JPS6087643U - ポリシング装置の定盤間隔保持構造 - Google Patents
ポリシング装置の定盤間隔保持構造Info
- Publication number
- JPS6087643U JPS6087643U JP1983181696U JP18169683U JPS6087643U JP S6087643 U JPS6087643 U JP S6087643U JP 1983181696 U JP1983181696 U JP 1983181696U JP 18169683 U JP18169683 U JP 18169683U JP S6087643 U JPS6087643 U JP S6087643U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- spacing structure
- plate spacing
- polishing equipment
- spacing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はポリシング装置の概略的断面図、第２図は要部
の平面図、第３図は同じく縦断面図、第４図は従来の研
摩布の洗浄状態を示す要部拡大断面図、第５図は本考案
に係る研磨布の洗浄状態の一実施例を示す要部断面図、
第６図は間隔片の拡大平面図、第７図から第９図は間隔
片の他の実施例をそれぞた示す説明図である。 １・・・上定盤、２・・・下定盤、３，４・・・研磨布
、１６・・・カップリング、２０・・・軸、２０ａ・・
・スプライン軸、２９・・・洗浄用ブラシ。 第１図。 第４図
の平面図、第３図は同じく縦断面図、第４図は従来の研
摩布の洗浄状態を示す要部拡大断面図、第５図は本考案
に係る研磨布の洗浄状態の一実施例を示す要部断面図、
第６図は間隔片の拡大平面図、第７図から第９図は間隔
片の他の実施例をそれぞた示す説明図である。 １・・・上定盤、２・・・下定盤、３，４・・・研磨布
、１６・・・カップリング、２０・・・軸、２０ａ・・
・スプライン軸、２９・・・洗浄用ブラシ。 第１図。 第４図
Claims (2)
- （１）相対向する面の少なくとも一方に研摩布を貼着し
た上下一対の定盤間に洗浄用ブラシを介在させて研摩布
を洗浄し得るようにしたポリシング装置において、前記
上定盤のカップリングと、このカップリングに係合され
る上定盤の回転駆動軸との間に間隔調整部材を着脱可能
に介在させたことを特徴とするポリシング装置の定盤間
隔保持構造。 - （２）間隔調整部材を、上下厚さ寸法調整可能に形成し
たことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記
載のポリシング装置の定盤間隔保持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983181696U JPH0630367Y2 (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | ポリシング装置の定盤間隔保持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1983181696U JPH0630367Y2 (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | ポリシング装置の定盤間隔保持構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6087643U true JPS6087643U (ja) | 1985-06-15 |
| JPH0630367Y2 JPH0630367Y2 (ja) | 1994-08-17 |
Family
ID=30393669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1983181696U Expired - Lifetime JPH0630367Y2 (ja) | 1983-11-25 | 1983-11-25 | ポリシング装置の定盤間隔保持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0630367Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5542738A (en) * | 1978-09-20 | 1980-03-26 | Toshiba Corp | Abrasive grain processing device |
| JPS5715668A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-27 | Fujikoshi Kikai Kogyo Kk | Lapping process and lapping device |
-
1983
- 1983-11-25 JP JP1983181696U patent/JPH0630367Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5542738A (en) * | 1978-09-20 | 1980-03-26 | Toshiba Corp | Abrasive grain processing device |
| JPS5715668A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-27 | Fujikoshi Kikai Kogyo Kk | Lapping process and lapping device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0630367Y2 (ja) | 1994-08-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6087643U (ja) | ポリシング装置の定盤間隔保持構造 | |
| JPH0379263U (ja) | ||
| JPS5946667U (ja) | ポリシヤの研磨布ブラツシング装置 | |
| JPS59135125U (ja) | 横型ミキサ−のアジテ−タ | |
| JPS5939163U (ja) | 研摩布クリ−ニング装置 | |
| JPS59151649U (ja) | 研摩装置 | |
| JPS60133798U (ja) | 皮剥き装置 | |
| JPS5897201U (ja) | 防振装置 | |
| JPS63754U (ja) | ||
| JPS59158492U (ja) | スポンジロ−ルの絞り装置 | |
| JPS5934961U (ja) | 型磨き用工具 | |
| JPS58138330U (ja) | 液相エピタキシヤル成長装置 | |
| JPS6310052U (ja) | ||
| JPS6327253U (ja) | ||
| JPS5867656U (ja) | 研摩デイスク | |
| JPS5946666U (ja) | 研磨布クリ−ニング装置 | |
| JPS58132640U (ja) | 研磨装置 | |
| JPS60109855U (ja) | 長尺物コ−ナ−部の面取り装置 | |
| JPS60161563U (ja) | 砥石を備えた研削装置 | |
| JPS58185410U (ja) | タイル生素地の仕上装置 | |
| JPH0435867U (ja) | ||
| JPS6014835U (ja) | ロ−ラ研削装置 | |
| JPS59100555U (ja) | ポリシング装置 | |
| JPS6199461U (ja) | ||
| JPS6350654U (ja) |