JPH0480347B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、集積回路部品を自動的に検査し、良
品、不良品の仕分けを行う集積回路部品用自動検
査装置に関するものである。

〔発明の背景〕

第１図は従来用いられている一般的な集積回路
部品の検査装置の斜視図である。この第１図にお
いて、集積回路部品１の検査を行う場合、１つ１
つの集積回路部品１についてそれに備わる多数の
リード端子２を作業者が治具コネクタ３に装着
し、測定器４のスイツチ５を操作して測定器４の
オシロスコープの波形や計器の指針等を目視で読
み取るもので、これにより各集積回路１の良否を
判定するものであつた。

しかしならこのような検査方法では、集積回路
部品１のリード端子２は複数本あり、かつそれら
は細長く軟弱な部材であるため、コネクタ３に装
着する時にリード端子２を曲げないように慎重に
取り扱う必要があり、人手作業で行わざるを得な
かつた。従つて、測定器４のスイツチ５の操作や
集積回路部品１の良否判断も人手による点と相俟
つて、しかもそれらの作業が１つ１つの集積回路
部品１について行わなければならないことも含
め、作業能率が極めて悪く、量産上、隘路工程と
なつていた。また、検査の信頼性が低かつた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記事情に鑑みて、集積回路
部品の自動取り扱いを簡素化して集積回路部品へ
のエネルギー供給、集積回路部品の良否の検査お
よび良品・不良品の仕分けを能率よく、しかも高
信頼度で実現するようにした集積回路部品用自動
検査装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明は、上記目的を達成するために、各集積
回路部品に列状に植設されたリード端子の各々を
表面側から嵌挿する透孔を列状に形成すると共に
該透孔の各々の裏側端部近傍に固定壁を形成し、
前記透孔に表面側から嵌挿されたリード端子を裏
面側に突出するように形成した板状部材と、該板
状部材の裏面側において前記固定癖に対向して摺
動自在に支持されたスライドプレートと、該スラ
イドプレートを前記固定壁に向けて付勢して前記
透孔に表面側から嵌挿されたリード端子を前記固
定壁に押し付けて位置決めして狭持する付勢手段
とを備え、複数の集積回路部品を並べて搭載した
搬送治具を順次供給する供給手段と、該供給手段
によつて順次供給される搬送治具を搬送しながら
該搬送治具に搭載された複数の集積回路部品にエ
ネルギーを与えて集積回路部品を安定状態に維持
させるエネルギー供給・搬送手段と、該エネルギ
ー供給・搬送手段から順次搬送治具を取り出して
検査位置まで移送する移送手段と、該移送手段に
よつて順次移送される搬送図義を前記検査位置に
おいて位置決めし、回転基板に電気的に接続され
てメインプレート上に絶縁されて立設されたコン
タクトピンに前記搬送治具に搭載されて板状部材
から裏側に突出されたリード端子を接触させて前
記回路基板を通して前記各集積回路部品の特性を
検査して良否の判定をする検査装置と、該検査装
置において検査された複数の集積回路部品を搭載
した搬送治具を仕分け位置まで移送して該仕分け
位置において前記搬送治具を位置決めし、押圧部
材で前記板状部材上の前記各集積回路部品の間の
側面に穿設された穴を通して前記付勢手段による
付勢に抗して前記スライドプレートを押圧してリ
ード端子の狭持を解除させ、該解除された各集積
回路部品を前記検査装置で判定された良否に応じ
て前記搬送治具から取り出して良品と不良品とに
仕分ける動作を行う良品・不良品仕分け手段とを
備え、前記集積回路部品へのエネルギー供給、検
査および仕分けを搬送治具単位毎に順次行うよう
に構成したことを特徴とする集積回路部品用自動
検査装置である。

〔発明の実施例〕

以下第２図ないし第１６図を参照して本発明の
実施例を説明する。

第２図は本発明による集積回路部品用自動検査
装置の一実施例の全体構成を示す斜視図、第３図
は同上本発明装置に用いられる集積回路部品の搭
載位置決め用の搬送治具の一例を示す平面図、第
４図は第３図の正面図である。第５図は第３図に
示す如く搬送治具に搭載された複数の集積回路部
品の特性の良否について検査を検査装置本体が設
置された個所で行う状態を第３図中の−線断
面で拡大して示した図、第６図は第５図において
搬送治具より集積回路部品の取り出すときの状態
を示す図である。

まず、第３図ないし第６図を参照して本発明装
置に用いられる搬送治具６について説明する。各
図において７は搬送治具６の本体をなす板状部材
で、この板状部材７上に、集積回路部品１が一定
間隔で複数個、ここでは第３図に示すように５個
搭載され位置決めされる。この板状部材７には集
積回路部品１のリード端子２が嵌挿される透孔８
が穿設される。リード端子２は第５図に示すよう
にその透孔８を貫通し、下方に突出すると共に板
状部材７の下面側に形成された一対の固定壁９に
より相対向するリード端子２の間隔の広がりが拘
束される。また、板状部材７の下面側中央には、
その長手方向に沿つてＴ形杆状部材１０が設けら
れる。この場合、Ｔ形杆状部材１０は、板状部材
７の下面中央部に長手方向に沿つて形成された切
欠溝１７に逆Ｔ字状に嵌挿固定されている。ま
た、前記各透孔８の入口部にはテーパ状の拡開部
１６が形成されてリード端子２の挿入時の案内と
している。

前記各Ｔ形杆状部材１０および板状部材７の下
面相互間の各々には一対のスライドプレート１１
が第５図中左右方向に摺動自在に設けられる。ま
た、Ｔ形杆状部材１０には、各集積回路部品１に
対応して圧縮コイルばね１２が貫通穴１２を通し
て設けられ、スライドプレート１１を固定壁９側
に押圧している。さらに、前記板状部材７には、
その長手方向に直行するより両固定壁９に向つて
貫通する穴１３および上下方向に貫通する穴１
３′が設けられている。

以上の構成により、搬送治具６は、複数の集積
回路部品１を、各集積回路部品１のリード端子２
を支持した状態で搭載可能となる。これについ
て、以下に詳述する。

まず、集積回路部品１を搬送治具６に搭載する
前、すなわち、リード端子２が搬送治具６のスラ
イドプレート１１および固定癖９相互間に挿入さ
れる前にあつては（常時は）、スライドプレート
１１は圧縮コイルばね１２の復元ばね力によつて
板状部材７の固定壁９側に押圧され、固定壁９に
当接しているので、スライドプレート１１および
固定壁９相互間に間〓は形成されていない。

集積回路部品１を搬送治具６に搭載するに当た
つては、搬送治具位置決め手段４０の先端部を搬
送治具６の穴１３′に挿入して搬送治具６を位置
決めした後、搬送治具押圧手段４１，４１を穴１
３，１３に挿入してスライドプレート１１，１１
を搬送治具中央部に向け、圧縮コイルばね１２の
ばね力に抗して押圧する。これにより、スライド
プレート１１，１１は搬送治具中央部に向けて僅
かに移動し、固定壁９，９との間に間〓を形成す
る。この間〓に、搬送治具６の透孔８に挿入され
搬送治具裏面側に突出する集積回路部品１のリー
ド端子２が挿通される。挿通後、搬送治具押圧手
段４１，４１を元の位置（第６図に示す位置）に
戻せば、スライドプレート１１，１１は圧縮コイ
ルばね１２の復元ばね力によつて前記固定壁９，
９側に押圧される。この際、各スライドプレート
１１および固定壁９との間には集積回路部品１の
リード端子２が挿通されており、このリード端子
２は前記圧縮コイルばね１２の復元ばね力により
スライドプレート１１および固定壁９相互間に保
持、固定される。なお、保持、固定されたリード
端子２の先端は、板状部材７下方の後述検査装置
本体のコンタクトピン１４を介して検査回路基板
１５に接続される。

リード端子２の保持、固定の解除は、リード端
子２のスライドプレート１１および固定壁９相互
間（間〓）への挿通時と同様に、搬送治具押圧手
段４１，４１を穴１３，１３に挿入し、圧縮コイ
ルばね１２のばね力に抗して各スライドプレート
１１を搬送治具中央部に向けて押圧し、固定壁９
との間に再度間〓を形成させればよい。この状態
で、集積回路部品１を引き上げれば、集積回路部
品１は搬送治具６から離脱される。

次に、第２図に基づき本発明装置の全体を概述
すると、まず、前記集積回路部品１を搭載した搬
送治具６は、前工程Ａから搬送装置１８で搬送さ
れ、位置決め位置１９で位置決めされる。位置決
めが完了すると発生する位置決め完了信号により
供給ユニツト２０が作動される。供給ユニツト２
０には前記搬送治具６の把持手段２１が設けられ
ており、この把持手段２１で前記搬送治具６を把
持固定し、上昇、旋回してロータリテーブル２２
上の固定ユニツト２３に移載する。前記搬送治具
６は、固定ユニツト２３で固定保持されつつ、通
電ユニツト２４により、連続的に通電される。ロ
ータリテーブル２２２の外周部には、ロータリテ
ーブル駆動装置２５と複数個のロータリテーブル
水平保持装置２６がある。また、ロータリテーブ
ル２２は、架台テーブル２７を介して固定保持さ
れており、その架台テーブル２７の下方空間部に
は連続通電をさせるための集電装置２８がある。
さらに、ロータリテーブル２２の上側中央部には
ロータリテーブル２２上の前記搬送治具６のう
ち、過電流の生じたものを検出、表示する過電流
検出手段２９がある。そして、第２図中ほぼ中央
部分には、連続通電を終えた前記搬送治具６を検
査装置本体３０上に移載するための移載装置３１
があり、可動ユニツト３２には前記搬送治具６の
把持手段２１′がある。移載装置３１は、フレー
ム３３上に２本のガイドレール３４を固設し、モ
ータ３５にボールねじ３６を接続し、このボール
ねじ３６をモータ３５で回転させて、可動ユニツ
ト３２をガイドレール３４に沿つて移動させるも
のである。また、可動ユニツト３２には、搬送治
具把持手段２１′をガイド軸３７を介して、エア
シリンダ３８で上下方向に動かす構造を有する。

前記集積回路部品１は前記搬送治具６に搭載さ
れたまま検査装置本体３０で良否の検査が行なわ
れる。検査終了後は、第２図において搬送治具把
持手段２１′で固定保持していた前記搬送治具６
を、上昇、前進させ、搬送ベルトユニツト３９上
に搭載し、搬送ベルトユニツト３９に受け渡す。
搬送ベルトユニツト３９の中央部には、搬送治具
位置決め手段４０が搬送ベルトユニツト３９の下
側に固設されている。この搬送治具位置決め手段
４０で位置決め、上昇させた位置に搬送治具押圧
手段４１がある。このすぐ側方に良品・不良品仕
分け手段４２があり、良品は良品回収用ベルトコ
ンベア４３上に、不良品は不良品回収ベルトコン
ベア４４上に置かれ、次工程Ｂに運ばれるもので
ある。

以下、上述本発明装置の各部構成を詳述する。
まず、上記ロータリテーブル２２、ロータリテー
ブル駆動装置２５およびロータリテーブル水平保
持装置２６等からなるロータリインデツクス装置
につき第７図および第８図により説明する。第７
図において、ロータリテーブル２２はベアリング
４６により水平に軸支されている。ロータリテー
ブル２２の外周側にはその外周を等間隔に複数等
分した位置に各々位置決め穴４７が貫通形成され
ている。ロータリテーブル水平保持装置２６は、
薄肉円盤状のロータリテーブル２２を水平に保持
するもので、ロータリテーブル２２の外周側に例
えば第８図に示す位置の３箇所に配設される。ま
た、第７図においてロータリテーブル２２の外周
側にはロータリテーブル駆動装置２５の摩擦車６
０が係合している。ロータリテーブル駆動装置２
５には、ばね４９等からなる押圧手段５０が設け
られ、前記摩擦車６０をロータリテーブル２２外
周に密接させている。架台５１の上面側の架台テ
ーブル２７には、ブラケツト５２が取り付けら
れ、ブラケツト５２内にはベアリング支持ブラケ
ツト５３が設けられている。ロータリテーブル２
２の中心に設けられた回転軸５４は、ベアリング
支持ブラケツト５３に挿設されたベアリング４
６、スペーサ４８により軸支される。ロータリテ
ーブル水平保持装置２６のテーブル保持プーリ５
５は、Ｖ溝を有するＶプーリ状に形成され、ロー
タリテーブル２２の外周に形成したＶ形の周端部
に密接する。また、テーブル保持プーリ５５は、
架台テーブル２７上のブロツク５６に直立する軸
上部に軸着され、ロータリテーブル２２の外周側
の垂下を防止し、これを水平状態に保持するよう
にしている。なお、前記ブロツク５６は、押しボ
ルト５７により架台テーブル２７上をロータリテ
ーブル２２の半径方向に摺動自在で、テーブル保
持プーリ５５とロータリテーブル２２外周との接
触圧調整を可能としている。

次に、第９図ないし第１１図を参照して前記ロ
ータリテーブル２２およびロータリテーブル水平
保持装置２６と共にロータリインデツクス装置を
構成するロータリテーブル駆動装置２５、押圧手
段６７、位置決めピン部７１および離隔手段７９
を説明する。まず、ロータリテーブル駆動装置２
５は、摩擦車６０、モータブラケツト６１、駆動
モータ６２等から構成されている。摩擦車６０は
摩擦抵抗力を大きくするためゴム等の材質を用
い、かつ前述したようにＶ溝を有するＶプーリ状
に形成し、ロータリテーブル２２の外周のＶ形の
周端部に密接接合する位置に配設する。摩擦車６
０は、モータブラケツト６１に固設された駆動モ
ータ６２の出力軸に直結されて、回転する。架台
テーブル２７上には、支持金具６３が相対向して
固設され、この支持金具６３には、ガイドブロツ
ク６４がそれぞれ相対向して設けられている。ガ
イドブロツク６４には、架台テーブル２７面に平
行な溝が形成され、この溝にはモータブラケツト
６１の外方側に相対向して設けられた突起部６５
が摺動自在に係合する。支持金具６３の相互間の
一端にはプレート６６が跨設される。

押圧手段６７は、ホールドピン６７′，６９、
Ｌ形金具６８および７０等からなる。すなわち、
上記モータブラケツト６１の外方（図中右方）側
にはホールドピン６７′が突出形成され、これと
相対向して離隔する位置には、Ｌ形金具６８にホ
ールドピン６９が設けてある。この場合、Ｌ形金
具６８は架台テーブル２７上に固設される。そし
てホールドピン６７′とホールドピン６９との間
には、ばね７０が介在され、上述駆動装置２５を
ロータリテーブル２２側に押圧すべく付勢してい
る。

位置決めピン部７１は、位置決めピン７２、ピ
ンブロツク７３およびエアシリンダ７４等より構
成されている。このうち位置決めピン７２はロー
タリテーブル２２の位置決め穴４７に嵌挿される
外径を有し、ロータリテーブル２２の位置決め穴
４７の下方に直立して設けられ、ピンブロツク７
３の上方側に取り付けられる。ピンブロツク７３
の下方側には、継手７５を介し、エアシリンダ７
４が連結されている。エアシリンダ７４はプレー
ト６６に取り付けられた支持プレート７６に取り
付けられている。ピンブロツク７３の相反する側
面には各々突出部７７が設けられ、突出部７７は
支持金具６３に取り付けられたガイドブロツク７
８の溝部に摺動自在に支持される。

離隔手段７９は、傾斜ブロツク８０，８１、ボ
ルト８２および調整ねじ８３等からなる。すなわ
ち、モータブラケツト６１には、位置決めピン７
２の挿入方向に向つて狭められる傾斜角度を形成
する傾斜ブロツク８０がある。一方、位置決めピ
ン部７１のピンブロツク７３の突出部７７の形成
される側面と直交する外面側には、傾斜ブロツク
８０と対峙する位置に傾斜ブロツク８１がボルト
８２により取り付けられている。傾斜ブロツク８
１は調整ねじ８３によつて上下方向に移動可能で
ある。

次に、上述ロータリテーブル駆動装置２５、押
圧手段６７、位置決めピン部７１および離隔手段
７９の作用について説明する。第９図に示すよう
に、ロータリテーブル２２には駆動装置２５が係
合し、摩擦車６０によりロータリテーブル２２に
回転力を与える。ロータリテーブル２２は押圧手
段６７により押圧力と摩擦車６０の摩擦力とによ
り円滑に回転する。この時、位置決めピン部７１
は、エアシリンダ７４の操作により、第９図に示
すように最下端に位置決めされている。従つて、
図示の通り離隔手段７９の傾斜ブロツク８０と傾
斜ブロツク８１間に間隙ａが形成される。次に、
第１０図において光電スイツチ等（図示せず）に
よつて、ロータリテーブル２２の位置決め穴４７
が所定の位置にきた旨の信号により、エアシリン
ダ７４を作動させて、位置決めピン７２を上昇さ
せる。位置決めピン７２が上昇し、位置決め穴４
７に挿入されると、同時に傾斜ブロツク８１によ
り傾斜ブロツク８０が押され、駆動装置２５摩擦
車６０がロータリテーブル２２から間隙ｂをもつ
て離隔する。従つてロータリテーブル２２が停止
し、位置決めが完了する。その後、エアシリンダ
７４の下降操作により位置決めピン７２が位置決
め穴４７から抜けると、押圧手段６７のばね７０
の作用により、駆動装置２５がロータリテーブル
２２と再び係合し、常時回転させている駆動モー
タ６２により、ロータリテーブル２２は円滑に回
転を始める。以上のように、ロータルテーブル２
２に正確に形成された位置決め穴４７に順次、位
置決めピン７２を嵌挿せしめることにより、位置
決め精度を確保でき、さらに位置決め穴４７を適
宜の数だけ形成することにより、任意のインデツ
クス数の設定が可能である。

次に、ロータリテーブル２２上に設置された固
定ユニツト２３および搬送治具把持手段２１，２
１′について第１２図ないし第１４図に基づき説
明する。固定ユニツト２３はロータリテーブル２
２上に固設された通電ユニツト２４上にあつて、
搬送治具６を固定、保持するためのユニツトであ
り、これは第１２図に示すように、ここではロー
タリテーブル２２上に等間隔に12個固設されてい
る。ロータリテーブル２２上では、搬送治具６に
装着された集積回路部品１のリード端子５に連続
的に通電するために、接続するたコンタクトピン
（図示せず）のばね力による反力に打ち勝つて搬
送治具６を浮き上げせないような固定手段が必要
であり、このためのユニツトが固定ユニツト２３
である。第１３図および第１４図から分かるよう
に、固定ユニツト２３は中央に段付の貫通穴８５
を有し、搬送治具６の位置決めを行うベース８６
有する。ベース８６の下面には、前記貫通穴８５
の両側にそれぞれ一対のブラケツト８７によつ
て、一対の軸８８が支持されている。これらの軸
８８には、各一対のクランパ８９が所定の間隔で
軸支されている。これらクランパ８９の中央部に
は、前記貫通穴８５に向けて突出するアーム９０
が形成され、上部にはボールプランジヤ９１が支
持されている。金具９２は、クランパ８９の回動
面と平行に近接対向して配置され、この金具９２
には前記ボールプランジヤ９１が嵌合する一対の
円錐状の穴９３ａ，９３ｂが形成されている。固
定ユニツト２３の上方側には、第１３図中の矢印
Ｃに沿つて移動手段、すなわち第２図における移
載装置３１の可動ユニツト３２に付設した搬送治
具把持手段２１のメインプレート９４がある。メ
インプレート９４には、前記搬送治具６を保持す
るチヤツク９５と、前記アーム９０の上面に対向
する押棒９６が支持されている。

上記の構成において、前記搬送治具６を保持し
た搬送図義把持手段２１がベース８６の上方に移
動し、ここからベース８６に向けて下降した搬送
治具６がアーム９０の先端の対向面を通過する
と、押棒９６がアーム９０に当接する。さらに搬
送治具把持手段２１が下降すると、前記搬送治具
６がベース８６の貫通穴８５に挿入位置決めさ
れ、貫通穴８５の段部に載置される。同時にその
アーム９０が押棒９６で押されたクランパ８９
が、その自由端に支持したボールプランジヤ９１
のボールの最先端が穴９３ａの縁を越える所まで
回動する。するとボール穴９３ａの中心に向つて
滑るため、クランパ８９もさらに回動し、アーム
９０によつて搬送治具６を押え、固定ユニツト２
３に固定される。次に、メインプレート９４ら搬
送治具６を取り出す場合には、搬送治具６をチヤ
ツク９５で保持し、そのまま搬送治具把持手段２
１′を上昇させればよい。この時、アーム９０が
前記搬送治具６によつて押し上げらるので、クラ
ンパ８９が回動する。そしてボールプランジヤ９
１１のボールが、穴９３ａから出て９３ｂに移動
し、クランパ８９は開放状態になる。このように
して特別の駆動源を用いることなく搬送治具６の
固定ユニツト２３に対する着脱を行なうことがで
きる。

次に、ロータリテーブル２２の下方空間部に配
設した集電装置２８およびこれによる前記搬送治
具６への通電について第１５図に基づいて説明す
る。第１５図に示すように、ロータリテーブル２
２を支承する回転軸１０１の外周には、各々回転
軸１０１と同心的に導体リング１０２，１０３，
１０４を設ける。この導体リング１０２，１０
３，１０４はそれぞれ各集積回路部品１（第３図
参照）の品種、ここでは３つの品種ａ，ｂ，ｃに
対応するもので、前記搬送治具６上の各集積回路
部品１の電源＋を供給する。すなわち、この導体
リング１０２〜１０４はスイツチ１１０，１１
１，１１２により開閉されて電源１３５の＋側に
接続される。また、前記各集積回路部品１のグラ
ンド端子を電源１３５の−側に接続するのは、上
記導体リング１０２〜１０４とは別の導体リング
１０５を用いている。コントローラ１０６はスイ
ツチ１０７〜１１２を制御するももである。集電
ブラシ１１３〜１１６、１１７〜１２０は、ロー
タリテーブル２２上の前記通電ユニツト２４に設
けられた各ソケツト、図示例ではソケツト１２４
〜１２６の位置に対応して同数設け、ロータリテ
ーブル２２に固設されて、共に回転し、それぞれ
導体リング１０２〜１０５外周に接触させる。前
記ソケツト１２４〜１２６には、各々前記搬送治
具６および固定ユニツト２３を介して集積回路部
品１が挿入されるもので、このうちソケツト１２
４は端子１２７〜１３０有し、各端子１２７〜１
３０は、それぞれ集電ブラシ１１３〜１１６に接
続される。ソケツト１２５は端子１３１〜１３４
を有し、各端子１３１〜１３４は集電ブラシ１１
７〜１２０に接続される。各端子１２７〜１３４
内の、導体リング１０２に接触する集電ブラシ１
１３，１１７に各々接続される端子１２７，１３
１は品種ａ用の電源端子である。導体リング１０
３に接続する集電ブラシ１１４，１１８は各々接
続される端子１２８，１３２は品種ｂ用の電源端
子であり、導体リング１０４に接触する集電ブラ
シ１１５，１１９に各々接続される端子１２９，
１３３は品種ｃ用の電源端子である。導体リング
１０５に接触する集電ブラシ１１６，１２０に
各々接続される端子１３０，１３４はグランド端
子である。なお、ソケツト１２６に接続される集
電ブラシも各導体リング１０２〜１０５に接触し
ているがソケツト１２４，１２５と同様であるの
で、ここでは図示省略している。また、導体リン
グ１０２は３つの導体部１０２ａ，１０２ｂ，１
０２ｃ分割して構成されている。各導体部１０２
ａ〜１０２ｃ同材質の導体からなり、またそれら
相互間は絶縁部１０２ｄよつて絶縁されている。
ここで、導体部２ａは搬送治具供給位置１４１に
対応しており、導体部１０２ｂは搬送治具取出装
置１４２に対応し、導体部１０２ｃはその他の位
置に対応している。

次に、上述した集電装置２８の動作を説明す
る。第１５図において、品種ａに電源を供給する
ためにコントローラ１０６によりスイツチ１０
７，１０８，１０９をａ端子側に倒し、さらにス
イツチ１１１，１１２を投入する。搬送治具供給
装置１４１において、前記搬送治具６を供給する
時はスイツチ１１０をOFFにしておき、供給後
スイツチ１１０を投入する。するとスイツチ１０
９を介して導体リング１０２の１０２ａに電源＋
側が接続され、集電ブラシ１１３を介してソケツ
ト１２４の品種ａ用の電源端子１２７に電源＋側
が接続される。一方、導体リング１０５とこれに
接触する集電ブラシ１１６を介してソケツト１２
４のグランド端子１３０は常に電源−側と接続さ
れているので、このスイツチ１１０投入の時点か
ら、ソケツト１２４に供給されら品種ａへの通電
が開始される。ロータリテーブル２２が回転する
と、集電ブラシ１１３は部品供給位置１０２ａか
ら外れ、直ちに次のその他の位置１０２ｃに接触
し、すでに投入されているスイツチ１１２，１０
７を介して、品種ａには連続して電源供給がされ
る。従つて、品種ａの集積回路部品１はロータリ
テーブル２２の回転中連続して通電される。搬送
治具取出位置１４２に対応する導体部１０２ｂに
おいて、前記搬送治具６を移載位置３１の搬送治
具把持手段２１′で取り出す時は導体部１０２ｂ
への通電を断つことが必要であり、このためにス
イツチ１１１を開き、電源＋側の接続を停止す
る。例えば、集積回路部品１が挿入されたソケツ
ト１２４が、搬送治具取出位置１４２にきた時、
集電ブラシ１１３はそれに対応する位置１０２ｂ
に接触している。従つて、この時にロータリテー
ブル２２を停止させ、つづいてスイツチ１１１を
開くことにより、この位置１０２ｂへの通電を停
止させれば、他の集積回路部品１への通電には影
響を与えることなく、取り出すべき集積回路部品
１のみの通電停止を行えるものである。品種ｂま
たはｃの通電を行なう場合は、コントローラ１０
６によりスイツチ１０７〜１０９をｂ側あるいは
ｃ側に倒して上述と同様の操作を行なう。第１５
図においてはソケツトが３個の例を示している
が、更に多い場合も同様である。

なお、以上述べた通電は、検査される集積回路
部品１への連続的な通電により、集積回路部品１
を熱的、電気的に平衡状態を保たせて、検査前に
安定状態を維持させる目的をもつて行われるので
あるが、この目的達成のための別方法として、ヒ
ートブロツク等を用いて、集積回路部品１を直
接、熱的に昇温させ、安定状態を維持させる方法
を採つてもよい。

上述通電がなされた前記搬送治具６は、第２
図、第５図および第１５図において、ロータリテ
ーブル２２上の搬送治具取出位置１４２から移載
装置１３に付設された搬送把持手段２１′で把持
された後、移載装置３１の可動ユニツト３２で所
定の位置に移動される。所定位置で搬送治具把持
手段２１′を下降させ、前記搬送治具６を下降さ
せると、集積回路部品１のリード端子２が検査装
置本体３０のコンタクトピン１４に接触される。

この後に各集積回路部品１の特性検査を行なう
もので、以下、この検査を行う検査装置本体３０
を第１６図に基づいて説明する。なおこの検査装
置本体３０は、集積回路部品１の特性の良否を自
動的に検査するもので、公知の装置、例えばLSI
テスト（月刊「エレクトロニクス」誌、昭和57年
７月号、第（61）717〜（71）727頁等、参照）が
用いられる。第１６図において、１４５はベース
プレートで、このベースプレート１４５に設けた
位置決め穴１４６に嵌合する位置決めピン１４７
を架台テーブル２７に固設して前記移載装置３１
におけるベースプレート１４５の位置を決める。
ベースプレート１４５の左右端部には側板１４
８、前後には、面板１４９を各々立設し、さらに
これらの上部に、メインプレート１５０を固設し
ている。メインプレート１５０には、前記反掃治
具６上の集積回路部品１の各リード端子２に対応
してコンタクトピン１４を立設している。この場
合メインプレート１５０とコンタクトピン１４間
は絶縁されている。また、コンタクトピン１４の
位置は、位置決め穴１４６に対して、正確に設定
されている。そして側板１４８にはコネクタ１５
１が設けられ、このコネクタ１５１は、検査装置
本体３０の内、外部の中継コネクタとして用いら
れるもので、一方側は検査装置本体３０内の検査
回路基板１５（第５図参照）に接続され、他方側
は図示しないコネクタおよびコードを介して測定
制御装置（図示せず）に接続される。検査回路基
板１５、上記測定制御装置からの指令により、コ
ンタクトピン１４にそのリード端子２が接続され
た各集積回路部品１の特性の良否を自動検査す
る。検査結果は、検査装置本体３０（検査回路基
板１５）から上記測定制御装置を経て良否・不良
品仕分け手段４２に送られる。

搬送治具位置決め手段４０は、その先端のピン
を搬送治具６の穴１３′に挿入してその搬送治具
６の位置決めをする（第６図中矢印Ｄ参照）。

搬送治具押圧手段４１は、その先端のピンを位
置決めされた上記搬送治具６の穴１３に挿入して
搬送治具６のスライトプレート１１をコイルばね
１２の押圧力に抗して押圧し、固定壁９とによる
集積回路部品１のピン端子２の支持を解く（第６
図中矢印Ｅ参照）。

良品・不良品仕分け手段４２は、ピン端子２の
支持が解かれた搬送治具６上の上記集積回路部品
１の各々について、検査装置本体３０からの信号
に従つてコンベア４２または４３に良品・不良品
に振り分けて供給する。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、集積回
路部品へのエネルギー供給、集積回路部品の良否
の検査および良品・不良品の仕分けを搬送治具単
位毎に順次行うよう構成したので、集積回路部品
の自動取り扱いを簡素化して集積回路部品へのエ
ネルギー供給、集積回路部品の良否の検査および
良品・不良品の仕分けを能率よく、しかも高信頼
度で実現することができる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の検査装置の斜視図、第２図は本
発明による集積回路部品用自動検査装置の一実施
例の全体構成を示す斜視図、第３図は同上本発明
装置に用いられる集積回路部品の搭載位置決め用
の搬送治具の一例を示す平面図、第４図は第３図
の正面図、第５図は第３図に示す如く搬送治具に
搭載された複数の集積回路部品の特性の良否につ
いての検査を検査装置本体が設置された個所で行
う状態を第３図中の−線断面で拡大して示し
た図、第６図は第５図において搬送治具により集
積回路部品を取り出すときの状態を示す図、第７
図は第２図中のロータリインデツクス装置部分を
取り出して示す一部切断側面図、第８図は第７図
の平面図、第９図は第２図中のロータリテーブル
駆動装置およびその周辺部分をロータリテーブル
駆動状態について拡大して示す一部切断側面図、
第１０図は同じくロータリテーブル停止状態につ
いて拡大して示す一部切断側面図、第１１図は第
９図の平面図、第１２図は第２図中のロータリテ
ーブル上に固定ユニツトを介して搬送治具が固定
された状態を示す平面図、第１３図は第１２図中
の−線断面拡大図、第１４図は第１３図
中の−線断面一部省略拡大図、第１５図
は第２図中のロータリテーブルおよび集電装置部
分を取り出し拡大して示す一部切断斜視図、第１
６図は第２図中の検査装置本体を取り出し拡大し
て示す斜視図である。 １……集積回路部品、２……リード端子、６…
…搬送治具、７……板状部材、８……透孔、９…
…固定壁、１１……スライドプレート、１２……
圧縮コイルばね、２１，２１′……搬送治具把持
手段、２２……ロータリテーブル、２３……固定
ユニツト、２４……通電ユニツト、２５……ロー
タリテーブル駆動装置、２６……ロータリテーブ
ル水平保持装置、２８……集電装置、３０……検
査装置本体、３１……移載装置、３９……搬送ベ
ルトユニツト、４１……搬送治具押圧手段、４２
……良品・不良品仕分け手段、４７……位置決め
穴、５０……押圧手段、５４……回転軸、６０…
…摩擦車、６２……駆動モータ、７１……位置決
めピン部、７２……位置決めピン、７９……離隔
手段、１０２〜１０５……導体リング、１０６…
…コントローラ、１０７〜１１２……スイツチ、
１１３〜１２０……集電ブラシ、１２４〜１２６
……ソケツト、１２７〜１３４……端子、１３５
……電源。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 各集積回路部品に列状に植設されたリード端
   子の各々を表面側から嵌挿する透孔を列状に形成
   すると共に該透孔の各々の裏側端部近傍に固定壁
   を形成し、前記透孔に表面側から嵌挿されたリー
   ド端子を裏面側に突出するように形成した板状部
   材と、該板状部材の裏面側において前記固定壁に
   対向して摺動自在に支持されたスライドプレート
   と、該スライドプレートを前記固定壁に向けて付
   勢して前記透孔に表面側から嵌挿されたリード端
   子を前記固定壁に押し付けて位置決めして狭持す
   る付勢手段とを備え、複数の集積回路部品を並べ
   て搭載した搬送治具を順次供給する供給手段と、
   該供給手段によつて順次供給される搬送治具を搬
   送しながら該搬送治具に搭載された複数の集積回
   路部品にエネルギーを与えて集積回路部品を安定
   状態に維持させるエネルギー供給・搬送手段と、
   該エネルギー供給・搬送手段から順次搬送治具を
   取り出して検査位置まで移送する移送手段と、該
   移送手段によつて順次移送される搬送治具を前記
   検査位置において位置決めし、回転基板に電気的
   に接続されてメインプレート上に絶縁されて立設
   されたコンタクトピンに前記搬送治具に搭載され
   た板状部材から裏側に突出されたリード端子を接
   触させて前記回路基板を通して前記各集積回路部
   品の特性を検査して良否の判定をする検査装置
   と、該検査装置において検査された複数の集積回
   路部品を搭載した搬送治具を仕分け位置まで移送
   して該仕分け位置において前記搬送治具を位置決
   めし、押圧部材で前記板状部材上の前記各集積回
   路部品の間の側面に穿設された穴を通して前記付
   勢手段による付勢に抗して前記スライドプレート
   を押圧してリード端子の狭持を解除させ、該解除
   された各集積回路部品を前記検査装置で判定され
   た良否に応じて前記搬送治具から取り出して良品
   と不良品とに仕分ける動作を行う良品・不良品仕
   分け手段とを備え、前記集積回路部品へのエネル
   ギー供給、検査おび仕分けを搬送治具単位毎に順
   次行うように構成したことを特徴とする集積回路
   部品用自動検査装置。 ２ 前記エネルギー供給・搬送手段は、水平状態
   に回転可能に軸支され、該軸支された回転軸部に
   集電装置を備えたロータリテーブルと、該ロータ
   リテーブルを所定角度で間欠回転駆動させるロー
   タリインデツクス駆動装置と、該ロータリンデツ
   クス駆動装置で間欠回転させる所定角度毎に前記
   ロータリテーブル上に配置され、前記集電装置に
   接続された複数の通電装置と、前記供給手段から
   順次供給される搬送治具を下降させて該搬送治具
   に並べて搭載され複数の集積回路部品について前
   記板状部材の裏側に突出されたリード端子を前記
   通電装置と通電できる状態に前記搬送治具をロー
   タリテーブルに対して固定保持する固定保持手段
   とを備え、前記集電装置から通電装置を介して搬
   送治具に並べて搭載された各集積回路部品に電気
   エネルギーを供給するように構成したことを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の集積回路部品
   用自動検査装置。 ３ 前記ロータリインデツクス駆動装置は、駆動
   モータに連結され、前記ロータリレーブルの外周
   に接触する摩擦車と、該摩擦車を前記ロータリテ
   ーブルの外周に押し付ける押圧手段と、前記ロー
   タリテーブル上に所定角度毎に形成された被位置
   決め部に位置決め部材を係合させて前記ロータリ
   テーブルを間欠回転毎に位置決めする位置決め手
   段と、該位置決め手段で位置決め部材を被位置決
   め部に係合する際、前記摩擦車を前記押圧手段に
   よる押し付け力に抗してロータリテーブルの外周
   から離隔する離隔手段を備えたことを特徴とする
   特許請求の範囲第２項記載の集積回路部品用自動
   検査装置。 ４ 前記集電装置は、前記ロータリテーブルの回
   転軸部に設置された複数の導体リングと、該複数
   の導体リングの各々に対応してロータリテーブル
   上に配置された各通電装置に接続され、ロータリ
   テーブルと共に間欠回転される通電ブラシと、前
   記複数の導体リングに接続された電源と、該電源
   から前記各導体リングへの接続を切替え制御する
   制御手段とを備えたことを特徴とする特許請求の
   範囲第２項記載の集積回路部品用自動検査装置。