JPS6311876A - 半導体装置の特性検査・抜き取り分類装置 - Google Patents
半導体装置の特性検査・抜き取り分類装置Info
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- JPS6311876A JPS6311876A JP15654886A JP15654886A JPS6311876A JP S6311876 A JPS6311876 A JP S6311876A JP 15654886 A JP15654886 A JP 15654886A JP 15654886 A JP15654886 A JP 15654886A JP S6311876 A JPS6311876 A JP S6311876A
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- jig
- measuring
- semiconductor device
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体装置の光特性を検査するとともにその
電気的特性別に分類する半導体装置の特性検査・抜き取
り分類装置に関する。
電気的特性別に分類する半導体装置の特性検査・抜き取
り分類装置に関する。
半導体装置の特性検査を行なう検査装置として１、概略
第４図に示すような構成のものが従来から知られている
。これを簡単に説明すると、図中ｎ 号１はローダ部、
２はこのローダ部ｌに連設された検査装置本体、３はこ
の検査装置本体２に連設されたアンローダ部である。ま
た、４は複数個の被測定物（半導体装置）５が位置決め
挿入された測定治具、６はこの測定治具４を前記ローダ
部ｌｌ二から検査装置本体２上に移送する供給コンベア
、７は前記検査装置本体２に：、に取付けられ前記ロー
ダ部１から送り込まれた測定治具４を移送する移送レー
ル、８はこのレール７−ヒで前記測定治具４を移送する
ための移送機構、９は前記レール７の途中で測定治！４
に挿入されている被測定物５の特性を測定する測定ユニ
ット、ｌＯは前記アンローダ部３上に設けられ前記測定
が終了した被測定物５を有する測定治具４を前記レール
７１から移送する排出コンベアである。
第４図に示すような構成のものが従来から知られている
。これを簡単に説明すると、図中ｎ 号１はローダ部、
２はこのローダ部ｌに連設された検査装置本体、３はこ
の検査装置本体２に連設されたアンローダ部である。ま
た、４は複数個の被測定物（半導体装置）５が位置決め
挿入された測定治具、６はこの測定治具４を前記ローダ
部ｌｌ二から検査装置本体２上に移送する供給コンベア
、７は前記検査装置本体２に：、に取付けられ前記ロー
ダ部１から送り込まれた測定治具４を移送する移送レー
ル、８はこのレール７−ヒで前記測定治具４を移送する
ための移送機構、９は前記レール７の途中で測定治！４
に挿入されている被測定物５の特性を測定する測定ユニ
ット、ｌＯは前記アンローダ部３上に設けられ前記測定
が終了した被測定物５を有する測定治具４を前記レール
７１から移送する排出コンベアである。
そして、このような構成による従来の検査装置において
、複数個の被測定物５が位置決め挿入されている測定治
具４は、ローダ部ｌの供給コンベア６によって図中入方
向からＢ方向へと移送されて検査装置本体２ヒのレール
７上に送出される。
、複数個の被測定物５が位置決め挿入されている測定治
具４は、ローダ部ｌの供給コンベア６によって図中入方
向からＢ方向へと移送されて検査装置本体２ヒのレール
７上に送出される。
次で、この測定治具４は、移送機構８により強制的にピ
ッチ送りされながらレール７トを図中Ｂ方向に移送され
、かつその途中で測定ユニー・ト９によりこの測定治具
４１−に位置決めされている被測定物５の光特性等が測
定される。また、この４１４定が完了した被測定物５を
保持してなる測定治具４は、排出コンベア１０によって
図中Ｂ方向に引出されるとともに、図中Ｃ方向に移送し
て排出されるものであった。
ッチ送りされながらレール７トを図中Ｂ方向に移送され
、かつその途中で測定ユニー・ト９によりこの測定治具
４１−に位置決めされている被測定物５の光特性等が測
定される。また、この４１４定が完了した被測定物５を
保持してなる測定治具４は、排出コンベア１０によって
図中Ｂ方向に引出されるとともに、図中Ｃ方向に移送し
て排出されるものであった。
しかしながら、上述した従来の特性検査装置では、被測
定物５としての半導体装ηの光特性の測定のみを行なう
だけであり、測定治具４からの抜き取りおよび尤特性別
の分類作業は、次工程の別装置あるいは人手によって行
なわなければならず、このため上述した測定によって得
られたＡｌｌｌｌ定結法工程まで記録保管することが必
要であり、さらに測定が終了した被測定物５を保持して
なる測定治具４を測定時の状態のまま次工程まで運ばな
ければならない等の問題があった。
定物５としての半導体装ηの光特性の測定のみを行なう
だけであり、測定治具４からの抜き取りおよび尤特性別
の分類作業は、次工程の別装置あるいは人手によって行
なわなければならず、このため上述した測定によって得
られたＡｌｌｌｌ定結法工程まで記録保管することが必
要であり、さらに測定が終了した被測定物５を保持して
なる測定治具４を測定時の状態のまま次工程まで運ばな
ければならない等の問題があった。
本発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、半導体
装置の光特性を測定するとともにこの測定結果に基づい
て測定治具から対応する半導体装置を抜き取り、これを
その電気的特性別に分類することができる半導体’！Ａ
置の特性検査、抜き取り分類装置を得ることを目的とし
ている。
装置の光特性を測定するとともにこの測定結果に基づい
て測定治具から対応する半導体装置を抜き取り、これを
その電気的特性別に分類することができる半導体’！Ａ
置の特性検査、抜き取り分類装置を得ることを目的とし
ている。
本発明に係る半導体装置の特性検査・抜き取り分類装置
は、測定が終了した被測定物を保持してなる測定治具を
検査装置本体側から引出して位置決め保持する位置決め
手段と、このｆ段で位置決めされている測定治具から前
記測定により得られた電気的特性区分類に基づいて対応
する被測定物を順次抜き取り分類別の収納パレット上に
移し替える抜き取りロボットと、このロボットにより被
測定物の抜き取りが終了した空の測定治具を前記位置決
め手段に連設された排出コンベア上に押し出す排出手段
とを備えているものである。
は、測定が終了した被測定物を保持してなる測定治具を
検査装置本体側から引出して位置決め保持する位置決め
手段と、このｆ段で位置決めされている測定治具から前
記測定により得られた電気的特性区分類に基づいて対応
する被測定物を順次抜き取り分類別の収納パレット上に
移し替える抜き取りロボットと、このロボットにより被
測定物の抜き取りが終了した空の測定治具を前記位置決
め手段に連設された排出コンベア上に押し出す排出手段
とを備えているものである。
未発明によれば、従来の特性検査装置に対し抜さ取すロ
ボットと収納パレット部とを組合せて設けることにより
、測定が終了した被測定物を抜き取りロボットにより測
定治具から順次抜き取り、さらにこれをその電気的特性
別にパレット上に分類して収納させ得るものである。
ボットと収納パレット部とを組合せて設けることにより
、測定が終了した被測定物を抜き取りロボットにより測
定治具から順次抜き取り、さらにこれをその電気的特性
別にパレット上に分類して収納させ得るものである。
以下１本発明を図面に示した実施例を用いて詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明に係る半導体装置の特性検査・抜き取り
分類装置の一実施例を示すものであり。
分類装置の一実施例を示すものであり。
図において前述した第４図と同一または相当する部分に
は同一番号を付して説明は省略する。
は同一番号を付して説明は省略する。
さて、本発明によれば、検査装置本体２の排出側に位置
するアンローダ部３に対し、次の各機構を付設したとこ
ろに特徴を有している。すなわち、図中符号１１は前記
検査装置本体２で測定が終了した被測定物５を保持して
なる測定治具４をレール７ヒからアンローダ部３上部に
移載する排出シリンダ、１２はアンローダ部３」二に設
けられ前記測定治具４を位置決めする位置決めユニー。
するアンローダ部３に対し、次の各機構を付設したとこ
ろに特徴を有している。すなわち、図中符号１１は前記
検査装置本体２で測定が終了した被測定物５を保持して
なる測定治具４をレール７ヒからアンローダ部３上部に
移載する排出シリンダ、１２はアンローダ部３」二に設
けられ前記測定治具４を位置決めする位置決めユニー。
ト、１３は前記ΔＩＩＩ定治具４から被測定物５を抜き
取ルロポー、ト、１４はこのロボット１３の先端に取付
けられたハンド、１５はこのロボットハンド１４により
測定治具４から抜き取った被測定物５を分類し挿入する
ための収納パレットである。また、１６は被測定物５で
満杯となちたパレット１５を排出し新たな空のパレット
１５を供給するためのパレットチェンジ部、１７は複数
個積み重ねられたパレ、、 ト１５を上下動させるエレ
ベーション部で、さらに１８は全ての被測定物５が抜き
取られて空となった測定治具４を排出するための排出ユ
ニットである。なお、上述した収納パレット１５は、被
測定物の電気的特性分類の数と同数かあるいはそれ以−
Ｌ準備されている。
取ルロポー、ト、１４はこのロボット１３の先端に取付
けられたハンド、１５はこのロボットハンド１４により
測定治具４から抜き取った被測定物５を分類し挿入する
ための収納パレットである。また、１６は被測定物５で
満杯となちたパレット１５を排出し新たな空のパレット
１５を供給するためのパレットチェンジ部、１７は複数
個積み重ねられたパレ、、 ト１５を上下動させるエレ
ベーション部で、さらに１８は全ての被測定物５が抜き
取られて空となった測定治具４を排出するための排出ユ
ニットである。なお、上述した収納パレット１５は、被
測定物の電気的特性分類の数と同数かあるいはそれ以−
Ｌ準備されている。
そして、このような構成を有する半導体装置の特性検査
・抜き取り分類装置によれば、検査装置本体２で測定が
完了した被測定物５を保持してなる測定治具４は、排出
シリンダ１１によってレール７１−から位置決めユニッ
）［２Ｆに移載されるとともに、この測定治具４は位°
置決めユニット１２によって所要の状態に位を決めされ
る。次で、この位置決めされた測定治具４上の各被測定
物５は、ロボット１３の先端に取付けられたハンド１４
によって測定治Ａ４上から順次抜き取られ予めパレット
チェンジ部１６内に位置決めされている分類別の各パレ
ット１５に、前記測定ユニット９によって測定した被測
定物５の電気的特性別に分類して位置決め挿入されて収
納される。また、このようにして複数個の被測定物５が
全て抜き取られた測定治具４は、位置決めユニット１２
から解放された状態で排出ユニット１８によって排出コ
ンベア１０Ｆに払い出されて排出される。
・抜き取り分類装置によれば、検査装置本体２で測定が
完了した被測定物５を保持してなる測定治具４は、排出
シリンダ１１によってレール７１−から位置決めユニッ
）［２Ｆに移載されるとともに、この測定治具４は位°
置決めユニット１２によって所要の状態に位を決めされ
る。次で、この位置決めされた測定治具４上の各被測定
物５は、ロボット１３の先端に取付けられたハンド１４
によって測定治Ａ４上から順次抜き取られ予めパレット
チェンジ部１６内に位置決めされている分類別の各パレ
ット１５に、前記測定ユニット９によって測定した被測
定物５の電気的特性別に分類して位置決め挿入されて収
納される。また、このようにして複数個の被測定物５が
全て抜き取られた測定治具４は、位置決めユニット１２
から解放された状態で排出ユニット１８によって排出コ
ンベア１０Ｆに払い出されて排出される。
一方、上述したパレットチェンジ部１６上で満杯になっ
たパレット１５は、第２図に示されるように、エレベー
ション部１７によって押Ｅげられ、ロポッ）１３先端の
ハンド１４によって図中り方向に排出されるとともにエ
レベーション部１７によって下降されることで回収され
る。
たパレット１５は、第２図に示されるように、エレベー
ション部１７によって押Ｅげられ、ロポッ）１３先端の
ハンド１４によって図中り方向に排出されるとともにエ
レベーション部１７によって下降されることで回収され
る。
なお、本発明は上述した実施例構造に限定されず、各部
の形状、構造等を、適宜変形、変更することは自由であ
る。たとえば上述した実施例装置では、第１図に示され
るように、アンローダ部３上に位置決めユニット１２を
設けるとともに、その後方にパレットチェンジ部１６、
ロボット１３を配置させるようにしたが、本発明はこれ
に限定されず、たとえば第３図に示すように、検査装置
本体２とアンローダ部３との間にパレットチェンジ部１
６およびロボット１３を配置するようにしてもよいもの
で、これ以外にも種々のレイアウト構成が考えられる。
の形状、構造等を、適宜変形、変更することは自由であ
る。たとえば上述した実施例装置では、第１図に示され
るように、アンローダ部３上に位置決めユニット１２を
設けるとともに、その後方にパレットチェンジ部１６、
ロボット１３を配置させるようにしたが、本発明はこれ
に限定されず、たとえば第３図に示すように、検査装置
本体２とアンローダ部３との間にパレットチェンジ部１
６およびロボット１３を配置するようにしてもよいもの
で、これ以外にも種々のレイアウト構成が考えられる。
また、上述した実、流側では、ロボットト３として直交
三軸型のものを用いた場合を説明したが、これに限定さ
れず、たとえば水平多間接型でもよいことは勿論である
。
三軸型のものを用いた場合を説明したが、これに限定さ
れず、たとえば水平多間接型でもよいことは勿論である
。
以上説明したように１本発明に係る半導体装置の特性検
査・抜き取り分類装置によれば、測定が終ｒした被・４
１−置物を保持してなる測定治具を検査装置本体側から
引出して位置決め保持する位置決め手段と、この手段で
位置決めされている測定治具から前記測定により得られ
た電気的特性区分類に基づいて対応する被測定物を順次
抜き取り分類別の収納パレッｌｈに移し替える抜き取り
ロボットと、このロボットにより被測定物の抜き取りが
終了した空の測定治具を前記位置決め手段に連設された
排出コンベアＦに押し出す排出手段とを設けるようにし
たので、簡単な構成にもかかわらず、被測定物としての
半導体装置の特性検査および抜き取り分類工程を同一の
装置で一貫して自動的に行なえ、これにより検査工程の
生産性を向ヒさせＶ）る等の種々優れた効果がある。
査・抜き取り分類装置によれば、測定が終ｒした被・４
１−置物を保持してなる測定治具を検査装置本体側から
引出して位置決め保持する位置決め手段と、この手段で
位置決めされている測定治具から前記測定により得られ
た電気的特性区分類に基づいて対応する被測定物を順次
抜き取り分類別の収納パレッｌｈに移し替える抜き取り
ロボットと、このロボットにより被測定物の抜き取りが
終了した空の測定治具を前記位置決め手段に連設された
排出コンベアＦに押し出す排出手段とを設けるようにし
たので、簡単な構成にもかかわらず、被測定物としての
半導体装置の特性検査および抜き取り分類工程を同一の
装置で一貫して自動的に行なえ、これにより検査工程の
生産性を向ヒさせＶ）る等の種々優れた効果がある。
第１図は本発明に係る半導体装置の特性検査・抜き取り
分類装置の一実施例を示す概略斜視図。 第２図はその要部とする特性検査および抜き取り分類を
行なう抜き取りロボットおよびパレットチェンジ部を示
す側面図、第３図は本発明の別の実施例を示す概略斜視
図、第４図は従来知られている半導体装置の特性検査装
置を示す概略斜視図である。 ｌ・・・・ローダ部、２・・・・検査装置本体、３・・
・・アンローダ部、４・・・・測定治具、５・・・・被
測定物、６・−−−４’ｔＭコンベア、７・トレール、
８・・・・移送ユニット、９・・・・測定ユニット、ｌ
Ｏ・・・・排出コンベア、１１・・・・排出シリンダ、
１２・・・・位置決めユニット、１３・・・・抜き取り
ロボット、１４・・・・ハンド、１５・・・・パレット
、１６・・・・パレットチェンジｉ、１７・・・・エレ
ベーション部、１８・・・・排出ユニット。
分類装置の一実施例を示す概略斜視図。 第２図はその要部とする特性検査および抜き取り分類を
行なう抜き取りロボットおよびパレットチェンジ部を示
す側面図、第３図は本発明の別の実施例を示す概略斜視
図、第４図は従来知られている半導体装置の特性検査装
置を示す概略斜視図である。 ｌ・・・・ローダ部、２・・・・検査装置本体、３・・
・・アンローダ部、４・・・・測定治具、５・・・・被
測定物、６・−−−４’ｔＭコンベア、７・トレール、
８・・・・移送ユニット、９・・・・測定ユニット、ｌ
Ｏ・・・・排出コンベア、１１・・・・排出シリンダ、
１２・・・・位置決めユニット、１３・・・・抜き取り
ロボット、１４・・・・ハンド、１５・・・・パレット
、１６・・・・パレットチェンジｉ、１７・・・・エレ
ベーション部、１８・・・・排出ユニット。
Claims (3)
- （１）少なくとも一個の被測定物が位置決め挿入される
測定治具を収納保持するとともにこの測定治具を移送す
る手段を有するローダ部と、このローダ部に連設され前
記測定治具を移送する移送レールおよび移送機構とその
移送レール途中で前記被測定物の特性検査を行なう測定
手段とを有する検査装置本体と、この検査装置本体に連
設され測定終了後の被測定物が搭載されている測定治具
を前記移送レールから引出して位置決め保持する位置決
め手段と、この位置決め手段によって位置決めされた測
定治具から前記検査装置本体で得られた電気的特性区分
類に基づく指令信号により対応する被測定物を順次抜き
取り特性区分類数と少なくとも同数の収納パレット上に
移し替える抜き取りロボットと、このロボットにより被
測定物の抜き取りが終了した空の測定治具を前記位置決
め手段に連設された排出コンベア上に押し出す排出手段
とを備えたことを特徴とする半導体装置の特性検査・抜
き取り分類装置。 - （２）被測定物が電気的特性に基づき分類される複数個
の収納パレットは、それぞれ独立した給排手段をもち、
各収納パレットの排出、交換が任意に行なえるように構
成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の半導体装置の特性検査・抜き取り分類装置。 - （３）収納パレットを排出、交換する給排手段として、
エレベーション機構を用いたことを特徴とする特許請求
の範囲第２項記載の半導体装置の特性検査・抜き取り分
類装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15654886A JPS6311876A (ja) | 1986-07-02 | 1986-07-02 | 半導体装置の特性検査・抜き取り分類装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15654886A JPS6311876A (ja) | 1986-07-02 | 1986-07-02 | 半導体装置の特性検査・抜き取り分類装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6311876A true JPS6311876A (ja) | 1988-01-19 |
| JPH052270B2 JPH052270B2 (ja) | 1993-01-12 |
Family
ID=15630202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15654886A Granted JPS6311876A (ja) | 1986-07-02 | 1986-07-02 | 半導体装置の特性検査・抜き取り分類装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6311876A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6074542A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-26 | Hitachi Ltd | 集積回路部品用自動検査装置 |
| JPS6167239A (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-07 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Ｉｃハンドラの多連型搬出機構 |
-
1986
- 1986-07-02 JP JP15654886A patent/JPS6311876A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6074542A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-26 | Hitachi Ltd | 集積回路部品用自動検査装置 |
| JPS6167239A (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-07 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Ｉｃハンドラの多連型搬出機構 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH052270B2 (ja) | 1993-01-12 |
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