JPS6065933A - 防振装置 - Google Patents
防振装置Info
- Publication number
- JPS6065933A JPS6065933A JP17152383A JP17152383A JPS6065933A JP S6065933 A JPS6065933 A JP S6065933A JP 17152383 A JP17152383 A JP 17152383A JP 17152383 A JP17152383 A JP 17152383A JP S6065933 A JPS6065933 A JP S6065933A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail member
- movable body
- leaf spring
- sliding member
- rail
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/04—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means
- F16F15/06—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means with metal springs
- F16F15/073—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using elastic means with metal springs using only leaf springs
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はたとえばＸＹテーブルなどの可動体が移動時
に振動するのを防ぐための防振装置に関する。
に振動するのを防ぐための防振装置に関する。
たとえば半導体の製造工程に用いられる光露光装置は、
マスクの像をウエノ・に塗布したレジストに転写する際
、上記ウェハを可動体であるＸＹテーブルによってＸＹ
方向にステップ状に精密かつ高速度で移動させて生産性
の向上を計るようにしている。このようにＸＹテーブル
を移動させると、とのＸＹテーブルが送り方向に振動し
て精密な位置決めが行なえなくなるから、防振装置を用
いてＸＹテーブルが移動時に振動しないようにしている
。
マスクの像をウエノ・に塗布したレジストに転写する際
、上記ウェハを可動体であるＸＹテーブルによってＸＹ
方向にステップ状に精密かつ高速度で移動させて生産性
の向上を計るようにしている。このようにＸＹテーブル
を移動させると、とのＸＹテーブルが送り方向に振動し
て精密な位置決めが行なえなくなるから、防振装置を用
いてＸＹテーブルが移動時に振動しないようにしている
。
従来、上記防振装置としては以下述べる構造のものが用
いられていた。つまり、ＸＹテープ材とで圧接させる。
いられていた。つまり、ＸＹテープ材とで圧接させる。
これらローラと摺動部材とは、ＸＹテーブルを移動自在
に支持した支持体に取付けられている。したがって、Ｘ
Ｙテーブルが移動することによって発生する振動は、上
記レール部材を介してローラと摺動部材とにより規制さ
れるから、上記ＸＹテーブルが振動するのを防ぐことが
できる。
に支持した支持体に取付けられている。したがって、Ｘ
Ｙテーブルが移動することによって発生する振動は、上
記レール部材を介してローラと摺動部材とにより規制さ
れるから、上記ＸＹテーブルが振動するのを防ぐことが
できる。
しかしながら、このような構造の防振装置によると、レ
ール部材がＸＹテーブルの移動方向に沿って精密に平行
に設けられていないと、ＸＹテーブルの移動にともない
レール部材とローラとの接触圧力が変動する。そのため
、ＸＹテーブルの振動発生を確実に防止できなかったり
、駆動源に加わる負荷が一定しないから、ＸＹテーブル
の移動の直進性が得られなかったり、停止位置を精密に
制御できないという問題が生じる。
ール部材がＸＹテーブルの移動方向に沿って精密に平行
に設けられていないと、ＸＹテーブルの移動にともない
レール部材とローラとの接触圧力が変動する。そのため
、ＸＹテーブルの振動発生を確実に防止できなかったり
、駆動源に加わる負荷が一定しないから、ＸＹテーブル
の移動の直進性が得られなかったり、停止位置を精密に
制御できないという問題が生じる。
この発明は可動体の移動方向に対してレール部材が高精
度に平行に設けられていなくとも、その平行度の誤差を
十分吸収して可動体の振動発生を防ぐことができるよう
にした防振装置を提供することにある。
度に平行に設けられていなくとも、その平行度の誤差を
十分吸収して可動体の振動発生を防ぐことができるよう
にした防振装置を提供することにある。
可動体あるいはこの可動体を移動自在に支持した支持体
のどちらか一方にレール部材を設け、他方に上記レール
部材の各側面に対向して一対の板ばねを設け、これの板
ばねに上記レール部材の各側面に板ばねの復元力に抗し
て弾性的に圧接する摺動部材を設けることにより、この
摺動部材によって可動体の振動を防止するとともに、上
記レール部材の平行度が多少狂っていても、板ばねを弾
性変形させて摺動部材を変位させることにより、摺動部
材とレール部材との接触圧力をほぼ一定に保てるように
したものである。
のどちらか一方にレール部材を設け、他方に上記レール
部材の各側面に対向して一対の板ばねを設け、これの板
ばねに上記レール部材の各側面に板ばねの復元力に抗し
て弾性的に圧接する摺動部材を設けることにより、この
摺動部材によって可動体の振動を防止するとともに、上
記レール部材の平行度が多少狂っていても、板ばねを弾
性変形させて摺動部材を変位させることにより、摺動部
材とレール部材との接触圧力をほぼ一定に保てるように
したものである。
以下、この発明の一実施例を図面を参照して説明する。
図中１は支持体としてのベースである。このベース１上
にはＹテーブル２がＹ方向に移動自在に設けられている
。このＹテーブル２には第１の送りねじ３が螺合され、
この第１の送りねじ３はパルスモータなどの第１駆動源
４によって回転駆動される。また、上記Ｙテーブル２上
にはＸテーブル５がＸ方向に移動自在に設けられている
。このＸテーブル５には第２の送シねじ６が螺合され、
この第２の送りねじ６は第２の駆動源７によって回転駆
動される。
にはＹテーブル２がＹ方向に移動自在に設けられている
。このＹテーブル２には第１の送りねじ３が螺合され、
この第１の送りねじ３はパルスモータなどの第１駆動源
４によって回転駆動される。また、上記Ｙテーブル２上
にはＸテーブル５がＸ方向に移動自在に設けられている
。このＸテーブル５には第２の送シねじ６が螺合され、
この第２の送りねじ６は第２の駆動源７によって回転駆
動される。
したがって、Ｘテーブル５はベース１上においてＸＹ方
向に駆動される。なお、Ｙテーブル２はＸテーブル５に
対してこのＸテーブル５を移動自在に支持した支持体と
なる。
向に駆動される。なお、Ｙテーブル２はＸテーブル５に
対してこのＸテーブル５を移動自在に支持した支持体と
なる。
上記ベース１とＸテーブル２との間には第１の防振装置
８が介装され、Ｙテーブル２とＸテーブル５との間には
第２の防振装置９が設けられている。これら第１、第２
の防振装置８，９は構造が同じなので、第１の防振装置
８だけ第３図にもとづいて説明する。つまり、第１の防
振装置８はレール部材１０ｆ有する。このレール部材１
０はＹテーブル２の下面にこのＹテーブル２の移動方向
であるＹ方向に沿って取着されている。上記ベース１の
レール部材１ｏと対応する個所には同じぐＹ方向に沿っ
て溝１１が形成され、この溝１１内に上記レール部材１
゜が収容されている。この溝１１の両側面には各々凹部
１２が長手方向に沿って形成され、この凹部Ｉ２と対応
する個所には板ばね１３が両端全上記溝１１の側面にね
じ１４で固定して設けられている。上記板ばね１３の板
面には合成樹脂などの摩擦係数の小さな材料で作られた
摺動部材１５が取着されている。そして、一対の摺動部
材１５は上記レール部材１ｏの両側面にそれぞれ板ばね
１３の復元力に抗して圧接している。また、レール部材
１ｏにはこの幅方向に貫通した通孔１６が長手方向に沿
って穿設されている。この通孔１６には両端をそれぞれ
一対の板ばね１３に連結した複数のコイルはねＺ７が挿
通され、このコイルばね１７の復元力にょって板ばね１
３が付勢され、摺動部材１５とレール部材１０の側面と
の圧接状態を確実なものとしている。
８が介装され、Ｙテーブル２とＸテーブル５との間には
第２の防振装置９が設けられている。これら第１、第２
の防振装置８，９は構造が同じなので、第１の防振装置
８だけ第３図にもとづいて説明する。つまり、第１の防
振装置８はレール部材１０ｆ有する。このレール部材１
０はＹテーブル２の下面にこのＹテーブル２の移動方向
であるＹ方向に沿って取着されている。上記ベース１の
レール部材１ｏと対応する個所には同じぐＹ方向に沿っ
て溝１１が形成され、この溝１１内に上記レール部材１
゜が収容されている。この溝１１の両側面には各々凹部
１２が長手方向に沿って形成され、この凹部Ｉ２と対応
する個所には板ばね１３が両端全上記溝１１の側面にね
じ１４で固定して設けられている。上記板ばね１３の板
面には合成樹脂などの摩擦係数の小さな材料で作られた
摺動部材１５が取着されている。そして、一対の摺動部
材１５は上記レール部材１ｏの両側面にそれぞれ板ばね
１３の復元力に抗して圧接している。また、レール部材
１ｏにはこの幅方向に貫通した通孔１６が長手方向に沿
って穿設されている。この通孔１６には両端をそれぞれ
一対の板ばね１３に連結した複数のコイルはねＺ７が挿
通され、このコイルばね１７の復元力にょって板ばね１
３が付勢され、摺動部材１５とレール部材１０の側面と
の圧接状態を確実なものとしている。
なお、第２の防振装置９はレール部材１ｏがＸテーブル
５の下面にＸ方向に沿って設けられ、溝１１がＹテーブ
ル２にＸ方向に沿って形成されているという点で第１の
防振装置８と異なる。
５の下面にＸ方向に沿って設けられ、溝１１がＹテーブ
ル２にＸ方向に沿って形成されているという点で第１の
防振装置８と異なる。
このように構成された第１、第２の防振装置８．９によ
れば、レール部材１ｏが第３図に矢印で示す方向に移動
する際、このレール部材１００両側面に弾性的に圧接し
た摺動部材１５によってレール部材１０が振動するのを
防止する。つまり、レール部材１０と一体であるＹテー
ブル２あるいはＸテニブル５が移動にともない振動する
のが防止される。ところで、レール部材１０がＹテーブ
ル２あるいはＸテーブル５の移動方向に対して精密に平
行に設けられていないと、上記テーブル２．５の移動に
ともないレール部材１０と摺動部材１５との圧接力が変
動する。すると、この変動に応じて板ばね１３が弾性変
形して摺動部材１５を変位させるから、摺動部材１５と
レール部材１０との圧接力が必要以上に高くなったり、
逆に低くなることがない。したがって、摺動部材１５に
より各テーブル２，５に振動が発生するのを確実に防止
でき、かつ第１、第２の駆動源４．７に加わる負荷を変
動させて上記各テーブル２，５の停止位置を高精度に制
御できなくなるということがない。
れば、レール部材１ｏが第３図に矢印で示す方向に移動
する際、このレール部材１００両側面に弾性的に圧接し
た摺動部材１５によってレール部材１０が振動するのを
防止する。つまり、レール部材１０と一体であるＹテー
ブル２あるいはＸテニブル５が移動にともない振動する
のが防止される。ところで、レール部材１０がＹテーブ
ル２あるいはＸテーブル５の移動方向に対して精密に平
行に設けられていないと、上記テーブル２．５の移動に
ともないレール部材１０と摺動部材１５との圧接力が変
動する。すると、この変動に応じて板ばね１３が弾性変
形して摺動部材１５を変位させるから、摺動部材１５と
レール部材１０との圧接力が必要以上に高くなったり、
逆に低くなることがない。したがって、摺動部材１５に
より各テーブル２，５に振動が発生するのを確実に防止
でき、かつ第１、第２の駆動源４．７に加わる負荷を変
動させて上記各テーブル２，５の停止位置を高精度に制
御できなくなるということがない。
また、一対の板ばね１３間にコイルばねＺ７が張設され
、このコイルばねＩ７の復元力によって摺動部材１５が
レール部材１０に圧接する方向に付勢されているから、
このことによっても摺動部材１５とレール部材１０との
圧接状態が一定に保たれて各テーブル２，５に対する防
振効果が向上する。
、このコイルばねＩ７の復元力によって摺動部材１５が
レール部材１０に圧接する方向に付勢されているから、
このことによっても摺動部材１５とレール部材１０との
圧接状態が一定に保たれて各テーブル２，５に対する防
振効果が向上する。
なお、この発明は上記一実施例に限定されず、たとえば
一対の板ばね間にはコイルばねを張設する代りに案内溝
に形成された四部に補助板ばねを収容し、この補助板ば
ねによって摺動部材が取着された板ばねを付勢し、上記
摺動部材がレール部材に圧接する力を高めるようにして
もよい。
一対の板ばね間にはコイルばねを張設する代りに案内溝
に形成された四部に補助板ばねを収容し、この補助板ば
ねによって摺動部材が取着された板ばねを付勢し、上記
摺動部材がレール部材に圧接する力を高めるようにして
もよい。
また、板ばねの弾性変形を補助する上記コイルばねや補
助板ばねは用いずともよい。
助板ばねは用いずともよい。
さらに、この発明においては、レール部材を支持体に設
け、摺動部材を可動体に設けるようにしても、上記一実
施例と同様の効果が得られる。また、レール部材と摺動
体との間に潤滑油を供給してもよい。
け、摺動部材を可動体に設けるようにしても、上記一実
施例と同様の効果が得られる。また、レール部材と摺動
体との間に潤滑油を供給してもよい。
７−
〔発明の効果〕
以上述べたようにこの発明は、可動体あるいはこの可動
体を移動自在に支持した支持体のどちらか一方にレール
部材を設け、他方に上記レール部材の各側面に対向して
一対の板ばねを設け、これら板ばねに上記レール部材の
各側面に板ばねの復元力に抗して弾性的に圧接する摺動
部材を設けた。したがって、レール部材が可動体の移動
方向に対して精密に平行に設けられていなくとも、上記
レール部材と摺動部材との圧接力は摺動部材が板ばねを
弾性変形させて変位することにより、はぼ一定に保つこ
とができる。
体を移動自在に支持した支持体のどちらか一方にレール
部材を設け、他方に上記レール部材の各側面に対向して
一対の板ばねを設け、これら板ばねに上記レール部材の
各側面に板ばねの復元力に抗して弾性的に圧接する摺動
部材を設けた。したがって、レール部材が可動体の移動
方向に対して精密に平行に設けられていなくとも、上記
レール部材と摺動部材との圧接力は摺動部材が板ばねを
弾性変形させて変位することにより、はぼ一定に保つこ
とができる。
そのため、上記圧接力の変動によって可動体゛に振動が
発生するのを確実に防止できなくなったり、可動体を駆
動する駆動源に加わる負荷が一定せずに上記可動体を高
精度に位置決めできなくなるなどのことがない。
発生するのを確実に防止できなくなったり、可動体を駆
動する駆動源に加わる負荷が一定せずに上記可動体を高
精度に位置決めできなくなるなどのことがない。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明の一実施例を示し、第１図はＸＹテーブ
ルの平面図、第２図は第１図ト」８− 線に沿う断面図、第３図は防振装置の平面図である。 ｌ・・・ベース（支持体）、２・・・Ｙテーブル（支持
体、可動体）、５・・・Ｘテーブル（可動体）、１０・
・・レール部材、１３・・・板ばね、１５・・・摺動部
材。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 ４ 第２図 ７ ゛・ｒ−１゜ 、・易−・１２ 第３図
ルの平面図、第２図は第１図ト」８− 線に沿う断面図、第３図は防振装置の平面図である。 ｌ・・・ベース（支持体）、２・・・Ｙテーブル（支持
体、可動体）、５・・・Ｘテーブル（可動体）、１０・
・・レール部材、１３・・・板ばね、１５・・・摺動部
材。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 ４ 第２図 ７ ゛・ｒ−１゜ 、・易−・１２ 第３図
Claims (1)
- 支持体と、この支持体に移動自在に設けられた可動体と
、上記支持体あるいは可動体のどちらか一方に可動体の
移動方向に沿って設けられたレール部材と、このレール
部材の両側面に対向して上記支持体あるいは可動体の他
方に設けられた一対の板ばねと、これら板はねに取着さ
れ上記レール部材の各側面に上記板ばねの復元力に抗し
て弾性的に圧接した摺動部材とを具備した防振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17152383A JPS6065933A (ja) | 1983-09-17 | 1983-09-17 | 防振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17152383A JPS6065933A (ja) | 1983-09-17 | 1983-09-17 | 防振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6065933A true JPS6065933A (ja) | 1985-04-15 |
Family
ID=15924690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17152383A Pending JPS6065933A (ja) | 1983-09-17 | 1983-09-17 | 防振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6065933A (ja) |
-
1983
- 1983-09-17 JP JP17152383A patent/JPS6065933A/ja active Pending
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