JPH0453098B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0453098B2 JPH0453098B2 JP17734785A JP17734785A JPH0453098B2 JP H0453098 B2 JPH0453098 B2 JP H0453098B2 JP 17734785 A JP17734785 A JP 17734785A JP 17734785 A JP17734785 A JP 17734785A JP H0453098 B2 JPH0453098 B2 JP H0453098B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- substrate storage
- storage box
- long groove
- feeding mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims description 5
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 9
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Reciprocating Conveyors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体基板製造行程において、半導
体基板を収納した半導体基板収納箱（以下キヤリ
アと称する）を半導体基板の処理装置に供給する
搬送方法に関するものである。
体基板を収納した半導体基板収納箱（以下キヤリ
アと称する）を半導体基板の処理装置に供給する
搬送方法に関するものである。
従来、この種の搬送装置は第３図に示す様にガ
イド１の両側に２条の駆動チエーン２，２を平行
に張設し、両チエーン２，２に送りバー３，……
を所定のピツチで懸け渡してあり、ガイド１上に
移送されたキヤリア４を後方から送りバー３にて
押し、該キヤリア４に送りを与えてこれを半導体
基板の処理装置まで搬送させていた。
イド１の両側に２条の駆動チエーン２，２を平行
に張設し、両チエーン２，２に送りバー３，……
を所定のピツチで懸け渡してあり、ガイド１上に
移送されたキヤリア４を後方から送りバー３にて
押し、該キヤリア４に送りを与えてこれを半導体
基板の処理装置まで搬送させていた。
このため、キヤリアの搬送装置のセツトに空き
ができると、そのままの状態で送られていくた
め、搬送装置に収納できるキヤリアの数が減少す
る。又、空きができると、半導体基板処理装置へ
キヤリアが間欠的に送られるため、半導体基板処
理装置を有効に使用できるという欠点があつた。
ができると、そのままの状態で送られていくた
め、搬送装置に収納できるキヤリアの数が減少す
る。又、空きができると、半導体基板処理装置へ
キヤリアが間欠的に送られるため、半導体基板処
理装置を有効に使用できるという欠点があつた。
本発明は空きピツチをなくし、連続的に半導体
基板の収納箱を処理装置に搬送する搬送方法を提
供するものである。
基板の収納箱を処理装置に搬送する搬送方法を提
供するものである。
本発明は、半導体基板を収納したキヤリアを搬
送装置によつて処理装置に供給する搬送方法にお
いて、前記搬送装置は前記キヤリアを自動的にピ
ツチ送りする送り機構を具備し、前記送り機構は
搬送路を長手方向に沿つて複数に区切された各区
間毎に独立に設けられそれぞれガイドと送り棒を
有し、該ガイドは各区間毎に搬送路の長手方向に
開口された長溝であり、該送り棒は長溝の始端と
末端間を往復動し往行程では長溝内より搬送路上
に突出し、復行程では長溝内に退避するものであ
り、上記搬送装置にキヤリアをセツトした場合、
送り先に他のキヤリアが見つかる迄各送り機構を
駆動して送りを繰り返えし複数のキヤリアをつめ
て空きをなくし、これにより連続してキヤリアを
前記処理装置に搬送させることを特長とする半導
体基板収納箱の搬送方法である。
送装置によつて処理装置に供給する搬送方法にお
いて、前記搬送装置は前記キヤリアを自動的にピ
ツチ送りする送り機構を具備し、前記送り機構は
搬送路を長手方向に沿つて複数に区切された各区
間毎に独立に設けられそれぞれガイドと送り棒を
有し、該ガイドは各区間毎に搬送路の長手方向に
開口された長溝であり、該送り棒は長溝の始端と
末端間を往復動し往行程では長溝内より搬送路上
に突出し、復行程では長溝内に退避するものであ
り、上記搬送装置にキヤリアをセツトした場合、
送り先に他のキヤリアが見つかる迄各送り機構を
駆動して送りを繰り返えし複数のキヤリアをつめ
て空きをなくし、これにより連続してキヤリアを
前記処理装置に搬送させることを特長とする半導
体基板収納箱の搬送方法である。
以下、本発明の一実施例を図によつて説明す
る。
る。
第１図において、本発明はガイド（搬送路）１
を長さ方向に複数の区間１ａ，１ｂ，１ｃに区切
り、各区間１ａ，１ｂ，１ｃ毎にキヤリア４の送
り機構を個々に独立させて設置し、各区関で１キ
ヤリア分の送りを行わせ、キヤリアの空きをなく
したものである。
を長さ方向に複数の区間１ａ，１ｂ，１ｃに区切
り、各区間１ａ，１ｂ，１ｃ毎にキヤリア４の送
り機構を個々に独立させて設置し、各区関で１キ
ヤリア分の送りを行わせ、キヤリアの空きをなく
したものである。
前記送り機構は第１図、第２図に示すように構
成される。すなわち、各区間毎のガイド１には長
溝５がそれぞれ設けられ、各長溝５に沿つて送り
棒６が往復動可能に設けられ、かつ該送り棒６は
長溝５の始端５ａと末端５ｂ位置で昇降させられ
る。
成される。すなわち、各区間毎のガイド１には長
溝５がそれぞれ設けられ、各長溝５に沿つて送り
棒６が往復動可能に設けられ、かつ該送り棒６は
長溝５の始端５ａと末端５ｂ位置で昇降させられ
る。
実施例において、第１図に示すようにキヤリア
４がセツトされた場合、送り先にキヤリアが見つ
かる迄、各送り機構を駆動して送りを繰り返しキ
ヤリア間をつめて空きをなくし、連続してキヤリ
ア４を処理装置に搬送させる。キヤリアの送りは
第２図に示すように送り棒６が定位置７ａより上
端位置７ｂへ上昇後、送り位置７ｃへ水平移動
し、キヤリア４を送る。その後、送り下端７ｄへ
下降し定位置へ戻る動作を１つのサイクルとす
る。
４がセツトされた場合、送り先にキヤリアが見つ
かる迄、各送り機構を駆動して送りを繰り返しキ
ヤリア間をつめて空きをなくし、連続してキヤリ
ア４を処理装置に搬送させる。キヤリアの送りは
第２図に示すように送り棒６が定位置７ａより上
端位置７ｂへ上昇後、送り位置７ｃへ水平移動
し、キヤリア４を送る。その後、送り下端７ｄへ
下降し定位置へ戻る動作を１つのサイクルとす
る。
このように、本発明に用いる搬送装置は、各区
間毎の送り機構はそれぞれが個々に独立している
から、個々に駆動して送りを繰り返し行うことに
よつて空きピツチがなくなり、連続搬送が可能と
なる。
間毎の送り機構はそれぞれが個々に独立している
から、個々に駆動して送りを繰り返し行うことに
よつて空きピツチがなくなり、連続搬送が可能と
なる。
以上説明したように本発明は単独の送り機構を
各キヤリア定位置毎に取り付けることにより、各
定位置でのあきをなくすことができ、搬送装置及
び半導体基板処理装置を有効に使用することがで
きる効果を有するものである。
各キヤリア定位置毎に取り付けることにより、各
定位置でのあきをなくすことができ、搬送装置及
び半導体基板処理装置を有効に使用することがで
きる効果を有するものである。
第１図は本発明の一実施例を示す全体図、第２
図は第１図の搬送システム図、第３図は従来の搬
送装置の全体図である。 １……ガイド、４……キヤリア、（５……長溝、
６……送り棒）送り機構。
図は第１図の搬送システム図、第３図は従来の搬
送装置の全体図である。 １……ガイド、４……キヤリア、（５……長溝、
６……送り棒）送り機構。
Claims (1)
- １ 半導体基板を収納した半導体基板収納箱を搬
送装置によつて処理装置に供給する搬送方法にお
いて、前記搬送装置は前記半導体基板収納箱を自
動的にピツチ送りする送り機構を具備し、前記送
り機構は搬送路を長手方向に沿つて複数に区切ら
れた各区間毎に独立に設けられたそれぞれガイド
と送り棒を有し、該ガイドは各区間毎に搬送路の
長手方向に開口された長溝であり、該送り棒は長
溝の始端と末端間を往復動し往行程では長溝内よ
り搬送路上に突出し、復行程では長溝内に退避す
るものであり、上記搬送装置に半導体基板収納箱
をセツトした場合、送り先に他の半導体基板収納
箱が見つかる迄各送り機構を駆動して送りを繰り
返し複数の半導体基板収納箱間をつめて空きをな
くし、これにより連続して半導体基板収納箱を前
記処理装置に搬送させることを特徴とする半導体
基板収納箱の搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17734785A JPS6237941A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 半導体基板収納箱の搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17734785A JPS6237941A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 半導体基板収納箱の搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237941A JPS6237941A (ja) | 1987-02-18 |
| JPH0453098B2 true JPH0453098B2 (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=16029378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17734785A Granted JPS6237941A (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 半導体基板収納箱の搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237941A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101484094B (zh) | 2006-06-30 | 2013-01-02 | 史密夫和内修有限公司 | 解剖学运动铰接假体 |
| JP7376349B2 (ja) * | 2019-12-26 | 2023-11-08 | 株式会社安川電機 | ワーク処理システム |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP17734785A patent/JPS6237941A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6237941A (ja) | 1987-02-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |