JPS6071139U - スプレ−プロセス装置 - Google Patents

スプレ−プロセス装置

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JPS6071139U
JPS6071139U JP16198983U JP16198983U JPS6071139U JP S6071139 U JPS6071139 U JP S6071139U JP 16198983 U JP16198983 U JP 16198983U JP 16198983 U JP16198983 U JP 16198983U JP S6071139 U JPS6071139 U JP S6071139U
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JP
Japan
Prior art keywords
spray process
process equipment
clean gas
process device
chamber
Prior art date
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Pending
Application number
JP16198983U
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English (en)
Inventor
明 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のスプレープロセス装置の断面図、第２図
はこの考案のスプレープロセス装置の一実施例の断面図
である。 ２１・・・・・・清浄気体吐出板、２２・・・・・・清
浄気体、２３・・・・・・チェンバ、２４・・・・・・
排気口、２５・・・・・・試料、２６・・・・・・試料
台、２７・・・・・・スプレーノズル、２８・・・・・
・加工液、２９・・・・・・飛散加工液。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ゛　　チェンバ内に清浄気体を吐出するための多数の孔
    を有する清浄気体吐出板を設けたことを特徴とするスプ
    レープロセス装置。　　　゛
JP16198983U 1983-10-20 1983-10-20 スプレ−プロセス装置 Pending JPS6071139U (ja)

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JP16198983U JPS6071139U (ja) 1983-10-20 1983-10-20 スプレ−プロセス装置

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JP16198983U JPS6071139U (ja) 1983-10-20 1983-10-20 スプレ−プロセス装置

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JPS6071139U true JPS6071139U (ja) 1985-05-20

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