JPS6055065A - 帯電防止用透明塗料 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野： 本発明は帯電防１１：用塗＊；１．特に帯電防１に１個
能と透明性を有し、しかも侵れた硬度と強度を有する塗
膜を形成１一つる塗料に関する。

従来技術： 半導体ウェハー保存容器、ＶＶ子・市磯部材、半導体製
造工場の用材・壁材などｔｘｔ　、その用途によっては
、帯電防止効果を有することが必要である。

そのために、従来は、これら部材をカーボン粉末や金属
粉末入り塗料でコーティングしたり、あるいはカーボン
粉末、カーボン繊維、金＠繊維などを樹脂に練り込んで
成、形することが行なわれている。ｌ−かし、これらの
従来法では塗膜および成形品自体が着色しているため不
透明であり、内容物を透視することができない。したが
って、帯″ＥＭ　Ｂｈ止の必要な部盾を窓部にすること
ができない。

特開昭５７−８５８６６号公報には、透明でかつ帯゛市
防止機能を有する塗料が開示さね、ている。この塗料は
アンチモンを含む酸化錫を主１＋ｌｙ、分とする粒径０
．２μｍ以下の導電性微粉末を塗料バインダー中に含有
させてなる。この塗料は導゛１１ｊ性微粉末全高度に分
散させることが田帷であり、（θＪ脂部（（にコーティ
ングして祷られる塗１１ａは透明性ｊｊよび帯電１（Ｊ
Ｔ止機能を安定に発現させることが６ｉ１１ｉ　ｔ、い
。

発明の目的： 本発明の目的は、透明性と帯電防止作用に優れた塗料を
提供することにある。本発明の仙の目的は耐擦過傷性に
優れ、かつ長期間にわたって帯電防止効果および透明性
を保持する塗膜を形ｉｙ、　Ｌうる塗料を提供すること
にある。本発明のさらに仙の目的は、硬度および強度に
優れた塗１ｒ：ｆ全形成しつる塗料を提供することにあ
る。

発明の要旨： 本発明はメタクリル酸メチルモノマーに水酸基をもつ七
ツマ−を微量混入して得られる塗料バインダーが金属微
粉末の再凝集全効果的に防止し唸くべき分散能を発揮す
ること；しかも得らｉｌ、る塗膜が透明性・帯電防止機
能に著しく優れ、かつ硬度に富み耐擦過傷性を有すると
の本発明者のＸＪｉ　Ｌい知見にもとづいて完成、され
た。それゆえ１不発ＣＨｓＯ）ｍ−１１（ただしｌｔ、
は量１もしくけ−Ｃ１１，基ｉ　ｎ−１〜１０＋そして
ｍ−３〜９）で表わさせる準−ｍ体２〜２５モル係を含
む共重合体でなる塗料バインダーと；酸化錫を主成分と
しその粒径が０．２ｔｔｍ以下の導電性粉末とを含有ｌ
〜、該塗料バ・ｆンダー１００重用部に対し該導電性粉
末を７０〜３５０重ｔ１゛部の割合で含有してなり、そ
のことにより上記目的が達成される。

本発明の塗料により形成される塗膜が高い（ｉ’Ｊ４　
＋、＋：ｃを有１２．かつ優ｆ１．た酊Ｉ！％；１．％
傷性分発揮するたｙ）には。

塗料バインダー全構１況するメタクリル酸メチルモノマ
ーは塗料バインダー中に７０〜９８モル係Ｓ有されてい
ることが必要である。そして、上記塗Ｎりが透明性と帯
電、防１に機能に優れるためには、−ツモノマーハ塗料
バインター中に２〜２５モル係。

好ましくは３〜１５モル係の帥囲で含有さ力ていること
が必要である。この／に酸基をもつ七ツマ−の含有量が
２モル係を下まわると金属微粉末を充分に分散させるこ
とができず、それゆえ、得られる塗膜は透明性に劣る。

２５モル係を越えると。

得られる塗膜は耐水性に劣り長期間の使用に耐え得ない
。

上記水酸基をもつモノマーのうぢ一般式ＣＨ，−例エハ
、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートヒドロキシプ
ロピル（メタ）アクリレート、ヒドロキシブチル（メタ
）アクリレート、ヒドロキシオクチル（メタ）アクリレ
ート、ヒドロキシ２エチルヘキシル（メタ）アクリレー
トなどがある。

れるモノマーはポリエチレングリコールモノ（メタ）ア
クリレートであり、それには例えばトリエチレングリコ
ールモノＣメタ）アクリＩ／　−）　、テトラエチレン
グリコールモノＣメタ）アクリレート。

ペンタエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、
ヘキサエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、
ヘプタエチ１／ングリコールモ／（メタ）アクリレート
、オクタエチ１／ングリコール七ノ（メタ）アクリレー
トがある。

上記メタクリル酸メチルモノマーと上記水酸基をもつモ
ノマーとを含む塗料バインダー共重合体は９通常の重合
法１例えば、ＩＮ＃、喧合法、塊状小合法、乳化重合法
などにより調製されうる。塗膜の透明性を確保するうえ
で塗料バ・イングー１．０（Ｈａ量部に対し酸化錫を主
成分とする粒径（１，２ｌｉｍり下の導電性粉末が７０
〜３５０重輸°部、好ましくは１００〜３００重購部の
割合で含有される。微粉末が７０重量係を下まわるとそ
の分散度合いは充分であっても得られる塗膜が充分な導
電性を示さず、したがって本発明の目的のひとつである
帯電防止作用が発揮され得ない。３５０重景１を、１１
１えると過密状となるため微粉末の分散が悪くなり、そ
の結果。

得られる塗膜の透明性が１１ねれる。

本発明の塗料の調製は、−（−記塗料バイン々゛−を有
機溶剤に溶解させ１次いで、酸化錫を主ｔｉｌＵ分とす
る４電性微粉末ケ混合して行なわれる。微粉末を塗料中
に充分分散させるために塗料の分散や配合に通常用いら
れる機器１例えはサンドミル、ボールミル、高速［＋２
１転撹拌装置、三本ロールなどが使用され得る。この微
粉末の分散をより高めるためには、シランカップリング
斎トチタ不−トカツブリング剤、界面活性剤、オレイン
酸、レシチンなどの分散助剤も併用され得る。

このようにして調製された本発明の帯電防止用透明塗料
はスプレー法、バーコード法、ドクターブレード法、デ
ィッピング法などの一般的な塗布方法により塗布される
べき対象物に塗布される。

対象物へ塗布して得られる塗膜の透明性？より一層上げ
るためには、塗膜をパフ仕上げすることが推奨される。

暫璽！： 堤下に本発明を好適な実施例について説明する。

実施例１〜 （〜　バインダー樹脂の合成：冷却管、攪拌機およヒ滴
下ロウトを備えたセパラブルフラスコにトルエン２５０
ｇを仕込んだ。これを窒素ガス気流下でトルエンの沸点
１１０Ｃまで昇温さぜた。＝Ｉｌ＋］方、メタクリル酸
メチル１１２．５ｇ、β−ヒドロキシエチルメタクリレ
−１−１２，５ｇそ１．て重合開始剤アゾビスイソブチ
ロニトリル０．５ｇの混合液ｋｍ製し、これを滴下ロウ
トに仕込んでおいた。フラスコ内のトルエンの温度が１
１０℃になったら、これに滴下ロウトからモノマーと重
合開始剤との混合液全２時間かけて滴下し重合させた。

そして、フラスコ内温度を９０℃にした。次いで、アゾ
ビスイソブチロニトリル２ｇをトル、Ｌン２０ｇＫ溶解
１−７た液を滴下ロウトに仕込み、これｆｆ１−にＮ１
シフラスコ内へ２時間かけて滴下した。滴下完了後さら
に９０℃で２時間重合を継続した。得られた共重合体の
重合平均分子量ｆｄ　４５０００であった。重合率は９
９チであった。

に）塗料の調製：へ項で合成したバイングー溶液１００
ｇ、　トルエン１６０ｇお上び粒径（１，１／１ｍ　ｔ
７Ｊアンチモン含有酸化錫粉末６３．２ｇをボールミル
に住込んだ。これを４８時間分散させて目的の塗料をＶ
ＡＮした。

（ｑ　塗膜の作製および性能評価：透明塩化ビニルプレ
ート上に厚さ３μｍになるように上記塗料を塗布し、溶
剤を乾燥１−だ。得られた塗膜の表面を直径３０ｔＭの
ウール製パフを用い３ｏｏｒｐｍでパフ仕上げした。得
られた塗膜の表面固有抵抗、全光線透過率、曇価および
鉛筆硬度の測定結果を第１表に示す。表面固有抵抗はＡ
ＳＴＭ　Ｄ２５７．全光線透過率および曇価はＡＳＴＭ
　Ｔ）１００３．そして鉛筆硬度はＪＩＳＫ−５４００
にもとづく試験法により測定された。

比較例１ 実施例１におけるβ−ヒドロキシエチルメタクリレート
を用いなかったこと以・外は実施例１と同様の方法でポ
リメタクリル酸メチル単独市合体を合成した。得られた
樹脂の重量平均分子量は４７０００であり１重合液の樹
脂固形分濃度は３］、ｗｔ％であった。この樹脂溶液１
００ｇ　（固形分３１ｇ）、）ルエン１６０ｇおよび粒
径０．１μｍのアンチモン含有酸化錫粉末６２ｇをボー
ルミルに入れ、゛４８時間かけて均一に分散させた。こ
の塗料を透明塩化ビニルプレートに実施例１と同様の方
法で塗布し、得られた塗膜の表面をパフ仕上げして所定
の性能評価試験に供した。その結果を第１表に示す。

−害］ｌ饅」一 実施例１と同様のフラスコにトルエン２５１）ｇ’ｉ仕
込み、これｆ、１１０℃に竹温させた。使方メタクリル
酸メチル１０８．７ｇ、ヒドロキシプロビルメタク！Ｊ
　レ−）　１ａ３ｇｇよび重合開始剤ベンゾイルパーオ
キサイド０．６ｇの混合液ｔ７１１ｉＩ製し、これを滴
下ロートに仕込んだ。窒素ガス気治下にモノマーと重合
開始剤との混合液を２時間かけてフラスコ反応器に滴下
した。そしてこの反応器内の温１ｗを８５℃に下げた。

次いで、トルエン２０　ｇにベンゾイルパーオキサイド
０．４にを溶解させ゛た液を滴下ロートから上記反応器
に４時間かけて滴下した。滴下完了後さらに８５℃で６
時間反応を継続１２．共重合体のトルエン溶液ｆ：？４
ｉた。重合率は９９係であった。共重合体の重量平均分
子量は５８０００であった。次いで、ボールミル中に上
記バインダー溶液２（１０ｇ（固形分６３．２ｇ）、ト
ルエン３２０　ｇおよび粒径０．１μｒｎのアンチモン
含有酸化錫粉末１４０ｇを仕込み、４８時間混合し分散
させた。得られた塗料全透明アクリル板にｊすさ２μｍ
となるように塗装した。

溶剤Ｅ揮発させて得られた塗膜を実施例１と同・様に性
能試験に供した。その結果を第１表に示す。

比較例２ 実施例１の塗料調製において用いる酸化錫粉末の量を１
８ｇとしたこと以外は、実施例１と同様である。得られ
た塗膜の性能を第１表に示す。

比較例３ 実施例１の塗料調製Ｋｉ３いて用いる酸化錫粉末の量″
ｆ：１２４ｇと［またこと１９、外は、実施例１と同様
である。得られた塗膜の性能全第１表に示す。

実施例３および４ 四つロセバラプルフラスコ反応器に第２表に示す重合溶
媒としてのトルエン」；よびモノマーを仕込み、これを
９素気流下にて重合所定温度まで昇温させた。次に、重
合触媒としてのアゾビスインプチロニ）　ＩＪルのトル
エン溶液を２時間かけてこの反応器中へ滴下した。次い
で、これにさらに重合触媒アゾビスイソブチロニトリル
のトルエンｄ液を２時間かけて滴斗した。さらに８時間
＋ｌｉ合全継続し、共１）１合体のトルエン的液を？４
１だ。次ｆ。

ボールミル中に」二記バインダー沼ｌＩｋ、１自加俗媒
ｒ、；よび粒径（）、１μｍのアンチモン含有し゛化錫
を仕込み。

４８時間混合し分散させた。１↓１らｒまた塗料全透明
アクリル板にＩｆｆさ；３μｍ７１どなるように塗布し
た。溶剤を揮発させて？４ＩらＪまた塗ＩＪＡＮを１１
１・能試験に供ｌまた。

その結果を第１表に示す。

実施例５ 実施例１と同様なづ（仔・装置ｄにトルエン４８　（ｌ
　Ｉｌ　ｋ仕込み、を素ガス気治−）にて１１１１　℃
まで昇温さぜた。次に、メタクリル酸メチ１し４４　（
１ｇ　、ヒドロキシオクチルメタクリレート６０１：　
、ベンゾイルパーオキサイド２ｇの４１合液を）Ｉｔ’
１１−トＩＪ−トに仕込み。

２時間かけて反応器に滴下した。次に、Ｎ応器内の温度
を８５１〕に下げ、トルｒ【−７２０ｇに溶解したペン
ゾイルパーオキザイｌ−”Ｉｇ（５４時間かけて滴下し
た。滴下完了後さらに８５℃で６時間ｆゾ応を継続し、
固形分淵度５０係の共重合体トルエン溶液を得た。次に
、ボールミル中に上記トルエン溶液３００ｇ（固形分１
５０ｇ　）　、　トルエン２００ｇおよび粒径０，１μ
ｍのアンチモン含有酸１１′錫粉末２ｏｏｇを仕込み、
４８時間混合し分散させた。得られた塗料を透明アクリ
ル板に厚さ２μｍとなるよように塗装した。溶剤を揮発
させて？奢られた塗１（負ケ実施例１と同様に性能試験
に供１−だ。その結果を第１表に示す。

実施例６ 実施例１と同様な重合装置にメタクリル酸メチ示され、
ｎ−７〜９　Ｋ相当する化合物の混合物５ニッサンＰＥ
−ａｓｏ：日本油脂社製）７０ｇおよびトルエン５００
ｇを仕込み、９素気流下で８０℃まで昇温させた０次い
で、さらにこれに重合触媒としてベンゾイルパーオキサ
イド１ｇを添加し１重合を行なった。重合開始５時ｒ１
１後ｖｃ１ｆｄ加触媒としてベンゾイルパーオキサイド
２ｇを添加した。さらに・１０時間反応を縦続させ固形
分濃度５０係の共重合体トルエン溶液ｆ：？４（だ、、
次に、ボールミル中に前記トルエン溶液３００ｇ（固；
１φ分１５１１ｇ　）　＋トルエン２００　ｇおよと）
オ１７７子（］１μｍのアンチモン１ｊ有酸化錫粉末２
００ｇｅ仕込み４８時間渭ａ１７１分散させた。１１＋
られた塗料を透明アクリル機にＩＩさ２μｍとなるよう
に塗布１．た。溶剤を（１１！発、Ｓぜて得られた塗Ｉ
ｌ＃′を実施例１と同様に性１ｉ１’２試験に供［７た
。

その結果を第１表に示す。

第１表 第２表 発明の効果： 本発明の帯電１（ｆｆ　＋ヒ用透明塗料は、ｉｅ＋ｉ　
ｌｉｆ、　Ｋ透明性を有しかつ優れた帯ηイ防由効果全
発揮する塗膜を形成しつる。その塗膜ｅま、硬ｊ庄、・
重度お、［び面１４午傷性にＢいても著しく１擾れてい
る。また、撓曲にわたって帯電防１に効県および透明性
か惺トＴされるため、従来のイ１シ電Ｉ≦）Ｆ　ｌｉ　
ＩＩＩ浄料ＶＣＩｔべてその［６用パ霞囲は著しく広い
。

以上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、メタクリル酸メチルΦ都体７０〜９）３モルＲ，ハ
   ＨモしくはＣ１１ｓ基＋ｎ＝１〜１０；そしてｍ＝３〜
   ９）で表わさノする申一体２〜２５モル係を含む共重合
   体でなる塗料バイン々゛−と；酸化錫を主収分としその
   粒径が０，２μｍｊソ下の導電、性粉末とを含有し、該
   塗料バインダー１（）０重一部に対し該導電性粉末ｆ、
   ７０〜３５０市−１４゛部の割合で含有してなる帯＠防
   止用透明塗料。