JPS6094823U - 液相成長用ボ−ト - Google Patents

液相成長用ボ−ト

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Publication number
JPS6094823U
JPS6094823U JP18839383U JP18839383U JPS6094823U JP S6094823 U JPS6094823 U JP S6094823U JP 18839383 U JP18839383 U JP 18839383U JP 18839383 U JP18839383 U JP 18839383U JP S6094823 U JPS6094823 U JP S6094823U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hole
slider
boat
liquid phase
melt holder
Prior art date
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Pending
Application number
JP18839383U
Other languages
English (en)
Inventor
上原 邦夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP18839383U priority Critical patent/JPS6094823U/ja
Publication of JPS6094823U publication Critical patent/JPS6094823U/ja
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  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図a、 bは従来の液相成長用ボートの一例の構造
及び使用法を説明するための断面図、第2図は本考案の
一実施例の断面図、第3図は第2図に示す一実施例の使
用法を説明するための断面図である。 1・・・・・・ベースブロック、2・・・・・・スライ
ダ、3・・・・・・第1のメルトホルダ、4・・・・・
・第2のメルトホルダ、・9・・・・・・熱電対、11
・・・・・・穴、20・・・・・・連結部品、21・・
・・・・貫通孔、22・・・・・・開口部、41・・・
′・・パ穴、50・・・・・・成長基板、51・・・・
・・保護基板、61〜63・・・・・・オーバーシード
、71〜73・・・・・・メルト、80・・・・・・支
持管、81・・・・・・駆動棒(スライダ用)、82・
・・・・・駆動1第2のメルトホルダ用)。。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 少くとも一本の支持管によって翠持されるベースブロッ
    クと、底面が前記ベースブロックの上面に接触し上面に
    成長用基板を保持する凹部を有しかつ前記凹部とは別の
    場所に貫通孔を有するスライダと、底面が前記スライダ
    の上面に接触しかつ成長用溶液が充填される貫通孔を有
    する第1のメルトホルダと、底面の一部が前記スライダ
    の貫、通孔とその周囲を覆って接触し底面の他の部分が
    前記第1のメルトホルダの上面に接触しかつ前記スライ
    ダと接触する部分において前記スライダの貫通孔の開口
    部と一致する開口部を底面に有する穴を有する第2′の
    メルトホルダと、該第2のメルトホルダの穴と前記スラ
    イダの貫通孔とにまたがって収まる大きさの連結部品と
    、該連結部品を収納できる大きさを有しかつ前記ベース
    ブロックに設けられた穴とを含むことを特徴とする液相
    成長用ボート。
JP18839383U 1983-12-06 1983-12-06 液相成長用ボ−ト Pending JPS6094823U (ja)

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JP18839383U JPS6094823U (ja) 1983-12-06 1983-12-06 液相成長用ボ−ト

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JP18839383U JPS6094823U (ja) 1983-12-06 1983-12-06 液相成長用ボ−ト

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JPS6094823U true JPS6094823U (ja) 1985-06-28

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