JPS61107735A - 物品搬送装置 - Google Patents
物品搬送装置Info
- Publication number
- JPS61107735A JPS61107735A JP59229403A JP22940384A JPS61107735A JP S61107735 A JPS61107735 A JP S61107735A JP 59229403 A JP59229403 A JP 59229403A JP 22940384 A JP22940384 A JP 22940384A JP S61107735 A JPS61107735 A JP S61107735A
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- JP
- Japan
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- carrier
- section
- free
- article
- conveyance
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- Pending
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/06—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring
- H10P72/0612—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H10P72/3214—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicle
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
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- H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H10P72/3218—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10P72/3222—Loading to or unloading from a conveyor
Landscapes
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は清浄度が要求される電子機器部品を、加工する
工程間を連結して搬送する物品搬送装置に関するもので
ある。
工程間を連結して搬送する物品搬送装置に関するもので
ある。
従来例の構成とその問題点
従来のクリーントンネル内の物品搬送装置は、第１図に
その具体構成を示すように、四方が包囲されたトンネル
１の天井に配置されたフィルター２の中を給気ダクト３
を通って流入した空気が通過し、トンネルの下方に設け
られた排気ダクト４に流入する。トンネル内には部品５
を収納したキャリアー６が、トンネルの長手方向に平行
状態で取付けられた２本のガイドレール７．８に支持案
内されて搬送される。この搬送駆動は前記ガイドレール
７．８よシ通電されたキャプスタン９によって前記キャ
リアー６に駆動が伝達される。上記構成により清浄空気
が天井から流通するトンネル１内を２本のガイドレール
７．８で構成されたキャリアー６の一列の搬送軌道を連
続的に部品５をある工程から次の工程へ搬送する。
その具体構成を示すように、四方が包囲されたトンネル
１の天井に配置されたフィルター２の中を給気ダクト３
を通って流入した空気が通過し、トンネルの下方に設け
られた排気ダクト４に流入する。トンネル内には部品５
を収納したキャリアー６が、トンネルの長手方向に平行
状態で取付けられた２本のガイドレール７．８に支持案
内されて搬送される。この搬送駆動は前記ガイドレール
７．８よシ通電されたキャプスタン９によって前記キャ
リアー６に駆動が伝達される。上記構成により清浄空気
が天井から流通するトンネル１内を２本のガイドレール
７．８で構成されたキャリアー６の一列の搬送軌道を連
続的に部品５をある工程から次の工程へ搬送する。
しかしながら上記のような構成では、部品６をある工程
から次の工程へ搬送する場合に、ある工程で部品がキャ
リアー６よシ取出された後、空キャリアーを元の工程ま
で返送する方法として、搬送軌道と同一の軌道を逆行す
るかあるいは、上記トンネルの循環システムをループ状
にして同一軌道を搬送方向の一方向搬送とするかがとら
れる。
から次の工程へ搬送する場合に、ある工程で部品がキャ
リアー６よシ取出された後、空キャリアーを元の工程ま
で返送する方法として、搬送軌道と同一の軌道を逆行す
るかあるいは、上記トンネルの循環システムをループ状
にして同一軌道を搬送方向の一方向搬送とするかがとら
れる。
もし搬送軌道を逆行して返送する場合、搬送方向に進む
パレットの進行が制限されやすくなるし、またループ状
の循環システムで一方向のみの搬送とする場合、工程の
システムそのものをループ状に配置しなければならない
し、また返送のみを目的としてループ状にした場合は設
置スペースが大きくなるという欠点を有していた。
パレットの進行が制限されやすくなるし、またループ状
の循環システムで一方向のみの搬送とする場合、工程の
システムそのものをループ状に配置しなければならない
し、また返送のみを目的としてループ状にした場合は設
置スペースが大きくなるという欠点を有していた。
さらに、ある工程の位置で部品が収納されたキャリアー
を停止させ部品のみをある加工装置にかける場合、キャ
リアーが搬送ライン上にあると、通過しようとするキャ
リアーの進行の妨げになるという欠点を有していた。
を停止させ部品のみをある加工装置にかける場合、キャ
リアーが搬送ライン上にあると、通過しようとするキャ
リアーの進行の妨げになるという欠点を有していた。
発明の目的
本発明は上記欠点に鑑み、キャリアーの返送時における
省スペース化、及び円滑なキャリアーの循環、さらには
ある工程でキャリアーから部品を取出す際のキャリアー
搬送の円滑化を目的とするものである。
省スペース化、及び円滑なキャリアーの循環、さらには
ある工程でキャリアーから部品を取出す際のキャリアー
搬送の円滑化を目的とするものである。
発明の構成
本発明は、キャリアーと、クリーントンネル内に配置さ
れたフリーフロー搬送部及びフリーフロー返送部と、移
行部とから構成されており、返送軌道を搬送軌道と同一
のトンネル内に設けることによシ、省スペース及び返送
キャリアーのクリーンの維持による部品のクリーン度の
向上、及び搬送軌道と返送軌道を同一トンネル内で分離
して設けたことによる搬送の円滑化がはかられる。さら
にキャリアーを搬送方向に対して直角方向に引き出す移
行部を設けることによシ、搬送軌道上のキャリアーの進
行を妨げないという特有の効果を有する。
、、１実施
例の説明 以下本発明の実施例について図面を参照しなから説明す
る。第２図は本発明の一実施例における正面断面図、第
３図は同じく平面断面図を示すものである。
れたフリーフロー搬送部及びフリーフロー返送部と、移
行部とから構成されており、返送軌道を搬送軌道と同一
のトンネル内に設けることによシ、省スペース及び返送
キャリアーのクリーンの維持による部品のクリーン度の
向上、及び搬送軌道と返送軌道を同一トンネル内で分離
して設けたことによる搬送の円滑化がはかられる。さら
にキャリアーを搬送方向に対して直角方向に引き出す移
行部を設けることによシ、搬送軌道上のキャリアーの進
行を妨げないという特有の効果を有する。
、、１実施
例の説明 以下本発明の実施例について図面を参照しなから説明す
る。第２図は本発明の一実施例における正面断面図、第
３図は同じく平面断面図を示すものである。
第２図及び第３図において、１ｏは四方を包囲されたク
リーントンネル、１１は前記クリーントンネルの天井に
設けられ清浄空気を発生するフィルター、１２は前記フ
ィルターに空気を送シ込む給気ダクト、１３は前記トン
ネルの底にあって清浄空気を集めて排気する排気ダクト
、１４は搬送ラインを示し、部品１５が搭載されたキャ
リアー１６がころがシ手段１７を介して伝達手段１８に
よって搬送される６１９はフリー７０−搬送部、２０は
返送されてくるキャリアー、このキャリアーはころがり
手段２１を介して伝達手段２２によって搬送される。２
３はフリー７０−返送部、２４は移行装置２５によって
搬送ラインに対して直角方向に引き出された部品が収納
されたキャリアー、２６は本体フレームである。
リーントンネル、１１は前記クリーントンネルの天井に
設けられ清浄空気を発生するフィルター、１２は前記フ
ィルターに空気を送シ込む給気ダクト、１３は前記トン
ネルの底にあって清浄空気を集めて排気する排気ダクト
、１４は搬送ラインを示し、部品１５が搭載されたキャ
リアー１６がころがシ手段１７を介して伝達手段１８に
よって搬送される６１９はフリー７０−搬送部、２０は
返送されてくるキャリアー、このキャリアーはころがり
手段２１を介して伝達手段２２によって搬送される。２
３はフリー７０−返送部、２４は移行装置２５によって
搬送ラインに対して直角方向に引き出された部品が収納
されたキャリアー、２６は本体フレームである。
以上のように構成されたクリーントンネル内の物品搬送
装置について、以下その動作を説明する。
装置について、以下その動作を説明する。
まず部品１６が搭載されたキャリアー１６が伝達手段１
８によってころがり手段１７を介して搬送ライン１９上
を搬送される。次に移行装置２５によってキャリアーが
搬送ラインからはずされて直角方向に移行され、キャリ
アー上の部品が工法装置へ運ばれる。このとき搬送ライ
ン１９には次々とキャリアーが搬送されていく。次に搬
送ライン１９上で終端まで達したキャリアーは、返送ラ
イン２３へ移されて返送されていく。
８によってころがり手段１７を介して搬送ライン１９上
を搬送される。次に移行装置２５によってキャリアーが
搬送ラインからはずされて直角方向に移行され、キャリ
アー上の部品が工法装置へ運ばれる。このとき搬送ライ
ン１９には次々とキャリアーが搬送されていく。次に搬
送ライン１９上で終端まで達したキャリアーは、返送ラ
イン２３へ移されて返送されていく。
以上のように本実施例によれば、搬送ラインと返送ライ
ンと移行部とを設けることにより、返送キャリアーのク
リーン度の維持が可能でしかも省スペースとなり、さら
にキャリアーの搬送が円滑となるという効果がある。
ンと移行部とを設けることにより、返送キャリアーのク
リーン度の維持が可能でしかも省スペースとなり、さら
にキャリアーの搬送が円滑となるという効果がある。
発明の効果
以上のように本発明は、クリーントンネル内にキャリア
ー、７リーフロー搬送部、フリーフロー返送部及び移行
部を設けることによシ、キャリアーの返送時における省
スペース化、及び円滑なキャリアーの循環、さらにはあ
る工程でキャリアーから部品を取出す際に搬送ライン上
を津から流れてくるキャリアーの搬送を妨げないという
効果が得られるものであり、その実用的価値は大なるも
のがある。
ー、７リーフロー搬送部、フリーフロー返送部及び移行
部を設けることによシ、キャリアーの返送時における省
スペース化、及び円滑なキャリアーの循環、さらにはあ
る工程でキャリアーから部品を取出す際に搬送ライン上
を津から流れてくるキャリアーの搬送を妨げないという
効果が得られるものであり、その実用的価値は大なるも
のがある。
第１図は従来のクリーントンネル内の物品搬送装置の正
面断面図、第２図は本発明の一実施例における物品搬送
装置の正面断面図、第３図は同平面断面図である。 １４・・・・・・クリーントンネル、１６・・・・・・
キャリアー、１９・・・・・・フリー７０−搬送部、２
３・・・・・・フリー７０−返送部、２５・・・・・・
移行部、１８・・・・・・伝達手段、２２・・・・・・
伝達手段。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 第３図
面断面図、第２図は本発明の一実施例における物品搬送
装置の正面断面図、第３図は同平面断面図である。 １４・・・・・・クリーントンネル、１６・・・・・・
キャリアー、１９・・・・・・フリー７０−搬送部、２
３・・・・・・フリー７０−返送部、２５・・・・・・
移行部、１８・・・・・・伝達手段、２２・・・・・・
伝達手段。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 第３図
Claims (1)
- 四方が包囲され、天井に配置されたフィルターから清
浄空気を底面に向って流通させるクリーントンネル内に
設けられた物品搬送装置であって、物品を搭載したキャ
リアーと、前記キャリアーところがり接触を保つ伝達手
段によって前記キャリアーを前記クリーントンネルの長
手方向に連続的に運ぶフリーフロー搬送部と、前記フリ
ーフロー搬送部に平行に隣接し、前記フリーフロー搬送
部とは逆方向に、物品が取出されたキャリアーをこのキ
ャリアーところがり接触を保つ伝達手段によって連続的
に運ぶフリーフロー返送部と、前記フリーフロー搬送部
の所定の位置から搬送方向に対して直角方向にキャリア
ーを引き出す移行部とを備えた物品搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59229403A JPS61107735A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 物品搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59229403A JPS61107735A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 物品搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61107735A true JPS61107735A (ja) | 1986-05-26 |
Family
ID=16891660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59229403A Pending JPS61107735A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | 物品搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61107735A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05198659A (ja) * | 1992-01-22 | 1993-08-06 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | プラズマ処理装置 |
| JPH07235580A (ja) * | 1994-02-22 | 1995-09-05 | Tdk Corp | クリーン搬送方法及び装置 |
-
1984
- 1984-10-31 JP JP59229403A patent/JPS61107735A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05198659A (ja) * | 1992-01-22 | 1993-08-06 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | プラズマ処理装置 |
| JPH07235580A (ja) * | 1994-02-22 | 1995-09-05 | Tdk Corp | クリーン搬送方法及び装置 |
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