JPS6088537U - 液相エピタキシヤル成長装置 - Google Patents
液相エピタキシヤル成長装置Info
- Publication number
- JPS6088537U JPS6088537U JP18141683U JP18141683U JPS6088537U JP S6088537 U JPS6088537 U JP S6088537U JP 18141683 U JP18141683 U JP 18141683U JP 18141683 U JP18141683 U JP 18141683U JP S6088537 U JPS6088537 U JP S6088537U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid phase
- epitaxial growth
- phase epitaxial
- growth equipment
- substrate holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来装置の断面図、第２図は本考案の一実施例
の断面図である。 １．１０・・・基板ホルダー、２・・・メトルホルダー
、３・・・半導体基板、４，５・・・半導体メルト、１
１・・・第１のメルト台、１２・・・第２のメルト台。
の断面図である。 １．１０・・・基板ホルダー、２・・・メトルホルダー
、３・・・半導体基板、４，５・・・半導体メルト、１
１・・・第１のメルト台、１２・・・第２のメルト台。
Claims (1)
- 基板ホルダーと、該基板ホルダーの両側に該基板ホルダ
ーの上面と略々同一高さの上面を有しかつ相互に入換え
可能に配設された第１、第２のメルト台を備えたことを
特徴とする液相エピタキシャル成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18141683U JPS6088537U (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 液相エピタキシヤル成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18141683U JPS6088537U (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 液相エピタキシヤル成長装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6088537U true JPS6088537U (ja) | 1985-06-18 |
Family
ID=30393123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18141683U Pending JPS6088537U (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 液相エピタキシヤル成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6088537U (ja) |
-
1983
- 1983-11-24 JP JP18141683U patent/JPS6088537U/ja active Pending
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