JPS6073446A - 軽元素けい光ｘ線分光器 - Google Patents
軽元素けい光ｘ線分光器Info
- Publication number
- JPS6073446A JPS6073446A JP58184131A JP18413183A JPS6073446A JP S6073446 A JPS6073446 A JP S6073446A JP 58184131 A JP58184131 A JP 58184131A JP 18413183 A JP18413183 A JP 18413183A JP S6073446 A JPS6073446 A JP S6073446A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rays
- fluorescent
- secondary electrons
- electric field
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Pathology (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ビ）産業上の利用分野
本発明は炭素のような軽元素の分析を行うためのけい光
Ｘ線分光器に関するものである。
Ｘ線分光器に関するものである。
（ｐｌ 従来技術
一般に軽元素をけい光Ｘ線を用いて分析する場合はけい
光Ｘ線の波長が長いから、試料から出だけい光Ｘ線を低
角度でミラーに入射させることによシ、所定の波長以上
のけい光Ｘ線を全反射させて分光し、これを検出する方
法がとられる。しかしこの方式は真空中で実施される上
けい光Ｘ線が途中で曲げられる角度が小さいだめに、試
料から出た二次電子がＸ線検出器まで到達し易く、これ
がバックグラウンドノイズとして検出されるために検出
信号のＳ ／ Ｎ比が低下するという欠点があった。
光Ｘ線の波長が長いから、試料から出だけい光Ｘ線を低
角度でミラーに入射させることによシ、所定の波長以上
のけい光Ｘ線を全反射させて分光し、これを検出する方
法がとられる。しかしこの方式は真空中で実施される上
けい光Ｘ線が途中で曲げられる角度が小さいだめに、試
料から出た二次電子がＸ線検出器まで到達し易く、これ
がバックグラウンドノイズとして検出されるために検出
信号のＳ ／ Ｎ比が低下するという欠点があった。
（ハ） 目 的
本発明は上記のノイズを取り除いて検出信号のＳ ／
Ｎ比を向上し、軽元素けい光Ｘ線分光器の分析精度を高
めることを目的とするものである。
Ｎ比を向上し、軽元素けい光Ｘ線分光器の分析精度を高
めることを目的とするものである。
（ニ）構 成
本発明は、分光機構として全反射ミラーを使用し波長が
一定値以上のけい光Ｘ線を全反射するようにしたけい光
Ｘ線分光器において、ミラーに入射するけい光Ｘ線にほ
ぼ直角に電界を印加することにより、二次電子を除去す
るようにしだものである。
一定値以上のけい光Ｘ線を全反射するようにしたけい光
Ｘ線分光器において、ミラーに入射するけい光Ｘ線にほ
ぼ直角に電界を印加することにより、二次電子を除去す
るようにしだものである。
（ホ）実施例
図は本発明の一実施例を示したものである。図において
、ｌは励起用Ｘ線を発生するＸ線源であり、Ｘ線を照射
された試料２はけい光Ｘ線を発生する。３はスリットで
あシ、このスリット３を通過したけい光Ｘ線が所定角度
でミラー４に入射するような位置に配置されている。例
えば炭素を分析する場合に炭素より重い元素の特性Ｘ線
はミラー３で反射されずに吸収され、炭素および炭素よ
り軽い元素の特性Ｘ線のみが全反射されて検出器５に入
射するようになっている。６は検出器の入射窓に設けら
れたスリットである。７は炭素よシも軽い元素すなわち
所定の波長よりも大きい波長のけい光Ｘ線を遮断するだ
めのフィルタである。
、ｌは励起用Ｘ線を発生するＸ線源であり、Ｘ線を照射
された試料２はけい光Ｘ線を発生する。３はスリットで
あシ、このスリット３を通過したけい光Ｘ線が所定角度
でミラー４に入射するような位置に配置されている。例
えば炭素を分析する場合に炭素より重い元素の特性Ｘ線
はミラー３で反射されずに吸収され、炭素および炭素よ
り軽い元素の特性Ｘ線のみが全反射されて検出器５に入
射するようになっている。６は検出器の入射窓に設けら
れたスリットである。７は炭素よシも軽い元素すなわち
所定の波長よりも大きい波長のけい光Ｘ線を遮断するだ
めのフィルタである。
Ｘ線によって励起された試料２からはけい光Ｘ線の他に
二次電子も発生している。けい光Ｘ線のミラー４への入
射角が低角度であるために、けい光Ｘ線の経路が途中で
曲げられる角度は小さく、したがってスリット３を通っ
た二次電子が検出器５に入射する確率がきわめて高い。
二次電子も発生している。けい光Ｘ線のミラー４への入
射角が低角度であるために、けい光Ｘ線の経路が途中で
曲げられる角度は小さく、したがってスリット３を通っ
た二次電子が検出器５に入射する確率がきわめて高い。
電極８，９はこれらの二次電子を遮断するだめのもので
、直流電源１０により両電極８，９間に電圧を加え、け
い光Ｘ線の経路にほぼ直角に鎖交する電界を発生させる
。この電界はけい光Ｘ線には影響を与えずに二次電子の
経路を曲げることによって、二次電子をけい光Ｘ線から
分離し、二次電子が検出器５に入射するのを阻止するの
である。
、直流電源１０により両電極８，９間に電圧を加え、け
い光Ｘ線の経路にほぼ直角に鎖交する電界を発生させる
。この電界はけい光Ｘ線には影響を与えずに二次電子の
経路を曲げることによって、二次電子をけい光Ｘ線から
分離し、二次電子が検出器５に入射するのを阻止するの
である。
（へ）効 果
本発明による軽元素けい光Ｘ線分光器は上述のように、
全反射ミラーによってけい光Ｘ線を分光する方式におい
て、ミラーに入射するけい光Ｘ線にその入射方角とほぼ
直角な電界を印加するようにしたので、けい光Ｘ線と共
にスリットを通過した二次電子を、けい光Ｘ線の経路に
影響を与えることなく簡単に除去することができ、従来
けい光Ｘ線と共に検出器に入射した二次電子によって発
生していたバックグラウンドノイズを取シ除くことによ
って、検出信号のＳ ／ Ｎ比を向上し得るという利点
がある。
全反射ミラーによってけい光Ｘ線を分光する方式におい
て、ミラーに入射するけい光Ｘ線にその入射方角とほぼ
直角な電界を印加するようにしたので、けい光Ｘ線と共
にスリットを通過した二次電子を、けい光Ｘ線の経路に
影響を与えることなく簡単に除去することができ、従来
けい光Ｘ線と共に検出器に入射した二次電子によって発
生していたバックグラウンドノイズを取シ除くことによ
って、検出信号のＳ ／ Ｎ比を向上し得るという利点
がある。
図は本発明１肛元素けい光線分光器の一実施例を示す概
略斜視図である。 ｌ・・・Ｘ線源、２・・・試料、３・・・スリット、４
・・・ミラー、５・・・検出器、６・・・検出器用スリ
ット、７・・・フィルタ、８，９・・・電極、１０・・
・直流電源。 代理人 弁理士 縣 浩 介
略斜視図である。 ｌ・・・Ｘ線源、２・・・試料、３・・・スリット、４
・・・ミラー、５・・・検出器、６・・・検出器用スリ
ット、７・・・フィルタ、８，９・・・電極、１０・・
・直流電源。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (1)
- 試料を励起するＸ線源と、試料から出たけい光Ｘ線を通
過させるスリットと、スリットを通過したけい光Ｘ線の
うち所定の波長域のけい光Ｘ線を全反射させるミラーと
、全反射されたけい光Ｘ線を検出する検出器とを具えた
けい光Ｘ線分光器において、上記ミラーに入射するけい
光Ｘ線にその入射方向とほぼ直角な電界を印加する電極
を設けることにより、試料から出た二次電子を除去する
ようにして成る軽元素けい光Ｘ線分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58184131A JPS6073446A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 軽元素けい光ｘ線分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58184131A JPS6073446A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 軽元素けい光ｘ線分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6073446A true JPS6073446A (ja) | 1985-04-25 |
Family
ID=16147915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58184131A Pending JPS6073446A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 軽元素けい光ｘ線分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6073446A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6355199U (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-13 | ||
| JP2007505308A (ja) * | 2003-09-09 | 2007-03-08 | カウンシル・フォー・ザ・セントラル・ラボラトリー・オブ・ザ・リサーチ・カウンシルズ | 例えばｅｘａｆｓ（広帯域ｘ線吸収微細構造）測定での蛍光収率（ｆｙ）と全電子収率（ｔｅｙ）との分離を可能にする電離粒子分析器 |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP58184131A patent/JPS6073446A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6355199U (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-13 | ||
| JP2007505308A (ja) * | 2003-09-09 | 2007-03-08 | カウンシル・フォー・ザ・セントラル・ラボラトリー・オブ・ザ・リサーチ・カウンシルズ | 例えばｅｘａｆｓ（広帯域ｘ線吸収微細構造）測定での蛍光収率（ｆｙ）と全電子収率（ｔｅｙ）との分離を可能にする電離粒子分析器 |
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