JPS6074542A - 集積回路部品用自動検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、集積回路部品を自動的に検査し、良品、不良
品の仕分けを行う集積回路部品用自動検査装置に関する
ものである。

〔発明の背景〕

第１図は従来用いられている一般的な集積回路部品の検
査装置の斜視図である。この第１図において、集積回路
部品１の検査を行う場合、１つ１つの集積回路部品１に
ついてそれに備わる多数のリード端子２を作業者が治具
コネクタ３に装着し、測定器４のスイッチ５を操作して
測定器３のオシ５了〔 ロスコーゾの波形や計器の指針等を目視で読み取るもの
で、これにより各集積回路部品１の良否を判定するもの
であった。

しかしながらこのような検査方法では、集積回路部品１
のリード端子２は複数本あり、かつそれらは細長く軟弱
な部材であるため、コネクタ３に装着する時にリード端
子２を曲げないように慎重に取り扱う必要があり、人手
作業で行わざるを得なかった。従って、測定器４のスイ
ッチ５の操作や集積回路部品１の良否判断も人手による
点と相俟って、しかもそれらの作業が１つ１つの集積回
路部品１について行わなければならないことも含め、作
業能率が極めて悪く、量産上、隘路工程となっていた。

また、検査の信頼性が低かった。

〔発明の目的〕

本発明は上記のような実情に鑑みてなされたもので、集
積回路部品の良否検査音、集積回路部品の取り扱いの簡
易化し計った上で、不良品の仕分けに至るまで自動化し
、作業能率を大幅に高めると共に検査の信頼性化を計っ
た集積回路部品用向６頁 動検査装置を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

本発明は、複数の集積回路部品を、少なくとも各集積回
路部品のピン端子を支持した状態で搭載可能で、かつ離
脱可能の搬送治具と、この搬送治具に搭載された集積回
路部品を昇温させる昇温手段と、この昇温手段を経た前
記集積回路部品の特性の良否を自動的に検査する検査装
置本体と、この検査装置本体による検査結果に応じて良
品、不良品の仕分は動作を行う良品・不良品仕分は手段
と、前記昇温手段から良品・不良品仕分は手段間におけ
る前記搬送治具の移載および搬送を行う移載および搬送
手段とを具備し、前記集積回路部品の昇温、検査および
良品ｅ不良品仕分けを前記搬送治具単位で行うようにし
たものである。

〔発明の実施例〕

以下第２図ないし第１６図を参照して本発明の詳細な説
明する。

第２図は本発明による集積回路部品用自動検査装置の一
実施例の全体構成を示す斜視図、第３図７頁 は同上本発明装置に用いられ′る集積回路部品の搭載位
置決め用の搬送治具の一例を示す平面図、第４図は第３
図の正面図である。第５図は第３図中のｖ−ｖ線断面を
検査状態において拡大して示す図、第６図は第５図にお
いて搬送治具より集積回路部品を取り出すときの状態を
示す図である。

まず、第３図ないし第６図を参照して本発明装置に用い
られる搬送治具６について説明する。各図において７は
搬送治具６の本体をなす板状部材で、この板状部材７上
に、集積回路部品１が一定間隔で複数個、ここでは第３
図に示すように５個搭載され位置決めされる。この板状
部材７には集積回路部品１のリード端子２が嵌挿される
透孔８が穿設される。リード端子２は第５図に示すよう
にその透孔８′ｆ：貫通し、下方に突出する−と共に板
状部材７の下面側に形成された一対の固定壁９により相
対向するリード端子２０間隔の広がりが拘束される。ま
た、板状部材７の下面側中央には、その長手方向に沿っ
てＴ形杆状部材１ｏが設けられる。この場合、Ｔ形杆状
部材１ｏは、板状部材７の下面中央部に長手方向に沿っ
て形成された切欠溝１７に逆Ｔ字状に嵌挿固定されてい
る。また、前記各透孔８の入口部にはテーパ状の拡開部
１６が形成されてリード端子２の挿入時の案内としてい
る。

前記各Ｔ形杆状部材１０および板状部材７の下面相互間
の各々には一対のスライドプレート１】が第５図中左右
方向に摺動自在に設けられる。また、Ｔ形杆状部材１０
には、各集積回路部品ｌに対応して圧縮コイルばね１２
が貫通穴１２全通して設けられ、スライドプレート１１
を固定壁９側に押圧している＠さらに、前記板状部材７
には、その長手方向に直交する方向より両固定壁９に向
って貫通する穴１３および上下方向に貫通する穴１３′
が設けられている。

以上の構成により、板状部材７の透孔８内に挿入された
集積回路部品１のリード端子２はスライドプレート１１
により保持され、板状部材７下方の後述検査装置本体の
コンタクトビン１４ヲ介して検査回路基板１５に接続さ
れる。

次に・第２図に基づき本発明装置の全体を種違すると、
まず、前記集積回路部品１を搭載した搬９　了ｆ 送治具６は、前工程Ａから搬送装置１８で搬送され、位
置決め位置１９で位置決めされる。位置決めが完了する
と発生する位置決め完了信号により供給ユニツ）２０が
作動される。供給ユニッ）２０には前記搬送治具６の把
持手段２１が設けられており、この把持手段２１で前記
搬送治具６を把持固定し、上昇、旋回してロータリテー
ブルｎ上の固定ユニッ）２３に移載する。前記搬送治具
６は、固定ユニッ）２３で固定保持されつつ、通電ユニ
ッ）２４により、連続的に通電される。ロータリテーブ
ル２２の外周部には、ロータリテーブル駆動装置５と複
数個のロータリテーブル水平保持装置溜がある。また・
ロータリテーブルｎは、架台テーブル２７を介して固定
保持されており、その架台テーブルｎの下方空間部には
連続通電をさせるための集電装置列がある。さらに、ロ
ータリテーブル乙の上側中央部にはロータリテーブルｎ
上の前記搬送治具６のうち、過電流の生じたものを検出
、表示する過電流検出手段四がある。そして、第２図中
はぼ中央部分には・連続通電を終えた前記搬送治具６を
検査装置１０頁 本体側止に移載するための移載装置３１があり、可動ユ
ニット３２には前記搬送治具６の把持手段２１′がある
。移載装置３１は、フレーム３３上に２本のガイ戸レー
ル３４を固設し、モータ３５にゾールねシ３６を接続し
、このゾールねじ３６ヲモータ３５で回転させて、可動
ユニット３２をガイドレール３４に沿って移動させるも
のである。また、可動ユニット３２には、搬送治具把持
手段２１′ヲガイド軸３７ヲ介して、エアシリンダおで
上下方向に動かす構造を有する。

前記集積回路部品１は前記搬送治具６に搭載されたまま
検査装置本体（９）で良否の検査が行なわれる。検査終
了後は、第２図において搬送治具把持手段２１′で固定
保持していた前記搬送治具６を、上昇、前進させ、搬送
ベルト・ユニット３９上に搭載し、搬送ベルトユニット
３９に受け渡す。搬送ベルトユニット３９の中央部には
、搬送治具位置決め手ｆｉ４０カ搬送ベルトユニット３
９の下側に固設されている。

この搬送治具位置決め手段４ｏで位置決め、上昇させた
位置に搬送治具押圧手段４１がある。このすぐ側方圧良
品・不良品仕分は手段４２があり、良品は１１頁 良品回収用ベルトコンベア４３上に、不良品は不良品回
収ベルトコンベア４４上に置かれ、次工程Ｂに運ばれる
ものである。

以下、上述本発明装置の各部構成を詳述する。

まず、上記ロータリテーブル２２、ロータリテーブル駆
動装置２５およびロータリテーブル水平保持装置部等か
らなるロータリインデックス装置につき第７図および第
８図により説明する。第７図に卦いて、ロータリテーブ
ルｎはベアリング４６により水平に軸支されている。ロ
ータリテーブルｎの外周側にはその外周を等間隔に複数
等分した位置に各々位置決め穴４７が貫通形成されてい
る。ロータリテーブル水平保持装置がは、薄肉円盤状の
ロータリテーブル２２ヲ水平に保持するもので、ロータ
リテーブル四の外周側に例えば第８図に示す位置の３箇
所に配設される。また、第７図においてロータリテーブ
ル乙の外周側にはロータリテーブル駆動装置部の摩擦車
ωが係合している。ロータリテーブル駆動装置５には、
ばね４９等からなる抑圧手段間が設けられ、前記摩擦車
６０’（ｉ−ロータリテーブルｎ外周に密接させている
。架台５１の上面側の架台テーブル２７には、ブラケッ
ト５２が取り付けられ、ブラケット５２内にはベアリン
グ支持ブラケット５３が設けられている。ロータリテー
ブル２２の中心に設けられた回転軸５４は、ベアリング
支持ブラケット５３に挿設されたベアリング４６、スに
一す４８により軸支される。ロータリテーブル水平保持
装置２６のテーブル保持プーリ５５は、■溝を有するＶ
グーり状に形成され、ロータリテーブルｎの外周に形成
したＶ形の周端部に密接する。また、テーブル保持プー
リ５５は、架台テーブルｎ上のブロック５６に直立する
軸上部に軸着され、ロータリテーブル四の外周側の垂下
を防止し、これを水平状態に保持するようにしている。

。な、お、前記ブロック部は、押しポルト５７により架
台テーブルｎ上をロータリテーブル２２０半径方向に摺
動自在で、テーブル保持プーリ５５とロータリテーブル
２２外周との接触圧調整を可能としている。

次に、第９図ないし第１１図を参照して前記ロータリテ
ーブル２２オよびロータリテーブル水平保持１３　了ｉ 装置５と共にロータリインデックス装置を構成するロー
タリテーブル駆動装置５、押圧手段６７、位置決めピン
部７１および離□隔手段７９ヲ説明する。まず、ロータ
リテーブル駆動装置５は、摩擦車６０゜モータブラケッ
ト６１．駆動モータ６２等から構成されている。摩擦車
ωは摩擦抵抗力を大きくするためゴム等の材質を用い、
かつ前述したようにＶ溝を有するＶグーリ状に形成し、
ロータリテーブルｎの外周のＶ形の周端部に密接接合す
る位置に配設する。摩擦車ωは、モータブラケット６１
に固設された駆動モータ６２の出力軸に直結されて、回
転する。架台テーブルｎ上には、支持金具６３が相対向
して固設され、この支持金具６３には、ガイドブロック
６４がそれぞれ相対向して設けられている。

ガイドブロック餅には、架台テーブルｎ面に平行な溝が
形成され、この溝にはモータブラケット６１の外方側に
相対向して設けられた突起部６５が摺動自在に係合する
。支持金具６３の一端明相互間にはグレート６６が跨設
される。

抑圧手段６７は、ホールドピン６７′、６９、Ｌ形金具
１４？ｒ ６８およびばね７０等からなる。すなわち、上記モータ
ブラケット６１の外方（図中右方）側にはホールドピン
６７′が突出形成され、これと相対向して離隔する位置
には、Ｌ形金具６８にホールドピン６９が設けである。

この場合、Ｌ形金具絽は架台テーブルｎ上に固設される
。そしてホールドピン６７′とホールドピン６９との間
には、ばね７ｏが介在され、上述駆動装置２５ヲロータ
リテーブルｎ側に押圧ｆべ（付勢している。

位置決めピン部７１は、位置決めピン７２　、ピンブロ
ック７３オよびエアシリンダ７４等より構成されている
。このうち位置決めピン７２はロータリテーブルｎの位
置決め穴４７に嵌挿される外径を有し、ロータリテーブ
ルｎの位置決め穴４７の下方に直立して設けられ、ピン
ブロック７３の上方側に取り付けられる。ピンブロック
７３の下方側には、継手７５を介し、エアシリンダ７４
が連結されている。エアシリンダ７４はプレー）６６に
取り付けられた支持プレート７６に取り付けられる。ピ
ンブロック７３の相反する側面には各々突出部７７が設
けられ、突出部７７１５了ｆ は支持金具６３に取り付けられたガイドブロック７８の
溝部に摺動自在に支持される。

離隔手段７９は、傾斜ブロック８０，８１、ポルト８２
および調整ねじ８３等からなる。すなわち、モータブラ
ケット６１には、位置決めビン７２の挿入方向に向って
狭められる傾斜角度を形成する傾斜ブロック８０がある
。一方、位置決めビン部７１のビンブロック７３の突出
部７７の形成される側面と直交する外面側には、傾斜ブ
ロック８０と対峙する位［Ｋ傾斜ブロック８１がぎルト
８２により取り付けられている。傾斜ブロック８１は調
整ねじ８３によって上下方向に移動可能である。

次に、上述ロータリテーブル駆動装置部、押圧手段６７
、位置決めビン部７１および離隔手段７９０作用につい
て説明する。第９図に示すように、ロークリテーブル２
２には駆動装置５が係合し、摩擦車ωによりロークリテ
ーブル２２に回転力を与える。

ロータリテーブル２２は抑圧手段６７による押圧力と摩
擦車６０の摩擦力とにより円滑に回転する。この時、位
置決めビン部７１は、エアシリンダ７４の操作により、
第９図に示すように最下端に位置決めされている。従っ
て、図示の通り離隔手段７９の傾斜ブロック８０と傾斜
ブロック８１間に間隙ａが形成される。次に、第１０図
において光電スイッチ等（図示せず）によって、ロータ
リテーブル四の位置決め穴４７が所定の位置にきた旨の
信号により、エアシリンダ７４ヲ作動させて、位置決め
ビン７２全上昇させる。位置決めビン７２が上昇し、位
置決め穴４７に挿入されると、同時に傾斜ブロック８１
により傾斜ブロック８０が押され、駆動装置５の摩擦車
６０がロータリテーブル四から間隙すをもって離隔する
。従ってロータリテーブル２２が停止し、位置決めが完
了する。その後、エアシリンダ７４の下降操作により位
置決めビン７２が位置決め穴４７から抜けると、押圧手
段６７のばね７０の作用により、駆動装置５がロータリ
テーブル２２と再び係合し、常時回転させている駆動モ
ータ６２により、ロータリテーブルｎは円滑に回転を始
める。以上のように、ロータリテーブル２２に正確に形
成された位置決め穴４７に順次、位置決めビン７２ヲ嵌
挿せしめること１７頁 により、位置決め精度を確保でき、さらに位置決め穴４
７ヲ適宜の数だけ形成することにより、任意のインデッ
クス数の設定が可能である。

次に、ロータリテーブルｎ上に設置された固定ユニット
２３および搬送治具把持手段２］　、　２］’について
第１２図ないし第１４図に基づき説明する。固定ユニツ
）２３はロータリテーブル２２上に固設された通電ユニ
ット２４上にあって、搬送治具６を固定、保持するため
のユニットであり、これは第１２図に示すように、ここ
ではロータリテーブルｎ上に等間隔に１２個固設されて
いる。ロータリテーブル２２上では、搬送治具６に装着
された集積回路部品１のリード端子５に連続的に通電す
るために、接続するためのコンタクトビン（図示せず）
のばね力による反力に打ち勝って搬送治具６を浮き上ら
せないような固定手段が必要であり、このためのユニッ
トが固定ユニツ）２３である。第１３図および第１４図
から分かるように、固定ユニツ）Ｚ３は中央に段付の貫
通穴８５ヲ有し、搬送治具６の位置決めを行うペース８
６ヲ有する。ペース８６の下面には、１８頁 前記貫通穴８５の両側にそれぞれ一対のブラケット８７
によって、一対の軸８８が支持されている。これらの軸
８８には、各一対のクランパ８９が所定の間隔で軸支さ
れている。これらクランパ８９の中央部には、前記貫通
穴８５に向けて突出するアーム９０が形成され、上部に
はポールプランツヤ９１カ支持されている。金具９２は
、グラフ２８９０回動面と平行に近接対向して配置され
、この金具９２には前記ゾールプランジャ９１のだ−ル
が嵌合する一対の円錐状の穴９３ｍ　、　９３ｂが形成
されている。固定ユニツ）２３の上方側には、第１３図
中の矢印Ｃに沿って　・移動手段、すなわち第２図にお
ける移載装置３１の可動ユニット３２に付設した搬送治
具把持手段２１のメイングレート９４がある。メイング
レート９４には、前記搬送治具６を保持するチャック９
５と、前記アーム匍の上面に対向する押棒９６が支持さ
れている。

上記の構成において、前記搬送治具６を保持した搬送治
具把持手段２１がペース８６の上方に移動し、ここから
ペース８６に向けて下降して搬送治具６がアーム匍の先
端の対向面を通過すると、押棒９６が１９　−ｆＩ アーム頒に当接する。さらに搬送治具把持手段２１が下
降すると、前記搬送治具６がペース８６の貫通穴８５に
挿入位置決めされ、貫通穴８５０段部に載置される。同
時にそのアーム頒が押棒９６で押されたクランパ８９が
、その自由端に支持したゾールプランジャ９１のが−ル
の最先端が穴９３ａの緑を越える所まで回動する。する
とポール穴９３ａの中心に向って滑るため、クランパ８
９もさらに回動し、アーム頒によって搬送治具６を押え
、固定ユニット乙に固定される。次に、メインプレー）
９４から搬送治具６を取り出す場合には、搬送治具６を
チャック９５で保持し、そのまま搬送治具把持手段２１
′ヲ上昇させればよい。この時、アーム匍が前記搬送治
具６によって押し上げられるので、クランパ８９が回動
する。そしてポールプランジャ９１のゴールが、穴９３
ａから出て９３ｂに移動し、クランパｆ８９は開放状態
になる。このようにして特別の駆動源を用いることなく
搬送治具６の固定ユニツ）２３に対する着脱を行なうこ
とができる。

次に、ロータリテーブル四の下方空間部に配設した集電
装置２８およびこれによる前記搬送治具６への通電につ
いて第１５図に基づいて説明する。第１５図に示すよう
に、ロータリテーブル２２を支承する回転軸１０１の外
周には、各々回転軸１０１と同心的に導体リング１０２
　、１０３　、１０４　ｉ設ける。この導体リング１０
２　、１０３　、１０４はそれぞれ各集積回路部品１（
第３図参照）の品種、ここでは３つの品種ａ、ｂ、ｅに
対応するもので、前記搬送治具６上の各集積回路部品１
に電源子を供給する。すなわち、この導体リング１０２
〜１０４はスイッチ１１０　、１１１　、１１２により
開閉されて電源１３５の＋側に接続される。また、前記
各集積回路部品１のグランド端子を電源１３５の一側に
接続するのは、上記導体リング１０２〜１０４とは別の
導体リング１０５ヲ用いている。コントローラ１０６は
スイッチ１０７〜１１２ヲ制御するものである。集電ブ
ラシ１１３〜１１６　、１１７〜１２０は、ロータリテ
＝　フｋ　２２上の前記通電ユニッ）２４に設けられた
各ソケット、図示例ではソケット１２４〜１２６の位置
に対応して同数設け、ロータリテーブル２２に固設され
て、共２１　了・ に回転し、それぞれ導体リング１０２〜１０５外周に接
触させる。前記ソケット１２４〜１２６には、各々前記
搬送治具６および固定ユニッじＩ介して集積回路部品１
が挿入されるもので、このうちソケット１２４は端子１
２７〜１３０を有し、各端子１２７〜１３０は、それぞ
れ集電ブラシ１１３〜１１６に接続される。ソケット１
２５は端子１３１〜１３４ヲ有し、各端子１３１〜１３
４は集電ブラシ１１７〜１２０に接続される。各端子１
２７〜１３４の内、導体リング１０２　Ｋ接触する集電
ブラシ１１３　、１１７に各々接続される端子１２７　
、１３１は品種ａ用の電源端子である。導体リング１０
３に接続する集電ブラシＩＬ４，１１８は各々接続され
る端子１２８　、１３２は品種す用の電源端子であり、
導体リング１０４に接触する集電ブラシ１１５　、１１
９　Ｋ各々接続される端子１２９　、１３３は品種Ｃ用
の電源端子である。導体リング１０５に接触する集電ブ
ラシ１１６　、１２０に各々接続される端子１３０　、
１３４はグランド端子である。なお、ソケット１２６に
接続される集電ブラシも各導体リング１０２〜１０５に
接′触しているがソケット１２４　、１２５η　エ１ と同様であるので、ここでは図示省略している。

また、導体リング１０２は３つの導体部１０２ａ　、　
１０２ｂ。

１０２ｃに分割して構成されている。各導体部１０２ａ
〜１０２ｃは同材質の導体からなり、またそれら相互間
は絶縁部１０２ｄによって絶縁されている。ここで、導
体部１０２ａは搬送治具供給位置１４１に対応しており
、導体部１０２ｂは搬送治具取出位置１４２に対応し、
導体部１０２ｃはその他の位置に対応している・ 次に、上述した集電装置あの動作を説明する。

第１５図において、品種ａに電源を供給するためにコン
トローラ１０６によりスイッチ１０７　、１０８．１０
９をａ端子側に倒し、さらにスイッチ１１１　、１１２
ｔ−投入する。搬送治具供給位置１４１において、前記
搬送治具６を供給する時はスイッチ１１０　’ｉ　ＯＦ
Ｆにしておき、供給後スイッチ１１０を投入する。する
とスイッチ１０９ヲ介して導体リング１０２の１０２ａ
に電源＋側が接続され、集電ブラシ１１３ｔ−介してン
ケツ）　１２４０品種ａ用のａ用端子１２７　ＪＣ電源
＋側が接続される。一方、導体リング１０５とこれに２
３了ｆ 接触する集電ブラシ１１６　ｆ：介してソケット１２４
σ）グランド端子１３０は常に電源−側と接続されてし
）るので、このスイッチ１１０投入の時点から、ソケッ
ト１２４に供給された品種ａへの通電が開始される。ロ
ータリテーブルｎが回転すると、集電ブラシ１】３は部
品供給位置１０２ａから外れ、直ちに次のその他の位置
１０２ｃ　Ｉｃ接触し、すでに投入されて℃するスイッ
チ１１２　、１０７　ｅ介して、品種ａには連続して電
源供給がされる。従って、品種ａの集積回路部品１はロ
ータリテーブル四の回転中連続して通電される。搬送治
具取出位置１４２に対応する導体部１０２ｂにおいて、
前記搬送治具６′１に移載位置３１の搬送治具把持手段
２１′で取り出す時は導体部１０２ｂへの通電を断つこ
とが必要であり・このためにスイッチ１１１を開き、電
源＋側の接続を停止する。例えば、集積回路部品１が挿
入されたソケット１２４が、搬送治具取出位置１４２に
きた時、集電ブラシ１１３はそれに対応する位置１０２
ｂに接触している。従って、この時にロータリテーブル
２２を停止させ、つづいてスイッチ１１１ｔ−開くこと
により、この位置１０２ｂ−＼の通電を停止させれば、
他の集積回路部品１への通電には影響を与えることなく
、取り出すべき集積回路部品１のみの通電停止を行える
ものである。品種すまたはＣの通電を行なう場合は、コ
ントローラ１０６によりスイッチ１０７〜１０９　ｅ　
ｂ側あるいはＣ側に倒して上述と同様の操作を行なう。

第１５図においてはソケットが３個の例を示しているが
、更に多い場合も同様である。

なお、以上述べた通電は、検査され、る集積回路部品１
への連続的な通電により、集積回路部品１を熱的、電気
的に平衡状態を保たせて、検査前に安定状態を維持させ
る目的をもって行われるのであるが、この目的達成の友
めの別方法として、ヒートブロック等を用いて、集積回
路部品１を直接、熱的に昇温させ、安定状態を維持させ
る方法を採ってもよい。

上述通電がなされた前記搬送治具６は、第２図、第５図
および第１５図において、ロータリテーブルρ上の搬送
治具取出位置１４２から移載装置３１に付設された搬送
治具把持手段２１′で把持された後、移２５　了［ 載装置３１の可動ユニット３２で所定の位置に移動され
る。所定位置で搬送治具把持手段２１′ヲ下降させ、前
記搬送治具６を下降させると、集積回路部品１のリード
端子２が検査装置本体間のコンタクトビン１４に接触さ
れる。

この後に各集積回路部品１の特性検査を行なうもので、
以下、この検査を行う検査装置本体３０ｉ第１６図に基
づいて説明する。第１６図にお０て、１４５ハペースプ
レートで、このペースグレート１４５に設けた位置決め
穴１４６に嵌合する位置決めピン１４７ヲ架台テーブル
ｎに固設して前記移載装置３１ニオケるペースプレート
１４５の位置を決めるＯペースグレート１４５の左右端
部には側板１４Ｂ、前後には、面板１４９ヲ各々立設し
、さらにこれらの上部に、メインプレート１５０を固設
してｔする。メインプレート１５０には、前記搬送治具
６上の集積回路部品１の各リード端子２に対応してコン
タクトビン１４ヲ立股している。この場合メインプレー
ト、１５０とコンタクトビン１４間は絶縁されている。

また、コンタクトピン１４の位置は、位置決め穴あ頁 １４６に対して、正確に設定されている。そして側板１
４８にはコネクタ１５１が設けられ、こσ〕コネクタ１
５１は、コンタクトビン１４と接続された検査装置本体
Ｉ内の検査回路基板１５（第５図参照）に接続され、図
示してよいコネクタおよびコードを介して測定制御装置
（図示せず）に接続される。検査回路基板１５および測
定制御装置は、コンタクトピン１４にリード端子２を介
して接続された集積回路部品１の特性の良否を検査し、
その結果を良品・不良品仕分は手段４２に送る。

搬送治具位置決め手段４０は、その先端のピンを搬送治
具６の穴１３′に挿入してその搬送治具６の位置決めを
する（第６図中矢印り参照）。

搬送治具押圧手段４１は、その先端のピンを位置決めさ
れた上記搬送治具６の穴１３に挿入して搬送治具６のス
ライドプレー）　１１　ｔ”コイルはね１２の押圧力に
抗して押圧し、固定壁９とによる集積回路部品１のピン
端子２の支持を解く（第６図中矢印Ｅ参照）。

良品・不良品仕分は手段４２は、ピン端子２０支２７了
ｌ 持が解かれた搬送治具６上の上記集積回路部品１の各々
について、検査装置本体側からの信号に従ってコンベア
４２または４３に良品・不良品に振り分けて供給する。

〔発明の効果〕 以上述べたように本発明は、複数の集積回路部品を、少
なくとも各集積回路部品のビン端子を支持した状態で搭
載可能で、かつ離脱可能の搬送治具を用い、この搬送治
具単位で集積回路部品の昇温、検査および良品・不良品
仕分けを行うようにしたので、集積回路部品の良否検査
における取り扱いが簡易化される。従って、良品・不良
品の仕分けに至るまでの自動化が例えば上述実施例のよ
うに容易に達成でき、従前の目視検査に比べて作業能率
を大幅に高めることができると共に検査の高信頼性化を
計ることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の検査装置の斜視図、第２図は本発明によ
る集積回路部品用自動検査装置の一実施例の全体構成を
示す斜視図、第３゛図は同上本発明装置に用いられる集
積回路部品の搭載位置決め用の搬送治具の一例を示す平
面図、第４図は第３図の正面図、第５図は第３図中のｖ
−ｖ線断面を検査状態において拡大して示す図、第６図
は第５図において搬送治具より集積回路部品を取り出す
ときの状態を示す図、第７図は第２図中のロータリイン
デックス装置部分を取り出して示す一部切断側面図、第
８図は第７図の平面図、第９図は第２図中のロータリテ
ーブル駆動装置およびその周辺部分をロータリテーブル
駆動状態について拡大して示す一部切断側面図、第１０
図は同じくロータリテーブル停止状態について拡大して
示す一部切断側面図、第１１図は第９図の平面図、第１
２図は第２図中のロータリテーブル上に固定ユニッ）を
介して搬送治具が固定された状態を示す平面図、第１３
図は第１２図中の■−ＸＩ線断面拡大図、第１４図は第
１３図中のＸＩＶ　−ＸＩＶ線断面一部省略拡大図、第
１５図は第２図中のロータリテーブルおよび集電装置部
分全敗り出し拡大して示す一部切断斜視図、第１６図は
第２図中の検査装置本体全敗り出し拡大し２９頁 て示す斜視図である。 １・・・集積回路部品、２・・・リード端子、６・・・
搬送治具、７・・・板状部材、８・・・透孔、９・・・
固定壁、１１・・・スライドグレート、１２・・・圧縮
コイルばね、２１゜２１′・・・搬送治具把持手段、２
２・・・ロータリテーブル、田・・・固定ユニット、冴
・・・通電ユニット、５・・・ロータリテーブル駆動装
置、２６・・・ロータリテーブル水平保持装置、あ・・
・集電装置、（９）・・・検査装置本体、３１・・・移
載装置、３９・・・搬送ベルトユニット、４１・・・搬
送治具押圧手段、４２・・・良品・不良品仕分は手段、
４７・・・位置決め穴、艶・・・押圧手段、５４川回転
軸、６０・・・摩擦車、６２・・・駆動モータ、７１・
・・位置決めビン部、７２・・・位置決めビン、７９・
・・離隔手段、１０２〜１０５・・・導体リング、１０
６・・・コントローラ、１０７〜１１２・・・スイッチ
、１１３〜１２０・・・集電ブラシ、１２４〜１２６・
・・ソケット、１２７〜１３４・・・端子、１３５・・
・電源。 代理人弁理士　秋　本　正　実 弟　１図 １８８図 ２６ 第９図 第１３図 Ｃ 特開昭ＧＯ−７４５４２（１３） ３０ １４６　１４７

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数の集積回路部品を、少なくとも各集積回路部品
   のビン端子を支持し次状態で搭載可能で、かつ離脱可能
   の搬送治具と、この搬送治具に搭載された集積回路部品
   を昇温させる昇温手段と、この昇温手段を経た前記集積
   回路部品の特性の良否を自動的に検査する検査装置本体
   と、この検査装置本体による検査結果に応じて良品、不
   良品の仕分は動作を行う良品・不良品仕分は手段と、前
   記昇温手段から良品・不良品仕分は手段間における前記
   搬送治具の移載および搬送を行う移載および搬送手段と
   を具備し、前記集積回路部品の昇温、検査および良品・
   不良品仕分けを前記搬送治具単位で行うようにしたこと
   を特徴とする集積回路部品用自動検査装置。 ２、前記搬送治具は、集積回路部品のリード端子が嵌挿
   される透孔が形成されると共忙裏面側の前記透孔端部に
   この透孔から突出する前記り−・ド２頁 端子の先端部を除く部分の一方側に当接すべく固　。 定壁を形成した板状部材と、この板状部材の裏面側に摺
   動自在に設けられ、前記固定壁に遠近動可能のスライド
   プレートと、このスライドグレートを前記固定壁側に付
   勢する付勢手段とを備え、前記板状部材には抑圧体を挿
   入することによりこれが前記スライドプレートに当接し
   、それを前記付勢手段による付勢に抗して前記固定壁か
   ら離隔させるべく前記固定壁に向う貫通穴が穿設されて
   なる特許請求の範囲第１項記載の自動検査装置。 ３、前記昇温手段は、水平状態に保持されたロータリデ
   ープルを集積回路部品が搭載された搬送治具が供給され
   る毎に所定角度回転させるロータリインデックス装置と
   、前記搬送治具に搭載された集積回路部品のリード端子
   が挿入される前記ロータリテーブル上のソケットと、前
   記ロータリテーブルに対する前記搬送治具の供給および
   取り出しタイミングに合わせて前記ソケットを介して前
   記集積回路部品に昇温のための電源を供給する集電装置
   とを備えてなる特許請求の範囲第１項また３　了１ は第２項記載の自動検査装置。 ４、　前記ロータリインデックス装置は、中心部に回転
   軸が固設され、外周近傍に位置決め穴が形成されたロー
   タリテーブルの外周部分に設けられ、ロータリテーブル
   を水平状態に保持するロータリテーブル水平保持装置と
   、前記ロータリテーブルの外周部分に設けられた摩擦車
   を有すると共にこの摩擦車を駆動する駆動モータを有し
   てなるロータルテーブル駆動装置と、この駆動装置を押
   圧して前記摩擦車を前記ロータリテーブルの外周に密接
   させる抑圧手段と、前記位置決め穴に出入自在のビンを
   有する位置決めビン部と、この位置決めビン部のビンが
   前記位置決め穴に挿入されるときに前記ロータリテーブ
   ル駆動装置を前記押圧手段による抑圧方向と反対方向に
   押圧して前記摩擦車を前記ロータリテーブルの外周から
   離隔する離隔手段とを備えてなる特許請求の範囲第３項
   記載の自動検査装置。 ５、前記集電装置は、ロータリテーブルを軸支する軸に
   嵌着された導体リングと、搬送治具に搭載された集積回
   路部品のリード端子が挿入される前記ロータリテーブル
   上のソケットの所定の端子に接続され、前記ロータリテ
   ーブルが回転することにより前記導体リングの外周を摺
   動する集電ブラシと、前記導体リング、集電ブラシおよ
   びソケット？介して前記集積回路部品に所定のタイミン
   グで電源供給する電源供給手段とを備えてなる特許請求
   の範囲第３項記載の自動検査装置。