JPS6094823U - 液相成長用ボ−ト - Google Patents
液相成長用ボ−トInfo
- Publication number
- JPS6094823U JPS6094823U JP18839383U JP18839383U JPS6094823U JP S6094823 U JPS6094823 U JP S6094823U JP 18839383 U JP18839383 U JP 18839383U JP 18839383 U JP18839383 U JP 18839383U JP S6094823 U JPS6094823 U JP S6094823U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- slider
- boat
- liquid phase
- melt holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図a、 bは従来の液相成長用ボートの一例の構造
及び使用法を説明するための断面図、第2図は本考案の
一実施例の断面図、第3図は第2図に示す一実施例の使
用法を説明するための断面図である。 1・・・・・・ベースブロック、2・・・・・・スライ
ダ、3・・・・・・第1のメルトホルダ、4・・・・・
・第2のメルトホルダ、・9・・・・・・熱電対、11
・・・・・・穴、20・・・・・・連結部品、21・・
・・・・貫通孔、22・・・・・・開口部、41・・・
′・・パ穴、50・・・・・・成長基板、51・・・・
・・保護基板、61〜63・・・・・・オーバーシード
、71〜73・・・・・・メルト、80・・・・・・支
持管、81・・・・・・駆動棒(スライダ用)、82・
・・・・・駆動1第2のメルトホルダ用)。。
及び使用法を説明するための断面図、第2図は本考案の
一実施例の断面図、第3図は第2図に示す一実施例の使
用法を説明するための断面図である。 1・・・・・・ベースブロック、2・・・・・・スライ
ダ、3・・・・・・第1のメルトホルダ、4・・・・・
・第2のメルトホルダ、・9・・・・・・熱電対、11
・・・・・・穴、20・・・・・・連結部品、21・・
・・・・貫通孔、22・・・・・・開口部、41・・・
′・・パ穴、50・・・・・・成長基板、51・・・・
・・保護基板、61〜63・・・・・・オーバーシード
、71〜73・・・・・・メルト、80・・・・・・支
持管、81・・・・・・駆動棒(スライダ用)、82・
・・・・・駆動1第2のメルトホルダ用)。。
Claims (1)
- 少くとも一本の支持管によって翠持されるベースブロッ
クと、底面が前記ベースブロックの上面に接触し上面に
成長用基板を保持する凹部を有しかつ前記凹部とは別の
場所に貫通孔を有するスライダと、底面が前記スライダ
の上面に接触しかつ成長用溶液が充填される貫通孔を有
する第1のメルトホルダと、底面の一部が前記スライダ
の貫、通孔とその周囲を覆って接触し底面の他の部分が
前記第1のメルトホルダの上面に接触しかつ前記スライ
ダと接触する部分において前記スライダの貫通孔の開口
部と一致する開口部を底面に有する穴を有する第2′の
メルトホルダと、該第2のメルトホルダの穴と前記スラ
イダの貫通孔とにまたがって収まる大きさの連結部品と
、該連結部品を収納できる大きさを有しかつ前記ベース
ブロックに設けられた穴とを含むことを特徴とする液相
成長用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18839383U JPS6094823U (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | 液相成長用ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18839383U JPS6094823U (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | 液相成長用ボ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6094823U true JPS6094823U (ja) | 1985-06-28 |
Family
ID=30406429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18839383U Pending JPS6094823U (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | 液相成長用ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6094823U (ja) |
-
1983
- 1983-12-06 JP JP18839383U patent/JPS6094823U/ja active Pending
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