JPS6090169A - 容器 - Google Patents

容器

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JPS6090169A
JPS6090169A JP59166286A JP16628684A JPS6090169A JP S6090169 A JPS6090169 A JP S6090169A JP 59166286 A JP59166286 A JP 59166286A JP 16628684 A JP16628684 A JP 16628684A JP S6090169 A JPS6090169 A JP S6090169A
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Japan
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container
head
wafer
wafers
silicon wafer
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JP59166286A
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ダグラス　エム　ジヨンソン
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Empak Inc
Original Assignee
Empak Inc
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Publication date
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
    • H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
    • H10P72/1911—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by materials, roughness, coatings or the like
    • H10P72/1912—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by materials, roughness, coatings or the like characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D25/00—Details of other kinds or types of rigid or semi-rigid containers
    • B65D25/02—Internal fittings
    • B65D25/10—Devices to locate articles in containers
    • B65D25/107—Grooves, ribs, or the like, situated on opposed walls and between which the articles are located
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
    • H10P72/1914—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by locking systems
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S206/00—Special receptacle or package
    • Y10S206/832—Semiconductor wafer boat

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は容器、すなわち、コンテナに関し、一層詳細に
は三つの構成要素、ずなゎち、カセットと容器頭部と容
器底部とからなる所定の外形のシリコンウェハーを移送
し且つ貯蔵するだめのコンテナー用容器に関する。
従来技術において、シリコンウェハーを移送し且つ貯蔵
するための容器はシリコンウェハーを集積回路用に処理
する途上において種々の問題点を露呈する。従来技術の
一つの欠点は固定力セントに存在する。固定力セントは
ウェハーを保持し且つ移送するばかりでなく、例えば、
空気吸引、あるいはゴムベルト１般送手段を介してウェ
ハーを処理装置や処理のための移送装置に位置決めする
。従来技術に係る搬送用の箱はウェハーを最初に移送用
容器に詰め、そして、第２にそのウェハーを搬送用の容
器から処理用の容器に移すために２倍の時間のかかる作
業を必要とする。これは、シリコンウェハーに傷を与え
るばかりでなく、その移送途上においてウェハーを破損
したり、また、時間と作業を無駄にするという不都合を
生ずる。
従来技術における他の欠点は密閉された環境の中でウェ
ハー自体を固定し且つ陸上輸送であろうと空中輸送であ
ろうと貨物取扱業壱の苛酷な荷扱いに耐えることが出来
る貯蔵ボックスに存在している。従来技術における容器
は汚染のない環境を提供するために存在するものではな
く、また、パッケージ自体スムーズに行われるものでは
ない。従来技術の容器は一般的にはパッケージの他の部
分と連結したり結合するようには構成されていない。従
って、この種の容器では、移送若しくは貯蔵の間にウェ
ハーの汚染や破損を生じている。
本発明はシリコンウェハーの移送用容器を提供すること
によって前記の従来技術におりる種々の不都合を克服す
るためになされたものである。
この容器はウェハーカセソＩ・と容器頭部と容器底部と
からなり、カセットの内部でば複数のウェハーが互いに
結合並びに連結することが出来、その結果、容器頭部と
容器底部との間で位置決めされているカセットの内部に
ウェハーを固定することに加えて、安全な１η染される
ことのない、しかも、紐掛りのために素早くパッケージ
することが可能な容器を提供するにある。
本発明に係る新しいカセットのデザインは、ウェハーの
十分な包装とより一層の安定性と夫々がウェハー相互に
点接触を行うことが可能な容器を提供するにある。
本発明の一般的な目的は、移送乃至貯蔵のためのシリコ
ンウェハー用の所定の形状を有するウェハー容器を提供
するにある。この場合、容器はカセットと容器頭部と容
器底部の三つの構成要素からなる相互作用を介してシリ
コンウェハーを係合させ且つ囲繞する複数個の突起部を
含む。
本発明の一つの実施例によれば、集積回路用ウェハー容
器は対設された対称的な側部と実質的に湾曲する上部を
有する閉鎖端部と傾斜する上部と下部とを含む開口する
Ｈ状の棒体と前記Ｈ状棒体に強化され固着された一部円
筒状の部材と前記棒体のいずれかの端部に設ＬＪられた
二つの垂直な側部とからなり、前記容器底部は底部と四
つの僅かに角度を有する側部と前記側部を囲繞する端部
溝と指孔を含むフック受具と内部垂直側部と端部とを位
置決φするための部材を含み、一方、容器頭部は頭部部
材と前記頭部部材を囲繞する四つの側部と端縁を囲繞す
る舌唇部材と夫々のウェハーの周囲に独立して連設され
る対設された可撓性に冨む溝イ【１部材と側部と端部の
内部から外側に延在する側部位置決め手段と容器底部に
あって止め金具をフックするための外側フック用ランチ
に配置され且つ指孔に対応して夫々の部材の中央部に存
在する四部を保持するための凹部保持手段と容器の頭部
に形成された凹部のある上面部とを含み、ウェハーはカ
セッ１−の仕切りとの間およびカセノＩ・、と容器頭部
の指部材との間に係合し、前記カセットは容器頭部と容
器底部との間に存在する垂直側部部材と端部部材との間
に係合し目一つ連結し、前記容器の頭部舌唇部材は前記
容器の底部溝部に係合し、しかも前記ラッチは夫々容器
の底部と頭部との間に設けられた止め金具に係合し、さ
らに頭部四部表面はＩｌｉ’蔵中に同様な容器と連結す
るよう構成し、それによってウェハーの移送と貯蔵のた
めの安全な、しかもｌη染のない環境を確保すると共に
丸く形成された容器を７ｐ５収縮包装することを確保す
る。
本発明の一つの特徴並びに利点は集積回路用のシリコン
ウェハーを移送し且つ貯蔵する容器を提供するにある。
この容器はその底部並びに頭部との間で連結するのと同
様にシールとしてテープを巻き（１ける場合にその外周
部分にとられれない端部を提供するにある。容器は、ま
た、カセットの連結並びに結合手段を提供し、そのため
に、移送中にウェハーおよびカセットの損傷若しくは移
動を妨げることが出来る。
本発明の他の特徴並びに利点は空気吸引、空気通路ある
いは無端のゴムバンドの閉塞された処理工程のいずれか
によってウェハーを移送処理するための自動処理機構に
位置決めされることが可能なシリコンウェハーカセット
を提供するにある。
さらにまｔ４、本発明の利点並びに’１．’ｉ　徴によ
れば、強化されたＨ状の棒体端部構造を介して安全な、
しかも、安定したカセットを提供するにある。前記Ｈ状
の棒体構造は傾斜する頭部と丸い底部と一部円筒状の部
分を有する強化されたＨ状の棒体と二つの垂直方向外方
に延在する側部部材とを含む。
本発明のさらに他の特徴および利点によれば、筐体を互
いに連結して積層するための凹部を有する頭部面部を提
供するにある。
さらにまた、本発明の特徴並びに利点によれば、本発明
に係る容器はシャープな端部を有することなく、然しな
から、外部においては丸めを帯びた形状に設８１され、
そのためにポリエチレン、マイラーあるいは同様なフィ
ルムを用いてその周囲を熱収縮によって包装し、それに
よって空気若しくは塵埃からの汚染および／または浸透
から回避することが出来る。
本発明の他の特徴並びに利点によれば、容器頭部の実施
例では複数個の対設された独立の指部材を有し、これら
の指部材は互いに独立して撓曲可能であり、しかも、こ
の指部材はウェハーの保合の際、独立した動きを呈する
ものであって且つカセットの内部においてウェハーを位
置決めし、さらにカセット底部におい°（ウェハーを位
置決めすることが可能である。
指部材はカセットに対して保合する時に所定の角度を有
し、しかも、ランチからフック止め金具が取り去られた
時に容器頭部がはじけて開くために上方に指向した圧力
を提供する。
それによって、効果的に容器頭部が容器底部から自動的
に開かれる。指部材はウェハーを固定するというためで
はなく、容器頭部の開口を補助するという二つの重畳し
た目的を有する。
以上のような本発明の実施例に従えば、本発明の主たる
目的は集積回路産業のために、清潔に、しかも、汚染の
ないシリコンウェハーを移送するように設計された所定
形状のシリコンウェハーコンテナー用容器を提供するに
ある。
本発明の他の目的はカセット内においてウェハーが汚染
されずに、しかも、構造的に完全で、さらに安定するこ
とが可能なカセット、ずなわら、容器を提供するにある
。
本発明の別の目的は最高の品質のシリコンウェハーを提
供するために汚染物を低いレベルに抑えることが可能な
容器を提供するにある。
本発明のさらに別の目的はウェハー処理装置に適合する
Ｈ状の棒体端部構造を偵すると同様に再使用が可能な容
器を提供するにある。ウェハーの処理途上においては、
ｉ；１記カセントはウェハーが複数個のマイクロエレク
１−ロニツクチップに至るまで利用することが出来る。
また、前記カセットは種々の点で応用する際に、処理装
置によっ−（最終的な利用をすることも出来る。
本発明のさらに別の目的は互いにウェハーを離間させ、
カセットの内部でウェハーを保持し且つフック用の止め
金具が取り払われた時に、飛び」二がる、ずなわら、人
々の部材の弾発力によって」ニカへ指向する力を提供す
ることが出来る対設された部材を有するシリご１ンウエ
ハーコンテナー用容器を１足供するにあり、それによっ
て容器の頭部を容器底部から容易？こしかもスｌ、−ズ
に取り去ることが可能となる。
本発明のさらにまた別の目的はウェハーを十分に保護し
、しかも、ウェハーとカセットとの間でより一層安全な
点接触をすることが可能なウェハー用カセットを提供す
るにある。
本発明の他の目的並びに利点は添付した図面を参照しな
がら以下に詳細に説明する好適な実施例によってより一
層明らかとなるであろう。
なお、図中、同一の参照符号は同一の構成要素を示すも
のとする。
第１図はウェハー用容器１０の側部縦断面図を示し、前
記ウェハー用容器ｌＯは互いに離間し且つ整列されるカ
セッＨ２、容器頭部１４および容器底部１６の三つの構
成要素からなる。参照のために、第５図に前記三つの構
成要素１２．１４および１６が組み立°ζられた状態の
縦断面し１を示す。
以後、特に第１図を参照しながら第１１ン１乃至第５図
に言及した説明をする。
カセソ１１２は所定の形状で対設された対称的な右側部
１８と左側部２０と、下方に指向した円形状の頭部端部
２２ａを有する平坦端部２２と、開口されたＨ状棒体端
部２４とを含む。前記Ｈ状捧体一部２４は所定の形状を
有する平面状のＨ状部材２６と、丸く水平方向に延在し
且つ部分的に棒体を含む円筒状の支持部材２８と、右側
垂直端部支持部材３０と左側垂直端部支持部口３２と、
対設された傾斜頭部部分３４と傾斜底部部分３６とを含
む。
夫々左側と右側とに傾斜面を有するウェハ一点支持部材
４０および４２は側部１８および２０を強化された囲繞
端部５８および前記側部１８．２０の間に位置する三つ
の側部部材４４（以下に説明する）を支承する。垂直方
向において対向し、しかも外側に指向して延在する複数
個の仕切り４６ａ乃至４６ｒ）および４８ａ乃至４８ｎ
はカセット１２を仕切り、このために、例えばシリコン
からなる集積回路用ウェハー若しくはこれと同様な複数
のウェハーを取囲むことが出来る。処理装置のためのイ
シ置決めピン５０．５２および位置決め用の孔５４．５
６がカセソ目２の頂部に配設される。’７１１１化され
た底部端部５８が構造的な安定性を得るために下部端部
４４の周囲に配設される。仕切りは所定面積を有する円
形状の歯を有し、そこでウェハーはその外周部分を接す
る。
容器底部１６は実質的には平らな底部６０と前記底部６
０から直角方向に延在する四つの側部６１．６２．６４
および６８と、段イ１の溝端部７０と指孔７６．７８を
形成する対設されたフック止め具７２．７４と、四つの
端部ガイド８０．８２．８４および１（６と、四つの側
部ガイド８８．９０．９２および９４とを含む（第４図
参照）。
端部ガイド８０乃至８６ばカセッ日２店・保合し且つ整
合するために湾曲している。Ｔ師部材９６並びに９８は
止め具７２．７４の上部に夫々位置し、平坦な表面を有
すると共に後述するようにランチが偶然に開かれること
から回避するために用いられる。
容器頭部１４は実質的に水平な頭部１（１（ｌと実質的
に所定の角度を有する側部１０２．１（１４，１０６お
よび１０８と、さらに容器の雌型段付端部溝に挿入され
且つ係合するための形状をイ１する舌部材１１０とを含
む。また、容器頭部はラッチ１１２．１１４、指部材受
用孔１１６．１１８　、垂直方向に延在し且つ所定の角
度を有する部１．ｉｌ’１２０．１２２．１２４および
１２６並びに所定形状の角度を有する側部垂直部＋４’
１２８．１３０．１３２および１３４とを有する。これ
らは、カセソ１−１２に整合するために用いられる。積
層されるために頭部１００に凹部１３６が設げられる。
対向して頭部１００から指部材１３６および１３Ｆｔが
下方へと延在し、反対方向に離間した円弧上の位置にお
いてウェハ一端部と係合する。指部材１３Ｇ　、１３Ｂ
は、後で第６図並びに第７図を参照して説明するように
、互いに離間して且つ無関係に存在する。変形例として
は、頭部は対向して離間した指部材あるいは対向してず
れた指部材を用いることも出来る。
第２図はカセット１２、ずなわち１■状の棒部材２Ｇと
安定性のために一部円筒状に（１４成され且つ前記■］
状の棒部材２６に装着される棒部材２８を開示する第１
図の中間構成要素を示し７ている。他の全ての参１１へ
符号はすでに説明した（１η成要素に対応している。図
は、また、カセ７１・の全体を十分に示す。Ｈ状の棒部
材を含む開放端部構造は傾斜する水平部を有し且つ一部
円筒状の棒体ば所望の構造的安定性とウェハーに対する
十分な保護を与える。所定の角度を有する側部４０およ
び４２はウェハーの点接触を確保する。
第３図Δば互いに積層されることによつ゛ζ係合する容
器ＩＯの頭部並びに底部の側面を示す。
この場合、全ての参照符号は既に説明した構成要素に対
応する。第３図Ｂはすでに述べたものに対応する端部を
図示する。ずなわち、第３図Ｂは第３図Ａの側部端面を
示ず。このようにして、容器は隣接する容器の底部を頭
部の四部に係合させることによって互いに積層すること
が可能となる。
第４図は二つの部材１２並びに１６が互いに係合してい
る場合であって且つ容器底部１６にカセ・ノド１２が結
合された状態の平面図を示す。この場合、全ての参照符
号はすでに説明した構成要素に対応している。ウェハー
２００ａ乃至２００ｎがカセ・７１・の夫々の仕切りに
係合している状態が示されている。カセット１２はいず
れの方向においても前記容器底部１６に位置決めするこ
とが出来る。
第５図はカセット１２、容器頭部１４および容器底部１
６と互いに保合するウェハー２００ａ乃至２００ｎの縦
断側面図を示す。全ての参照符号はすでに述べた構成要
素に対応しζいる。図示するように、カセソ目２には対
設された＝ｔ−−＄２０２が配設され、一方、対設され
たキー２０／ｌが図示するように容器底部１６に配設さ
れる。斜線で示すように、部分的に円筒状の棒体２０６
は棒体２８の一部を横断して配置される。前記棒体２８
は１１状の棒部材２６の前面に係合する＃ｌ［−’、＋
立て形状を呈する。また、第４図は対設されたフック７
３十ンよひ７５を図示する。
第５図はウェハーコンテナー用容器１０の側縦断面図を
示づ。容器ＩＯはカセットＩ２と容器頭部１４と容器底
部１（ｉとからなりその内部に複数の係合したウェハー
２００ａ乃至２００ｎとを含む。
これらのエレメントにはすてに説明したと同一の参照資
材を伺ず。図には、１Ｙに、カセノトｌ２、容器頭部１
４および容器底部１６の間で係着されるウェハー２００
と共に前記容器頭部１４、容器底部１６に関連してカセ
ット１２の結合関係を示す。
ウェハー２００は夫々の仕切りの凹部と対設された長手
部材との間に係合し、前記長手部材は限定された動作を
制約するために、夫々のウェハーは各仕切りの舌唇部材
の中央部分に位置する。
舌唇部材は溝に係合しフックは孔部に係着する。
カセットと容器底部と容器頭部との間の相互結合関係は
その係合する間に生ずる。この相互結合は、特に、容器
が共動的な組合せ関係にあることを反映している。この
共働的な組合せ関係はウェハーの貯蔵並びに移送を提供
するために、また、容器頭部１４と容器底部１６とを夫
々迅速に紐掛けする場合、平坦な外周部分を提供するた
めに、さらに、安全な移送と貯蔵とをｆｆｆｌ保するの
と同様にウェハー自体の汚染を減少させ且つ除外するた
めに好適である。頭部カバ一部材１４はカセット内にお
いて仕切り部材のセンターラインに沿って指部材がウェ
ハーと整合する前にカセット１２に対して整合するとい
うことは銘記されるべきである。
第６図は第５図の端部を示し、この場合、全ての参照符
号はすでに述べた各構成要素に対応する。部材は可撓性
の弾発力に冨む部材である。
ウェハーを十分に保護することがごの図に説明されてい
る。
容器頭部カバー１４の底部を図示する第７図は長手方向
に延在する指部材の原則的な動作モードを図示する。こ
の指部材はウェハーを固定するばかりでなく容器頭部カ
バーＩ４を１８ね上げるための弾発動作を呈する。第１
のウェハー２　（１０ａがカセソ目２に収蔵されて（＝
Ｊ勢された位置にあることが示されている。ところで、
カバ一部材１４と同様にカセノ１−はいずれの方向にお
い゛（もベース１６に入り込むことがｉｉＪ能である。
カバ一部材１４はカセット１２に対しいずれの方向にお
いても固着され得る。容器頭部１４がウェハｒに対して
所定の位置を占めると、ウェハー２００に対して容器頭
部が降下するために弾性部材が圧力をイ」与する。この
時、仕切り間において指部材がウェハーを整列させるこ
とに次いで頭部１４はカセットに対して整合する。
容器頭部１４が容器底部１６内におりるカセット１２に
対し中央部を占めると、カバ一部材は最初にカセットに
対して整合し、次いで、指状の長手部材がウェハーと接
触することによって互いにウェハーを均等に離間させる
。次に、前記部材は仕切り部材の夫々の凹部にあっＣつ
エバーと係合し且つウェハーを整合させる。さらに、前
記部材は第７図に示すように外側に指向して広がる。カ
バーとカセットとの間、そし−ζ、次に部材とウェハー
との間に起こるこの動作はウェハーに対し僅かな弾性作
用が４１与されて整合させる行為を営む。この弾性作用
はカセット内部においてウェハーを固定し且つ容器底部
から容器頭部に指向する圧力を提供する。その結果、ラ
ンチが解放されると容器頭部はウェハーに対する指部材
の動作によって弾発的に上方へと移行する。ラッチが平
坦であると容器が紐によ−２て緊締されるために好適で
あるばかりでなくポリエステル、ポリエチレン、あるい
はマイラーのフィルムのようなタイプの収縮包装にも好
適となることは特に銘記されるべきである。これらのフ
ィルムは構造的に完全であると共に汚染の全くない密封
された容器を提供する。これは、また、容器のコストを
低減し、しかも、その内部に支承されるウェハーの構造
上の完全性を維持する。容器頭部と容器底部に関連する
カセットは夫々の構成要素に保合するためにウェハーは
容器全体に対して摩擦的に保合する。
第８図は本発明の別の実施例である容器頭部の底面図を
示す。容器頭部３００はＩＪｉ動する指部材の二つの列
３０２．３０４　と、３０Ｇ　、３０８とを含む。夫々
の指部（Ａはウェハーを支承し且つ囲繞するためにＶ　
ン１１を有する。長手部材３１０および３１２は容器頭
部に対するイ」加的な支持を施す。
他の全ての構成要素が有する機能はすでに述べた通りで
ある。
そこで、作用にあっては参照符号３１４ａ、３１４ｈ−
ζ示されるウェハーは揺動する指部材３０２ａ乃至３０
２ｎ、３０４ａ乃至３０４ｎ、３０６ａ乃至３０６　ｎ
　：Ｉ：ｉよび３０８ａ乃至３０８ｎに設置される。
本発明の明６′Ｗな範囲を逸脱するご吉なく、本発明の
種々の変形が可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
第１図は容器頭部、ウェハー用カ七ノドおよび容器底部
の三つの離間する構成要素を含むウェハーコンテナ用容
器の側部縦断面図、第２図はカセットのＨ状の棒体の開
放端部の構造を示す端部説明図、第３図Ａは容器頭部と
容器底部の結合状態を示す側部説明図、第３図１３は容
器頭部と容器底部の間の結合状態を示す端部説明図、第
４図は容器底部に対しカセットを連設した状態を示す平
面図、第５図はカセットと容器底部と容器底部の結合状
態を示す縦断説明図、第６図は第５図の端部説明図、第
７図は対設された指部材に対して係合するウェハーを有
する容器頭部の底部説明図、第８図は指部（、）がら面
１間し且つ独立した容２４頭部の変Ｊｒシ例を示す説明
図である。 １０・・容器　１２・・カセノ１− １４・・容器頭部　１に・・容器底部 １８．２０・・側部　２２．２４・・；ｒ：：：部２６
・・■（状部材　２）（，３０，３２・・支拮部祠３４
・・頭部部分　３（ｉ・・底部部分４０．４２・・支持
部材　４４　・側部部（イ５０．５２・・位置決めピン ５４．５Ｇ・・位置決め用孔 ５８・・囲繞端部　（ｊＯ・・底部 ６１．６２．６４．６）３・・側部 ７２．７４・・止め１−！ ８０．８２．８４．８に・・端部カイ１８８．９０．９
２．９４・・側部ガイＩ°゛９６．９８・・下部部材 １００・・頭部 １０２．１０４．１０（ｉ　、Ｈ）Ｆｌ　・・側部１１
０・・舌部＋Ａ’　１１２．１１４　・・ラッチ１１６
．１１８・・孔 ＋２０．１２２．１．２４．１２６　・・部材１２８．
１３０．１３２．１３４　・・側部垂直部４４１３６．
１３８　・・指部材 １３６・・四部 ２００ａ〜２００ｎ・・ウェハー ２０２　・　・　キ　−ＹｒＭ　２０４　・　・　こト
　−２０６・・棒体　３００・・容器頭部 ３０２．３０４．３０６．３０８・・列３１０．３１２
　・・長手部材 ３１４　ａ　、　３１４ｂ　・・ウェハー特許出願人 エムパック　インコーホレイう−イノド図面の６１書（
内容に変更なし） ／ 手　続　ネｉｆｆ　正−Ｐｌ：（方式）昭和５９年１１
月　６日 特許庁長官　；ゼ天　賀　学　殴 １、事イ″１の表示　昭ｆｌＪ５９年特許願第１６６２
８６号２、発明の名称 容器 ３、　７ｉｌｉ正をする者 事件との関係　特許出願人 名称　エムパック　インコーボレイティノｌ−４、代理
人 氏名　（７７６６）弁理土手　葉　剛　宏、）５、補ｉ
Ｅ命令の日イ（Ｊ　自発 ６、補正のり１象　（１）図面

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 （１）　複１ｔ（のウェハーのためのシリコンウェハー
    コンテナー用容器であって、対向し且つ対、称的な側部
    と円形の凹部を有する後端部と傾斜部と回斜底部とを有
    する開放されたＨ状棒体と前記１１状棒体に対して固着
    され且つ位置決めされる部分的に円筒状であるロンドと
    前記側部から内側に延在する複数個の対向する仕切りと
    を含むウェハー用力セントと、底部部材と四つの若干の
    角度を有する側部部材と前記側部部材を囲繞する端部溝
    と対向した端部側部に設げられた指孔を有するフック端
    部止め金と前記側部に内向する内部水平側部および端部
    位置決め部材とを有する容器底部と、頭部部材と前記頭
    部部材を囲繞する四つの側部部材と前記溝端部を囲繞す
    る舌唇部材と夫々のウェハーに当接する対向した可撓性
    の長手部材と前記側部と端部の内部から外側へ延在して
    前記容器底部の前記止め金をランチするための外側端部
    に配置された孔部を含む前記カセント用止め金を位置決
    めするための位置決め部材と前記頭部部材に設げられた
    凹部を有する頭部面部とからなり、ウェハーは前記力セ
    ントの夫々の仕切りのセンターライン七の間および前記
    力セントと容器頭部の長手方向に延在する指部材との間
    において係合し、前記力セントは前記垂直側部と容器頭
    部および容器底部の間にある端部部材との間で係合し且
    つ結合し、前記容器頭部舌唇部（Ａは前記容器端部溝に
    係合し且つ前記ラッチは夫々前記容器頭部と底部との間
    の止め金端部に係合しそれによってウェハーの移送とＪ
    ＩＰ蔵に対して安全且つ汚染のない環境を提供するよう
    構成することを特徴とするシリコンウェハーコンテナー
    用容器。 （２、特許請求の範囲第１項記載の容器において、前記
    容器底部の端部溝と舌唇部材とは限定された高さを有す
    る平坦な外周部を構成し、前記外周部は容器頭部と容器
    底部とが互いに結合する時に前記容器頭部と容器底部と
    の間におりる外周部を囲繞するよう構成してなるシリコ
    ンウェハーコンテナー用容器。 （３）特許請求の範囲第１項記載の容器において、前記
    カセットは２５個のウェハーを支承するよう構成してな
    るシリコンウェハーコンテナー用容器。 （４）特許請求の範囲第１項記載の容器におい“ζ、前
    記止め金とランチとは結合する際に平坦外周縁を形成す
    ることからなるシリコンウェハーコンテナー用容器。 （５）　特許請求の範囲第１項記載の容器において、前
    記端部溝と舌唇部材は容器頭部と容器底部の中で安全な
    環境を呈することからなるシリコンウェハーコンテナー
    用容器。 （６）特許請求の範囲第１項記載の容器において、前記
    長手方向に延在し且つ対向する指部材はそれに対して弾
    発力をイ１与する手段からなるシリコンウェハーコンテ
    ナー用容器。 （７）特許請求の範囲第６項記載の容器において、前記
    対向する部材は前記容器内において夫々のウェハーの動
    きを制約し且つ確保することからなるシリコンウェハー
    コンテナー用容器。 （８）特許請求の範囲第１項記載の容器において、前記
    対向する長手部材は離間して対向する指部材からなるシ
    リコンウェハーコンテナー用容器。 （９）特許請求の範囲第８項記載の容器において、前記
    指部材は揺動自在であるシリコンウェハーコンテナー用
    容器。
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