JPH01144001A - ホログラフィック露光装置 - Google Patents
ホログラフィック露光装置Info
- Publication number
- JPH01144001A JPH01144001A JP30398787A JP30398787A JPH01144001A JP H01144001 A JPH01144001 A JP H01144001A JP 30398787 A JP30398787 A JP 30398787A JP 30398787 A JP30398787 A JP 30398787A JP H01144001 A JPH01144001 A JP H01144001A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aberration
- luminous fluxes
- mirror
- luminous
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
- G03H1/0486—Improving or monitoring the quality of the record, e.g. by compensating distortions, aberrations
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
- G03H1/0402—Recording geometries or arrangements
- G03H2001/0439—Recording geometries or arrangements for recording Holographic Optical Element [HOE]
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
- G03H1/0476—Holographic printer
- G03H2001/0482—Interference based printer
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ、産業上の利用分野
本発明は、結像素子や集光素子として用いられるフレネ
ルゾーンプレートのパターンを形成するのに使用される
ホログラフィック露光装置に関する。
ルゾーンプレートのパターンを形成するのに使用される
ホログラフィック露光装置に関する。
口、従来の技術
フレネルゾーンプレートに形成する２光束の干渉縞にお
いて、コントラストの良い干渉縞を作成するためには、
強度が全面的に等し°い２光束をゾ、−ンプレート基板
上に照射する２つの点光源が必要である。即ち、互いに
コヒーレントな２つの点光源を得る必要がある。この２
つの点光源を得るのに、１つの光源から発する光束を２
光束に分割し、夫々の光束を無収差で収束させて２つの
点光源としている。しかし、光束を所望の収束点（点光
源の位置）に収束させるためには、光束を球面鏡やレン
ズを用いて収束させることとなり、球面鏡やレンズによ
り収束させる時に収差が発生し易く、収差が発生すれば
、点光源を得ることができない、収差のある点光源を用
いれば、作成された干渉縞のコントラストは、ゾーンプ
レート全体にわたって低下したり、部分的に低下したり
する。
いて、コントラストの良い干渉縞を作成するためには、
強度が全面的に等し°い２光束をゾ、−ンプレート基板
上に照射する２つの点光源が必要である。即ち、互いに
コヒーレントな２つの点光源を得る必要がある。この２
つの点光源を得るのに、１つの光源から発する光束を２
光束に分割し、夫々の光束を無収差で収束させて２つの
点光源としている。しかし、光束を所望の収束点（点光
源の位置）に収束させるためには、光束を球面鏡やレン
ズを用いて収束させることとなり、球面鏡やレンズによ
り収束させる時に収差が発生し易く、収差が発生すれば
、点光源を得ることができない、収差のある点光源を用
いれば、作成された干渉縞のコントラストは、ゾーンプ
レート全体にわたって低下したり、部分的に低下したり
する。
このような干渉縞によって作成されたゾーンプレートの
パターンは全体にボケたり、部分的に幅が異なったりす
る。このようなパターンのゾーンプレートでは収差が発
生し、性能的に劣ることになる。
パターンは全体にボケたり、部分的に幅が異なったりす
る。このようなパターンのゾーンプレートでは収差が発
生し、性能的に劣ることになる。
そこで上述したような問題を解消するための従来例を、
第２図（特願昭５８−１９００５３号）に示す０図にお
いて、レーザ光源１からの光をコンデンサレンズＲでピ
ンホールｈの孔Ｐに集光させ、レーザ光はＰ点から球面
波となって発散する、この発散光束をビームスプリッタ
１１で２分割する。２分割された２光束のうちビームス
プリッタ１１で反射された方の光束は凹面球面鏡Ｍに入
射し、開鎖で反射されて０点に集光する。０点とＰ点と
はビームスプリッタ１１の反射面に関して対称位置にあ
り、球面鏡Ｍの曲率中心と一致させである。従ってＰ点
も布先学的に球面鏡Ｍの曲率中心になっている。このた
め０点に集光するレーザ光は完全に無収差で集光してい
る。ビームスプリッタ１１を透過した方の光束は凹面球
面鏡Ｍ。
第２図（特願昭５８−１９００５３号）に示す０図にお
いて、レーザ光源１からの光をコンデンサレンズＲでピ
ンホールｈの孔Ｐに集光させ、レーザ光はＰ点から球面
波となって発散する、この発散光束をビームスプリッタ
１１で２分割する。２分割された２光束のうちビームス
プリッタ１１で反射された方の光束は凹面球面鏡Ｍに入
射し、開鎖で反射されて０点に集光する。０点とＰ点と
はビームスプリッタ１１の反射面に関して対称位置にあ
り、球面鏡Ｍの曲率中心と一致させである。従ってＰ点
も布先学的に球面鏡Ｍの曲率中心になっている。このた
め０点に集光するレーザ光は完全に無収差で集光してい
る。ビームスプリッタ１１を透過した方の光束は凹面球
面鏡Ｍ。
で反射され、ビームスプリッタ１１で反射されて１点に
集光する。１点は０点と共に球面鏡Ｍの光軸上にあり、
球面鏡Ｍ°に関して１点とＰ点とは共役の関係にあるが
、これらは球面鏡Ｍ′の曲率中心より若干ずれた位置に
ある。そのため球面鏡Ｍ′だけでは１点に集光する光束
は球面収差を持ったものとなる。そこでレンズしに°よ
ってこの球面収差を補正する。干渉パターンの記録担体
Ｆ（）オドレジスト）は０点と１点との中間位置にセッ
トされる。
集光する。１点は０点と共に球面鏡Ｍの光軸上にあり、
球面鏡Ｍ°に関して１点とＰ点とは共役の関係にあるが
、これらは球面鏡Ｍ′の曲率中心より若干ずれた位置に
ある。そのため球面鏡Ｍ′だけでは１点に集光する光束
は球面収差を持ったものとなる。そこでレンズしに°よ
ってこの球面収差を補正する。干渉パターンの記録担体
Ｆ（）オドレジスト）は０点と１点との中間位置にセッ
トされる。
しかし、上記実施例では一個の点光源からでた光束を一
個のキューブ型ビームスプリッタで２光束に分割し、反
射鏡で折返して、再び、光軸が同軸上にある収束２光束
に変換し、その収束点付近でゾーンプレートを作成して
いるが、このような方法では、一方の球面鏡Ｍに対して
光源位置Ｐと焦点位置Ｏが曲率中心に位置するようにし
ているために、光束ａに対しては無収差に収束させるこ
とができるが、もう一方の光束に対しては収差補正が必
要となり、この場合の収差は球面鏡で生じているため、
収差が強く、レンズ系でこれを補正することが困難であ
り、各々の光束の集光点を独立して最適位置に持って行
くことができない、また、２光束においてフォトレジス
ト面上の照度の差を調整するためのＮＤフィルターを挿
入する空間が夫々の光路内で取れないために、２光束の
光強度を同一に調整することができない、そのために、
フォトレジスト面上に所望の精度良いパターンを発生さ
せることが困難であった。
個のキューブ型ビームスプリッタで２光束に分割し、反
射鏡で折返して、再び、光軸が同軸上にある収束２光束
に変換し、その収束点付近でゾーンプレートを作成して
いるが、このような方法では、一方の球面鏡Ｍに対して
光源位置Ｐと焦点位置Ｏが曲率中心に位置するようにし
ているために、光束ａに対しては無収差に収束させるこ
とができるが、もう一方の光束に対しては収差補正が必
要となり、この場合の収差は球面鏡で生じているため、
収差が強く、レンズ系でこれを補正することが困難であ
り、各々の光束の集光点を独立して最適位置に持って行
くことができない、また、２光束においてフォトレジス
ト面上の照度の差を調整するためのＮＤフィルターを挿
入する空間が夫々の光路内で取れないために、２光束の
光強度を同一に調整することができない、そのために、
フォトレジスト面上に所望の精度良いパターンを発生さ
せることが困難であった。
ハ０発明が解決しようとする問題点
本発明は、上記のような問題点を解消し、フォトレジス
ト面上に無収差の発散又は収束光束を所望の強度で照射
し、精度良いパターンを作成できるようにすることを目
的とする。
ト面上に無収差の発散又は収束光束を所望の強度で照射
し、精度良いパターンを作成できるようにすることを目
的とする。
二０問題点解決のための手段
ホログラフィック露光装置において、単一光源と、該光
源からの光束を２光束に分割するビームスプリッタと、
分割された光束を一光束に合成する別の半透過鏡と、該
半透過鏡の入射側における上記二光束の各光軸上に夫々
集光点を形成して、これらを夫々点光源とすると共に、
その像を上記半透明鏡の出射側光軸上に前後して形成す
る無収差レンズ系を夫々の光軸上に配置した。
源からの光束を２光束に分割するビームスプリッタと、
分割された光束を一光束に合成する別の半透過鏡と、該
半透過鏡の入射側における上記二光束の各光軸上に夫々
集光点を形成して、これらを夫々点光源とすると共に、
その像を上記半透明鏡の出射側光軸上に前後して形成す
る無収差レンズ系を夫々の光軸上に配置した。
ホ１作用
理想のコントラストを持つフレネルゾーンパターンを作
成するために、２光束を独立して無収差で所望の集光位
置（ホログラフィの・点光源）に収束させる必要がある
０本発明は、干渉縞を生成するホログラフィの２点光源
を前段の点光源の像として形成するに当たり、前段点光
源を２つのホログラフィ用点光源に対して共通とせず、
別々に形成し、各前段点光源の像を形成するレンズ系を
独立に設け、夫々の光束の収差を夫々のレンズ系で独立
に調整できるようにしたものであり、このことにより収
差の１１整が容易となった。
成するために、２光束を独立して無収差で所望の集光位
置（ホログラフィの・点光源）に収束させる必要がある
０本発明は、干渉縞を生成するホログラフィの２点光源
を前段の点光源の像として形成するに当たり、前段点光
源を２つのホログラフィ用点光源に対して共通とせず、
別々に形成し、各前段点光源の像を形成するレンズ系を
独立に設け、夫々の光束の収差を夫々のレンズ系で独立
に調整できるようにしたものであり、このことにより収
差の１１整が容易となった。
へ、実施例
第１図に本発明の一実施例を示す、第１図Ａにおいて、
１はレーザ光源（Ｈｅ −Ｃｄレーザ；λ＝４４１６人
）、２はビームスプリッタでレーザ光源１からの光束を
２光束ａ、ｂに分割する。３．４はミラーで、分割され
た光束ａ、ｂを夫々方向転換させる。５．６は対物レン
ズで、方向転換された光束をピンホール７．８に収束さ
せ、該ピンホール７．８より球面波として発散させてい
る、又、ピンホール７．８はノイズカットのための空間
周波数フィルターとしても用いられている。
１はレーザ光源（Ｈｅ −Ｃｄレーザ；λ＝４４１６人
）、２はビームスプリッタでレーザ光源１からの光束を
２光束ａ、ｂに分割する。３．４はミラーで、分割され
た光束ａ、ｂを夫々方向転換させる。５．６は対物レン
ズで、方向転換された光束をピンホール７．８に収束さ
せ、該ピンホール７．８より球面波として発散させてい
る、又、ピンホール７．８はノイズカットのための空間
周波数フィルターとしても用いられている。
９，１０は収差変換用レンズ系で、球面発散波を所望の
集光点に無収差で収束する光束とし、その光束をキュー
ブ型ビームスプリッタ１１に導く。
集光点に無収差で収束する光束とし、その光束をキュー
ブ型ビームスプリッタ１１に導く。
キューブ型ビームスプリッタ１１は異なる方向から入射
してきた２光束を同一光路に合成する。１２はアブラナ
ティクレンズ系で入射してきた２光束の一方光束ａを無
収差で収束させる。アブラナティクレンズ系では特定の
一点に集光する光束しか無収差で収束させることができ
ないから、異なる収束点に集光するもう一方の光束すは
収束点に無収差で集光するように収差変換用レンズ系１
０で調整する。２光束の収束点の中央にフォトレジスト
１４を塗布した基板１３を第１図Ｂに示すように設置し
、２光束の干渉パターンをフォトレジスト１４に記録す
る。１５はＮＤフィルターでレンズ系１０の前面に設置
し、２光束のフォトレジスト上照度が等しくなるように
している０例えば、第１図Ｂにおいてレジストの位置を
Ｆから■の方にずらした場合には、実線の方の光束の照
射面積と鎖線の光束の照射面積とに差が生じ、鎖線の光
束の照度が強くなり、２光束の照°度を等しくするには
鎖線の光束を弱くする必要がある。そのために鎖線の光
束の光軸上に上記ＮＤフィルター１５を挿入する。
してきた２光束を同一光路に合成する。１２はアブラナ
ティクレンズ系で入射してきた２光束の一方光束ａを無
収差で収束させる。アブラナティクレンズ系では特定の
一点に集光する光束しか無収差で収束させることができ
ないから、異なる収束点に集光するもう一方の光束すは
収束点に無収差で集光するように収差変換用レンズ系１
０で調整する。２光束の収束点の中央にフォトレジスト
１４を塗布した基板１３を第１図Ｂに示すように設置し
、２光束の干渉パターンをフォトレジスト１４に記録す
る。１５はＮＤフィルターでレンズ系１０の前面に設置
し、２光束のフォトレジスト上照度が等しくなるように
している０例えば、第１図Ｂにおいてレジストの位置を
Ｆから■の方にずらした場合には、実線の方の光束の照
射面積と鎖線の光束の照射面積とに差が生じ、鎖線の光
束の照度が強くなり、２光束の照°度を等しくするには
鎖線の光束を弱くする必要がある。そのために鎖線の光
束の光軸上に上記ＮＤフィルター１５を挿入する。
要求されるゾーンプレートの仕様によって点光源０．１
の位置を変える場合、各独立に収差補正をすれば良いの
で、収差変換用レンズ系９．１０は、カメラの交換レン
ズと同じように予め何種類か用意しておき、その組合せ
でＯ，Ｉの位置ができる。また、２光束の光路は分割さ
れてから合成されるまで独立しており、その光路に設置
されている収差変換用レンズ系は互いに独立に収差変換
が可能であり、従って、レンズ系９．１０を別々に設計
できるから、設計の自由度が増え、任意の収束点に無収
差で集光させて、所望のゾーンプレートを容易に得るこ
とができる。
の位置を変える場合、各独立に収差補正をすれば良いの
で、収差変換用レンズ系９．１０は、カメラの交換レン
ズと同じように予め何種類か用意しておき、その組合せ
でＯ，Ｉの位置ができる。また、２光束の光路は分割さ
れてから合成されるまで独立しており、その光路に設置
されている収差変換用レンズ系は互いに独立に収差変換
が可能であり、従って、レンズ系９．１０を別々に設計
できるから、設計の自由度が増え、任意の収束点に無収
差で集光させて、所望のゾーンプレートを容易に得るこ
とができる。
ト、効果
本発明によれば、光路及びそのレンズ系を独立させたこ
とにより、２光束について必要とする波面を夫々独立に
設計できるようになったことで、収差の少ない光束を同
じ光強度で且つ所望の収差で２光束集光させ、所望のフ
レネルゾーンプレートのパターンを容易に製作すること
が可能となり、フレネルゾーンプレートパターンの干渉
縞のコントラストも理想の状態にすることができるよう
になった。また、レンズ系をカメラレンズの交換レンズ
の如く容易に交換可能になったことで、種々の特性を持
つゾーンプレートの製作が極めて随単に対応できるよう
になった。
とにより、２光束について必要とする波面を夫々独立に
設計できるようになったことで、収差の少ない光束を同
じ光強度で且つ所望の収差で２光束集光させ、所望のフ
レネルゾーンプレートのパターンを容易に製作すること
が可能となり、フレネルゾーンプレートパターンの干渉
縞のコントラストも理想の状態にすることができるよう
になった。また、レンズ系をカメラレンズの交換レンズ
の如く容易に交換可能になったことで、種々の特性を持
つゾーンプレートの製作が極めて随単に対応できるよう
になった。
第１図は本発明の一実施例の構成図で、同図Ａは全体図
、同図Ｂは焦点付近の拡大図、第２図は従来例の構成図
である。 １・・・レーザ光源、２・・・ビームスプリッタ、３．
４・・・ミラー、５．６・・・対物レンズ、７．８・・
・ピンホール、９．１０・・収差変換用レンズ系、１１
・・・キューブ型ビームスプリッタ、１２・・・アブラ
ナティクレンズ系、１３・・・基板、１４・・・フォト
レジスト、１５・・・ＮＤフィルター。 箪１図 手続補正書（自発） 昭和６３年 １月８０ １、事件の表示 昭和６２年特許願第２０．２９８７
号２、発明の名称 ホログラフィック露光装置 ３、補正する者 事件との関係 特許出願人 住 所 京都市中京区西ノ京桑原町１番地名称（＋９９
）株式会社島津製作所 代表者西八條 實 ４、代理人 明細書 発明の詳細な説明の欄 特願昭６２−３０３９８７号補正の内容別紙１ 明細書
の第２頁第２行目「ためには、」と「強度が」との間に
、「互いにコヒーレントで」を挿入します。 ２ 明細書の第３頁第６行目「ビームスプリッタ１１」
を、「半透明鏡ＢＳＪと訂正します。 ３ 明細書の第３頁第７〜８行目「ビームスプリッタ１
１」を、「半透明鏡ＢＳＪと訂正します。 ４ 明細書の第３頁第１０行目「ビームスプリッタ１１
」を、「半透明鏡ＢＳＪと訂正します。 ５ 明細書の第３頁第１４〜１５行目「ビームスプリッ
タ１１」を、「半透明鏡ＢＳＪと訂正します。 ６ 明細書の第３頁第１６行目「ビームスプリッタ１′
１」を、「半透明鏡ＢＳＪと訂正します。 ７ 明細書の第４頁第７行目「ビームスプリッタ」を、
「半透明鏡」と訂正します。 ８ 明細書の第７頁第４行目「キューブ型ビームスプリ
ッタ」を、「キューブ型ビームコンバイナー」と訂正し
ます。 ９ 明細書の第７頁第５行目「キューブ型ビームスプリ
ッタ」を、「キューブ型ビー“ムコンバイナー」と訂正
します。 ｌＯ明細書の第９頁第１７〜１８行目「キューブ型ビー
ムスプリッタ」を、「キューブ型ビームコンバイナー」
と訂正します。
、同図Ｂは焦点付近の拡大図、第２図は従来例の構成図
である。 １・・・レーザ光源、２・・・ビームスプリッタ、３．
４・・・ミラー、５．６・・・対物レンズ、７．８・・
・ピンホール、９．１０・・収差変換用レンズ系、１１
・・・キューブ型ビームスプリッタ、１２・・・アブラ
ナティクレンズ系、１３・・・基板、１４・・・フォト
レジスト、１５・・・ＮＤフィルター。 箪１図 手続補正書（自発） 昭和６３年 １月８０ １、事件の表示 昭和６２年特許願第２０．２９８７
号２、発明の名称 ホログラフィック露光装置 ３、補正する者 事件との関係 特許出願人 住 所 京都市中京区西ノ京桑原町１番地名称（＋９９
）株式会社島津製作所 代表者西八條 實 ４、代理人 明細書 発明の詳細な説明の欄 特願昭６２−３０３９８７号補正の内容別紙１ 明細書
の第２頁第２行目「ためには、」と「強度が」との間に
、「互いにコヒーレントで」を挿入します。 ２ 明細書の第３頁第６行目「ビームスプリッタ１１」
を、「半透明鏡ＢＳＪと訂正します。 ３ 明細書の第３頁第７〜８行目「ビームスプリッタ１
１」を、「半透明鏡ＢＳＪと訂正します。 ４ 明細書の第３頁第１０行目「ビームスプリッタ１１
」を、「半透明鏡ＢＳＪと訂正します。 ５ 明細書の第３頁第１４〜１５行目「ビームスプリッ
タ１１」を、「半透明鏡ＢＳＪと訂正します。 ６ 明細書の第３頁第１６行目「ビームスプリッタ１′
１」を、「半透明鏡ＢＳＪと訂正します。 ７ 明細書の第４頁第７行目「ビームスプリッタ」を、
「半透明鏡」と訂正します。 ８ 明細書の第７頁第４行目「キューブ型ビームスプリ
ッタ」を、「キューブ型ビームコンバイナー」と訂正し
ます。 ９ 明細書の第７頁第５行目「キューブ型ビームスプリ
ッタ」を、「キューブ型ビー“ムコンバイナー」と訂正
します。 ｌＯ明細書の第９頁第１７〜１８行目「キューブ型ビー
ムスプリッタ」を、「キューブ型ビームコンバイナー」
と訂正します。
Claims (1)
- 単一光源と、該光源からの光束を２光束に分割するビー
ムスプリッタと、分割された光束を一光束に合成する別
の半透過鏡と、該半透過鏡の入射側における上記二光束
の各光軸上に夫々集光点を形成して、これらを夫々点光
源とすると共に、その像を上記半透明鏡の出射側光軸上
に前後して形成する無収差レンズ系を夫々の光軸上に配
置したことを特徴とするホログラフィック露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30398787A JPH01144001A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | ホログラフィック露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30398787A JPH01144001A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | ホログラフィック露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01144001A true JPH01144001A (ja) | 1989-06-06 |
Family
ID=17927678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30398787A Pending JPH01144001A (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | ホログラフィック露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01144001A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100359269B1 (ko) * | 2000-03-21 | 2002-11-07 | 주식회사 에이씨알 코리아 | 3차원 입체 영상 생성 장치 |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP30398787A patent/JPH01144001A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100359269B1 (ko) * | 2000-03-21 | 2002-11-07 | 주식회사 에이씨알 코리아 | 3차원 입체 영상 생성 장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02142111A (ja) | 照明方法及びその装置並びに投影式露光方法及びその装置 | |
| JPH0412039B2 (ja) | ||
| KR930020375A (ko) | 초해상주사 광학장치, 광학장치의 초해상용 광원장치 및 광학장치의 초해상용 필터 | |
| JPS59149315A (ja) | 半導体レ−ザ用光学装置 | |
| TWI514008B (zh) | 利用複合全像光學元件使漫射光準直的設備與方法 | |
| US3558207A (en) | Hologram system employing incoherent light | |
| JPH01144001A (ja) | ホログラフィック露光装置 | |
| JP3437722B2 (ja) | 非球面鏡用の光軸調整装置 | |
| JPS6253804B2 (ja) | ||
| US20020167672A1 (en) | Holographic particle-measuring apparatus | |
| JPH10293256A (ja) | レーザ走査型顕微鏡 | |
| JP2002049293A (ja) | ホログラム作成方法 | |
| JPH1062710A (ja) | 照明光学系 | |
| JPS6080801A (ja) | フレネルゾ−ンプレ−トのパタ−ン発生装置 | |
| JP2770984B2 (ja) | 照明装置，投影露光装置及び素子製造方法 | |
| JP2008275867A (ja) | ホログラム光学素子およびその製造方法と、光源ユニット | |
| JP2765162B2 (ja) | 照明装置 | |
| GB1459936A (en) | Apparatus for illuminating minute targets | |
| JPS62231924A (ja) | 投影露光方法及びその装置 | |
| KR102798253B1 (ko) | 광학 지연 시스템 | |
| JPH0317282Y2 (ja) | ||
| JP6722411B2 (ja) | 照明装置 | |
| JP2681372B2 (ja) | 干渉計における被検レンズのアライメント方法及びその調整装置 | |
| JPH01109720A (ja) | 照明装置 | |
| JPS6381420A (ja) | 照明装置 |