JPS61100358A - 研摩パツド - Google Patents
研摩パツドInfo
- Publication number
- JPS61100358A JPS61100358A JP59221357A JP22135784A JPS61100358A JP S61100358 A JPS61100358 A JP S61100358A JP 59221357 A JP59221357 A JP 59221357A JP 22135784 A JP22135784 A JP 22135784A JP S61100358 A JPS61100358 A JP S61100358A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- pad
- abrasive
- polishing pad
- polished
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は研摩ノットに関し、特に光学素子を高精度に研
摩するのに好適な研摩パッドに関する。
摩するのに好適な研摩パッドに関する。
従来、光学素子たとえばレンズ、プリズムまたは反射鏡
等の表面精度を極めて高い精度に仕上げるために、一旦
ある程度の精度に研摩された表面を小径の研摩ノ臂ッド
によシ部分的に修正研摩することが行なわれる。
等の表面精度を極めて高い精度に仕上げるために、一旦
ある程度の精度に研摩された表面を小径の研摩ノ臂ッド
によシ部分的に修正研摩することが行なわれる。
第６図は、この様な修正研摩の具体例を説明するための
概略斜視図である。図において・、１２は被研摩材であ
る光学ガラス平行平面板であり、該被研摩材１２は円形
である。被研摩材１２はその下面が支持体１４に接着さ
れて固定支持されている。支持体１４は軸Ｘのまわり【
回転可能であり、被研摩材１２は該軸Ｘに関し回転対称
となる様に支持体１４に固定されている。被研摩材１２
の上面は前加工によシ予め鏡面研摩されている。但し、
この前加工によって、図示される輪帯Ｙの部分が凸にな
っているとする。
概略斜視図である。図において・、１２は被研摩材であ
る光学ガラス平行平面板であり、該被研摩材１２は円形
である。被研摩材１２はその下面が支持体１４に接着さ
れて固定支持されている。支持体１４は軸Ｘのまわり【
回転可能であり、被研摩材１２は該軸Ｘに関し回転対称
となる様に支持体１４に固定されている。被研摩材１２
の上面は前加工によシ予め鏡面研摩されている。但し、
この前加工によって、図示される輪帯Ｙの部分が凸にな
っているとする。
修正研摩においては被研摩材１２の大きさに比べて、小
さい研摩パッド１６が用いられる。研摩・９ツド１６は
支持体１８に接着されて固定支持されており、該支持体
１８の上面中央部に形成された凹部には棒体２０の一端
が突当てられている。
さい研摩パッド１６が用いられる。研摩・９ツド１６は
支持体１８に接着されて固定支持されており、該支持体
１８の上面中央部に形成された凹部には棒体２０の一端
が突当てられている。
該棒体２０は被研摩材１２の径方向に適宜の幅で揺動可
能である。２２は研摩液供給手段である。
能である。２２は研摩液供給手段である。
研摩液供給手段２２から被研摩材１２の上面上へと研摩
液を供給しながら支持体１４ｔ−矢印入方向に回転させ
、同時に支持体１８に、矢印Ｂ方向に揺動させることに
よって修正研摩が行なわれる。
液を供給しながら支持体１４ｔ−矢印入方向に回転させ
、同時に支持体１８に、矢印Ｂ方向に揺動させることに
よって修正研摩が行なわれる。
しかしながら、従来の修正研摩においては研摩パッド１
６が全面にわたって均一の圧力にて被研摩材１２に接触
しながら研摩加工を行なうため、被研摩材１２の上面に
おいて修正研摩を受けた部分と受けない部分とで段差を
生じ易いという問題があった。
６が全面にわたって均一の圧力にて被研摩材１２に接触
しながら研摩加工を行なうため、被研摩材１２の上面に
おいて修正研摩を受けた部分と受けない部分とで段差を
生じ易いという問題があった。
第７図（ａ）及び（ｂ）は第６図における■−■断面に
相当する被研摩材１２の断面図である。第７図（＆）は
修正研摩前の状態を示し、第７図（ｂ）は修正研摩後の
状態を示すものであシ、これから分る様に、修正研摩時
の研摩パッド１６の揺動幅に応じた位置に光学的にみて
かな力大きな段差２４が形成される。
相当する被研摩材１２の断面図である。第７図（＆）は
修正研摩前の状態を示し、第７図（ｂ）は修正研摩後の
状態を示すものであシ、これから分る様に、修正研摩時
の研摩パッド１６の揺動幅に応じた位置に光学的にみて
かな力大きな段差２４が形成される。
このため、研摩ツク、ド１６の揺動幅を固定したものと
せず、徐々に揺動幅を変えることで段差の発生を防止す
ることが提案されている。しかしながら、この様な揺動
幅の連続的変化のための機構はかなシ複雑であシ、研摩
装置が高価なものとなるという欠点がある。
せず、徐々に揺動幅を変えることで段差の発生を防止す
ることが提案されている。しかしながら、この様な揺動
幅の連続的変化のための機構はかなシ複雑であシ、研摩
装置が高価なものとなるという欠点がある。
本発明によれば、以上の如き従来技術の問題点を解決す
るため、被研摩材への圧接時において該被研摩材との接
触部分のうち内側部分が外周部分よりも弾性力が大きい
ことを特徴とする、研摩・ぐラドが提供される。
るため、被研摩材への圧接時において該被研摩材との接
触部分のうち内側部分が外周部分よりも弾性力が大きい
ことを特徴とする、研摩・ぐラドが提供される。
以下、図面を参照しながら本発明の研摩パッドの具体的
実施例を説明する。
実施例を説明する。
第１図（ａ）は本発明研摩・臂、ド及びその支持体の第
１の実施例を示す概略断ｉ図である。
１の実施例を示す概略断ｉ図である。
本実施例の研摩パッド１６は均一な厚さをもつ ）′
円板状の形状を有する。２はその対称軸である。
円板状の形状を有する。２はその対称軸である。
研摩パッド１６はその上面に下面が平面の支持体１８が
接着されている。本実施例研摩パッドは支持体１８に固
定された状態にて剛体平面上に圧接せしめられると、第
１図（ｂ）に示される様に圧縮され、この際各部分は対
称軸２からの距離にょシ異なる反発力を受ける。即ち、
本実施例研摩パッドは圧接時に第１図（ｃ）に示される
様な弾性力分布を示す。
接着されている。本実施例研摩パッドは支持体１８に固
定された状態にて剛体平面上に圧接せしめられると、第
１図（ｂ）に示される様に圧縮され、この際各部分は対
称軸２からの距離にょシ異なる反発力を受ける。即ち、
本実施例研摩パッドは圧接時に第１図（ｃ）に示される
様な弾性力分布を示す。
本実施例の研摩ツク、ドは、たとえば現在光学素子研摩
用に一般に広く用いられているポリウレタンパッドｔ−
製造する際に弾性に寄与する素材を適宜の分布にて混入
せしめた）、気孔率に寄与する素材を適宜の分布にて混
入せしめたりすることにより得られる。
用に一般に広く用いられているポリウレタンパッドｔ−
製造する際に弾性に寄与する素材を適宜の分布にて混入
せしめた）、気孔率に寄与する素材を適宜の分布にて混
入せしめたりすることにより得られる。
第２図（ａ）及び（ｂ）は本実施例研摩パッドを用いて
修正研摩を行なった場合の被研摩材１２の変化を示す断
面図である。第２図（、）は修正研摩前の状態を示し、
第２図（ｂ）は修正研摩後の状態を示すものである。本
実施例研摩パッドによれば、ノ々ツドが研摩加工時にお
いて第１図（ｃ）に示される様な弾性力分布を示すため
、段差を生ずることなく輪帯状凸部を平坦化する修正研
摩を良好に行なうことができる。
修正研摩を行なった場合の被研摩材１２の変化を示す断
面図である。第２図（、）は修正研摩前の状態を示し、
第２図（ｂ）は修正研摩後の状態を示すものである。本
実施例研摩パッドによれば、ノ々ツドが研摩加工時にお
いて第１図（ｃ）に示される様な弾性力分布を示すため
、段差を生ずることなく輪帯状凸部を平坦化する修正研
摩を良好に行なうことができる。
第３図（ａ）は本発明研摩パッド及びその支持体の第２
の実施例を示す概略断面図である。
の実施例を示す概略断面図である。
本実施例研摩ツク、ドは同一の性質を有する厚さの異な
る材料を同心円状に配列してなる点のみ上記第１の実施
例のものと異なる。即ち、対称軸２からの距離の小さい
内側部分には厚さの厚い材料が配列され、外周部分はど
次第に厚さの薄い材料が配列されている。これによシ、
本実施例研摩パッドは支持体１８に固定された状態にて
剛体平面上に圧接せしめられると、第３図（ｂ）に示さ
れる様に圧縮され、この際各部分は第３図（ｃ）に示さ
れる様な段階状の弾性力分布を示す。しかして、研摩は
極めて多数回行なわれるため、本実施例研摩１？ツドに
よっても上記第１の実施例とほぼ同様の研摩効果を得る
ことができる。
る材料を同心円状に配列してなる点のみ上記第１の実施
例のものと異なる。即ち、対称軸２からの距離の小さい
内側部分には厚さの厚い材料が配列され、外周部分はど
次第に厚さの薄い材料が配列されている。これによシ、
本実施例研摩パッドは支持体１８に固定された状態にて
剛体平面上に圧接せしめられると、第３図（ｂ）に示さ
れる様に圧縮され、この際各部分は第３図（ｃ）に示さ
れる様な段階状の弾性力分布を示す。しかして、研摩は
極めて多数回行なわれるため、本実施例研摩１？ツドに
よっても上記第１の実施例とほぼ同様の研摩効果を得る
ことができる。
第４図（、）は本発明研摩・々、ド及びその支持体の第
３の実施例を示す概略断面図であシ、第４図傾は支持体
に固定された状態で剛体平面上に圧接せしめられた際に
おける研摩パッドの弾性力分布を示すグラフである。
３の実施例を示す概略断面図であシ、第４図傾は支持体
に固定された状態で剛体平面上に圧接せしめられた際に
おける研摩パッドの弾性力分布を示すグラフである。
本実節制研摩パッド１６は対称軸２からの距離に応じて
内側部分は厚さが厚く外周部分は厚さが薄く形成されて
いる。即ち、本実施例研摩パッド１６ＶＬ上記第２の研
摩ノ臂、ドの段階的形状を連続化したものに相当する。
内側部分は厚さが厚く外周部分は厚さが薄く形成されて
いる。即ち、本実施例研摩パッド１６ＶＬ上記第２の研
摩ノ臂、ドの段階的形状を連続化したものに相当する。
第５図は本発明研摩ノ々ッド及びその支持体の第４の実
施例を示す概略断面図である。
施例を示す概略断面図である。
本実節制研摩パッド１６はその下面部分のみが一定の厚
さを有する材料からなシ、上面部分（即ち支持体側部分
）は弾性力付与のための別の材料からなり、該弾性力付
与部分が対称軸２からの距離に応じて内側部分は厚さが
厚く外周部分は厚さが薄く形成されている。本実施例研
摩／４．ドは上記第３の実施例のものと実質上同様な特
性である。
さを有する材料からなシ、上面部分（即ち支持体側部分
）は弾性力付与のための別の材料からなり、該弾性力付
与部分が対称軸２からの距離に応じて内側部分は厚さが
厚く外周部分は厚さが薄く形成されている。本実施例研
摩／４．ドは上記第３の実施例のものと実質上同様な特
性である。
以上の実施例においては研摩ノ４ッドは平面研摩用のも
のとして示されているが、本発明研摩パッドには凸面ま
たは凹面研摩用のものも包含される。
のとして示されているが、本発明研摩パッドには凸面ま
たは凹面研摩用のものも包含される。
凹面または凸面研摩用の研摩ｚ４ツドは該凸面または凹
面に圧接した際における弾性力分布を適宜設定すること
によシ同様に構成することができることは明らかであろ
う。
面に圧接した際における弾性力分布を適宜設定すること
によシ同様に構成することができることは明らかであろ
う。
以上の実施例においては修正研摩を例にとシ説明したが
、本発明研摩パッドはその他の通常の研摩にも利用でき
ることはもちろんである。
、本発明研摩パッドはその他の通常の研摩にも利用でき
ることはもちろんである。
また本発明研摩パッドは、上記実施例に記載の様な使用
方法において研摩時間を適宜設定することによシ、非球
面量の少ない軸対称非球面を創成研摩するのに利用する
こともできる。
方法において研摩時間を適宜設定することによシ、非球
面量の少ない軸対称非球面を創成研摩するのに利用する
こともできる。
以上の如き本発明研摩パッドによれば、複雑な機構を有
する研摩装置を用いることなしに、被研摩材に段差を生
ずることなく高精度な研摩を行なうことができる。
する研摩装置を用いることなしに、被研摩材に段差を生
ずることなく高精度な研摩を行なうことができる。
第１図（＆）及び（ｂ）、第３図（ａ）及び（ｂ）、第
４図（ａ）、ならびに第５図は本発明研摩ノ臂、ドの断
面図であシ、第１図（Ｃ）、第３図（Ｃ）及び第４図（
ｂ）は弾性力の □グラフである。第２図（ａ）及
び（ｂ）、ならびに第７図（、）及び（ｂ）は被研摩材
の断面図である。第６図は研摩方法を示す斜視図である
。 １２：被研摩材、１４：支持体、１６：研摩Δラド、ｉ
８：支持体。 代理人 弁理士 山 下 穣 子 弟１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 「シ 第７図
４図（ａ）、ならびに第５図は本発明研摩ノ臂、ドの断
面図であシ、第１図（Ｃ）、第３図（Ｃ）及び第４図（
ｂ）は弾性力の □グラフである。第２図（ａ）及
び（ｂ）、ならびに第７図（、）及び（ｂ）は被研摩材
の断面図である。第６図は研摩方法を示す斜視図である
。 １２：被研摩材、１４：支持体、１６：研摩Δラド、ｉ
８：支持体。 代理人 弁理士 山 下 穣 子 弟１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 「シ 第７図
Claims (3)
- （１）被研摩材への圧接時において該被研摩材との接触
部分のうち内側部分が外周部分よりも弾性力が大きいこ
とを特徴とする、研摩パッド。 - （２）弾性力が内側部分から外周部分へと段階的に変化
している、特許請求の範囲第１項の研摩パッド。 - （３）弾性力が内側部分から外周部分へと連続的に変化
している、特許請求の範囲第１項の研摩パッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59221357A JPS61100358A (ja) | 1984-10-23 | 1984-10-23 | 研摩パツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59221357A JPS61100358A (ja) | 1984-10-23 | 1984-10-23 | 研摩パツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61100358A true JPS61100358A (ja) | 1986-05-19 |
| JPS6351824B2 JPS6351824B2 (ja) | 1988-10-17 |
Family
ID=16765525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59221357A Granted JPS61100358A (ja) | 1984-10-23 | 1984-10-23 | 研摩パツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61100358A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61103768A (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-22 | Olympus Optical Co Ltd | 研摩・研削工具 |
| US5985090A (en) * | 1995-05-17 | 1999-11-16 | Ebara Corporation | Polishing cloth and polishing apparatus having such polishing cloth |
| US6439979B1 (en) | 1992-02-12 | 2002-08-27 | Tokyo Electron Limited | Polishing apparatus and polishing method using the same |
| JP2008284208A (ja) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | スポンジたわし |
| US7503834B2 (en) | 2004-01-15 | 2009-03-17 | Carl Zeiss Vision Gmbh | Apparatus and a method of polishing an optical surface; an optical component; and a method of manufacturing a polishing tool |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0347383A (ja) * | 1989-07-13 | 1991-02-28 | Honda Lock Mfg Co Ltd | 自動車用ドアロック装置 |
-
1984
- 1984-10-23 JP JP59221357A patent/JPS61100358A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61103768A (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-22 | Olympus Optical Co Ltd | 研摩・研削工具 |
| US6439979B1 (en) | 1992-02-12 | 2002-08-27 | Tokyo Electron Limited | Polishing apparatus and polishing method using the same |
| US5985090A (en) * | 1995-05-17 | 1999-11-16 | Ebara Corporation | Polishing cloth and polishing apparatus having such polishing cloth |
| US7503834B2 (en) | 2004-01-15 | 2009-03-17 | Carl Zeiss Vision Gmbh | Apparatus and a method of polishing an optical surface; an optical component; and a method of manufacturing a polishing tool |
| EP1711311B2 (de) † | 2004-01-15 | 2011-07-20 | Carl Zeiss Vision GmbH | Vorrichtung und verfahren zum polieren einer optischen fläche sowie verfahren zum herstellen eines polierwerkzeugs |
| JP2008284208A (ja) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | スポンジたわし |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6351824B2 (ja) | 1988-10-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10569387B2 (en) | Polishing disc for a tool for fine processing of optically effective surfaces on spectacle lenses | |
| US6042688A (en) | Carrier for double-side polishing | |
| US5601474A (en) | Polishing disc of spherical surface polishing device for optical fiber end surface and method for polishing spherical surface of optical fiber end surface | |
| JP4681024B2 (ja) | 眼鏡レンズの研磨方法 | |
| JPH07314309A (ja) | 球面加工装置及び方法 | |
| US5833520A (en) | Mirror polishing device | |
| US6929534B2 (en) | Polisher and polishing method | |
| JP3630958B2 (ja) | レンズ保持装置 | |
| US3889426A (en) | Optical lens generating machine having an air rotatable spherical bearing workpiece holder | |
| JPS6351824B2 (ja) | ||
| JP2002263998A (ja) | ポリシャ及び研磨方法 | |
| US3830021A (en) | Spherical bearing workpiece holder in an optical lens generating machine | |
| JP4387708B2 (ja) | プラスチック製眼鏡レンズの研磨方法および製造方法 | |
| JP3625858B2 (ja) | 研削・研磨砥石 | |
| JPS63283859A (ja) | ウェハ研磨用治具 | |
| JPH0929599A (ja) | 球面加工方法及びその装置 | |
| JPH1148116A (ja) | レンズ等の球面形状の加工方法 | |
| JPH0549428B2 (ja) | ||
| US3828483A (en) | Optical lens generating machine having spherical bearing workpiece holder | |
| JP2004351574A (ja) | 精密研磨工具及び精密研磨方法 | |
| JPH11347908A (ja) | 球面加工装置 | |
| JPH03208552A (ja) | 研摩方法 | |
| JPH0947953A (ja) | レンズホルダー | |
| JP2001121391A (ja) | 研磨皿の合わせ方法 | |
| JPH07164297A (ja) | 研削方法および装置 |