JPS6092604A - 積層セラミツクコンデンサおよびその製造方法 - Google Patents
積層セラミツクコンデンサおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPS6092604A JPS6092604A JP20039383A JP20039383A JPS6092604A JP S6092604 A JPS6092604 A JP S6092604A JP 20039383 A JP20039383 A JP 20039383A JP 20039383 A JP20039383 A JP 20039383A JP S6092604 A JPS6092604 A JP S6092604A
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- Japan
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- electrode pattern
- sheet
- capacitance adjustment
- internal electrode
- ceramic capacitor
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- Pending
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Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は積層セラミックコンデンサおよびその製造方法
に関し、特にコンデンサ素子の表面に容量調整用電極を
設けた積層セラミックコンデンサおよびその製造方法に
関する。
に関し、特にコンデンサ素子の表面に容量調整用電極を
設けた積層セラミックコンデンサおよびその製造方法に
関する。
一般に容JFi: ?A整用電極パターンを設けた積層
セラミ、クコンデンサ(以下トリマーコンデンサと称す
る)は、まず微細に粉砕したセラミック粉末と有機バイ
ンダを混練した後、ドクターブレード法等によって未焼
成の生シートを作製する。次にこの生シートを所望の形
状に切断し、その表面にスクリーン印刷等の公知の手段
にょシ、内部電極を被着・乾燥した生シートと、トリミ
ング電極を被着・乾燥した生シートを用意する。次に内
部電極を印刷した生シートを、電極を印刷しない生シー
トからなる保護層で上下をはさむように所望の枚数を積
み重ねた後、最上層にトリミング電極を印刷した生シー
トを積み重ね、熱圧着して積層体とする。この積層体を
個片状態に切断して焼成し、両端に端子電極を焼き付け
てトリマーコンデンサ1を作製する(第1図)、 このトリマーコンデンサ1のトリミング電極3の容量調
整部分(り下トリミング部と称する)5は、第1図(a
)〜(C)に示すように内部電極4とb−b′断面で児
全に重り合う位置関係となっていた。
セラミ、クコンデンサ(以下トリマーコンデンサと称す
る)は、まず微細に粉砕したセラミック粉末と有機バイ
ンダを混練した後、ドクターブレード法等によって未焼
成の生シートを作製する。次にこの生シートを所望の形
状に切断し、その表面にスクリーン印刷等の公知の手段
にょシ、内部電極を被着・乾燥した生シートと、トリミ
ング電極を被着・乾燥した生シートを用意する。次に内
部電極を印刷した生シートを、電極を印刷しない生シー
トからなる保護層で上下をはさむように所望の枚数を積
み重ねた後、最上層にトリミング電極を印刷した生シー
トを積み重ね、熱圧着して積層体とする。この積層体を
個片状態に切断して焼成し、両端に端子電極を焼き付け
てトリマーコンデンサ1を作製する(第1図)、 このトリマーコンデンサ1のトリミング電極3の容量調
整部分(り下トリミング部と称する)5は、第1図(a
)〜(C)に示すように内部電極4とb−b′断面で児
全に重り合う位置関係となっていた。
その−、このトリー1−コンデンサ1は、レーザー等を
用いた容量調整時にトリミング部5に加る熱ストレスに
よシ、トリミング電極3の金属が七ラミック中に部分的
に拡散することにより、或いはトリミング部分のセラミ
ック誘電体が部分的に変質し、表1に示すように、誘電
損失を増大させ、高温負荷寿命試験での信頼性を低下さ
せる欠点があった。
用いた容量調整時にトリミング部5に加る熱ストレスに
よシ、トリミング電極3の金属が七ラミック中に部分的
に拡散することにより、或いはトリミング部分のセラミ
ック誘電体が部分的に変質し、表1に示すように、誘電
損失を増大させ、高温負荷寿命試験での信頼性を低下さ
せる欠点があった。
本発明の目的はかかる従来欠点を除去した積層セラミッ
クコンデンサおよびその製今方法を提供することにある
。
クコンデンサおよびその製今方法を提供することにある
。
本発明によれば、積層セラミックコンデンサ素子の表面
に容量調整用電極を設け、その容!二調整電極パターン
の容量調整部分の下部には対応する内部電極が無いこと
を特徴とする積層セラミックコンデンサおよびその製造
方法が得られる。
に容量調整用電極を設け、その容!二調整電極パターン
の容量調整部分の下部には対応する内部電極が無いこと
を特徴とする積層セラミックコンデンサおよびその製造
方法が得られる。
以下、本発明の実施例を第2図〜第4Mによシ詳述する
。
。
第2図に示すようにまず微細化したセラミック粉末と有
機バインダを混練した後、ドクターブレード法によって
生シートを作製する。次にこの生シートを所望の形状に
切断し、その表面の片面にあらかじめトリミング電極1
3のトリミング部5と内部電極14がe −e’断面で
一部分が重シ合わないように設計したスクリーンを用い
て、スクリーン印刷によシ内部電極14を被着・乾燥し
た生シート7と、トリミング電極13を被着・乾燥した
生シート8とを用意する。次に内部型1J14を印刷し
た生シート7を電極を印刷しない生シートからなる保護
層6で」二下をはさむように、所望の枚数を積み重ねた
後、最上層にくしの歯状のトリミング電極13を印刷し
た生シート8を同様に積み重ね積層体を形成し、熱圧着
した後個片状に切断して生チツプ個片9を形成する(第
3図)。この生チツプ個片9を焼成し、両端に端子電極
1゜を焼き付りて本・発明のQt’i層セラミックコン
デンサ11を得る(第41&I )。この積層セラミツ
クコ/デンザ11のトリミング電極13のトリミング部
5の下部には対応する内部電極パターンは存在しない。
機バインダを混練した後、ドクターブレード法によって
生シートを作製する。次にこの生シートを所望の形状に
切断し、その表面の片面にあらかじめトリミング電極1
3のトリミング部5と内部電極14がe −e’断面で
一部分が重シ合わないように設計したスクリーンを用い
て、スクリーン印刷によシ内部電極14を被着・乾燥し
た生シート7と、トリミング電極13を被着・乾燥した
生シート8とを用意する。次に内部型1J14を印刷し
た生シート7を電極を印刷しない生シートからなる保護
層6で」二下をはさむように、所望の枚数を積み重ねた
後、最上層にくしの歯状のトリミング電極13を印刷し
た生シート8を同様に積み重ね積層体を形成し、熱圧着
した後個片状に切断して生チツプ個片9を形成する(第
3図)。この生チツプ個片9を焼成し、両端に端子電極
1゜を焼き付りて本・発明のQt’i層セラミックコン
デンサ11を得る(第41&I )。この積層セラミツ
クコ/デンザ11のトリミング電極13のトリミング部
5の下部には対応する内部電極パターンは存在しない。
従ってこの、)・Lt層セラミックコンデンサ11はレ
ーザー等を用いた容量調整時にトリミング部5に加わる
熱ストレスによシ、部分的にトリミング霜。
ーザー等を用いた容量調整時にトリミング部5に加わる
熱ストレスによシ、部分的にトリミング霜。
極の金属の拡散或いはトリミング部分のセラミック誘電
体が部分的に変質した場合でも、その下部近傍に内部電
極14が無いため、表2に示すように、誘電損失を増大
させ、高温負荷試験での信頼性を低下させることはまっ
たく無い。
体が部分的に変質した場合でも、その下部近傍に内部電
極14が無いため、表2に示すように、誘電損失を増大
させ、高温負荷試験での信頼性を低下させることはまっ
たく無い。
以上本発明によると容量調整f虻でもん・5゛ル5損失
t:L増大せず、良好な信頼〆tを持つ4゛αj1♂♂
セラミツクコンデンサが得られる。
t:L増大せず、良好な信頼〆tを持つ4゛αj1♂♂
セラミツクコンデンサが得られる。
なお、本実施例では、1−IJミンクTh、ea形状か
くしの歯状の一例について睨明したが、トリミンク電極
、内部電極ともに種々の形状の電極を用いても同様の結
果が得られることは勿論である。
くしの歯状の一例について睨明したが、トリミンク電極
、内部電極ともに種々の形状の電極を用いても同様の結
果が得られることは勿論である。
嶋1図(a)〜(C)は従来の容量調整用積層セラミッ
クコンデンサの平面図とそのA−A線及びB−B線の各
断面図。 第2図は本発明実施例による熱圧着後の積層構造を示す
分解斜視図。 第3図(a)〜(C)は本発明の生チツプ個片の斜視図
とその1(−B線およびF−F線の各断面図。 第4図−は本発明の実施例による積層セラミックコンデ
ンサの斜視図。 1.11・・・・・・積層セラミックコンデンサ、3゜
13・・・・・・容、喰調整用電極パターン、4,14
・・・・・・内部電極、5・・・・・・トリミング部、
6・・・・・・保護層、7・・・・・・内部′電極印刷
生シート、8・・・・・・容!調整用電極印刷生シート
、9・・・・・・生チツプ個片。 第1図 第3図
クコンデンサの平面図とそのA−A線及びB−B線の各
断面図。 第2図は本発明実施例による熱圧着後の積層構造を示す
分解斜視図。 第3図(a)〜(C)は本発明の生チツプ個片の斜視図
とその1(−B線およびF−F線の各断面図。 第4図−は本発明の実施例による積層セラミックコンデ
ンサの斜視図。 1.11・・・・・・積層セラミックコンデンサ、3゜
13・・・・・・容、喰調整用電極パターン、4,14
・・・・・・内部電極、5・・・・・・トリミング部、
6・・・・・・保護層、7・・・・・・内部′電極印刷
生シート、8・・・・・・容!調整用電極印刷生シート
、9・・・・・・生チツプ個片。 第1図 第3図
Claims (2)
- (1)内部電極パターンを設けた生シートを1枚以上積
み重ねた第1の生シートと、前記第1の生シートの上下
に保護絶縁層のみからなる第2の生シートを積層した積
層セラミックコンデンサ素子で、容量調整用の電極パタ
ーンを最外層表面の上面または下面の1個以上に設け、
その容量調整用電極パターンの容量調整部分の下部には
対応する内部電極パターンが無いことを特徴トスる積層
セラミックコンデンサ。 - (2)微細化したセラミック粉末と有機バインダを混練
しドクターブレード法によシ生シートを形成する工程と
、前記生シートの一方の面にスクリーン印刷による内部
電極パターンを有する内部電極用シートと容量調整用の
電極パターンを有する容量調整用シートとを形成゛する
工程と、前記内部電極用シートを中心に配して上下に保
護層となる生シートを配し、かつ前記容量調整用シート
を最上層に配する工程とからな夛、容量調整用電極パタ
ーンの容量調整部分の下部には、対応する内部電極パタ
ーンが無いことを特徴とする積層セラミックコンデンサ
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20039383A JPS6092604A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 積層セラミツクコンデンサおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20039383A JPS6092604A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 積層セラミツクコンデンサおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6092604A true JPS6092604A (ja) | 1985-05-24 |
Family
ID=16423575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20039383A Pending JPS6092604A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 積層セラミツクコンデンサおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6092604A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6784050B1 (en) | 2000-09-05 | 2004-08-31 | Marvell International Ltd. | Fringing capacitor structure |
| US6974744B1 (en) | 2000-09-05 | 2005-12-13 | Marvell International Ltd. | Fringing capacitor structure |
| US6980414B1 (en) | 2004-06-16 | 2005-12-27 | Marvell International, Ltd. | Capacitor structure in a semiconductor device |
-
1983
- 1983-10-26 JP JP20039383A patent/JPS6092604A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6784050B1 (en) | 2000-09-05 | 2004-08-31 | Marvell International Ltd. | Fringing capacitor structure |
| US6885543B1 (en) | 2000-09-05 | 2005-04-26 | Marvell International, Ltd. | Fringing capacitor structure |
| US6974744B1 (en) | 2000-09-05 | 2005-12-13 | Marvell International Ltd. | Fringing capacitor structure |
| US9017427B1 (en) | 2001-01-18 | 2015-04-28 | Marvell International Ltd. | Method of creating capacitor structure in a semiconductor device |
| US6980414B1 (en) | 2004-06-16 | 2005-12-27 | Marvell International, Ltd. | Capacitor structure in a semiconductor device |
| US7116544B1 (en) | 2004-06-16 | 2006-10-03 | Marvell International, Ltd. | Capacitor structure in a semiconductor device |
| US7578858B1 (en) | 2004-06-16 | 2009-08-25 | Marvell International Ltd. | Making capacitor structure in a semiconductor device |
| US7988744B1 (en) | 2004-06-16 | 2011-08-02 | Marvell International Ltd. | Method of producing capacitor structure in a semiconductor device |
| US8537524B1 (en) | 2004-06-16 | 2013-09-17 | Marvell International Ltd. | Capacitor structure in a semiconductor device |
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