JPS606995Y2 - 走査電子顕微鏡の試料装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡の試料装置Info
- Publication number
- JPS606995Y2 JPS606995Y2 JP3641980U JP3641980U JPS606995Y2 JP S606995 Y2 JPS606995 Y2 JP S606995Y2 JP 3641980 U JP3641980 U JP 3641980U JP 3641980 U JP3641980 U JP 3641980U JP S606995 Y2 JPS606995 Y2 JP S606995Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- movable member
- vertically movable
- guide rod
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は走査電子顕微鏡に使用される試料装置に関する
。
。
走査電子顕微鏡の試料装置としては水平移動であるＸ軸
方向への微動及びＹ軸方向への微動ばかりでなく、試料
をあらゆる方向から観察することができるように傾斜さ
せることが要求される。
方向への微動及びＹ軸方向への微動ばかりでなく、試料
をあらゆる方向から観察することができるように傾斜さ
せることが要求される。
一方試料像を高分解能で観察するために試料位置は対物
レンズにできるだけ接近して配置する必要があり、又逆
に大型試料の傾斜観察或いは各種付属装置を取り付ける
場合には試料は対物レンズの主面からはなす必要がある
。
レンズにできるだけ接近して配置する必要があり、又逆
に大型試料の傾斜観察或いは各種付属装置を取り付ける
場合には試料は対物レンズの主面からはなす必要がある
。
そのため試料位置はかなり広い範囲に連続的に上下移動
が可能であることが要求される。
が可能であることが要求される。
そこで斯かる要求を満足させるために上下動部材に傾斜
機構や水平移動機構を組み込むことにより光軸方向のあ
らゆる試料位置において試料の所望個所を任意な角度傾
斜させて観察することができるように構成したものが実
用に供されている。
機構や水平移動機構を組み込むことにより光軸方向のあ
らゆる試料位置において試料の所望個所を任意な角度傾
斜させて観察することができるように構成したものが実
用に供されている。
この場合試料を傾斜させる傾斜機構の傾斜中心が光軸か
らずれていると試料を傾斜したとき、観察視野がずれた
り或いは焦点や倍率が変化する不都合が生ずる。
らずれていると試料を傾斜したとき、観察視野がずれた
り或いは焦点や倍率が変化する不都合が生ずる。
本考案は斯かる不都合を補うために、傾斜中心を光軸上
に一致させることのできる微動機構を備えた新規な試料
装置を提供するもので、以下図面に基づき詳説する。
に一致させることのできる微動機構を備えた新規な試料
装置を提供するもので、以下図面に基づき詳説する。
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ断面図であり、１は走査電子顕微鏡の試料室
である。
図のＡ−Ａ断面図であり、１は走査電子顕微鏡の試料室
である。
該試料室１の上方に対物レンズ（図示せず）がおかれて
いる。
いる。
２は該試料室１内におかれた筒状の傾斜体で、該傾斜体
２は上下動部材３に形成した突出部３ａに回転可能には
めこまれており、又該傾斜体２の回転中心Ｏは電子線の
光軸Ｚと直交するようにおかれている。
２は上下動部材３に形成した突出部３ａに回転可能には
めこまれており、又該傾斜体２の回転中心Ｏは電子線の
光軸Ｚと直交するようにおかれている。
又該傾斜体２の端部には平面部４が形成され、該平面部
上に水平移動可能な試料ステージ（この試料ステージと
しては互いに直交する方向に移動する二枚の試料ステー
ジを積み重ねて配置してもよい。
上に水平移動可能な試料ステージ（この試料ステージと
しては互いに直交する方向に移動する二枚の試料ステー
ジを積み重ねて配置してもよい。
）５が載置されている。該試料ステージ５上には試料６
を保持した試料ホルダー７が着脱可能に装着される。
を保持した試料ホルダー７が着脱可能に装着される。
前記試料６の表面は前記傾斜体２の回転中心Ｏと一致し
ている。
ている。
前記上下動部材３は蓋体８に取り付けられたガイド棒９
に移動且つ回転可能にはめこまれている。
に移動且つ回転可能にはめこまれている。
該ガイド棒９はその軸心が光軸Ｚと平行におかれており
、従って前記上下動部材３がガイド棒９に沿って移動す
ることにより試料６が光軸Ｚ上を上下動する。
、従って前記上下動部材３がガイド棒９に沿って移動す
ることにより試料６が光軸Ｚ上を上下動する。
前記蓋体８はボルト等により前記試料室１の壁に着脱可
能に取り付けられている。
能に取り付けられている。
１０は前記−上下動部材３をガイド棒９を中心にして回
転させるための偏心軸で、ベアリング１１がはめこまれ
ている。
転させるための偏心軸で、ベアリング１１がはめこまれ
ている。
従って該偏心軸１０を前記蓋体８を回転可能に貫通した
ドライバー１２により回せば、偏心軸１０の偏心量に応
じてベアリング１１が第１図中左右に移動するため、上
下動部材３がガイド棒９を中心にしてわずかに回転する
。
ドライバー１２により回せば、偏心軸１０の偏心量に応
じてベアリング１１が第１図中左右に移動するため、上
下動部材３がガイド棒９を中心にしてわずかに回転する
。
１３は該上下動部材３とベアリング１１との接触を常に
維持するためのスプリングである。
維持するためのスプリングである。
１４は前記蓋体８を回転可能に貫通した回転軸１５に固
定されたドラムで、該ドラムは前記上下動部材３の上面
に固定されたワイヤー１６を巻取ったり又は巻戻したり
することによりこの上下動部材３をガイド棒９に沿って
上下動させるための役目を果す。
定されたドラムで、該ドラムは前記上下動部材３の上面
に固定されたワイヤー１６を巻取ったり又は巻戻したり
することによりこの上下動部材３をガイド棒９に沿って
上下動させるための役目を果す。
１７は前記傾斜体２を回転させるためのウオームで、傾
斜体２の外周に形成されたウオーム歯車１８と噛合って
おり、又該ウオーム１７は軸１９及び軸受２０を介して
前記上下動部材３に回転可能に保持されている。
斜体２の外周に形成されたウオーム歯車１８と噛合って
おり、又該ウオーム１７は軸１９及び軸受２０を介して
前記上下動部材３に回転可能に保持されている。
該軸１９は図示はしないが自在接手及びスプライン軸接
手を介して前記蓋体８を回転可能に貫通した回転軸２１
に連結されている。
手を介して前記蓋体８を回転可能に貫通した回転軸２１
に連結されている。
しかして今、回転軸１５を操作してドラム１４を回せば
、該ドラ云にワイヤー１６が巻取られ或いは巻戻される
ので上下動部材３がガイド棒９に沿って上下動する。
、該ドラ云にワイヤー１６が巻取られ或いは巻戻される
ので上下動部材３がガイド棒９に沿って上下動する。
これにより、試料６表面を対物レンズに対して所望の位
置にセット、つまり対物レンズの主面と試料６表面との
距離を任意にセットすることができる。
置にセット、つまり対物レンズの主面と試料６表面との
距離を任意にセットすることができる。
次に回転軸２１を操作して自在接手、スプライン軸接手
及び軸１９を介してウオーム１７を回転させれば、ウオ
ーム歯車１８が回転し、それによって傾斜体２が回転す
るため、試料６が光軸Ｚに対して任意に傾斜する。
及び軸１９を介してウオーム１７を回転させれば、ウオ
ーム歯車１８が回転し、それによって傾斜体２が回転す
るため、試料６が光軸Ｚに対して任意に傾斜する。
更にドライバー１２によって偏心軸１０を回せば、ガイ
ド棒９を中心にして上下動部材３、つまり傾斜体２が光
軸と直交した平面内で水平微動するため、傾斜体２の回
転中心Ｏを光軸Ｚに一致させるこができる。
ド棒９を中心にして上下動部材３、つまり傾斜体２が光
軸と直交した平面内で水平微動するため、傾斜体２の回
転中心Ｏを光軸Ｚに一致させるこができる。
以上の如く構威することにより本考案は傾斜体を保持し
た上下動部材を水平微動させることができるため、傾斜
中心を光軸に完全に一致させることができ、従って試料
を傾斜したときに観察視野がずれたり或いは焦点や倍率
が変化することがなくなり、試料の傾斜観察を容易に行
うことができる。
た上下動部材を水平微動させることができるため、傾斜
中心を光軸に完全に一致させることができ、従って試料
を傾斜したときに観察視野がずれたり或いは焦点や倍率
が変化することがなくなり、試料の傾斜観察を容易に行
うことができる。
又、ガイド棒を中心にして上下動部材を回転させること
により傾斜体を水平微動させ、それによって傾斜中心を
光軸に合致せしめる様に構威しであるため、構成の簡素
化をはかることができる等、実用性大なる効果を有する
。
により傾斜体を水平微動させ、それによって傾斜中心を
光軸に合致せしめる様に構威しであるため、構成の簡素
化をはかることができる等、実用性大なる効果を有する
。
尚前述の実施例では上下動部材を回転させるために偏心
軸を利用したが、これに限定されることなくカムや押し
ネジ等を利用してもよい。
軸を利用したが、これに限定されることなくカムや押し
ネジ等を利用してもよい。
又上下動部材を上下動させるためにドラムとワイヤーと
の組み合せを用いたが、ラックとピニオン等の既知の手
段の組み合せを利用してもよい。
の組み合せを用いたが、ラックとピニオン等の既知の手
段の組み合せを利用してもよい。
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ断面図である。 １：試料室、２：傾斜体、３：上下動部材、５：試料ス
テージ、６：試料、７：試料ホルダー ８：蓋体、９ニ
ガイド棒、１０：偏心軸、１１：ベアリング、１２ニド
ライバー １３ニスプリング、１４ニドラム、１５及び
２１：回転軸、１６：ワイヤー、１７：ウオーム、１８
：ウオーム歯車、１９：軸、２０：軸受。
図のＡ−Ａ断面図である。 １：試料室、２：傾斜体、３：上下動部材、５：試料ス
テージ、６：試料、７：試料ホルダー ８：蓋体、９ニ
ガイド棒、１０：偏心軸、１１：ベアリング、１２ニド
ライバー １３ニスプリング、１４ニドラム、１５及び
２１：回転軸、１６：ワイヤー、１７：ウオーム、１８
：ウオーム歯車、１９：軸、２０：軸受。
Claims (1)
- 真空内に設置され且つその軸心が光軸と平行におかれた
ガイド棒と、該ガイド棒に移動且つ回転自在に保持され
た上下動部材と、該上下動部材に回転可能に取り付けら
れ且つその回転中心が光軸と直交するよるに配置された
傾斜体と、該傾斜体に保持され且つ表面が前記傾斜体の
回転中心と一致するようにおかれた試料と、前記上下動
部材をガイド棒を中心にして回転させるための手段と、
前記上下動部材をガイド棒に沿って移動させるための手
段と、前記傾斜体を回転させるための手段とからなる走
査電子顕微鏡の試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3641980U JPS606995Y2 (ja) | 1980-03-19 | 1980-03-19 | 走査電子顕微鏡の試料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3641980U JPS606995Y2 (ja) | 1980-03-19 | 1980-03-19 | 走査電子顕微鏡の試料装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56138462U JPS56138462U (ja) | 1981-10-20 |
| JPS606995Y2 true JPS606995Y2 (ja) | 1985-03-07 |
Family
ID=29632018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3641980U Expired JPS606995Y2 (ja) | 1980-03-19 | 1980-03-19 | 走査電子顕微鏡の試料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS606995Y2 (ja) |
-
1980
- 1980-03-19 JP JP3641980U patent/JPS606995Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56138462U (ja) | 1981-10-20 |
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