JPH0810948Y2 - 回路基板に於けるボンデイングワイヤ用の金属膜電極 - Google Patents
回路基板に於けるボンデイングワイヤ用の金属膜電極Info
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- JPH0810948Y2 JPH0810948Y2 JP15226889U JP15226889U JPH0810948Y2 JP H0810948 Y2 JPH0810948 Y2 JP H0810948Y2 JP 15226889 U JP15226889 U JP 15226889U JP 15226889 U JP15226889 U JP 15226889U JP H0810948 Y2 JPH0810948 Y2 JP H0810948Y2
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- film electrode
- bonding
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/90—Bond pads, in general
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/07551—Controlling the environment, e.g. atmosphere composition or temperature characterised by changes in properties of the bond wires during the connecting
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
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- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は、回路基板に於けるボンデイングワイヤ用
の金属膜電極に関するものであり、特に、金属膜間の密
着強度を増加させたボンデイングワイヤ用の金属膜電極
に関するものである。
の金属膜電極に関するものであり、特に、金属膜間の密
着強度を増加させたボンデイングワイヤ用の金属膜電極
に関するものである。
［従来の技術］ 従来、此種回路基板にベアチップICを取り付ける場合
は、ワイヤボンデイングを行って金属膜電極へ電気的接
続を行っている。別紙第４図は、基板（１）上に設けた
金属膜電極間をワイヤボンデイングにて接続した状態を
示しており、タンタルからなる金属膜（２）（２）上に
ニツケル又はクロームからなる金属膜（３）（３）を蒸
着にて設ける。ボンデイングワイヤ（４）はアルミニウ
ム又は金等の材料で形成してあるので、ニツケル又はク
ロームの金属膜（３）には直接ボンデイングできない。
従って、前記金属膜（３）の上面にアルミニウム又は金
からなる金属膜電極（５）を蒸着し、該金属膜電極
（５）へボンデイングワイヤ（４）の端部を載設して、
矢印方向へ超音波を照射すると共に加熱してボンデイン
グを行う。
は、ワイヤボンデイングを行って金属膜電極へ電気的接
続を行っている。別紙第４図は、基板（１）上に設けた
金属膜電極間をワイヤボンデイングにて接続した状態を
示しており、タンタルからなる金属膜（２）（２）上に
ニツケル又はクロームからなる金属膜（３）（３）を蒸
着にて設ける。ボンデイングワイヤ（４）はアルミニウ
ム又は金等の材料で形成してあるので、ニツケル又はク
ロームの金属膜（３）には直接ボンデイングできない。
従って、前記金属膜（３）の上面にアルミニウム又は金
からなる金属膜電極（５）を蒸着し、該金属膜電極
（５）へボンデイングワイヤ（４）の端部を載設して、
矢印方向へ超音波を照射すると共に加熱してボンデイン
グを行う。
［考案が解決しようとする課題］ 従来はタンタルの金属膜（２）の上面にニツケル又は
クロームの金属膜（３）を蒸着しているが、タンタルと
ニツケル（又はクローム）との接合面は界面での拡散が
起きていないので接着性が良好ではない。そして、ワイ
ヤボンデイングの際に超音波が通過した部分は、更にタ
ンタルとニツケル（又はクローム）との接合強度が低下
して、金属膜（２）と（３）との層間剥離が生ずること
がある。
クロームの金属膜（３）を蒸着しているが、タンタルと
ニツケル（又はクローム）との接合面は界面での拡散が
起きていないので接着性が良好ではない。そして、ワイ
ヤボンデイングの際に超音波が通過した部分は、更にタ
ンタルとニツケル（又はクローム）との接合強度が低下
して、金属膜（２）と（３）との層間剥離が生ずること
がある。
そこで、金属膜間の剥離を防止するために解決せられ
るべき技術的課題が生じてくるのであり、本考案はこの
課題を解決することを目的とする。
るべき技術的課題が生じてくるのであり、本考案はこの
課題を解決することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ この考案は上記目的を達成するために提案せられたも
のであり、基板上にタンタル等からなる第１の金属膜を
設け、その上面にシリコン等からなる絶縁膜を介してニ
ツケル又はクローム等の第２の金属膜を形成し、前記絶
縁膜の外周縁部にて第２の金属膜を第１の金属膜へ電気
的接続させ、更に、第２の金属膜の上面にアルミニウム
又は金等からなる金属膜電極を形成したことを特徴とす
る回路基板に於けるボンデイングワイヤ用の金属膜電極
を提供せんとするものである。
のであり、基板上にタンタル等からなる第１の金属膜を
設け、その上面にシリコン等からなる絶縁膜を介してニ
ツケル又はクローム等の第２の金属膜を形成し、前記絶
縁膜の外周縁部にて第２の金属膜を第１の金属膜へ電気
的接続させ、更に、第２の金属膜の上面にアルミニウム
又は金等からなる金属膜電極を形成したことを特徴とす
る回路基板に於けるボンデイングワイヤ用の金属膜電極
を提供せんとするものである。
［作用］ 第１の金属膜と第２の金属膜との間に形成したシリコ
ン等の絶縁膜は、ワイヤボンデイング時の衝撃（荷重・
US）を緩和し、超音波の通過によつて第１の金属膜と第
２の金属膜との接合強度が低下することを防止する。
又、タンタルとシリコン、ニツケル（又はクローム）と
シリコンは夫々密着性が良好であるため、第１の金属膜
と第２の金属膜との間にシリコンの絶縁膜を介装するこ
とにより、双方の金属膜間の密着強度が向上する。
ン等の絶縁膜は、ワイヤボンデイング時の衝撃（荷重・
US）を緩和し、超音波の通過によつて第１の金属膜と第
２の金属膜との接合強度が低下することを防止する。
又、タンタルとシリコン、ニツケル（又はクローム）と
シリコンは夫々密着性が良好であるため、第１の金属膜
と第２の金属膜との間にシリコンの絶縁膜を介装するこ
とにより、双方の金属膜間の密着強度が向上する。
［実施例］ 以下、この考案の一実施例を別紙添付図面の第１図乃
至第３図に従って詳述する。第１図に於て、基板（10）
上にタンタル等からなる第１の金属膜（11）（11）を設
け、その上面にシリコン（Si O2）等からなる絶縁膜
（12）を介して第２の金属膜（13）が蒸着されている。
該第２の金属膜（13）はニツケル又はクローム等にて形
成され、前記絶縁膜（12）の外周縁部に第２の金属膜
（13）を垂設して導通部（13a）を設け、この導通部（1
3a）によつて第１の金属膜（11）との電気的接続を為し
ている。更に、第２の金属膜（13）の上面にアルミニウ
ム又は金等からなる金属膜電極（14）を蒸着し、アルミ
ニウム又は金等で形成したボンデイングワイヤ（15）の
端部を該金属膜電極（14）へ載設する。
至第３図に従って詳述する。第１図に於て、基板（10）
上にタンタル等からなる第１の金属膜（11）（11）を設
け、その上面にシリコン（Si O2）等からなる絶縁膜
（12）を介して第２の金属膜（13）が蒸着されている。
該第２の金属膜（13）はニツケル又はクローム等にて形
成され、前記絶縁膜（12）の外周縁部に第２の金属膜
（13）を垂設して導通部（13a）を設け、この導通部（1
3a）によつて第１の金属膜（11）との電気的接続を為し
ている。更に、第２の金属膜（13）の上面にアルミニウ
ム又は金等からなる金属膜電極（14）を蒸着し、アルミ
ニウム又は金等で形成したボンデイングワイヤ（15）の
端部を該金属膜電極（14）へ載設する。
而して、ボンデイングワイヤ（15）の端部を加熱する
と共に矢印方向へ超音波を照射してボンデイングを行
う。然るとき、ワイヤボンデイング時の衝撃（荷重・U
S）は絶縁膜（12）によつて緩和され、超音波の通過に
よつて第１の金属膜と第２の金属膜との接合強度が低下
することを防止する。更に、タンタルとシリコン及びニ
ツケル（又はクローム）とシリコンとは夫々密着性が良
好であるため、第１の金属膜（11）と第２の金属膜（1
3）との間の密着強度が向上する。
と共に矢印方向へ超音波を照射してボンデイングを行
う。然るとき、ワイヤボンデイング時の衝撃（荷重・U
S）は絶縁膜（12）によつて緩和され、超音波の通過に
よつて第１の金属膜と第２の金属膜との接合強度が低下
することを防止する。更に、タンタルとシリコン及びニ
ツケル（又はクローム）とシリコンとは夫々密着性が良
好であるため、第１の金属膜（11）と第２の金属膜（1
3）との間の密着強度が向上する。
前記第２の金属膜（13）は導通部（13a）によつて第
１の金属膜（11）との電気的接続を為しているが、導通
部（13a）の接合面積が小であるので電気的信号の通過
容量に不足が生ずる場合がある。然るときは、第２図及
び第３図に示すように、絶縁膜（12）の所々にスノーホ
ール（16）（16）…を開穿しておき、之等スルーホール
（16）（16）…内にもニツケル等の導通部（13b）（13
b）…を形成する。斯くすれば、第２の金属膜（13）と
第１の金属膜（11）との電気的接続がより一層良好とな
る。
１の金属膜（11）との電気的接続を為しているが、導通
部（13a）の接合面積が小であるので電気的信号の通過
容量に不足が生ずる場合がある。然るときは、第２図及
び第３図に示すように、絶縁膜（12）の所々にスノーホ
ール（16）（16）…を開穿しておき、之等スルーホール
（16）（16）…内にもニツケル等の導通部（13b）（13
b）…を形成する。斯くすれば、第２の金属膜（13）と
第１の金属膜（11）との電気的接続がより一層良好とな
る。
尚、この考案は、この考案の精神を逸脱しない限り種
々の改変を為す事ができ、そして、この考案が該改変せ
られたものに及ぶことは当然である。
々の改変を為す事ができ、そして、この考案が該改変せ
られたものに及ぶことは当然である。
［考案の効果］ この考案は上記一実施例に詳述したように、シリコン
等からなる絶縁膜によつてワイヤボンデイング時の衝撃
を緩和し、第１の金属膜と第２の金属膜との接合強度の
低下を防止できる。又、タンタルとシリコン、及びニツ
ケル又はクロームとシリコンは相性が良好であるので、
第１の金属膜と第２の金属膜との間の密着強度が向上で
きる。従って、ワイヤボンデイング後に之等金属膜間が
剥離する虞れはなく、製品の信頼性に貢献できる考案で
ある。
等からなる絶縁膜によつてワイヤボンデイング時の衝撃
を緩和し、第１の金属膜と第２の金属膜との接合強度の
低下を防止できる。又、タンタルとシリコン、及びニツ
ケル又はクロームとシリコンは相性が良好であるので、
第１の金属膜と第２の金属膜との間の密着強度が向上で
きる。従って、ワイヤボンデイング後に之等金属膜間が
剥離する虞れはなく、製品の信頼性に貢献できる考案で
ある。
第１図乃至第３図は本考案の一実施例であり、第１図は
金属膜間にワイヤボンデイングを施した状態の基板の要
部縦断面図、第２図はスルーホールを設けた絶縁膜の要
部縦断面図、第３図は第２図のＡ−Ａ線断面図である。
第４図は従来例を示し、金属膜間にワイヤボンデイング
を施した状態の基板の要部縦断面図である。 （10）……基板、（11）……第１の金属膜 （12）……絶縁膜、（13）……第２の金属膜 （13a）（13b）……導通部、（14）……金属膜電極 （15）……ボンデイングワイヤ
金属膜間にワイヤボンデイングを施した状態の基板の要
部縦断面図、第２図はスルーホールを設けた絶縁膜の要
部縦断面図、第３図は第２図のＡ−Ａ線断面図である。
第４図は従来例を示し、金属膜間にワイヤボンデイング
を施した状態の基板の要部縦断面図である。 （10）……基板、（11）……第１の金属膜 （12）……絶縁膜、（13）……第２の金属膜 （13a）（13b）……導通部、（14）……金属膜電極 （15）……ボンデイングワイヤ
Claims (1)
- 【請求項１】基板上にタンタル等からなる第１の金属膜
を設け、その上面にシリコン等からなる絶縁膜を介して
ニツケル又はクローム等の第２の金属膜を形成し、前記
絶縁膜の外周縁部にて第２の金属膜を第１の金属膜へ電
気的接続させ、更に、第２の金属膜の上面にアルミニウ
ム又は金等からなる金属膜電極を形成したことを特徴と
する回路基板に於けるボンデイングワイヤ用の金属膜電
極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15226889U JPH0810948Y2 (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | 回路基板に於けるボンデイングワイヤ用の金属膜電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15226889U JPH0810948Y2 (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | 回路基板に於けるボンデイングワイヤ用の金属膜電極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0392035U JPH0392035U (ja) | 1991-09-19 |
| JPH0810948Y2 true JPH0810948Y2 (ja) | 1996-03-29 |
Family
ID=31698539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15226889U Expired - Lifetime JPH0810948Y2 (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | 回路基板に於けるボンデイングワイヤ用の金属膜電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0810948Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-12-29 JP JP15226889U patent/JPH0810948Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0392035U (ja) | 1991-09-19 |
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