JPS6068587A - 薄膜elパネルの封止構造 - Google Patents

薄膜elパネルの封止構造

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JPS6068587A
JPS6068587A JP58177472A JP17747283A JPS6068587A JP S6068587 A JPS6068587 A JP S6068587A JP 58177472 A JP58177472 A JP 58177472A JP 17747283 A JP17747283 A JP 17747283A JP S6068587 A JPS6068587 A JP S6068587A
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JP
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thin film
fluid
panel
glass plate
injection
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JP58177472A
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利昭 石井
猪原 章夫
岸下 博
上出 久
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Sharp Corp
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Sharp Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く技術分野〉 本発明は交流電界の印加に依ってEL (El ect
r。
Lum1nescence)発光を呈する薄B) E 
L素子を使用したEL表示パネルに対して有効な技術と
なるN膜EL素子保護用流体の注入封止構造に関するも
のである。
〈従来技術〉 従来、交流動作の薄膜EL素子に関して、発光層に規則
的に高い電界(106V/cm程度)を印加し、絶縁耐
圧、発光効率及び動作の安定性等を高めるために、0.
1〜2. Ow t%のMn (あるいはCu。
At、Br等)をドープしたZnS、Zn5e%の半導
体発光層をY2O3+ Ti0z等の誘電体薄膜でサン
ドイッチした三層構造Zns:Mn(又はZn5e、M
n)EL素子が開発され、発光緒特性の向上が確かめら
れている。この薄膜EL素子は数K Hzの交流電界印
加によって高輝度発光し、しかも長寿命であるという特
徴を有している。
薄膜EL素子の1例としてZnS:Mn薄膜EL素子の
基本的構造を第1図に示す〔。
第1図に基いて薄膜EL素子の構造を具体的に説明する
と、ガラス基板l上にIn2O3,SnO2等の透明電
極2、さらにその上に積層してY2O3゜TiO2,A
l2O3、Si3N4.SiO2等からなる第1の誘電
体層3がスパッタあるいは電子ビーム蒸着法等により重
畳形成されている。第1の誘電体層3土にはZnS:M
n焼結ペレットを電子ビーム蒸着することにより得られ
るZnS発光層4が形成されている。この時蒸着用のZ
nS:Mn焼結ペレットには活性物質となるMnが目的
に応じた濃度に設定されたベレットが使用される。Zn
S 発光層4上には第1の誘電体N3と同様の材質から
成る第2の誘電体層5が積層され、更にその上にへ1等
から成る背面電極6が蒸着形成されている。
透明電極2と背面電極6は交流電源7.に接続され、薄
j摸E L素子が駆動される。
電極2,6間に交流電圧を印加すると、ZnS発光層4
の両側の誘電体層3,5間に上記交流電圧が誘起砦れる
ことにな9、従ってZnS発光層4内に発生した電界に
よって伝導帯に励起されかつ加速されて充分なエネルギ
ーを得た電子が、直接Mn発光センターを励起し、励起
されたMn発光センターが基底状態に戻る際に黄色の発
光を行なう。即ち高電界で加速された電子がZnS発光
層4中の発光センターであるZnサイトに入ったMn原
子の電子を励起し、基底状態に落ちる時、い発光を呈す
る。
上記の如き構造を有する薄膜EL素子はスペース・ファ
クタの利点を生かした平面薄型ディスプレイ・デバイス
として、文字及び図形を含むコンビ、−クーの出力表示
端末機器その他種々の表示装置に文字、記号、静止画像
、動画像等の表示手段として利用することができ非常に
有効なものである。
しかしながら薄膜EL素子の誘電体層は製造工程途中で
発生した多数のピンホールやマイクロクラック等全含み
、これらの欠陥を通してZnS発光層4に湿気等が侵入
するため、EL発光損失による発熱、層間剥離、素子特
性の劣化等を招来するO 上記問題全解決することを目的として、第2図に示すよ
うに、薄膜EL素子特有の不完全さ、即ちピンホール等
によって通電時に生じるブレークダウンのため起る微小
な熱損傷領域の拡大を防止、固定化し、大気環境下での
湿気保護、放熱効果、さらに振動、たわみに対しても有
効な改良技術となるシーリング方式が提唱されている。
この薄膜ELパネルは第」図に於ける透明電極2及び背
面電極6が帯状に成形され、互い妬直交する如く複数本
配列されたマトリックス電極構造が採用されてお9、透
明電極2と背面電極6が平面図的に見て交差した位置が
パネルの1絵素に相当する。
第2図に基いて説明すると、ガラス基板1上に一定ビノ
チ間隔で平行配列された透明電極2、第1の誘電体層3
、ZnS発光層4が順次積層され、ZnS発光層4上に
け5iaN4膜とSi3N4膜上に重畳されたAl20
3Mとから成る第2の誘電体層5が2層構造で積層され
、更に上記透明電極2と直交する方向に一定ピッチ間隔
をもって平行配列された背面電極6が第2の誘電体層5
上に設けられ、薄膜EL素子が構成されている。この薄
膜EL素子f:制止するため、ガラス基板lにスペーサ
lOを介して背面ガラス板11が対向配置され、ガラス
基板1、スペーサ10及び背面ガラス板11の各接合部
は接着剤]2で固定密封され、薄膜EL素子に対する外
囲器が構成されている。外囲器内には薄膜EL素子が内
蔵されるとともにシリコンオイノペ真空グリース等の薄
膜EL素子保護用注入流体13が充填封入されている。
注入流体13に要求される条件としては(1)ピンホー
ルへの浸透性があり、(2)絶縁耐圧が高く、(3)耐
熱性、耐湿性に優れ、(4)薄膜EL素子構成膜と反応
せず、(5)蒸気圧、熱膨張係数の小さい流動性物質で
あることが望ましいが特にピンホールへの浸透性があり
絶縁耐圧がある程度高いこと及び薄膜EL素子構成膜と
反応しないことを要する。スペーサIOKはシリコンオ
イル等注入用の微小注入孔14が1個乃至数個設けられ
ている。また透明電極2及び背面電極6のリード端子部
15はガラス基板1と背面ガラス板11の接合部を介し
て外囲器外部のガラス基板l上へその一端が延設され、
駆動制御用回路(図示せず)と電気的に接続されている
0〈発明の目的〉 本発明は上記薄膜E’L素子保護用流体が充填された薄
膜ELパネルて於いて、流体封止構造に関する改良技術
を提供することを目的とする。
〈実施例〉 第3図は本発明の1実施例の説明に供する薄膜ELパネ
ルの構成断面図である。
ガラス基板1」二に透明電極2が帯状に一定ピッチ間隔
をもって平行配列され、薄膜EL素子16が構成されて
いる。この薄膜EL素子16を収納する如く皿状の背面
ガラス板17がガラス基板1土に重畳され、その内部間
隙に薄膜EL素子が内蔵される。ガラス基板1と背面ガ
ラス板17の接合部は光硬化性樹脂、エポキシ樹脂等の
接着剤で密封されている。背面ガラス板17の製作工程
途中に於ける詳細を第4図に示す0背面ガラス板17と
してはソーダガラス、ホウケイ酸ガラス等が使用され、
EL素子構造部の収納部分がサンドエツチング等により
深さ]、 tan程度に凹陥成形されている。凹陥成形
領域の隅部1箇所には流体注入用の注入孔18が形成さ
れ、中空の注入用パイプ1975勤挿入されている。注
入用パイプ19は金属製で、注入孔18に接着固定され
ている。注入孔]8の外部端に相当する背面ガラス板1
7の位置には注入孔18の径より大きい直径5〜1〇−
程度の穴21が形成されている。穴21の深さは約2丁
1程度である。注入用パイプ19の先端を絶縁性保護用
流体例えばシリコーンオイル等の槽内に挿入し、流体全
パネル内部へ注入する。注入流体の注入操作が完了する
と、第5図(A)に示す如く外囲器接合部近傍の注入パ
イプ19を圧着し、仮封止全行なう。その後仮封止部の
注入/<イブ19全第5図(B)に示す如く切断し、切
断部の注入パイプ19を完全に封止するためエポキシ系
樹脂、光硬化性樹脂等から成る樹脂接着剤20を第5図
(C)に示す如く背面ガラス板17の穴21(深さD)
内に収納されるよう被着する。次に平板ガラスキ八・ノ
ブ22f:注入パイプ19封止部の背面ガラス板17上
に接着剤を介して被冠し、第5図(C)に示す二重封止
構造とする0尚、従来のガラスキャップに凹陥部を設け
た構造は、第6図(A)に示す如く注入パイプ19を背
面ガラス板17上で圧着仮封止し第6図(B)に示す如
く注入パイプ19を切断した後、樹脂を被着し、更に第
6図(C)に示す如く凹陥部を持つガラスギヤ5.プ2
3を背面ガラス板17土に接着した構造が用いられてい
るが本実施例と比較すれば、背面ガラス板17に凹陥部
を設け、封止部を凹陥部に収納させることにより、第5
図(C)の平板ガラスキャップ22の板厚’tT+、第
6図(C)の凹陥部を設けたガラスキャップ23の板厚
をT2とした場合に総合的な板厚をT2−T+だけ薄く
することかり能となる。平板ガラスキャップ22を背面
ガラス板17に接着する接着剤としては光硬化性接着剤
等が用いられる。また平板ガラスキャップ22としては
背面ガラス板]7と同材質の大きさ15 WrmX 1
5 +rrm程度の厚さ0.1〜1. O1mRのもの
が用いられる。
背面ガラス板17は平板ガラスをサンドエツチングによ
シ凹陥成形する以外に皿状に成形されたガラス材料を用
いてもよい。また、流体注入孔18を穿設した後、その
外端部をザグリ加工により径大の穴21に拡大し、その
後、注入用パイプ19を流体注入孔18に挿入して接着
剤で固定する。
注入用パイプ19は圧着により容易に内部が封止される
ものが良く一般にアルミニウム、銅、鉄等の金属部材が
用いられる。絶縁性保護用流体の注入は、真空容器内で
注入用パイプの先端を流体の収納された槽内に挿入し、
次に大気圧に戻すことにより注入用パイプ19を介して
流体を外囲器日へ注入する方法が適用される。
絶縁性保護用流体は特に薄膜EL素子1Gに対する防湿
を企図して充填されるものであり、従って流体注入後の
注入用パイプ19及び流体注入孔】8の封止は確実に行
なう必要がある。上記実施例ではこの封止構造を二重構
造にして信頼性を確保している。またシリコーンオイル
等の絶縁性保護用流体は熱膨張係数が高いため、高温下
での使用に於いては体積膨張によ多流体注入孔18より
洩出することがある。しかしながら、本実施例の封止構
造ではこの洩出流体は平板ガラスキャップ22が被冠さ
れているためザグリ穴21の部分で貯留されることとな
り、外部にもれ出ることはないO 〈発明の効果〉 以上の如く本発明の薄膜ELパネル封止構造は、従来の
凹陥部をもつガラスキャップに代って背面ガラス板内に
封止部を内股可能な凹陥部を設け、さらに平板ガラスキ
ャップを被冠させて二重に封止する為、従来の信頼性を
保証しつつディスプレイとしての薄型化が可能になり、
より実用的測置が大となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は薄膜EL素子の具体的構造を示す構成図である
。第2図は従来の薄膜ELパネルの1例を示す要部構成
図である。第3図は本発明の1実施例の説明に供する薄
膜ELパネルの要部構成図である。第4図は第3図の薄
膜ELパネルに使用される背面ガラス板の断面図である
。第5図(A)(B) (C)は本発明の1実施例を説
明する製造工程図である。第6図(A) (B) (C
)は従来のガラスキャップに凹陥部を設けた1実施例を
説明する製造工程図である。 トガラス基板、 16 薄膜EL素子、17 ・背面ガ
ラス板、 18 ・注入孔、19・注入用パイプ、 2
0−接着剤、21 ・凹陥部、 22 ・・平板ガラス
キャップ代理人 弁理士 福 士 愛 彦(他2名)箒
1図 第2図 第3図 (A) (B) (C) ニー;□ 5 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、透光性前面基板と背面板とから成る外囲器内に薄膜
    EL素子及び該薄膜EL素子に対する絶縁’(l保護用
    流体を収納した薄膜ELパネルに於いて、前記外囲器に
    前記絶縁性保護用流体を注入するための注入孔を穿設す
    るとともに該注入孔の外方端に径太のザグリ穴を形成し
    、該ザグリ穴内で前記注入孔の開口を封止するとともに
    ザグリ穴にガラスキャップを被冠して密封したことを!
    1キ徴とする薄膜ELパネルの封止構造。
JP58177472A 1983-09-24 1983-09-24 薄膜elパネルの封止構造 Granted JPS6068587A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61249075A (ja) * 1985-04-26 1986-11-06 ホ−ヤ株式会社 薄膜elパネルの製造方法
CN116248801A (zh) * 2021-12-07 2023-06-09 佳能株式会社 图像形成装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5068693A (ja) * 1973-10-19 1975-06-09
JPS577086A (en) * 1980-06-16 1982-01-14 Sharp Kk Thin film el panel

Patent Citations (2)

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CN116248801A (zh) * 2021-12-07 2023-06-09 佳能株式会社 图像形成装置

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