JPS6059687B2 - 銀、パラジユウム系合金スパツタ接点 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は銀−パラジユウム（以下Ａｇ−Ｐｂと称する
）系合金スパッタ接点の構造に係るものであつて、その
目的はＡｇ−Ｐ（Ｉ系合金の接触抵抗値が高く、且つ不
安定であるため、この点を改良すべく接点構成とするこ
とを目的としている。

従来のＡｇ−Ｐｄ系合金のＡｇ４０％、Ｐｄ６０％の
もので、初期の接触抵抗値が５０ｍΩ以上になり、尚高
すぎる、Ａｇ７０％、Ｐｄ３０％のものは抵抗値が３ｍ
Ωなるが接点性能がよくないといつた欠点があつた。

本発明はかかる欠点に鑑みて為されたものであつて、
更に接触抵抗値が安定している接点を提供することを目
的としている。

本発明の構成は接点母材を高温にして低硬度のＡｇ−
Ｐｄ合金をコーティングし、次で低温にして高硬度のＡ
ｇ−Ｐｄ合金を更にコーティングする。

こうして高温スパッタリングによる下層部が厚さ４μで
ビツでビッカース硬度が１５０であり、低温スパッタリ
ングによる上層部が厚さ２μでビッカース硬度が２５０
であるＡｇ−Ｐｄ合金の接点構成として、Ａｇ−Ｐｄ合
金のうちＡｇの比率が７０％以上であるものを０．１〜
０．２の厚さに、上記の接点を製造後、連続工程にてス
パッタリングによりコーティ ングする。ここにおいて
スパッタリング条件は表面に薄くコーティングしたＡｇ
及びＡｇ６０％以上のＡｇ−Ｐｄ合金は、高温−低温ス
パッタリングを施した下部層の接点材料であるＰｄ４０
〜８０％の層と同系列の材料であつて、接点製造後の拡
散等による変化がなく、しかも連続工程で処理している
ので密着性は完全である。次に接触抵抗値の開閉回数に
よる変化は第１図に示す如くとなる。即ち開閉回数が少
ない初期（開閉回数０〜１万回）においては接点表面が
高硬度なため接触性が悪くなり、抵抗値が高いが、開閉
回数の増加と共に、接触性が良くなり抵抗値の増加もし
くは変動がおこる。このため寿命試験における初期の接
触抵抗値の安定性を計れば同時に接触信頼性を高めるこ
とになる。このため〜又はＡｇ−Ｐｄの表面層を消耗す
る開閉回数がちようど１万回に当る厚さ（Ｏ、１μ程度
）に薄付けしておけば初期の接触抵抗値が安定で、且つ
下部層接点材料の効果により耐消耗性の優れた接点構成
となる。ただし表面層が必要・以上に厚くなるとこの層
の特性が強く出て、溶着時の問題をおこすことになる。
次に接点性能について説明するとそのＩＮＡｇ４０％、
Ｐｄ６０％合金を４μコーティングし、その上に、Ａｇ
層を０．２μ連続工程にてコーティングした。尚今回は
接術抵抗・値を安定にするため、Ｃｒ層はつけず、スパ
ッタエッチングによる処理で下地との密着性を出した。
その■、そのＩと同様にしてＡ威０％、Ｐｄ８０％合
金を４μコーティングし、Ａｇ層を０．２μコーテイン
クした。

その■、そのＩと同様にしてＡｇ４Ｏ％、Ｐｄ６Ｏ％合
金を４μコーティングしＡｆ（７０％、Ｐｄ３Ｏ％合金
を０．２μコーティングした。その■、そのＩと同様に
してＡｇ２Ｏ％、Ｐｄ８Ｏ％合金を４μコーティングし
、Ａｇ７Ｏ％、Ｐｄ３Ｏ％合金を０．２ｐコーティング
した。以上の如くして得た接点を密着性、接触抵抗値、
電気寿命（２０Ｖ．１Ａ１２．８Ｈｚ１４Ω検出）接触
信頼性（１００ｒｎ■，１ｍＡ，１００Ｈｚ，１００Ω
検出）の試験を行つた。

結果を表１にまとめてみて第１図とした。以上、実施例
の結果かられかる様に開閉初期における接触抵抗値を低
く、かつ安定にすることが出来、接触信頼性も高くでき
た。

しかし表面層がＡｇの場合（実施例１，２）は寿命試験
において、やや性能が下がり（ただしこれはリレーの性
能を満足する）表面層がＡｇ７Ｏ％、Ｐｄ３Ｏ％で下層
部がＡｇ２Ｏ％Ｐｄ８Ｏ％（実施例４）は接触信頼性試
一験において性能が下がつた。（これはリレーの性能を
満足しない。）このため、現時点において実施例３のも
のが最も優秀であると言えるが、合金比率および接点層
の厚さを変化させてみると、更に優れたものができる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例てある接点の断面図を示してい
る。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 二重構造のスパッタ接点において、表面層を銀７０
   ％、パラジユウム３０％とし、下部層を銀４０％、パラ
   ジユウム６０％としたことを特徴とする銀、パラジユウ
   ム系合金スパッタ接点。