JPS606430Y2 - 帯状体の連続真空蒸着における巻取装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は帯状体たとえばフィルムを連続的に真空蒸着す
る装置において蒸着されたフィルムをロール状に巻き取
る巻取装置に関するものである。

この種のフィルム連続真空蒸着装置は、真空蒸着室内に
フィルムの連続送りと巻取機構を設け、フィルムを蒸着
位置に連続的に送って真空蒸着を行なうものである。

第１図はこの種の連続式真空蒸着装置の一例を示し、装
置本体１の内室は中央水平の区画壁２によって上方のフ
ィルム送り機構室Ｂと下方の蒸着室Ａとに区画されてい
る。

この上、下両室Ａ、 Ｂともに排気口ＩＦを介して真空
に排気され真空蒸着室を形成する。

３は中央に回転自在に設置された蒸着用ローラで、左方
上方より調節ローラ群 Ｍｌを介して案内されてくるフ
ィルム（帯状体）Ｆがローラ３の外周面にほぼ２７０°
程度巻回され、この巻回過程においてＡ室に露呈された
フィルムＦの面に後述の工程で蒸着が行なわれる。

フィルムＦは回転支軸４に支承されたロールＲ１から引
き出され、蒸着ローラ３へと連続的に送られて真空蒸着
が連続的に行なわれる。

蒸着されたフィルムＦ′は調節ローラ群Ｍ２を経て巻取
軸５に巻き取られる。

Ｒ２は巻取られたロールを示す。

このときフィルムＦの送りはあまり高速ではなく １０
ｍ／ｍｉｎから１００ｍ／而曙度で面る。

真空蒸着はＡ室の下方に設置された蒸発源すなわちボー
ト７からの蒸着用材料の蒸発により行なわれるが、図示
実施例は２個のボート７が対称的に設置されたダブルボ
ート方式である。

蒸着用材料たとえばアルミニウムは粒状ないしチップ状
で供給源部９からシュータ８を介して各ボート７に供給
され溶融蒸発され、蒸発された材料が蒸着ローラ３の外
周面に巻回されたフィルムＦの面（外周面側）に蒸着（
コーティング）される。

蒸着においてはボート７は１２００’Ｃ〜１４００℃に
加熱されて材料を蒸発させるので、室内は高温に加熱さ
れる。

この高温はフィルムＦには有害であり、したがって蒸着
ローラ３は通常冷却される。

この蒸着ローラ３の上方に位置された補助ローラ６もフ
ィルムＦ′の冷却を行なうのを一つの機能としている。

このような連続真空蒸着装置においては、蒸着されたフ
ィルムの巻取方法に充分な考慮が必要である。

すなわち、蒸着されたフィルムＦ′は巻取ロールＲ２に
順次巻き取られていくが、この巻取ロールＲ２へのフィ
ルムＦ′の案内を適正ならしめるためには案内ローラを
設けるのが普通である。

ところが、この案内ローラは巻取ロールＲ２の外周面に
転接されるのは好ましくない。

案内ローラが転接するとその接圧力がフィルムの蒸着面
に作用し蒸着面の仕上がりを悪くするからである。

本考案はこのような点にかんがみ、巻取案内ローラを常
時非接触としつつ巻取ロールの巻径の増大に応、じて巻
取ロール周面から退避させるようにしたものである。

以下率２・図にしたがって実施例を説明する。

第２図は第１図の装置の上方、の室Ｂ内のフィルムＦの
処理機構部分を拡大して示した図である。

Ｌｌ、Ｌ２はそれぞれ回転支軸４および巻取軸５に一体
的に取り付けられたリールで、フィルムＦの巻出し、巻
取ロールＲ１，Ｒ２の形成を案内する。

１４は巻出ロールＲ１に接圧された巻出案内ローラで、
支軸１０を中心に揺動自在な第ルバー１２の頂部に回転
自在に保持され、巻出ロールＲ１からのフィルムＦの巻
出しを案内する。

第２図においてはフィルムＦの巻出しがかなり進行し巻
出ロールＲ１が小径になっている状態が示されている。

第ルバー１２と支軸１０はキーに１により一体的に結合
されているが、さらにこの支軸１０にはキーに１により
小レバー２８が一体的に取り付けられている。

この小レバー２８の先端部には重錘２９が吊り下げられ
ていて、第ルバー１２を常に時計方向に付勢しておりし
たがって巻出案内ローラ１４は巻出ロールＲ１に圧接さ
れて転接される。

案内ローラ１４によって巻き出されたフィルムＦは支軸
１０に回転自在に保持されたローラ１６、テンション調
節用ローラ１７、調節用ローラ１Ｂ、１９．２０を経て
蒸着ローラ３へと送られる。

これら調節用ローラ１６〜２０の個数は図示例に限定さ
れるものではない。

蒸着されたフィルムＦ′は補助ローラ６を経て巻取軸５
に巻き取られ、巻取られたロールＲ２は巻出ロールＲ１
の減少に逆比例的に径が増大していく。

１５はこの巻き取りを案内する巻取案内ローラで、この
ローラ１５は支軸１１にキーに２によって一体的に取り
付けられこの支軸１１を中心に揺動可能な第２レバー１
３の頂部に回転自在に取り付けられており、巻取ロール
Ｒ２の外周面とは非接触で常に一定の間隔Ｔを隔てて対
置される。

第２レバー１３の中間位置にはローラ２４が回転自在に
支持されている。

巻取側にも巻出側と同様に調節用のローラ２１、テンシ
ョン調節用ローラ２２、さらに支軸１１に回転自在に取
り付けられたローラ２３が設置されており、蒸着された
フィルムＦ′は図示のように各ローラ２１〜２４を経て
案内ローラ１５に導びかれ、巻取ロールＲ２に巻取り案
内される。

両レバー１２．１３にはその下方側に突出片１２．１３
’が形成されており、さらにこれらの突出片にはそれぞ
れピン２５．２６が取り付けられている。

２７はピン２５，２６を介してそれぞれの突出片１２’
、１３’に連結された伝動杆で、第ルバー１２の揺動を
第２レバー１３に伝動する。

しかもレバー１３と伝動杆２７との連結は巻取案内ロー
ラ１５が巻取ロールＲ２に対して一定の間隔Ｔを有する
ようになされている。

レバー１２．１３はそれぞれ支軸から案内ローラまでの
距離と支軸からピンまでの距離が同一に設定されている
。

前述のように巻出案内ローラ１４は常に巻出ロールＲ１
に圧接されている。

したがって巻出側のフィルムＦが順次巻き出されて口−
ルＲ１の径が減少すると減少量にほぼ逆比例的に巻取ロ
ールＲ２の径は増大し、第ルバー１２の時計方向揺動が
第２レバー１３に時計方向の同一角度の揺動を与える。

したがって、巻取案内ローラ１５は巻取ロールＲ２との
間隔Ｔを常に維持し、非接触の状態でその径の増大に応
じてロールＲ２から退避することになる。

もつとも、巻出ロールＲ１と巻取ロールＲ２とはその径
の大きさにより径の増減量も異なるので第ルバー１２の
揺動に連動して第２レバー１３が揺動し案内ローラ１５
が巻取ロールＲ２から退避するとしてもその間隔Ｔには
若干の増減がある。

本考案の巻取装置はフィルム以外の帯状体を連続的に真
空蒸着する場合にも適用可能である。

真空蒸着装置の構造も図示実施例には限らない。

以上のように本考案によれば帯状体の連続真空蒸着にお
ける帯状体の巻き取りを簡単な構成で、効果的に行なう
ことができる。

特に巻取案内ローラは真空蒸着に影響の少ない簡単な機
械的構成により常に所要の間隔を有し非接触状態で巻取
ロールに対置するから蒸着面を損傷させることがなく品
質の良好な帯状体の連続真空蒸着を可能にする。

また本考案によれば、巻出ロールの巻径の減少を巻出ロ
ールに転接させた巻出案内ローラで直接検出し、レバー
と伝導杆との機械的連動機構によって巻取案内ローラを
巻取ロールから退避させるようにしたので、巻径の変化
を検出するための特別な検出機構およびレバーを駆動す
るための特別な駆動機構を必要とせず、構成が簡単とな
り動作も確実である。

【図面の簡単な説明】

第１図は連続真空蒸着装置の全体の構成を示す図、第２
図は本考案の一実施例を概略的に示す図である。 ３・・・・・・蒸着ローラ、４・・・・・・回転支軸、
５・・・・・・巻取軸、７・・・・・・ボート、１０，
１１・・・・・・支軸、１２．１３・・・・・・第１レ
バー、第２レバー、１４・・・・・・巻出案内ローラ、
１５・・・・・・巻取案内ローラ、１６．１８，１９，
２０，２１，２３，２４・・・・・田−ラ、１７，２２
・・・・・・テンション調節用ローラ、２５．２６・・
・・・ゼン、２７・・・・・・伝導杆、２８・・・・・
・小レバー、２９・・・・・・重錘、Ｒ１・・・・・・
巻出ロール、Ｒ２・・・・・・巻取ロール、Ｋｌ、に２
・・・・・・キー、Ｆ・・・・・・蒸着前のフィルム
Ｆ／・・・・・・蒸着後のフィルム。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 ロール状に巻かれた帯状体を巻き出して蒸着位置に送り
   、連続的に真空蒸着して別の巻取軸にロ二ル状に巻取る
   ようにした装置において、帯状体の巻出ロールに転接し
   帯状体の巻出しを案内する巻出案内ローラと、 この巻出案内ローラを常に巻出ロールに転換するように
   回転自在に保持する揺動可能な第ルバーと、 前記巻取軸とは別個に設けられ蒸着された帯状体の巻取
   りを案内する巻取案内ローラと、この巻出案内ローラを
   回転可能に、かつ帯状体の巻取ロールに対して所定の間
   隔を隔てて進退可能に保持する揺動可能な第２レバーと
   、 前記第ルバーの揺動を第２レバーに伝導して第２レバー
   を同一方向に同一角度揺動させる伝導杆とを備え、 巻出ロールの径の減少にしたがって巻取案内ローラを帯
   状体の巻取ロールに対して常に所定の間隔をおきつつ退
   避させるようにしたことを特徴とする帯状体の連続真空
   蒸着における巻取装置。