鉄含有化合物、例えばＦ、、、ｇ　（
Ｃｏ、）　。

（Ｎｏ２＞、ＦｅＣｌ２、ＦｅＣ１，、ＦｔｒＢｒ２、
Ｆｇ（Ｎｏ、）、、Ｆ　ｅ　（ＮＯ，）３、Ｆｅ　（０
１１）２、Ｆｅ（αＨ）８、ＦｅＣ０，、Ｆ　ｅ　（Ｃ
，、／１５）２、Ｆ　ｅＳなどが挙げられ、これらはそ
れぞれ単独で使用することができ、或いは２種もしくは
それ以上併用してもよい。

酸化リチウム源としては、例えば、ＬｉＯ２の他、酸素
含有ガス雰囲気下に焼成して酸化リチウムに変りうるリ
チウム化合物、例えばＬｉ、Ｃｏ、、Ｌ　ｉ　０１１、
ＬｉＥＣ０，、ＬｉＣ１，ＬｉＣｌＯ３、ＬｉＢｒ。

Ｌｉｌ、ＬｉＦ、Ｌｉ２５ｏ、　、Ｌｉ１ｌＳＯ，、Ｌ
ｉＮＯ３、ＬｉＮＥ、、ＬｉＢＩＪ４、Ｌｉ２Ｓ、　Ｌ
、ｉＢ、　Ｌｉ５ＮＸＬｉ、　Ｃ，、Ｃ２０４Ｌｉ。

カとが包含され、これらはそれぞれ単独で使用すること
ができ、或いは２棟もしくはそれ以上混合して用いても
よい。

また、酸化ニオブ源としては、例えば、Ｎｂｏ、ＮｂＯ
２、Ｎｂ２Ｏ５の他、酸素含有ガス雰囲気下に焼成して
酸化ニオブに変りうるニオブ含有化合物、例えばＮｂ（
ＯＥ）、、ＮｂＢｒ、、ＮｂＦ、、ＮｂＢＸＮｂＣ。

ＮｂＮなどが挙げられ、これらはそれぞれ単独で使用す
ることができ、或いは２ｆ１もしくはそれ以上併用して
もよい。

さらに、酸化ニオブと酸化リチウムの共通の供給源とし
て、例えばＬｉＮｂＯ３、Ｌ　ｉ２Ｎ　ｂ２．０７．、
ＬｉＮｂ、０８、Ｌｉ５ＮｂＯ４等を使用することもで
きる。

第４の金属成分としてのモリブデン、イツトリウム、バ
ナジウム及びツルコニウムから選ばれ□る金属の酸化物
の供給源としては次のものを挙げることができる。

まず、酸化モリブデン源としては、例えば、Ｊ／（１０
ＸＭｏｂ３、及び酸素含有ガス雰囲気下に焼成して酸化
モリブデンに変りつるモリブデン含有化合物、例えば、
Ｍ、ｏＣｌ、、ＭｏＣ１４、ＭｏＣ１，、ＡｌｏＣｌ、
Ｏ，、ＭｏＣ１，０、ＭｏＣ１４０ＸＭＭｏＣ１４０Ｘ
、ＭｏＢｒ２、ＭｏＢｒ、、ＭｏＢｒ、、ＭｏＳなどが
挙げられる。

酸化イツトリウム源としては、例えば、”２０３及び酸
素含有ガス雰囲気下に焼成して酸化イツトリウムに変り
うるイツトリウム含有化合物、例えば、Ｙ２（ＣＯ３）
ｓ　％　Ｙ　（０’ｌ　）ｓ、ＹＣｌ、　、ＹＢｒ３、
）′ム、ＹＦｓＸＹ２（ＳＯ２）８、ＹＣｎＯｓ＞ｓ、
（Ｃ２（）４）　ｓ　１’２　・９１１２Ｑ　ｊｌ、、
ｌ　カ挙げられる。

まだ、酸化バナソウム源としては、例えば、ＶＯ。

Ｖ２Ｏ５，ＶＯ２、Ｖ２Ｏ，及び酸素含有ガス葵囲気下
に焼成して酸化バナジウムに変りうるバナジウム含有化
合物、例えば、ＶＣＩ、０１ＶＣＩ２、ＶＣｌ３、ＶＣ
ｌ　４　、　ＶＯＣｌ　２　、　ＶＦ、ＯＳ　ＶＨｒ３
　、　Ｖ　（ＣＪ）、）２　、ＶＳ、　Ｖｔ５ｓ　、Ｖ
ｔ５ｓ　ｆｚ　ト−１ｔ＃；けラレル。

さらに、酸化ジルコニウム源としては例えば、ＺｒＯ２
及び酸素含有ガス雰囲気下に焼成して酸化ジルコニウム
に変りうるジルコニウム含有化合物、例えばＺｒＣｌ４
、ＺｒＣ１２０・８１／２０．　Ｚｒ　（Ｎ（Ｊ、）、
（Ｊ、Ｚｒ（ＮＯ８）４、Ｚｒ（ＯＨ）６、Ｚ　ｒ　ｊ
／２などが挙げられる。

上記の金属酸化物源（原料）からの焼結体の製造は種々
の方法によって行なうことができる。しかして、１つの
方法によれば、（ａ）鉄、（ｂ）リチウム、（Ｃ）ニオ
ブ、及び（ｄモリブデン、イツトリウム、バナジウム及
びジルコニウムから選ばれる金属の４種の金属の酸化物
源を粉末状又は粒状で同時に混合し、必要に応じて充分
粉砕することにより、所定の粒径の原料粉末混合物を調
製した後、該粉末混合物を成形し、焼成することができ
る。また、もう１つの方法によれば、（ａ）鉄、（ｂ）
リチウム、（Ｃ）ニオブ、及び（ｄ）モリブデン、イツ
トリウム、バナジウム及びジルコニウムから選ばれる金
属の４種の金属の酸化物源のうちのいずれか２種又は３
種の金属の酸化物源、例えば酸化ニオブ源と酸化リチウ
ム源、酸化鉄源と酸化ニオブ源、酸化リチウム源と酸化
ニオブ源とモリブデン、イツトリウム、バナジウム及び
ジルコニウムから選ばれる金属の酸化物源とを混合し、
必要により充分に粉砕し７た後成形し、約６００〜約１
５００℃、好ましくは約６００〜約１２００℃の温度で
一旦焼成し、得られる焼結体を粉砕し、これらを複合金
属酸化物源とし、次いで複合金属酸化物源と残りの金属
酸化物源と混合し、さらに必要に応じて粉砕した後、得
られる粉末混合物を再度成形し焼成するようにしてもよ
い。

しかして、好適な一態様によれば、本発明の感湿素子は
、酸化鉄を、リチウム、ニオブ、及びモリブデン、イツ
トリウム、バナジウム及びジルコニウムから選ばれる少
なくとも１イ重を金属成分として含有する複合金属酸化
物と混合シフ、適宜粉砕した後、成形し焼成することに
よって製造することができる。

また、好適な他の一態様によれば、本発明の感湿素子は
、酸化鉄を、リチウム及びニオブを金属成分として含有
する複合金属酸化物例えは、ニオブ酸リチウム、及びモ
リブデン、イツトリウム、バナジウム及びジルコニウム
から選ばられる少なくとも１種の金属の酸化物例えば、
酸化モリブデン、酸化イツトリウム、酸化バナジウム、
酸化ジルコニウムと混合し、適宜粉砕した後、成形し７
焼成することによって製造することができる。

これらの方法において、原料混合物の粉砕は、例えばボ
ールミル、バイブレーションミル等の粉砕混合手段を用
いて行なうことができ、その際の粉砕の程度は成形時の
粉末混合物が一般に約００５〜約２００ミクロン、好ま
しくは約０．１〜約６０ミクロンの平均粒径をもつ壕で
とすることができる。

各金属酸化物源の混合割合は、最終製品に要求される特
性により異なるが、一般に、各金属の原子比に換算して （ａ）鉄　４０〜９９．７９原子チ （ｂ）リチウム　０１〜２４原子襲 （Ｃ）ニオブ　０．１〜３０原子チ （ｄ）モリブデン、イツトリウム、パナ、ジウム及びジ
ルコニウムから選ばれる少なくとも１種の金属　０．０
１〜６原子チ ただし、（α）　＋（ｂ）　−１−（Ｃ）　＋　（ψの
合計は１００原子チとする（以下同様）、 となる割合で混合するのが適当であり、好適には（（Ｚ
）鉄　６０〜９７．９９原子係 （ｂ）リチウム　１−１６原子チ （Ｃ）ニオブ　１〜２０原子チ （ｄ）モリブデン、イツトリウム、バナジウム及びジル
コニウムから選ばれる少なくとも１種の金属　００１〜
４原子係 さらに好適には、 （ａ）鉄　７０〜９７９９原子チ （ｂ）リチウム　ｌ〜１２原子多 （Ｃ）ニオブ　１−１５原子外 （ｄ）モリブデン、イツトリウム、バナジウム及びジル
コニウムから選ばれる少なくとも１種の金属　０．０１
〜３原子襲 の範囲とすることができる。

このようにして調製される粉末混合物はプレス成形機を
用いて加圧成形してもよく、或いｔｉ場甘により無加圧
成形することもできる。加圧成形する場合の加圧条件と
しては一般に５０〜２０００Ｋｇ／ｃｒｌ、好１しくは
５００〜１５００Ｋｇ／ｃＭの範囲が適当である。

また、成形に際しては必要により粉末混合物に粘結剤を
配合することができる。使用しうる粘結剤としては、後
述する焼成条件下で燃焼して残渣を実質的に残さない有
機物が適しており、例えば、ポリビニルブチラール、ポ
リメチルメタクリレート、メチルメタアクリレート系共
重合体、ポリエチルアクリレート、エチルアクリレート
系共重合体、ぼり塩化ビニル、ポリ酢酸ビニル、ポリビ
ニルアルコール、ポリアクリルアミド、酢酸セルローズ
、ゼラチン、メチルセルローズ、メチルエチルセルロー
ズ、ノぐラフイン、ワセリンなどが添げられる。

これらの粘結剤の配合量は厳密に制限されるものではな
く、粘結剤の種類等に応じて広範に変えうるが、一般に
は、粉末混合物１００重量部当り０．５〜４０重量部、
好ましくは０．５〜２０重量部の割合で使用することが
できる。

また、上記粉末混合物には、場合により、他の金属酸化
物を担体ないし希釈剤として配合してもよい。そのよう
な金属酸化物としてアルミナ粉末の如き、安定で融点の
高い金属酸化物を例示することができ、その配合量は上
記原料粉末混合物の重量を基準にして、一般には９９重
量係以下、好ましくは１０〜９５０〜９５重量部するこ
とができる。

成形された混合物は次いでｊ、ｉＪ、Ｔｈ結する。焼結
に際しては焼結体の均質性を高めるため、場合により、
約６００〜約１５００°Ｃの温度で成る時間例えば５分
〜５時間予備焼成し、得られる予備焼成体を粉砕し、再
び成形し、最終的に焼結するようにすることができる。

この予備焼成→粉砕→成形工程は所望により２回以上繰
返して行なってもよく、それにより焼結体の均質性をさ
らに高めることができる。

最終の焼結体を得るための焼結温度としては、一般に約
１０００〜約１５００°Ｃ１好ましくは約１０５０〜約
１２５０℃の範囲の温度が使用される。また、その際の
時間は温度に依存し、例えば１２００℃の温度ではｆ１
１０分〜約２時間、１１００℃の温度では約６００〜約
５時間が適当である。焼成は一般に空気中で行なうこと
ができるが、必要により、酸素が富化された酸素含有ガ
ス雰凹気中で行なってもよい。

さらに別の方法によれば、前述の如くして調製される原
料粉末混合物に、前述の粘結剤及び必要により適当な溶
剤を加えて、塗布に適した粘度のスラリー又はペースト
を調製し、これを例えばアルミナ、ベリリア、シリカ、
フォルステライト、ステアタイト、ムライト、マグネシ
ア、ソルコニア、コージライト、望素ケイ素、窒化ホウ
素、などの如き所望の耐火性のある基板に塗布して、例
えば約０００１〜約１朋程度（乾燥状態）の被膜を形成
した後、これを前記に例示したような温度及び時間条件
下で焼成して該基板上に焼結体を生成せしめるようにし
てもよい。

また、得られる焼結体は必要に応じて水洗処理すること
ができ、或いは好ましくは蒸留水中で静かに煮沸処理す
ることもできる。この場合煮沸時間とＬ−ては約ｌＯ分
〜約１２０分間程度が適当である。さらに上記水洗処即
ｉｔ電極形成の１１１に行ってもよく後で行なってもよ
い。

以上述べた如くして製造される焼結体は実質的に鉄、リ
チウム、ニオブ、及びモリブデン、イツトリウム、バナ
ジウム及びジルコニウムから選ばれる金属を必須の金属
成分として含有する金属酸化物から構成され、金属酸化
物の組成は仕込原料に対応し、上記の各金属成分の金属
原子比に換算して次の比率となるニ 一般的範囲 （ａ）　鉄　４０〜９９．７９原子チ （ｂ）リチウム　０．１〜２４原子％ （Ｃ）ニオブ　０．１〜３０ｉ子％ 金属 ｏ、ｏｌ〜６原子％ 原子上、（ａ）＋（ｂ）＋（ｃ）＋（ｄ）の合計は１０
０原子チとする。

６０〜９７．９９原子％　７０〜９７．９９原子チ１〜
１６原子チ　ｌ〜１２原子係 １〜２０原子％　Ｉ〜１５原子ダ ０．０１〜４Ｍ子％　ｏｏｌ〜３原子％しかして、本発
明の方法によれば、上記組成の感湿素子を再現性よく製
造することができ、製品の歩止りを向上させることがで
き、また、焼結条件を厳密にコントロールしなくても性
能のよい製品を作ることができ、焼結条件の選択の幅が
広くガるという利点がある。

また、本発明により提供される感湿素子は、後記実施例
において実証されているように、湿度の変化に呼応して
電気抵抗が迅速に変化する応答性に優れており、特に中
、低湿度域における特性に優れておす、シかも、湿度の
変化に追随して電気抵抗が実用的な適正範囲で変化する
等の感湿素子としての種々の優れた特性を有しており、
例えば家庭用ルームクーラー、産業用空調器、自動車用
クーラー、乾燥器、加湿器等の用途に広範に使用される
。

本発明の感湿素子をこれらの用途に使用する場合、本発
明の感湿素子はそれ自体公知の手段によって電極を取り
つけて利用される。電極形成の手段としては、例えばス
クリーン印刷法、塗布法、ディップ法、蒸着法、ス・ぐ
ツタリングなどの手段を用いることができる。壕だ、電
極の形状は適宜に選択でき、たとえば櫛型電極、渦巻型
電極、−平行電極の形状に設けることができる。電極形
成材料としては、たとえばＡｕＳ　Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｇ。

Ａｇ−ＰｄＸ　ＣｕＸ　Ｎｉ等の金属、ＲｈＯ２、Ｌａ
Ｃｒ０．等の酸化物、該金属と該酸化物とガラス粉末及
び樹脂の混合物などを例示することができる。

以下、実施例により本発明を更に詳しく説明する。

参考例：　焼成原料粉末１〜４の製造 後掲第１表に示したＬ　ｉ、ＣＯ３、Ｎ　ｂ、０．及び
Ｍｏｂ、を表に示し九モル係の割合で秤取し、粉砕混合
した。この粉末混合物を約２ｏＯＫｖ／−の圧力で加圧
成形し、７００°Ｃ〜９００　℃の温度に設定された電
気炉で２〜４時間の熱処理、粉砕を２回繰り返し、最終
的に粉砕し、焼成原料粉末１〜４を製造した。

実施例１〜１２ 後掲第２表に示しだ焼成原料粉末１〜４、Ｆｅ、０．と
Ｍｏｂ、、Ｙ、Ｏ８、Ｖ２Ｏ，、とＺｒＯ２の１種及び
Ａｔ、Ｏ８を表に示した重量％（ｗｔ係）の割合で秤取
し、粉砕混合した。この粉末混合物に粘結剤として粉末
混合物１００重析部当す５ｍ−１１部のパラフィンを加
えて均一に混合し、約１トン／ｃｒＩの圧力で径２０ｒ
ｒｎｎ、厚さ約１　ｍｒａの円盤状に加圧成形した。得
られた円盤状試料４１ｔｏθ℃〜１２００℃に設定され
た温度で約１５分〜約５時間の熱処理をし、焼結体を得
た。該焼結体を蒸留水を用いて約１時間の煮沸処坤し、
乾燥の後、スクリーン印刷法で金ペーストを用いて櫛型
電極を印刷し、約８５０℃のピーク温度で焼成して１対
の櫛型金電極全形成し、電極付の感湿素子を得た。

実施例１３ 後掲第２表に示したＦｅ２Ｏ，、Ｌ　１２ＣＯ３、Ｎ　
ｂ、０゜とＭｏｂ３を表に示したｕｔ％の割合で秤取し
、粉砕混合した。焼成原料粉末１〜４の製造と同様に焼
成粉末を得た。該焼成粉末を前記実施例と同様にして、
円盤状試料を作成し１．１１５０℃に設定された温度で
約２時間の熱処理Ｌ７て焼結体を作成した。該焼結体を
前記実施例と同様に煮沸処理し櫛型金電極を形成し、電
極骨の感湿素子を得た。

比較例１〜４ 後掲第２表に示した重量饅で秤取し、粉砕混合した。実
施例１〜１２と同様にして電極伺の感湿素子を得た。

以上の実施例及び比較例で得た感湿素子に５き、＠型金
電極の形成後、９０ヂ相対湿度雰囲気に１５時間放置シ
フ、標準回路を用いて相対湿度対電気抵抗値の特性を測
定し、２５℃、３０％相対湿度における抵抗値（Ｒ８）
と２５℃、８０％相対湿度における抵抗値（Ｒ２）を組
成とともに第２表に示す。

なお、添伺第１図に、実施例３（曲線ｄ）、実施例７（
曲線Ｃ）、比較例３（曲＆！ｃＬ）及び比較例４（曲線
ｂ）で得られた感湿素子の相対湿度対抵抗値（対数）の
特性曲線を示す。

さらに、添付第２図に、実施例３で得られた感湿素子の
相対湿度対電気抵抗値（対数）の履歴特性曲線を示す。

【図面の簡単な説明】

第１図は、実施例３、実施例７、比較例３及び比較例４
で得られた感湿素子の相対湿度（％ＲＩｌ）対電気抵抗
値（対数、Ω）の特性曲線を示すグラフである。第２図
は、実施例３で得られた感湿素子の相対湿度対電気抵抗
値の履歴特性曲線を示す台春素子箋看℃↓鴫側逝Δｊ−
ツ（あｉ；卿対渫戻（％ＲＨ） 第２図 ２０　４０　６０　８０　１００ ネ目　対　＄／Ｘ　（’／、ＲＨ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（α）鉄、（ｂ）リチウム、（Ｃ）ニオブ、及び（
   ｄ）モリブデン、イツトリウム、バナジウム及びジルコ
   ニウムから選ばれる少なくとも１種の金属を必須の金属
   成分として含有する金属酸化物の焼結体よりなることを
   特徴とする感湿素子。 ２　該金属成分金各金属の原子比に換算して、＜ａ）鉄
   　４０〜９９．７９原子チ （ｂ）リチウム　０，１〜２４原子チ （Ｃ）ニオブ　０．１〜３０原子チ （ｄ′）モリブデン、イツトリウム、バナジウム及びジ
   ルコニウムから選ばれる少なくとも１種の金屑　０．Ｏ
   １〜６原子チ ただし、（ＣＬ）　＋　（ｂ）　＋　（Ｃ）　＋　（ｄ
   ）の合計はｌ、００原子チとする、 となる割合で含有する特許請求の範囲第１項記載の感湿
   素子。 ３、　酸化鉄を、リチウム、ニオブ、及びモリブデン、
   イツトリウム、バナジウム及びノルコニウムから選ばれ
   る少なくとも１種を金属成分として含有する複合金属酸
   化物と混合し、適宜粉砕した後、成形し焼成することを
   特徴とする感湿素子の製造方法。 ４、酸化鉄を、リチウム及びニオブを金属成分として含
   有する複合金属酸化物、及びモリブデン、イツトリウム
   、バナジウム及びノルコニウムから選ばれる少なくとも
   １種の金属の酸化物と混合し、適宜粉砕した後、成形し
   焼成することを特徴とする感湿素子の製造方法。