JPS6080801A - フレネルゾ−ンプレ−トのパタ−ン発生装置 - Google Patents
フレネルゾ−ンプレ−トのパタ−ン発生装置Info
- Publication number
- JPS6080801A JPS6080801A JP19005383A JP19005383A JPS6080801A JP S6080801 A JPS6080801 A JP S6080801A JP 19005383 A JP19005383 A JP 19005383A JP 19005383 A JP19005383 A JP 19005383A JP S6080801 A JPS6080801 A JP S6080801A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- point
- reflected
- zone plate
- concave spherical
- luminous flux
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/18—Diffraction gratings
- G02B5/1876—Diffractive Fresnel lenses; Zone plates; Kinoforms
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
- G03H1/0486—Improving or monitoring the quality of the record, e.g. by compensating distortions, aberrations
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
- G03H1/0476—Holographic printer
- G03H2001/0482—Interference based printer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ビ）産業上の利用分野
本発明は結像素子として用いられるフレネルゾーンプレ
ートの製造装置に関し、特にＸ線領域の結像素子として
適したフレネルゾーンプレートの □製造装置に関する
。
ートの製造装置に関し、特にＸ線領域の結像素子として
適したフレネルゾーンプレートの □製造装置に関する
。
（ロ）従来技術
Ｘ線は屈折を利用した収束手段は適用できないが、回折
を利用することによって収束或は結像をさせることは可
能である。このため、Ｘ線用の結的に工作することは困
難である。電子線露光による輪帯描画法も考えられてい
るが、実用的な大きさのものを作ることは困難である。
を利用することによって収束或は結像をさせることは可
能である。このため、Ｘ線用の結的に工作することは困
難である。電子線露光による輪帯描画法も考えられてい
るが、実用的な大きさのものを作ることは困難である。
そこでホログラフィを用いて干渉縞を記録する方法が考
えられた。ホログラフィに用いる光の波長は数千久であ
シ、目標とするＸ、ｌＩ波長を１００Ａ程度にした場合
ホログラフィに用いた波長の光に対して焦点距離が数ｍ
ｍとなるようなゾーンプレートを作っても、目的のＸ線
に対しては２００ｍｍ程度の焦点距離となる。そこで目
的のＸ線に対して２００ｍｍ位の焦点距離を有し、しか
も実用的な直径２〜３ｍｍ程度のフレネルゾーンプレー
トを可視光によるホログラフィによって記録作成する場
合、干渉を起させる光束は開き角数中度と云った大きな
開き角で収束させる必要があり、ホログラフィ光学系の
球面収差が大きな障碍となって来る。
えられた。ホログラフィに用いる光の波長は数千久であ
シ、目標とするＸ、ｌＩ波長を１００Ａ程度にした場合
ホログラフィに用いた波長の光に対して焦点距離が数ｍ
ｍとなるようなゾーンプレートを作っても、目的のＸ線
に対しては２００ｍｍ程度の焦点距離となる。そこで目
的のＸ線に対して２００ｍｍ位の焦点距離を有し、しか
も実用的な直径２〜３ｍｍ程度のフレネルゾーンプレー
トを可視光によるホログラフィによって記録作成する場
合、干渉を起させる光束は開き角数中度と云った大きな
開き角で収束させる必要があり、ホログラフィ光学系の
球面収差が大きな障碍となって来る。
（ハ） 目 的
本発明はＸ線結像用フレネルゾーンプレートのパターン
を記録するだめのホログラフィ光学系の球面収差を充分
に補正したフレネルゾーンのパターン発生装置を提供し
ようとするものである。
を記録するだめのホログラフィ光学系の球面収差を充分
に補正したフレネルゾーンのパターン発生装置を提供し
ようとするものである。
に）構 成
本発明は、−個の点光源から発する球面波光束をビーム
スグリツタで２方向に分割し、分割された２光束を夫々
球面鏡で反射させて、光学的に重合させた両法面鏡の共
通光軸上の異る２点に集光させ、同光軸上の適所に干渉
パターン記録担体を配置するようにしたフレネルゾーン
のパターン発生装置である。
スグリツタで２方向に分割し、分割された２光束を夫々
球面鏡で反射させて、光学的に重合させた両法面鏡の共
通光軸上の異る２点に集光させ、同光軸上の適所に干渉
パターン記録担体を配置するようにしたフレネルゾーン
のパターン発生装置である。
（ホ）実施例
実施例の説明をするに先立って一般的説明をす′る。第
１図でＦがフレネルゾーンプレートで、Ａはその光軸で
ある。光軸Ａ上でゾーンプレートＦの両側に０点と１点
をとシ、ゾーンプレートの中心からこれらの点までの距
離をｕ、ｖとする。ゾーンプレートＦ上に光軸からの半
径ｒｎの円を考え、０点及び１点からこの円周までの距
離をＳ。
１図でＦがフレネルゾーンプレートで、Ａはその光軸で
ある。光軸Ａ上でゾーンプレートＦの両側に０点と１点
をとシ、ゾーンプレートの中心からこれらの点までの距
離をｕ、ｖとする。ゾーンプレートＦ上に光軸からの半
径ｒｎの円を考え、０点及び１点からこの円周までの距
離をＳ。
ｔとするとき、
ｕ 十Ｖ ＝ ８ ＋ｔ −−ｎλ ｎは整数て１点に
集光し、１点と０点は結像系の共役点の関係になる。こ
のようなゾーンプレートの焦点距離１はｌ ／ ｕ３
、１ ／ ｖ３以上の項を無視すれば１１１ 市 ｕｖｆ、 ｆ＝ｎＪ・・・・・・・・・（１）の関係が
成立つ。このようなゾーンプレートを波長λ１の光に対
して用いた場合の焦点距離ｆ１は（１）式から ア・ −乃げ ｎλ１ 従って のフレネルゾーンプレートの波長４０００Ａの可視光に
対する焦点距離を（２１式からめると、１，２５ｍｍと
なる。
集光し、１点と０点は結像系の共役点の関係になる。こ
のようなゾーンプレートの焦点距離１はｌ ／ ｕ３
、１ ／ ｖ３以上の項を無視すれば１１１ 市 ｕｖｆ、 ｆ＝ｎＪ・・・・・・・・・（１）の関係が
成立つ。このようなゾーンプレートを波長λ１の光に対
して用いた場合の焦点距離ｆ１は（１）式から ア・ −乃げ ｎλ１ 従って のフレネルゾーンプレートの波長４０００Ａの可視光に
対する焦点距離を（２１式からめると、１，２５ｍｍと
なる。
ホログラフィでゾーンプレートを作成する原理は第１図
で０点と１点とに夫々互に干渉可能な光を出す点光源を
配置してプレートＦ上に干渉パターンを形成させ、これ
を記録するものである。このとき使用した光の波長をλ
とすれば（１）式を満足するゾーンプレートが得られる
。そこで４００ＯＡの光を使ってホログラフィで１００
ＡのＸ線に対し５０ｍｍの焦点距離のゾーンプレートを
作ろうとすると、（１）式でｕ ＝ ｖとした場合、ｕ
＝ｖ＝２．５ｍｍとなシ、ゾーンプレートの外径を３ｍ
ｍにすると、光束の開き角は６０°近い角になる。
で０点と１点とに夫々互に干渉可能な光を出す点光源を
配置してプレートＦ上に干渉パターンを形成させ、これ
を記録するものである。このとき使用した光の波長をλ
とすれば（１）式を満足するゾーンプレートが得られる
。そこで４００ＯＡの光を使ってホログラフィで１００
ＡのＸ線に対し５０ｍｍの焦点距離のゾーンプレートを
作ろうとすると、（１）式でｕ ＝ ｖとした場合、ｕ
＝ｖ＝２．５ｍｍとなシ、ゾーンプレートの外径を３ｍ
ｍにすると、光束の開き角は６０°近い角になる。
本発明は一つの点光源からの光束をビームスプリッタで
２分割・し、分割された２光束を夫々球面鏡で集光させ
て光源の像を作シ、これらの像を上述した０点及び１点
として干渉パターンを形成させるものである。
２分割・し、分割された２光束を夫々球面鏡で集光させ
て光源の像を作シ、これらの像を上述した０点及び１点
として干渉パターンを形成させるものである。
第２図は本発明の一実施例を示す。１はレーザ光源（出
力光波長４ｔ１６Ａ）であり、２はコンデンサレンズで
レーザビームをＰ点に集光させている。ｈはＰ点に置か
れたピンホールである。集光レンズ２としては顕微鏡の
対物レンズが使用される。Ｐ点に集光したレーザ光はＰ
点から球面波となって発散する。この発散光束がビーム
スプリッタ３によって２分割される。分割された２光束
のうちビームスプリッタで反射された方の光束は凹球面
鏡Ｍに入射し、同鏡で反射されて０点に集光する。０点
とＰ点とはビームスプリッタの反射面に関して対称位置
にあシ、球面鏡Ｍの曲率中心が０点と一致させである。
力光波長４ｔ１６Ａ）であり、２はコンデンサレンズで
レーザビームをＰ点に集光させている。ｈはＰ点に置か
れたピンホールである。集光レンズ２としては顕微鏡の
対物レンズが使用される。Ｐ点に集光したレーザ光はＰ
点から球面波となって発散する。この発散光束がビーム
スプリッタ３によって２分割される。分割された２光束
のうちビームスプリッタで反射された方の光束は凹球面
鏡Ｍに入射し、同鏡で反射されて０点に集光する。０点
とＰ点とはビームスプリッタの反射面に関して対称位置
にあシ、球面鏡Ｍの曲率中心が０点と一致させである。
従ってＰ点も赤光学的に球面鏡Ｍの曲率中心になってい
る。このため０点に集光するレーザ光は完全に無収差で
集光している。ビームスプリッタ３を透過した方の光束
は凹球面鏡Ｍ１で反射され、ビームスプリッタ３で反射
されて１点に集光する。１点は０点と共に球面鏡Ｍの光
軸上にアシ、球面鏡Ｍ１に関して１点とＰ点とは共役の
関係にあるが、これらは球面鏡Ｍ１の曲率中心よシ若干
ずれた位置にある。そのため、球面鏡Ｍ＋だけでは１点
に集光する光束は球面収差を持ったものとなる。レンズ
Ｌはこの球面収差を補正するものである。干渉パターン
の記録担体Ｆは０点と１点との中間位置にセットされる
。
る。このため０点に集光するレーザ光は完全に無収差で
集光している。ビームスプリッタ３を透過した方の光束
は凹球面鏡Ｍ１で反射され、ビームスプリッタ３で反射
されて１点に集光する。１点は０点と共に球面鏡Ｍの光
軸上にアシ、球面鏡Ｍ１に関して１点とＰ点とは共役の
関係にあるが、これらは球面鏡Ｍ１の曲率中心よシ若干
ずれた位置にある。そのため、球面鏡Ｍ＋だけでは１点
に集光する光束は球面収差を持ったものとなる。レンズ
Ｌはこの球面収差を補正するものである。干渉パターン
の記録担体Ｆは０点と１点との中間位置にセットされる
。
上記実施例では０点に集光する光束の開き角は球面鏡Ｍ
の開き角であシ、１点に集光する光束の開き角も０点に
集光する光束のそれと等しくなるように構成されておシ
、大きな開き角を得ようとするとビームスプリッタ、球
面鏡Ｍ、Ｍ’が大きくなって、工作上不利である。第３
図の実施例はこの点を改良した実施例である。図に記入
した寸法はｍｍ単位でこの装置の大きさを示す。レーザ
ビームが集光レンズ２によｐｐ点に集光され、・Ｐ点か
ら発散する球面波の光がビームズブリッタ３によって２
光束に分割され、二つの凹球面鏡Ｍ、Ｍ’に入射して反
射される構成は上述実施例と同じである。Ｐ点と０１点
とはビームスプリッタ３に関して対称であシ、かつ凹球
面鏡Ｍの曲率中心と一致させである。それ放球面鏡Ｍで
反射された光は無収差で０°点に集光するが、０１点と
０点とを共役点とするアブラナチックレンズＬｌによ）
、０１点よシも鏡Ｍに近い０点に無収差に集光せしめら
れ、光束の開き角はα・１からαへと拡大される。アブ
ラナチックレンズＬ″は球面屈折面における周知のアブ
ラナチックポイントを利用したものであシ、０点とＱｌ
とに関しては完全無収差である。ビームスプ。
の開き角であシ、１点に集光する光束の開き角も０点に
集光する光束のそれと等しくなるように構成されておシ
、大きな開き角を得ようとするとビームスプリッタ、球
面鏡Ｍ、Ｍ’が大きくなって、工作上不利である。第３
図の実施例はこの点を改良した実施例である。図に記入
した寸法はｍｍ単位でこの装置の大きさを示す。レーザ
ビームが集光レンズ２によｐｐ点に集光され、・Ｐ点か
ら発散する球面波の光がビームズブリッタ３によって２
光束に分割され、二つの凹球面鏡Ｍ、Ｍ’に入射して反
射される構成は上述実施例と同じである。Ｐ点と０１点
とはビームスプリッタ３に関して対称であシ、かつ凹球
面鏡Ｍの曲率中心と一致させである。それ放球面鏡Ｍで
反射された光は無収差で０°点に集光するが、０１点と
０点とを共役点とするアブラナチックレンズＬｌによ）
、０１点よシも鏡Ｍに近い０点に無収差に集光せしめら
れ、光束の開き角はα・１からαへと拡大される。アブ
ラナチックレンズＬ″は球面屈折面における周知のアブ
ラナチックポイントを利用したものであシ、０点とＱｌ
とに関しては完全無収差である。ビームスプ。
リッタ３を透過した光束は凹球面鏡Ｍ′、レンズＬ、レ
ンズＬ１よりなる光学系で１点に集光される。
ンズＬ１よりなる光学系で１点に集光される。
Ｍ＋で反射された光はレンズＬを通して工１点に集光さ
れるが、工１と１点とはレン゛ズＬｌに関してアブラナ
チックポイントでないから、１点では収差が現れるので
あるが、レンズＬｌは１点に集る光束の収差を補正する
ものである。干渉パターンの記録担体は０点と１点との
間にセットされる。
れるが、工１と１点とはレン゛ズＬｌに関してアブラナ
チックポイントでないから、１点では収差が現れるので
あるが、レンズＬｌは１点に集る光束の収差を補正する
ものである。干渉パターンの記録担体は０点と１点との
間にセットされる。
なおレンズＬｌのアブラナチックポイントを■ｌ。
０１の中間及び工、Ｏの中間に置き、球面鏡Ｍの前面に
も補正レンズを配置するようにしてもよい。
も補正レンズを配置するようにしてもよい。
（へ）効 果
本発明装置は上述したように、球面鏡の曲率中心から発
散する光は曲率中心に無収差に集光し、また曲率中心の
近くから発散する光は曲率中心の近くの他の点に集光し
、収差が少いから収差補正が容易である点を利用したも
ので、簡単な光学系で大きな開き角を有する無収差の光
の集束点を得ることが可能となり、比較的大きな直径を
有するＸ線結像素子としてのフレネルゾーンプレートを
作ることができるようになった。
散する光は曲率中心に無収差に集光し、また曲率中心の
近くから発散する光は曲率中心の近くの他の点に集光し
、収差が少いから収差補正が容易である点を利用したも
ので、簡単な光学系で大きな開き角を有する無収差の光
の集束点を得ることが可能となり、比較的大きな直径を
有するＸ線結像素子としてのフレネルゾーンプレートを
作ることができるようになった。
【図面の簡単な説明】
第１図はフレネルゾーンプレートの説明図、第２図は本
発明の一実施例装置の平面図、第３図は本発明の他の一
実施例の平面図である。 ｌ・・・レーザ光源、２・・・コンデンサレンズ、３・
・・ビームスプリッタ、Ｍ、Ｍ＋・・・凹面球面鏡、Ｌ
・・・収差補正レンズ、Ｌ′・・・アブラナチックレン
ズ。 代理人 弁理士 縣 浩 介 少１図
発明の一実施例装置の平面図、第３図は本発明の他の一
実施例の平面図である。 ｌ・・・レーザ光源、２・・・コンデンサレンズ、３・
・・ビームスプリッタ、Ｍ、Ｍ＋・・・凹面球面鏡、Ｌ
・・・収差補正レンズ、Ｌ′・・・アブラナチックレン
ズ。 代理人 弁理士 縣 浩 介 少１図
Claims (2)
- （１）点光源から発散する光をビームスプリッタで２光
束に分割し、分割された一方の光束を、光学的に上記点
光源に曲率中心を有する凹球面鏡によって反射させて上
記点光源とは異る一点に集光させ、上記分割された他方
の光束を他の凹球面鏡によって上記凹球面鏡の光軸上で
上記集光点の近くに反射集光させるようにしたフレネル
ゾーンプレートのパターン発生装置。 - （２）上記凹球面の一方の直接の集光点又はその近くの
点をアブラナチックポイントの一方とするアブラナチッ
クレンズを用いて二つの集光点を、それを連らねる線上
で凹球面の方に近づけることによシ、集光光束の開き角
を拡大した特許請求の範囲第１項記載のフレネルゾーン
プレートのパターン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19005383A JPS6080801A (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | フレネルゾ−ンプレ−トのパタ−ン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19005383A JPS6080801A (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | フレネルゾ−ンプレ−トのパタ−ン発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6080801A true JPS6080801A (ja) | 1985-05-08 |
| JPH0475481B2 JPH0475481B2 (ja) | 1992-12-01 |
Family
ID=16251555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19005383A Granted JPS6080801A (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | フレネルゾ−ンプレ−トのパタ−ン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6080801A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6275601A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-07 | Shimadzu Corp | 軟ｘ線用フレネルゾ−ンプレ−ト |
| KR100730047B1 (ko) | 2005-01-26 | 2007-06-20 | 단국대학교 산학협력단 | X-선 복합굴절렌즈의 정렬 시스템 및 이를 이용한 x-선 복합굴절렌즈의 정렬 방법 |
-
1983
- 1983-10-11 JP JP19005383A patent/JPS6080801A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6275601A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-07 | Shimadzu Corp | 軟ｘ線用フレネルゾ−ンプレ−ト |
| KR100730047B1 (ko) | 2005-01-26 | 2007-06-20 | 단국대학교 산학협력단 | X-선 복합굴절렌즈의 정렬 시스템 및 이를 이용한 x-선 복합굴절렌즈의 정렬 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0475481B2 (ja) | 1992-12-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0412039B2 (ja) | ||
| US5477554A (en) | Phase shift device and laser apparatus utilizing the same | |
| JPS59149315A (ja) | 半導体レ−ザ用光学装置 | |
| JP2004184309A (ja) | 干渉計 | |
| JPH02185722A (ja) | 光ヘッド装置及びその組立方法 | |
| JP2000030280A (ja) | ビーム整形器及び光ディスク装置 | |
| JPS6080801A (ja) | フレネルゾ−ンプレ−トのパタ−ン発生装置 | |
| JPH03166531A (ja) | ファイバー型光波長変換装置 | |
| JP2884075B2 (ja) | レーザー光集光照射装置 | |
| JPS63269325A (ja) | 光学ヘツド | |
| JPS62234182A (ja) | ホログラムの作成方法 | |
| JPS6167821A (ja) | 反射光学装置 | |
| JP5093243B2 (ja) | ホログラム記録用の対物レンズおよびホログラム記録装置 | |
| JPH01144001A (ja) | ホログラフィック露光装置 | |
| JP2904422B2 (ja) | 光ヘッド | |
| SU1661567A1 (ru) | Способ контрол поверхностей оптических деталей | |
| JPS635520A (ja) | 縮小投影露光方法 | |
| JPH0535871B2 (ja) | ||
| JP2538192B2 (ja) | 光ディスク装置 | |
| JPH0317282Y2 (ja) | ||
| JP2001108529A (ja) | レーザー光の波面の測定法 | |
| JPH05241111A (ja) | 集光装置 | |
| US20090207714A1 (en) | Hologram recording/reproducing optical element and hologram recording/reproducing device | |
| JPH0876671A (ja) | 反射型平面ホログラム及びその撮影装置 | |
| JPS6031101A (ja) | Ｘ線結像素子 |