JPS6112538B2 - - Google Patents
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- JPS6112538B2 JPS6112538B2 JP52132349A JP13234977A JPS6112538B2 JP S6112538 B2 JPS6112538 B2 JP S6112538B2 JP 52132349 A JP52132349 A JP 52132349A JP 13234977 A JP13234977 A JP 13234977A JP S6112538 B2 JPS6112538 B2 JP S6112538B2
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- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 150
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 76
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 16
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 206010064127 Solar lentigo Diseases 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
印刷により形成した混成集積回路パターン（以
下印刷回路パターンという）の欠陥として、短絡
欠陥、断線欠陥、かすれ欠陥および細り欠陥とが
ある。
下印刷回路パターンという）の欠陥として、短絡
欠陥、断線欠陥、かすれ欠陥および細り欠陥とが
ある。
本発明はかゝる欠陥を区別検査する欠陥検査装
置に関する。
置に関する。
従来、光学読取装置によつて印刷回路パターン
の欠陥検査を行なうとき、欠陥検出能力および欠
陥検査時間はスポツトサイズによつて影響し、ス
ポツトサイズが小さいほど欠陥検出能力は優り、
大きいほど劣るが、欠陥検査時間はスポツトサイ
ズが小さいほど長時間になるという欠点があつ
た。さらに従来用いていた、例えば斜向照明によ
り照明して検査を行うと、かすれ欠陥、細り欠陥
およびスポツトサイズより小さい断線欠陥は同じ
疑似欠陥として検出され種類の区別が困難であつ
た。
の欠陥検査を行なうとき、欠陥検出能力および欠
陥検査時間はスポツトサイズによつて影響し、ス
ポツトサイズが小さいほど欠陥検出能力は優り、
大きいほど劣るが、欠陥検査時間はスポツトサイ
ズが小さいほど長時間になるという欠点があつ
た。さらに従来用いていた、例えば斜向照明によ
り照明して検査を行うと、かすれ欠陥、細り欠陥
およびスポツトサイズより小さい断線欠陥は同じ
疑似欠陥として検出され種類の区別が困難であつ
た。
本発明によればかゝる欠点を取り除き、検査時
間ができるだけ短時間になるようにスポツトサイ
ズを印刷回路パターンの印刷ライン巾の半分前後
に設定し、斜向照明部からなる第１群照明装置に
より印刷回路パターンを照明して欠陥検査を行な
い、短絡欠陥とスポツトサイズより大きい断線欠
陥とを検出し、これら短絡および断線欠陥を除い
た疑似欠陥部分については、切換可能な４個の斜
向照明から成る第２群照明装置により照明して欠
陥検査を行い、かすれ欠陥と細り欠陥で検出する
黒点の個数の違いからかすれ欠陥と細り欠陥とス
ポツトサイズより小さい断線欠陥とに区別するこ
とによつて、高速に全ての欠陥を区別して検査す
ることを目的とする。
間ができるだけ短時間になるようにスポツトサイ
ズを印刷回路パターンの印刷ライン巾の半分前後
に設定し、斜向照明部からなる第１群照明装置に
より印刷回路パターンを照明して欠陥検査を行な
い、短絡欠陥とスポツトサイズより大きい断線欠
陥とを検出し、これら短絡および断線欠陥を除い
た疑似欠陥部分については、切換可能な４個の斜
向照明から成る第２群照明装置により照明して欠
陥検査を行い、かすれ欠陥と細り欠陥で検出する
黒点の個数の違いからかすれ欠陥と細り欠陥とス
ポツトサイズより小さい断線欠陥とに区別するこ
とによつて、高速に全ての欠陥を区別して検査す
ることを目的とする。
次に図を用いて詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す概略図であ
り、第２図は照明装置を第１図で示すＡ方向から
みた矢視図、第３図は照明装置を第１図で示すＢ
方向からみた矢視図、第４図は印刷回路パターン
の平面図、第５図は走査範囲を説明するための
図、第６図は第１群照明装置で照明して欠陥検査
を行なつたときの各欠陥部分とその出力図、第７
図および第８図は第２群照明装置で照明して欠陥
検査を行なつたときの各欠陥部分とその出力図、
第９図は本発明のにおける細り欠陥識別の詳細図
である。
り、第２図は照明装置を第１図で示すＡ方向から
みた矢視図、第３図は照明装置を第１図で示すＢ
方向からみた矢視図、第４図は印刷回路パターン
の平面図、第５図は走査範囲を説明するための
図、第６図は第１群照明装置で照明して欠陥検査
を行なつたときの各欠陥部分とその出力図、第７
図および第８図は第２群照明装置で照明して欠陥
検査を行なつたときの各欠陥部分とその出力図、
第９図は本発明のにおける細り欠陥識別の詳細図
である。
光学読取装置を用いて印刷回路パターンの欠陥
検査を行なうとき、第１図、第２図および第３図
で示すように光学読取装置３の光軸焦点面に印刷
回路パターン１６を配置し、この印刷回路パター
ン面を均一に照明する第１群照明装置を設ける。
この第１群照明装置の一例として本実施例では光
軸焦点面に対し45度の角度をもち、かつ光軸焦点
面に平行な平面上に形成される正方形の４つの角
に位置する４個の照明部１１，１２，１３及び１
４を有し、そのうち２個の照明部１１と１３は印
刷回路パターン１６上の印刷ライン１５の方向に
直交して照明するように配置されている装置を用
いる。本発明においては、さらに光軸焦点面に平
行な平面上に形成される正方形の４つの角に設け
た４個の照明部２１，２２，２３及び２４を有
し、印刷回路パターン１６の中心近傍を照明し、
そのうち２個の照明部２１と２３は印刷ライン１
５の方向に直交して照明するように配置されてい
る第２群照明装置を設ける。本実施例ではこの第
２群照明装置は印刷回路パターンと第１群照明装
置との間に設けられ概略10度に設定されている。
本発明の装置は上述の第１群及び第２群照明装置
と、印刷回路パターン１６の濃淡度を読みとる光
学読取装置３と、第１群照明装置により印刷回路
パターン１６を照明し第５図ａに示すように走査
範囲４３と走査方向５０および印刷ライン方向の
情報を記憶している走査範囲部５と、この走査範
囲部５中の走査範囲４３と走査方向５０の条件に
より光学読取装置３を走査し、その走査点が印刷
ライン上の点であれば黒点５３それ以外であれば
白点５４と判定する２値化基準値をもつた走査制
御部４と、第５図ｂに示すような走査範囲４３の
ｎ×ｎ個の中の印刷ライン上の点の黒点５３の個
数ｐと標準データ部７に記憶されている個数とを
比較するとき、第６図に示すように欠陥部に４個
の照明部で斜向照明する第１群照明装置により照
明し検査すると短絡欠陥１００は短絡欠陥出力デ
ータ１００′に表わされるように個数p1は正常ラ
インの黒点の個数p0と比しp1≫p0となり、またス
ポツトサイズより大きい断線欠陥１０１は断線欠
陥出力データ１０１′に表わされるように黒点の
個数p2はp2≪p0となり、さらにかすれ欠陥１０
２、細り欠陥１０３，１０４及びスポツトサイズ
より小さい断線欠陥１０５はそれぞれ疑似欠陥出
力データ１０２′，１０３′１０４′及び１０５′に
表わされるように黒点の個数p3はp3＜p0となるの
で、以上のことから黒点の個数がp1すなわちp1≫
p0であればその走査範囲４３に含まれる欠陥を短
絡欠陥１００と判定し、黒点５３の個数がp2すな
わちp2≪p0となれば、その欠陥を断線欠陥１０１
と判定し、その欠陥の走査範囲の中心位置とその
種類を欠陥情報として欠陥記憶部８に記憶させ、
また黒点５３の個数がp3すなわちp3＜p0であれば
その走査範囲４３に含まれる欠陥を疑似欠陥と判
定し、その走査範囲４３と印刷ライン１５の方向
を設定し再走査範囲部１０に記憶させる比較部６
と、走査終了後再走査範囲部１０に記憶されてい
る疑似欠陥のラインがＹ方向であれば第２群照明
装置の中の照明部２１または照明部２３のみで印
刷回路パターンの中心近傍を斜向照明し、たライ
ンがＸ方向であれば第２群照明装置の中の照明部
２２または照明部２４のみで斜向照明し、さらに
再走査記憶部１０に記憶されている走査範囲を光
学読取装置３に走査させる再走査制御部９と、そ
の走査結果と疑似欠陥データ部１７に記憶されて
いるデータとを比較し、第７図に示すように欠陥
部を第２群照明装置の中の照明部２１で斜向照明
して検査すると細り欠陥からの反射光が減少する
ことから疑似欠陥の中のかすれ欠陥１０２および
照明部２１に対してラインの反対側が細つている
細り欠陥１０３は照明角度により黒点の個数があ
まり変化せずそれぞれかすれ欠陥出力データ１０
２″および細り欠陥出力データ１０３″に示すよう
に黒点の個数p4はp4≒p0となり、また照明部２１
に対しラインの同一側に細りがある細り欠陥１０
４は細り欠陥出力データ１０４″に示すように黒
点の個数P5はP0より少ない細り欠陥判定個数P01
に対しP5＜P01となり、さらにスポツトサイズよ
り小さい断線欠陥１０５は断線欠陥出力データ１
０５″に示すように黒点の個数p6はP6＞P01となる
ので以上のことから黒点の個数がP5すなわちP5＜
P01およびP6すなわちP0＞P01であればそれぞれ細
り欠陥１０４および断線欠陥１０５と判定し、そ
の欠陥情報を欠陥記憶部８に記憶させ、黒点の個
数が正常個数p0に近似したものについてさらに第
２群照明装置の中の右上方向から照明部２３のみ
で斜向照明し検査を繰返すと第８図に示すように
かすれ欠陥１０２および細り欠陥１０３はそれぞ
れかすれ欠陥出力データ１０２″および細り欠陥
出力データ１０３″に示すように黒点の個数はそ
れぞれp4≒p0およびP5＜P01となるので以上のこ
とから黒点の個数がp4すなわちp4≒p0であればか
すれ欠陥１０２と判定し、黒点の個数p5すなわち
P5＜P01であれば細り欠陥１０３と判定し、その
欠陥情報を欠陥記憶部８に記憶させ、さらに印刷
ライン１５がＸ方向の場合も同様に第２群照明装
置の斜向照明する照明部２２と２４を切換えて欠
陥検査を行なう判定部１２と、走査終了後欠陥記
憶部８に記憶されている欠陥情報を出力する出力
部１３とから構成される。
検査を行なうとき、第１図、第２図および第３図
で示すように光学読取装置３の光軸焦点面に印刷
回路パターン１６を配置し、この印刷回路パター
ン面を均一に照明する第１群照明装置を設ける。
この第１群照明装置の一例として本実施例では光
軸焦点面に対し45度の角度をもち、かつ光軸焦点
面に平行な平面上に形成される正方形の４つの角
に位置する４個の照明部１１，１２，１３及び１
４を有し、そのうち２個の照明部１１と１３は印
刷回路パターン１６上の印刷ライン１５の方向に
直交して照明するように配置されている装置を用
いる。本発明においては、さらに光軸焦点面に平
行な平面上に形成される正方形の４つの角に設け
た４個の照明部２１，２２，２３及び２４を有
し、印刷回路パターン１６の中心近傍を照明し、
そのうち２個の照明部２１と２３は印刷ライン１
５の方向に直交して照明するように配置されてい
る第２群照明装置を設ける。本実施例ではこの第
２群照明装置は印刷回路パターンと第１群照明装
置との間に設けられ概略10度に設定されている。
本発明の装置は上述の第１群及び第２群照明装置
と、印刷回路パターン１６の濃淡度を読みとる光
学読取装置３と、第１群照明装置により印刷回路
パターン１６を照明し第５図ａに示すように走査
範囲４３と走査方向５０および印刷ライン方向の
情報を記憶している走査範囲部５と、この走査範
囲部５中の走査範囲４３と走査方向５０の条件に
より光学読取装置３を走査し、その走査点が印刷
ライン上の点であれば黒点５３それ以外であれば
白点５４と判定する２値化基準値をもつた走査制
御部４と、第５図ｂに示すような走査範囲４３の
ｎ×ｎ個の中の印刷ライン上の点の黒点５３の個
数ｐと標準データ部７に記憶されている個数とを
比較するとき、第６図に示すように欠陥部に４個
の照明部で斜向照明する第１群照明装置により照
明し検査すると短絡欠陥１００は短絡欠陥出力デ
ータ１００′に表わされるように個数p1は正常ラ
インの黒点の個数p0と比しp1≫p0となり、またス
ポツトサイズより大きい断線欠陥１０１は断線欠
陥出力データ１０１′に表わされるように黒点の
個数p2はp2≪p0となり、さらにかすれ欠陥１０
２、細り欠陥１０３，１０４及びスポツトサイズ
より小さい断線欠陥１０５はそれぞれ疑似欠陥出
力データ１０２′，１０３′１０４′及び１０５′に
表わされるように黒点の個数p3はp3＜p0となるの
で、以上のことから黒点の個数がp1すなわちp1≫
p0であればその走査範囲４３に含まれる欠陥を短
絡欠陥１００と判定し、黒点５３の個数がp2すな
わちp2≪p0となれば、その欠陥を断線欠陥１０１
と判定し、その欠陥の走査範囲の中心位置とその
種類を欠陥情報として欠陥記憶部８に記憶させ、
また黒点５３の個数がp3すなわちp3＜p0であれば
その走査範囲４３に含まれる欠陥を疑似欠陥と判
定し、その走査範囲４３と印刷ライン１５の方向
を設定し再走査範囲部１０に記憶させる比較部６
と、走査終了後再走査範囲部１０に記憶されてい
る疑似欠陥のラインがＹ方向であれば第２群照明
装置の中の照明部２１または照明部２３のみで印
刷回路パターンの中心近傍を斜向照明し、たライ
ンがＸ方向であれば第２群照明装置の中の照明部
２２または照明部２４のみで斜向照明し、さらに
再走査記憶部１０に記憶されている走査範囲を光
学読取装置３に走査させる再走査制御部９と、そ
の走査結果と疑似欠陥データ部１７に記憶されて
いるデータとを比較し、第７図に示すように欠陥
部を第２群照明装置の中の照明部２１で斜向照明
して検査すると細り欠陥からの反射光が減少する
ことから疑似欠陥の中のかすれ欠陥１０２および
照明部２１に対してラインの反対側が細つている
細り欠陥１０３は照明角度により黒点の個数があ
まり変化せずそれぞれかすれ欠陥出力データ１０
２″および細り欠陥出力データ１０３″に示すよう
に黒点の個数p4はp4≒p0となり、また照明部２１
に対しラインの同一側に細りがある細り欠陥１０
４は細り欠陥出力データ１０４″に示すように黒
点の個数P5はP0より少ない細り欠陥判定個数P01
に対しP5＜P01となり、さらにスポツトサイズよ
り小さい断線欠陥１０５は断線欠陥出力データ１
０５″に示すように黒点の個数p6はP6＞P01となる
ので以上のことから黒点の個数がP5すなわちP5＜
P01およびP6すなわちP0＞P01であればそれぞれ細
り欠陥１０４および断線欠陥１０５と判定し、そ
の欠陥情報を欠陥記憶部８に記憶させ、黒点の個
数が正常個数p0に近似したものについてさらに第
２群照明装置の中の右上方向から照明部２３のみ
で斜向照明し検査を繰返すと第８図に示すように
かすれ欠陥１０２および細り欠陥１０３はそれぞ
れかすれ欠陥出力データ１０２″および細り欠陥
出力データ１０３″に示すように黒点の個数はそ
れぞれp4≒p0およびP5＜P01となるので以上のこ
とから黒点の個数がp4すなわちp4≒p0であればか
すれ欠陥１０２と判定し、黒点の個数p5すなわち
P5＜P01であれば細り欠陥１０３と判定し、その
欠陥情報を欠陥記憶部８に記憶させ、さらに印刷
ライン１５がＸ方向の場合も同様に第２群照明装
置の斜向照明する照明部２２と２４を切換えて欠
陥検査を行なう判定部１２と、走査終了後欠陥記
憶部８に記憶されている欠陥情報を出力する出力
部１３とから構成される。
次に本発明の動作を説明する。
光学読取装置３を用いて印刷回路１６の欠陥検
査を行なうとき、第１群照明装置の照明部１１，
１２，１３，１４で印刷回路パターン１４の中心
近傍を斜向照明し、第４図に示すように印刷ライ
ン１５上を、微小走査範囲４３に分けて走査範囲
部５に記憶されている走査範囲、走査方向、印刷
ライン方向に従つて第５図ａに示すようにその走
査範囲４３を走査方向５０に走査するように、光
学読取装置３を走査制御部４によつて走査させ
る。第５図ｂに示すようにその走査点が印刷ライ
ン上であれば黒点５３、それ以外であれば白点５
４とする２値化基準値で走査範囲４３内の走査点
を黒点５３と白点５４に分けて、黒点５３の個数
ｐのみを計算し、その個数と標準データ部７に記
憶されている個数データとを比較し、第６図に示
すように走査の結果走査点の黒点の個数が正常ラ
インの場合の個数p0に対してp1≫p0のように短絡
欠陥出力データ１００′となれば短絡欠陥１００
と判定し、走査の結果走査点の黒点の個数がp2≪
p0のように断線欠陥出力データ１０１′となれば
断線欠陥１０１と判定し、その欠陥の走査範囲の
中心位置と欠陥の種類とを欠陥情報としその情報
を比較部６により欠陥記憶部８に記憶する。また
第６図に示すように走査の結果走査点の黒点の個
数がP3≒P0のように疑似欠陥出力データ１０
２′，１０３′，１０４′，１０５′となれば疑似欠
陥と判定し、その走査範囲内の印刷ラインの方向
と走査方向と走査範囲を比較部６により再走査範
囲部１０に記憶する。次に再走査範囲部１０に記
憶されている欠陥部分を再検査するとき、走査範
囲内の印刷ライン方向がＹ方向であれば第２群照
明装置の中の左上方向から照明部２１で斜向照明
し、疑似欠陥部分を検査する。走査の結果第７図
で示すように黒点の個数がP5＜P01のように細り
欠陥出力データ１０４″となれば細り欠陥１０４
と判定し、黒点の個数がP6＞P01であれば断線欠
陥１０５と判定し、その欠陥情報を欠陥記憶部８
に記憶し、さらに黒点の個数がp4≒p0のように疑
似欠陥出力データ１０２″と１０３″となれば、第
２群照明装置の中の右上方向から照明部２３によ
り斜向照明し、同様に欠陥検査を行なう。走査の
結果疑似欠陥部分の走査範囲の中の走査点の黒点
の個数がp4≒p0のようなかすれ欠陥出力データ１
０２であればかすれ欠陥１０２と判定し、黒点
の個数がP5＜P01のような細り欠陥出力データ１
０３であれば細り欠陥１０３と判定する判定部
１２により、欠陥記憶部８にその欠陥情報を記憶
する。疑似欠陥データ部１７に記憶されている走
査範囲部のライン方向がＸ方向であれば、同様に
第２群照明装置の中の照明部２２と２４を切換え
て斜向照明し欠陥検査を行なう。さらに、出力部
１３により欠陥記憶部８に記憶されている欠陥情
報を出力し欠陥検査を終了する。
査を行なうとき、第１群照明装置の照明部１１，
１２，１３，１４で印刷回路パターン１４の中心
近傍を斜向照明し、第４図に示すように印刷ライ
ン１５上を、微小走査範囲４３に分けて走査範囲
部５に記憶されている走査範囲、走査方向、印刷
ライン方向に従つて第５図ａに示すようにその走
査範囲４３を走査方向５０に走査するように、光
学読取装置３を走査制御部４によつて走査させ
る。第５図ｂに示すようにその走査点が印刷ライ
ン上であれば黒点５３、それ以外であれば白点５
４とする２値化基準値で走査範囲４３内の走査点
を黒点５３と白点５４に分けて、黒点５３の個数
ｐのみを計算し、その個数と標準データ部７に記
憶されている個数データとを比較し、第６図に示
すように走査の結果走査点の黒点の個数が正常ラ
インの場合の個数p0に対してp1≫p0のように短絡
欠陥出力データ１００′となれば短絡欠陥１００
と判定し、走査の結果走査点の黒点の個数がp2≪
p0のように断線欠陥出力データ１０１′となれば
断線欠陥１０１と判定し、その欠陥の走査範囲の
中心位置と欠陥の種類とを欠陥情報としその情報
を比較部６により欠陥記憶部８に記憶する。また
第６図に示すように走査の結果走査点の黒点の個
数がP3≒P0のように疑似欠陥出力データ１０
２′，１０３′，１０４′，１０５′となれば疑似欠
陥と判定し、その走査範囲内の印刷ラインの方向
と走査方向と走査範囲を比較部６により再走査範
囲部１０に記憶する。次に再走査範囲部１０に記
憶されている欠陥部分を再検査するとき、走査範
囲内の印刷ライン方向がＹ方向であれば第２群照
明装置の中の左上方向から照明部２１で斜向照明
し、疑似欠陥部分を検査する。走査の結果第７図
で示すように黒点の個数がP5＜P01のように細り
欠陥出力データ１０４″となれば細り欠陥１０４
と判定し、黒点の個数がP6＞P01であれば断線欠
陥１０５と判定し、その欠陥情報を欠陥記憶部８
に記憶し、さらに黒点の個数がp4≒p0のように疑
似欠陥出力データ１０２″と１０３″となれば、第
２群照明装置の中の右上方向から照明部２３によ
り斜向照明し、同様に欠陥検査を行なう。走査の
結果疑似欠陥部分の走査範囲の中の走査点の黒点
の個数がp4≒p0のようなかすれ欠陥出力データ１
０２であればかすれ欠陥１０２と判定し、黒点
の個数がP5＜P01のような細り欠陥出力データ１
０３であれば細り欠陥１０３と判定する判定部
１２により、欠陥記憶部８にその欠陥情報を記憶
する。疑似欠陥データ部１７に記憶されている走
査範囲部のライン方向がＸ方向であれば、同様に
第２群照明装置の中の照明部２２と２４を切換え
て斜向照明し欠陥検査を行なう。さらに、出力部
１３により欠陥記憶部８に記憶されている欠陥情
報を出力し欠陥検査を終了する。
以上、説明したように、本発明によれば第１群
照明装置で斜向照明し欠陥検査を行ない、短絡欠
陥とスポツトサイズより大きい断線欠陥を検出
し、次に第９図のように細り欠陥９１および９２
については第１群照明装置で４方向から斜向照明
９０した場合には印刷部分の高さによつて影９３
ができ走査の結果黒点の個数はいずれもp3＜p0と
なり疑似欠陥９４となり区別ができないが、第２
群照明装置の区の左上方向から斜向照明９０′す
る照明部２１により照明し検査すれば細り欠陥か
らの反射が減少し、細り欠陥９１は細り欠陥出力
データ９５となり、黒点の個数がp5＜p0となり細
り欠陥９１を検出することができ、他方細り欠陥
９２は疑似欠陥出力データ９６となり、細り欠陥
９２と判定できないが、第２群照明装置の中の右
上方向から斜向照明９０″する照明部２３により
照明し検査すれば細り欠陥からの反射が減少し、
細り欠陥９２は細り欠陥出力データ９７となり、
黒点の個数がp5＜p0となり、細り欠陥９２を検出
することができる。このようにして第２群照明装
置の照明部２１と２２と２３と２４とを交互に切
換えて疑似欠陥部分を照明し、欠陥検査すること
によつて、細り欠陥とスポツトサイズより小さい
断線欠陥とかすれ欠陥を識別し、高速にすべての
欠陥を区別して検査することができるという利点
がある。
照明装置で斜向照明し欠陥検査を行ない、短絡欠
陥とスポツトサイズより大きい断線欠陥を検出
し、次に第９図のように細り欠陥９１および９２
については第１群照明装置で４方向から斜向照明
９０した場合には印刷部分の高さによつて影９３
ができ走査の結果黒点の個数はいずれもp3＜p0と
なり疑似欠陥９４となり区別ができないが、第２
群照明装置の区の左上方向から斜向照明９０′す
る照明部２１により照明し検査すれば細り欠陥か
らの反射が減少し、細り欠陥９１は細り欠陥出力
データ９５となり、黒点の個数がp5＜p0となり細
り欠陥９１を検出することができ、他方細り欠陥
９２は疑似欠陥出力データ９６となり、細り欠陥
９２と判定できないが、第２群照明装置の中の右
上方向から斜向照明９０″する照明部２３により
照明し検査すれば細り欠陥からの反射が減少し、
細り欠陥９２は細り欠陥出力データ９７となり、
黒点の個数がp5＜p0となり、細り欠陥９２を検出
することができる。このようにして第２群照明装
置の照明部２１と２２と２３と２４とを交互に切
換えて疑似欠陥部分を照明し、欠陥検査すること
によつて、細り欠陥とスポツトサイズより小さい
断線欠陥とかすれ欠陥を識別し、高速にすべての
欠陥を区別して検査することができるという利点
がある。
第１図は本発明の一実施例を示す概略説明図、
第２図は照明装置を第１図のＡ方向から見た図、
第３図は同じ照明装置を第１図のＢ方向から見た
図、第４図は印刷回路パターンを拡大した図、第
５図は印刷ラインの微小走査範囲を拡大して示す
図、第６図は欠陥部分と第１群照明装置の照明に
よる各欠陥の検査出力を示す図、第７図及び第８
図は同じく欠陥部分と第２群照明装置の照明によ
る各欠陥の検査出力を示す図、第９図は本発明に
おける細り欠陥識別を説明する図である。 １１，１２，１３，１４は第１群照明装置をな
す照明部、２１，２２，２３，２４は第２群照明
装置をなす照明部、３は光学読取装置、４は走査
制御部、５は走査範囲部、６は比較部、７は標準
データ部、８は欠陥記憶部、９は再走査制御部、
１０は再走査範囲部、１７は疑似欠陥データ部、
１２は判定部、１３は出力部、１５は印刷ライ
ン、１６は印刷回路パターンを表わす。
第２図は照明装置を第１図のＡ方向から見た図、
第３図は同じ照明装置を第１図のＢ方向から見た
図、第４図は印刷回路パターンを拡大した図、第
５図は印刷ラインの微小走査範囲を拡大して示す
図、第６図は欠陥部分と第１群照明装置の照明に
よる各欠陥の検査出力を示す図、第７図及び第８
図は同じく欠陥部分と第２群照明装置の照明によ
る各欠陥の検査出力を示す図、第９図は本発明に
おける細り欠陥識別を説明する図である。 １１，１２，１３，１４は第１群照明装置をな
す照明部、２１，２２，２３，２４は第２群照明
装置をなす照明部、３は光学読取装置、４は走査
制御部、５は走査範囲部、６は比較部、７は標準
データ部、８は欠陥記憶部、９は再走査制御部、
１０は再走査範囲部、１７は疑似欠陥データ部、
１２は判定部、１３は出力部、１５は印刷ライ
ン、１６は印刷回路パターンを表わす。
Claims (1)
- １ 光学読取装置の光軸焦点面に配置された印刷
回路パターンを光軸焦点面に対し概略45゜の角度
から照明する複数個の照明部から成る第１群照明
装置と、前記光軸焦点面に平行な平面上に形成さ
れる正方形の４角に照明部を配し前記第１群照明
装置より光軸焦点面に対し概略10゜の角度から前
記印刷回路パターンを照明し、かついずれかの対
角線上にある２個の照明部は前記印刷回路パター
ン上の印刷ライン方向に直交して照明する第２群
照明装置と、前記印刷回路パターンの濃淡度を読
みとる光学読取装置と、前記第１群照明装置によ
り照明し所定の走査範囲を走査する走査制御部
と、この走査結果を標準データと比較し、短絡欠
陥、断線欠陥及び疑似欠陥とに区別し、短絡欠陥
および断線欠陥についてはその欠陥情報を欠陥記
憶部に記憶し、疑似欠陥についてはその欠陥情報
を再走査範囲部に記憶する比較部と、上記走査終
了後前記第２群照明装置による照明に切換え疑似
欠陥部分のみ再走査する再走査制御部と、この再
走査結果と疑似欠陥データとを比較し、前記疑似
欠陥をかすれ欠陥、細り欠陥およびスポツトサイ
ズより小さい断線欠陥とに区別しその結果を前記
欠陥記憶部に記憶する判定部とからなり、高速に
短絡欠陥、断線欠陥、かすれ欠陥、細り欠陥及び
スポツトサイズより小さい断線欠陥に区別検査す
ることを特徴とする印刷回路パターンの欠陥検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13234977A JPS5465595A (en) | 1977-11-02 | 1977-11-02 | Defect inspector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13234977A JPS5465595A (en) | 1977-11-02 | 1977-11-02 | Defect inspector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5465595A JPS5465595A (en) | 1979-05-26 |
| JPS6112538B2 true JPS6112538B2 (ja) | 1986-04-09 |
Family
ID=15079265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13234977A Granted JPS5465595A (en) | 1977-11-02 | 1977-11-02 | Defect inspector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5465595A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS593075Y2 (ja) * | 1979-10-15 | 1984-01-27 | 松下電器産業株式会社 | 扉開閉装置 |
| JPS57132044A (en) * | 1981-02-10 | 1982-08-16 | Hitachi Metals Ltd | Discriminating method of surface defect |
| JPS62174639A (ja) * | 1986-01-28 | 1987-07-31 | Fuji Electric Co Ltd | 被検査物体の表面不連続部検出方式 |
| JP6167618B2 (ja) * | 2012-11-15 | 2017-07-26 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
-
1977
- 1977-11-02 JP JP13234977A patent/JPS5465595A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5465595A (en) | 1979-05-26 |
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