JPS6093031A

JPS6093031A - 搬送装置

Info

Publication number: JPS6093031A
Application number: JP20146483A
Authority: JP
Inventors: Akira Abiru; 阿比留　章; Kyoichi Ono; 恭一大野
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1983-10-27
Filing date: 1983-10-27
Publication date: 1985-05-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（ａｌ　発明の技術分野本発明は、搬送装置に係り、特に、半導体ウェハなど防
塵を必要とするものを搬送対象とした搬送装置の構成に
関す。

山）　技術の背景半導体装置の本体である半導体素子の製造においては、
半導体ウェハの表面にフォトエツチングプロセスなどに
よる微細加工を繰り返し行うので、塵埃の付着を防ぐ配
慮が必要である。

特に、半導体素子の高集積化に伴い、各工程間における
ウェハの運搬中の塵埃付着も無視することが出来なくな
り、工程の自動化と併せてその無人化が望まれている。

ｔｃ＞　従来技術と問題点第１図はウェハを収納するキャリアの一実施例の図で、
Ａはウェハ、Ｂはキャリアをそれぞれ示す。

半導体素子製造の工程間において、ウェハＡは、例えば
第１図に示すようなキャリアＢに収納されて運搬される
。この運搬は、通富、防塵管理された室内ではあるが、
人の手によって行われている。

防塵管理された室内においては、人の動きは塵埃の発生
源となるので、上記の運搬には、ウェハＡへの塵埃付着
を伴う問題がある。

この対策として人の動きを排除し、ロボットに運搬させ
ることが可能である。据え置き型ロボットでは運搬可能
距離が短い欠点があり、移動型ロボットにより運搬距離
を伸ばすことが可能になる。

然し、高集積化により微細化が進むと、たとえロボット
による運搬であってもウェハを露出した長距離運搬は、
それが通常の防塵管理された室内である場合には、その
間の塵埃付着が問題になる。

このため、閉ざされた容器に収納して運搬すればよいが
、これは、作業が複雑になる欠点を有する。

（ｄｌ　発明の目的本発明の目的は上記従来の欠点に鑑み、キャリアに収納
されたウェハを運搬するに当たり、据え置き型ロボット
の運搬可能距離以上の距離を、通常の防塵管理された室
内でも付着する程度の塵埃付着を防ぎながら、簡便に１
ｔｒｔｉｕ出来る運搬手段を提供するにある。

（８１発明の構成上記目的は、管を搬送路とし、該管内において、被搬送
物を載置する台を、該被搬送物と共に、磁気的手段によ
り該管壁に接触しないよう浮上保持し、空気流により該
管の軸に沿って移送させることを特徴とする搬送装置に
よって達成される。

運ｌｌＩ径路となる搬送路を形成する前記管の内部では
、前記被搬送物および前記台が該管壁に無接触であるた
め塵埃発生が無く、且つ、そこは限られた空間であるた
め、そこの空気を無塵にすることが容易であって、搬送
中における該被搬送物への塵埃付着を防ぐことが出来、
然も空気流の制御で移送制御が出来て、所要の運搬を簡
便にすることが可能になる。

（ｆｌ　発明の実施例以下本発明の実施例を図により説明する。全図を通じ同
一符号は同一対象物を示す。

第２図は本発明による搬送装置の一実施例でその作動を
説明する縦断面図（ａｌと側断面回出）、第３図はその
搬送装置設置の一実施例を示した図、第４図は本発明に
よる搬送装置の他の実施例の側断面図で、ｌ、１ａは搬
送装置、２．２ａは管、３は台、４は前工程設備、５は
後工程設備、２１．２１ａ、２２．２２ａ　、　３１．
３２は永久磁石、２３．２３ａ　、　２４．２４ａは空
気吹込管、２５は空気排出口、４１５１はテーブルをそ
れぞれ示す。

第２図において、搬送装置１は搬送路を形成する管２と
管２内を移送される台３からなっている。

管２の本体は非磁性体でなり断面が円形の管状をなし、
その内部には図示のように永久磁石２１．２２が全長に
亙って配設されており、外部の下部には管２内に無塵空
気を吹き込む空気吹込管２３．２４が共に全長に亙って
配設されている。台３の本体も非磁性体でなり、その底
面および側面に永久磁石３１．３２が図示のように配設
されている。

図（ａｌに示すように、永久磁石２１と３１とが、また
、２２と３２とが互いに同極が対向しているので、台３
にウェハＡを収納したキャリアＢが載置された場合も含
めて、台３は、上方に浮上すると共に左右方向では中央
に位置して、管２の内壁に接触しないよう空中に浮いて
保持される。そして、図（ｂ）に示すように、空気吹込
管２３は管２内右上方向に、また空気吹込管２４は左上
方向に無塵空気を吹き込むので、例えば空気吹込管２３
のみの吹き込みを行えば、空中に浮上している台３は右
方向に移送される。従って、空気吹込管２３．２４の吹
き込みを選択制御することによって、台３の移送を任意
に制御することが可能である。

この構成でなる搬送装置１は、上述で明らかなように、
被搬送物であるキャリアＢおよび台３が管２の内壁に無
接触であるため塵埃発生が無く、且つ、管２内は限られ
た空間であるため、空気吹込管２３．２４から吹き込む
空気を無塵空気にすることにより、管２内が無塵になり
、搬送中における該被搬送物への塵埃付着を防ぐことが
可能になる。

なお、空気吹込管２３．２４から吹き込まれた分の空気
の排出は管２の両端の開口から行われるが、必要ならば
、図（ｂｌに示すように、空気排出口２５を適宜設けて
もよい。また、上記構成が形成されるならば、管２の断
面形状は円形に限定されるものではない。

第３図は搬送装置ｌを製造工程間の運搬用として設置し
た一実施例を示している。前工程設備４で作業を終えた
ウェハＡを収納しテーブル４１に出て来たキャリアＢを
、例えばロボットにより、搬送装置１の入口（図示左側
）で待機している台３に載置する。続いて右方向へ台３
を移送する空気を吹き込む（第２図の２３により）。キ
ャリアＢを載せた台３が出口（図示右側）に到着したと
ころで、例えば前記と別のロボットにより、キャリアＢ
を後工程設備５のテーブル５１に移載して、ウェハＡは
次の工程に移る。空になった台３は再び入口に戻され次
の搬送を待機すればよい。かくすることにより、所要の
運ｔｉｌｌが簡便に出来るようになり、然も、人手の運
搬が排除されるので、搬送装置ｌの周辺の塵埃発生防止
にも寄与する。

第４図に示す搬送装置１ａは本発明による搬送装置の他
の実施例である。これは、第２図における管２を、その
本体の円形管を蛇腹状にして管２ａとしたもので、可撓
性があるため、本発明による搬送装置の製造において、
使用者側の搬送路に合わせてその都度変えることを省略
出来る利点がある。

管２が２８に変わることにより、永久磁石２１．２２は
図示のように細分化された２１ａ　、　２２ａに変わり
、空気吹込管２３．２４ば可撓性を持った２３ａ、２４
ａに変わっている。一方、台３は第２図の場合と同じで
ある。そして、この搬送装置１ａの作動は搬送装置１の
場合と同じである。

（酌　発明の効果以上に説明したように、本発明による構成によれば、キ
ャリアに収納されたウェハを運搬するに当たり、据え置
き型ロボットの運搬可能距離以上の距離を、通常の防塵
管理された室内でも付着する程度の塵埃付着を防ぎなが
ら、簡便に運搬出来る運搬手段となる搬送装置を提供す
ることが出来、半導体素子の高集積化に伴って望まれる
レヘルの運搬中の塵埃付着防止を可能にさせる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はウェハを収納するキャリアの一実施例の図、第
２図は本発明による搬送装置の一実施例でその作動を説
明する縦断面図ｆａ）と側断面図（ｂｌ、第３図はその
搬送装置設置の一実施例を示した図、第４図は本発明に
よる搬送装置の他の実施例の側断面図である。図面において、Ａはウェハ、Ｂはキャリア、１１１ａは
搬送装置、２．２ａは管、３は台、４は前工程設備、５
は後工程設備、２１．２１ａ　、　２２．２２ａ　、　
３１．３２は永久磁石、２３．２３ａ　、　２４．２４
ａは空気吹込管、２５は空気排出口、４１．５１はテー
ブルをそれぞれ示す。

Claims

【特許請求の範囲】

管を搬送路とし、該管内において、被搬送物を載置する
台を、該被搬送物と共に、磁気的手段により該管壁に接
触しないよう浮上保持し、空気流により咳管の軸に沿っ
て移送させることを特徴とする搬送装置。