JPS6081572A - シ−ル構造 - Google Patents
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- B29C65/02—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure
- B29C65/34—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure using heated elements which remain in the joint, e.g. "verlorenes Schweisselement"
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- B29C65/3604—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor by heating, with or without pressure using heated elements which remain in the joint, e.g. "verlorenes Schweisselement" heated by induction characterised by the type of elements heated by induction which remain in the joint
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L13/00—Non-disconnectable pipe joints, e.g. soldered, adhesive, or caulked joints
- F16L13/004—Shrunk pipe-joints
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- B29C66/303—Particular design of joint configurations the joint involving an anchoring effect
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
- F16B2200/00—Constructional details of connections not covered for in other groups of this subclass
- F16B2200/77—Use of a shape-memory material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明はパイプとパイプとの結合構造にあって、気密的
に結合するシール構造、特に真空系、高圧系の１記管結
合に有効外シール構造に関する。
に結合するシール構造、特に真空系、高圧系の１記管結
合に有効外シール構造に関する。
半導体装置のα、Ｖ造における被膜形成、イオン打込み
、ドライエツチング等を行なう装置として広く真空装置
が使用されている。そして、この真空装置にあっては、
たとえば電子材料１９８１年８月号４１〜４５頁「真空
装置」にも記載されているように、半導体素子の信頼性
向上の面からも良好な排気が望まれる。
、ドライエツチング等を行なう装置として広く真空装置
が使用されている。そして、この真空装置にあっては、
たとえば電子材料１９８１年８月号４１〜４５頁「真空
装置」にも記載されているように、半導体素子の信頼性
向上の面からも良好な排気が望まれる。
ところで、本出願人は真空装置の一つであるドライエツ
チング装置における排気系にあって、ノくイブとパイプ
との結合は、第１図（ａ） 、 （ｂ）に示すように、
ゴムからなるＯ−リングあるいは金属シール（金属ガス
ケット）２を用いて気密化を図っている。すなわち、０
−リング１１ｆｒ：用いる構造は、第１図（ａ）で示す
ように、主パイプ３およびこの主パイプ３の一端に連結
される従パイプ４のそれぞれの結合端にフランジ５，６
を溶接にて気密的に固定した構造となっている。また、
一対のフランジ５．６間にはＯ−リングｌが介在されて
いる。
チング装置における排気系にあって、ノくイブとパイプ
との結合は、第１図（ａ） 、 （ｂ）に示すように、
ゴムからなるＯ−リングあるいは金属シール（金属ガス
ケット）２を用いて気密化を図っている。すなわち、０
−リング１１ｆｒ：用いる構造は、第１図（ａ）で示す
ように、主パイプ３およびこの主パイプ３の一端に連結
される従パイプ４のそれぞれの結合端にフランジ５，６
を溶接にて気密的に固定した構造となっている。また、
一対のフランジ５．６間にはＯ−リングｌが介在されて
いる。
そして、両フランジ５，６はボルト７およびナツト８の
締付けによって連結されている。なお、一方のフランジ
６の結合面には溝９が設けられ、０−リング１をガイド
するようになっている。
締付けによって連結されている。なお、一方のフランジ
６の結合面には溝９が設けられ、０−リング１をガイド
するようになっている。
一方、金属シール２を用いる構造は、第１図（ｂ）で示
すように、第１図（ａ）に示すと同様なフランジ５．６
を有する主パイプ３と従パイプ４のフランジ５．６間に
リング状の金属シール２を挾み、かつ両フランジ５，６
をボルト７およびナツト８の締付けによって連結固定し
た構造となっている。
すように、第１図（ａ）に示すと同様なフランジ５．６
を有する主パイプ３と従パイプ４のフランジ５．６間に
リング状の金属シール２を挾み、かつ両フランジ５，６
をボルト７およびナツト８の締付けによって連結固定し
た構造となっている。
なお、ボルト７およびナツト８の締付は時に金属シール
面に喰い込むような鋭利な頂端を有する突条１０．１１
がフランジ５．６に設けられている。
面に喰い込むような鋭利な頂端を有する突条１０．１１
がフランジ５．６に設けられている。
しかし、これらのシール構造ではつぎのように多くの問
題が生じることが本発明者によってあきらかとされた。
題が生じることが本発明者によってあきらかとされた。
（１）Ｏ−リングシール構造はＯ−リングがゴムである
ことから放出ガス方（リーク量）が多く （たとえば、
リーク量は２ Ｘ １０−３Ｐａｙ７／／５ｅＣ２７）
、排気系を放出ガスで汚染し易い。排気系の汚染は反応
室の汚染ともなる結果、微量のガスがエツチング特性に
悲影響を及ぼすドライエツチングでは好まＩ−＜ない。
ことから放出ガス方（リーク量）が多く （たとえば、
リーク量は２ Ｘ １０−３Ｐａｙ７／／５ｅＣ２７）
、排気系を放出ガスで汚染し易い。排気系の汚染は反応
室の汚染ともなる結果、微量のガスがエツチング特性に
悲影響を及ぼすドライエツチングでは好まＩ−＜ない。
また、金属シール構造は前記Ｏ−リングシール構造に比
較ずれば放出ガス量は少ないが、シール効果を高めるた
めに軟かい金属、たとえば無酸素銅で今月シールを形成
しているため、Ｃ１等が放出され（たとえば、リーク量
−は５×１０−’ Ｐａ ｎ？ｌ ｓｅｅ ｔ＆ ）好
ましくない。
較ずれば放出ガス量は少ないが、シール効果を高めるた
めに軟かい金属、たとえば無酸素銅で今月シールを形成
しているため、Ｃ１等が放出され（たとえば、リーク量
−は５×１０−’ Ｐａ ｎ？ｌ ｓｅｅ ｔ＆ ）好
ましくない。
（２）Ｏ−リングはゴムであるところから、経時変化が
起き易く、シールの寿命が短かい。この結果、０−リン
グの繰返し使用回数は少ない。これに対して金属シール
は経時変化は起き難いが、一度の使用で変形するため繰
返して使用できない欠点がある。
起き易く、シールの寿命が短かい。この結果、０−リン
グの繰返し使用回数は少ない。これに対して金属シール
は経時変化は起き難いが、一度の使用で変形するため繰
返して使用できない欠点がある。
（３）０−ＩＪソング熱に弱いため、０−リングシール
構造は高温高熱箇所には使用できない難点がある。
構造は高温高熱箇所には使用できない難点がある。
（４）０−ＩＪソングール構造および金属シール構造は
ボルト締めにて気密シールするため、ボルト締付は順序
、ボルト締付は荷車により気密度（Ｘ空′） シール））の度合いが変動する欠点がある。特にＯ−リ
ングはゴムであることからＯ−リングとフランジとの接
触圧は小さく真空シール度としては高いとはいえなくな
る。
ボルト締めにて気密シールするため、ボルト締付は順序
、ボルト締付は荷車により気密度（Ｘ空′） シール））の度合いが変動する欠点がある。特にＯ−リ
ングはゴムであることからＯ−リングとフランジとの接
触圧は小さく真空シール度としては高いとはいえなくな
る。
（５）Ｏ−！Ｊングシール構造および金属シール構造は
フランジｔボルト、ナツト等部品点数が多ぐコスト高と
なるとともに、組立に時間が川り、使い離い欠点がある
。
フランジｔボルト、ナツト等部品点数が多ぐコスト高と
なるとともに、組立に時間が川り、使い離い欠点がある
。
本発明の目的は放出ガス量が少なく管路系を汚染し難い
シール構造を提供することにある。
シール構造を提供することにある。
また、本発明の他の目的は気密性の高いシール構造を提
供することにある。
供することにある。
また、本発明の他の目的は構造が簡単でかつ繰返して使
用できるシール構造を提供することにある。
用できるシール構造を提供することにある。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細省の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本明細省の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を油単に説明すれば、下記のとおりである。
を油単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、本発明は主パイプと従パイプとの嵌合部分に
形状合金からなるシール体を介在させ、シール体の強い
記憶形状復帰力によって気密的にシールする構造となっ
ているため、高い気密度が達成できる。また、このシー
ル構造はシール体が直接パイプ内にその表面を露出しな
い構造となっているため、シール体を構成する物質の放
出は起き難くなり管路系の汚染防止が達成できる。さら
に、このシール構造におけるシール体は形状記憶合金で
形成されているため、約返し使用が達成できる。
形状合金からなるシール体を介在させ、シール体の強い
記憶形状復帰力によって気密的にシールする構造となっ
ているため、高い気密度が達成できる。また、このシー
ル構造はシール体が直接パイプ内にその表面を露出しな
い構造となっているため、シール体を構成する物質の放
出は起き難くなり管路系の汚染防止が達成できる。さら
に、このシール構造におけるシール体は形状記憶合金で
形成されているため、約返し使用が達成できる。
第２図は本発明の一実施例によるドライエツチング装置
を示す模式図、第３図は同じく一部の拡大断面図、第４
図は同じくバイブ連結方法を示す拡大断面図である。
を示す模式図、第３図は同じく一部の拡大断面図、第４
図は同じくバイブ連結方法を示す拡大断面図である。
ドライエツチング装置は、処理室１２内に１対の平行平
板電極１３．１４が配設された構造となっている。前記
平行平板１！極１３，１４には高周波電源１５によって
所望の電圧が印加され、平行平板電極１３．１４間にプ
ラズマが発生させられるようになっている。また、下方
の平行平板ｉ！極１４はその上面にシリコンウェハ等の
被処理物１６を載置するテーブルともなっている。また
、このドライエツチング装置は処理室１２に連通ずる主
パイプ３からなる排気口１７を有している。この排気口
１７は主パイプ３の先端に結合される従ノくイブ４を介
して図示しない真空排気系に接続されている。
板電極１３．１４が配設された構造となっている。前記
平行平板１！極１３，１４には高周波電源１５によって
所望の電圧が印加され、平行平板電極１３．１４間にプ
ラズマが発生させられるようになっている。また、下方
の平行平板ｉ！極１４はその上面にシリコンウェハ等の
被処理物１６を載置するテーブルともなっている。また
、このドライエツチング装置は処理室１２に連通ずる主
パイプ３からなる排気口１７を有している。この排気口
１７は主パイプ３の先端に結合される従ノくイブ４を介
して図示しない真空排気系に接続されている。
ところで、前記主パイプ（主管）３と従ノくイブ（従管
）４とは第３図で示すような結合構造となっている。す
なわち、主パイプ３の先端内周部には嵌合孔１８が設け
られている。この嵌合孔Ｊ８は従パイプ４の外径よりは
数陥〜数の大きくなっている。そして、従パイプ４は外
周部に嵌合したリング状のシール体１９を介して主パイ
プ３の嵌合孔１８に嵌合されている。シール体１９はた
とえばＴＩ−ＮＩ系の形状記憶合金によって形成されて
いる。寸だ、シール体１９は内周側と外周側にリップ２
０．２１を突出させるように断面がＶ字状となる構造と
なっていて、その両リップ２０゜２１０先端部分が主パ
イプ３の嵌合孔１８の内周面および従バイブ４の外周面
に深く喰い込み、主パイプ３と従パイプ４との結合性お
よび気密性を維持している。なお、シール体１９の喰い
込み力はシール体１９の記憶形状復帰力によって生じて
いる。
）４とは第３図で示すような結合構造となっている。す
なわち、主パイプ３の先端内周部には嵌合孔１８が設け
られている。この嵌合孔Ｊ８は従パイプ４の外径よりは
数陥〜数の大きくなっている。そして、従パイプ４は外
周部に嵌合したリング状のシール体１９を介して主パイ
プ３の嵌合孔１８に嵌合されている。シール体１９はた
とえばＴＩ−ＮＩ系の形状記憶合金によって形成されて
いる。寸だ、シール体１９は内周側と外周側にリップ２
０．２１を突出させるように断面がＶ字状となる構造と
なっていて、その両リップ２０゜２１０先端部分が主パ
イプ３の嵌合孔１８の内周面および従バイブ４の外周面
に深く喰い込み、主パイプ３と従パイプ４との結合性お
よび気密性を維持している。なお、シール体１９の喰い
込み力はシール体１９の記憶形状復帰力によって生じて
いる。
主パイプ３および従パイプ４の結合はつぎのような手順
によって行なわれる。リング状のシール体１９の記憶形
状は内径が従パイプ４の外径よりもたとえば数朔小さく
、外径が主パイプ３の嵌合孔１８の直径よりもたとえば
数胴大きくなるようにあらかじめ設定されている。
によって行なわれる。リング状のシール体１９の記憶形
状は内径が従パイプ４の外径よりもたとえば数朔小さく
、外径が主パイプ３の嵌合孔１８の直径よりもたとえば
数胴大きくなるようにあらかじめ設定されている。
そこで、主パイプ３と従パイプ４との結合時には、低温
湯で前記シール体１９を変形させ、第４図に示すように
、シール体１９の内径が従パイプ４の外径よりもわずか
に大きくなるように、外径が主パイプ３の嵌合孔１８の
直径よりもわずかに小さくなるようにする。つぎに、従
パイプ４はシール体１９を介在された状態で主パイプ３
の嵌合孔１８に嵌合される。つぎに、嵌合状態の主・従
パイプ３，４およびシール体１９は、形状記憶合金が記
憶形状に復帰する逆変態温度よシも高い室温またはドラ
イエツチングを行なう温度に晒される。すると、シール
体１９はあらかじめ記憶されていた形状に変形するため
、内周側リップ２０の先端は深く従パイプ４の外周面に
喰い込む。また、シール体１９の外周側リップ２１の先
端部分は主パイプ３の嵌合孔１８内周面に深く喰い込む
。この結果、主パイプ３と従パイプ４は強固に結合され
るとともに、シール体１９によって全周に亘ってシール
されることから気密的にシールされることになる。
湯で前記シール体１９を変形させ、第４図に示すように
、シール体１９の内径が従パイプ４の外径よりもわずか
に大きくなるように、外径が主パイプ３の嵌合孔１８の
直径よりもわずかに小さくなるようにする。つぎに、従
パイプ４はシール体１９を介在された状態で主パイプ３
の嵌合孔１８に嵌合される。つぎに、嵌合状態の主・従
パイプ３，４およびシール体１９は、形状記憶合金が記
憶形状に復帰する逆変態温度よシも高い室温またはドラ
イエツチングを行なう温度に晒される。すると、シール
体１９はあらかじめ記憶されていた形状に変形するため
、内周側リップ２０の先端は深く従パイプ４の外周面に
喰い込む。また、シール体１９の外周側リップ２１の先
端部分は主パイプ３の嵌合孔１８内周面に深く喰い込む
。この結果、主パイプ３と従パイプ４は強固に結合され
るとともに、シール体１９によって全周に亘ってシール
されることから気密的にシールされることになる。
（１）本発明のシール構造は形状記憶合金のパイプとの
密着力は原子レベルの力が基準となるので、密着力はＱ
−ＩＪタングール構造、全屈シール（金ｈガスケット
シール）構造に比較して強く、超高真空のシールが可能
となる。特に、形状記憶合金は逆変態温度を越えた後も
温度が高くなるとわずかではあるが変形変位が大きくな
る傾向を示すので、高温度下でプラズマエツチングが行
なわれるような場合に主・従パイプおよびシール体相互
の熱膨張係数の違いによるゆるみをも吸収することにも
なり、気密性は有効に維持される。
密着力は原子レベルの力が基準となるので、密着力はＱ
−ＩＪタングール構造、全屈シール（金ｈガスケット
シール）構造に比較して強く、超高真空のシールが可能
となる。特に、形状記憶合金は逆変態温度を越えた後も
温度が高くなるとわずかではあるが変形変位が大きくな
る傾向を示すので、高温度下でプラズマエツチングが行
なわれるような場合に主・従パイプおよびシール体相互
の熱膨張係数の違いによるゆるみをも吸収することにも
なり、気密性は有効に維持される。
（２）本発明のシール構造は温度を降下させるだけで真
空シールが解除させるだけでよいことから、シール体は
繰り返して使用でき、永久的に使用可能となる。
空シールが解除させるだけでよいことから、シール体は
繰り返して使用でき、永久的に使用可能となる。
（３）本発明のシール構造はシール体は直接・（イブ。
の内部にその表面を露出していない。この結果、パイプ
内にシール体を構成する物質は放出さｆｔ難＜ ｆｘ
！＋ （タトエＩｄ、リーク量は４ ｘ ｌ Ｏ−？Ｐ
ａｆｆ／／５ｅｃｙｙ／）、管路（排気）系の汚染防止
が達成でき、プラズマエツチング等の処理品質の低下２
歩留低下を引き起こさなくなる。
内にシール体を構成する物質は放出さｆｔ難＜ ｆｘ
！＋ （タトエＩｄ、リーク量は４ ｘ ｌ Ｏ−？Ｐ
ａｆｆ／／５ｅｃｙｙ／）、管路（排気）系の汚染防止
が達成でき、プラズマエツチング等の処理品質の低下２
歩留低下を引き起こさなくなる。
（４）本発明のシール構造は構造が簡卑であり、７５・
つシール化、シール解除が容易であるため使い易い。
つシール化、シール解除が容易であるため使い易い。
（５）本発明のシール構造は部品点数が少ないことから
コストが安くなる。
コストが安くなる。
（６）本発明のシール体は、熱にも強くかつ経時変化も
生じないことからシール体、すなわちシール構造の寿命
も長くなる。
生じないことからシール体、すなわちシール構造の寿命
も長くなる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上言己実施例に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更
可能であることはいうまでもない。たとえば、シール体
の断面形状はＸ字形であっても前記実施例と同様な効果
が得られる。
具体的に説明したが、本発明は上言己実施例に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更
可能であることはいうまでもない。たとえば、シール体
の断面形状はＸ字形であっても前記実施例と同様な効果
が得られる。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である真を装置技術に適用
した場合について説明したが、それに限定されるもので
はなく、たとえば、高圧装置における管結合技術にも適
用できる。
をその背景となった利用分野である真を装置技術に適用
した場合について説明したが、それに限定されるもので
はなく、たとえば、高圧装置における管結合技術にも適
用できる。
第１図（ａ） 、 （ｂ）は本出願人が既に実施してい
る管結合状態を示す断面図、 第２図は本発明の一実施例によるドライエツチング装置
を示す模式図、 第３Ｍは同じく省結合状態を示す一部の拡大断面図、 第４図は同じく管結什方法を示す一部の拡大断面図であ
る。 ■・・・０−’Ｊソング２・・・金属シール、３・・・
主バイブ、４・・従バイブ、５，６・・・ノフンジ、７
・・ボルト、８・・ナツト、９・・・溝、］、 ０ 、
１１・・・実売、１２・・・処理室、１３．１４・・平
行平板電極、１５・・・高周波電源、Ｊ６・・・被処理
物、１７・・・排気口、１８・・・嵌合孔、１９・・・
シール体、２０．２１・・・リップ。 第 １ 図 ６グ） 第 ２ 図
る管結合状態を示す断面図、 第２図は本発明の一実施例によるドライエツチング装置
を示す模式図、 第３Ｍは同じく省結合状態を示す一部の拡大断面図、 第４図は同じく管結什方法を示す一部の拡大断面図であ
る。 ■・・・０−’Ｊソング２・・・金属シール、３・・・
主バイブ、４・・従バイブ、５，６・・・ノフンジ、７
・・ボルト、８・・ナツト、９・・・溝、］、 ０ 、
１１・・・実売、１２・・・処理室、１３．１４・・平
行平板電極、１５・・・高周波電源、Ｊ６・・・被処理
物、１７・・・排気口、１８・・・嵌合孔、１９・・・
シール体、２０．２１・・・リップ。 第 １ 図 ６グ） 第 ２ 図
Claims (1)
- １、 パイプとパイプの嵌合部分のシール構造であって
、前記嵌合部分には形状記憶合金で形成されたシール体
が気密的に介在されていることを特徴とするシール構造
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58186902A JPS6081572A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | シ−ル構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58186902A JPS6081572A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | シ−ル構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6081572A true JPS6081572A (ja) | 1985-05-09 |
Family
ID=16196676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58186902A Pending JPS6081572A (ja) | 1983-10-07 | 1983-10-07 | シ−ル構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6081572A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624690U (ja) * | 1985-06-25 | 1987-01-12 | ||
| FR2742691A1 (fr) * | 1995-12-22 | 1997-06-27 | Etex De Rech Tech Soc | Element de raccord thermoplastique pour un assemblage de pieces par soudage selon une surface de jonction ouverte |
| FR2748415A1 (fr) * | 1996-05-09 | 1997-11-14 | Etex De Rech Tech Soc | Element de raccord pour un assemblage de pieces en materiaux thermoplastiques par soudage et procede de fabrication d'un tel element |
| EP1930605A1 (de) * | 2006-12-06 | 2008-06-11 | Uponor Innovation Ab | Fitting für ein Rohr, insbesondere ein Kunststoffrohr oder ein Kunststoff-/Metallverbundrohr |
| EP2372095A1 (de) * | 2010-03-26 | 2011-10-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Befestigung einer Schaufel am Rotor mittels Formgedächtniswerkstoff |
| US8763231B2 (en) | 2009-04-10 | 2014-07-01 | 3M Innovative Properties Company | Blind fasteners |
| US8870236B2 (en) | 2009-11-16 | 2014-10-28 | 3M Innovative Properties Company | Pipe section joining |
| US9422964B2 (en) | 2009-04-10 | 2016-08-23 | 3M Innovative Properties Company | Blind fasteners |
-
1983
- 1983-10-07 JP JP58186902A patent/JPS6081572A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS624690U (ja) * | 1985-06-25 | 1987-01-12 | ||
| FR2742691A1 (fr) * | 1995-12-22 | 1997-06-27 | Etex De Rech Tech Soc | Element de raccord thermoplastique pour un assemblage de pieces par soudage selon une surface de jonction ouverte |
| FR2748415A1 (fr) * | 1996-05-09 | 1997-11-14 | Etex De Rech Tech Soc | Element de raccord pour un assemblage de pieces en materiaux thermoplastiques par soudage et procede de fabrication d'un tel element |
| EP1930605A1 (de) * | 2006-12-06 | 2008-06-11 | Uponor Innovation Ab | Fitting für ein Rohr, insbesondere ein Kunststoffrohr oder ein Kunststoff-/Metallverbundrohr |
| US8763231B2 (en) | 2009-04-10 | 2014-07-01 | 3M Innovative Properties Company | Blind fasteners |
| US9422964B2 (en) | 2009-04-10 | 2016-08-23 | 3M Innovative Properties Company | Blind fasteners |
| US8870236B2 (en) | 2009-11-16 | 2014-10-28 | 3M Innovative Properties Company | Pipe section joining |
| EP2372095A1 (de) * | 2010-03-26 | 2011-10-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Befestigung einer Schaufel am Rotor mittels Formgedächtniswerkstoff |
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