JPS6199960U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6199960U JPS6199960U JP18464184U JP18464184U JPS6199960U JP S6199960 U JPS6199960 U JP S6199960U JP 18464184 U JP18464184 U JP 18464184U JP 18464184 U JP18464184 U JP 18464184U JP S6199960 U JPS6199960 U JP S6199960U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- deflection
- electron beam
- optical axis
- deflection coil
- Prior art date
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- Granted
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Description
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図イ
及びロは本考案の電子ビームの偏向を説明するた
めの図である。 １：電子ビーム、２：光軸、３：前方磁界レン
ズ、４：試料、５，６：偏向コイル、７，８：増
幅器、９，１０：Ｄ／Ａ変換器、１１：制御装置
、１２：二次電子検出器、１２Ａ：二次電子収集
電極。
及びロは本考案の電子ビームの偏向を説明するた
めの図である。 １：電子ビーム、２：光軸、３：前方磁界レン
ズ、４：試料、５，６：偏向コイル、７，８：増
幅器、９，１０：Ｄ／Ａ変換器、１１：制御装置
、１２：二次電子検出器、１２Ａ：二次電子収集
電極。
Claims (1)
- 電子銃から光軸に沿つて取り出される電子ビー
ムを加速電圧Ｅ０で加速して試料に照射し、該試
料より電子銃側に設けられ二次電子収集電極を有
する二次電子検出器により二次電子を検出する装
置において、前記二次電子検出器より電子銃側に
設けられた２段の偏向コイルと、該偏向コイルに
偏向電流を供給する手段と、該偏向電流供給手段
を制御する制御手段とを設け、該１段目の偏向コ
イルによる電子ビームの偏向角をθ１、２段目の
偏向コイルによる電子ビームの偏向角をθ２、光
軸と直交して設けられた二次電子検出器の中心軸
と光軸の交点Ｐに入射する電子ビームの傾斜角を
θｊとするとき、前記加速電圧Ｅ０の切り換えに
連動してθｊ＝θ２−θ１を満足するように制御
することを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984184641U JPH0537398Y2 (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984184641U JPH0537398Y2 (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6199960U true JPS6199960U (ja) | 1986-06-26 |
| JPH0537398Y2 JPH0537398Y2 (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=30742126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984184641U Expired - Lifetime JPH0537398Y2 (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0537398Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5576560A (en) * | 1978-12-01 | 1980-06-09 | Hitachi Ltd | Observation field moving device for electron microscope |
| JPS5630659A (en) * | 1979-08-21 | 1981-03-27 | Tadashi Hirotsune | Dielectric strength test apparatus for method electric plug |
| JPS5888769U (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-16 | 日本電子株式会社 | 電子線偏向装置 |
-
1984
- 1984-12-05 JP JP1984184641U patent/JPH0537398Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5576560A (en) * | 1978-12-01 | 1980-06-09 | Hitachi Ltd | Observation field moving device for electron microscope |
| JPS5630659A (en) * | 1979-08-21 | 1981-03-27 | Tadashi Hirotsune | Dielectric strength test apparatus for method electric plug |
| JPS5888769U (ja) * | 1981-12-11 | 1983-06-16 | 日本電子株式会社 | 電子線偏向装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0537398Y2 (ja) | 1993-09-21 |
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